JPS63227976A - 減圧装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、減圧技術に関し、特に、半導体装置の製造装
置に関する真空装置などに適用して有効な技術に関する
。

［従来の技術］ 真空装置などに関する技術については、たとえば、株式
会社工業調査会、昭和５９年１１月２０日発行、「電子
材料４１９８４年別冊、Ｐ９７〜Ｐ１０１に記載されて
いる。その概要としては、ドライエツチングにおいて高
真空を必要とする場合には、ターボポンプとロークリポ
ンプとの組み合わせが主流となっていることなどが記載
されている。

ところで、本発明者は、この種の減圧装置について検討
した。以下は、本発明者によって検討された技術であり
、その概要は次の通りである。

すなわち、たとえば、この種の減圧装置として、真空室
とターボ分子ポンプとロータリポンプとを開閉バルブを
介して直列に接続した主排気流路と、真空室と前記ロー
タリポンプとは別のロータリポンプとを開閉バルブを介
して接続した補助排気流路とからなるもの、または前記
主排気流路と、それらの真空室とロークリポンプとを開
閉バルブを介して接続した補助排気流路とからなるもの
考えられる。

さらに、第３の減圧装置としては、真空室とターボ分子
ポンプとロータリポンプとを開閉バルブを介して直列に
接続した主排気流路のみからなるものが考えられる。

そして、これらの減圧装置は、ターボ分子ポンプの最大
許容排気流量が制限されているため、先ず、ロークリポ
ンプで真空室を粗引き排気し、その後に、ターボ分子ポ
ンプで真空室を排気するものである。

［発明が解決しようとする問題点コ しかしながら、前記した前二者の減圧装置は、真空室を
粗引き排気する補助流路を必要し、この補助流路は大径
の配管を用いなければならないので、装置が複雑化し大
形化するという問題点があることが本発明者によって明
らかにされた。

また、前記した第３の減圧装置は、ターボ分子ポンプを
停止させた状態でロークリポンプにより真空室を祖引き
排気し、その後に、ターボ分子ポンプを始動させて真空
室を排気する場合があるため、ターボ分子ポンプの停止
や始動に手間や時間を要し、減圧の効率が劣るという問
題点があることが本発明者によって明らかにされた。

さらに、前記した減圧装置は、ボンブオイ・ルの汚染の
虞があるロータリポンプにより真空室を粗引き排気する
ため、そのオイルが真空室に逆流して該真空室を汚染す
るという問題点もあることが本発明者によって明らかに
された。

本発明の目的は、装置の簡易化や小形化、また減圧の迅
速化や効率化の向上を図ることができ、さらにポンプオ
イルによる汚染の防止を確実に図ることができる減圧装
置を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、減圧室を減圧するとともにその最大排気流量
が制限されている主ポンプと、減圧室と主ポンプとを接
続する主排気流路と、減圧室と主ポンプとを接続すると
ともに可変流量バルブが設けられている補助排気流路と
を備えた減圧装置である。

［作用］ 前記した手段によれば、主ポンプの最大排気流量以下に
なるように補助排気流路の流量を可変流量バルブにより
調整した後に、その調整された補助排気流路を通じて主
ポンプにより減圧室を粗引き排気することができる。そ
して、その主ポンプによる粗引き排気により主ポンプの
最大排気流量以下に減圧室の圧力が低下したときに、主
排゛気流路を通じて主ポンプにより減圧室をさらに連続
的に減圧することができる。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例である減圧装置を示す説明図
である。

本実施例の減圧装置は、低圧ＣＶＤ装置、プラズムＣＤ
Ｖ装萱、エツチング装置、スパッタ装置などの半導体装
置の製造用装置における真空装置として適用されている
。

減圧装置は、真空室（減圧室）１と、この真空室１゛を
減圧するとともにその最大排気流量が制限されているタ
ーボ分子ポンプ（主ポンプ）２と、補助ポンプであるロ
ータリポンプ３とを備えている。

そして、真空室ｌとターボ分子ポンプ２とは、大径の配
管からなる主排気流路４を介して接続されていて、その
主排気流路４には、第１開閉バルブ４ａが設けられてい
る。

また、真空室１とターボ分子ポンプ２とは、小径の配管
からなる補助排気流路５を介して接続されていて、その
補助排気流路５の並列流路に第２開閉バルブ５ａ、５ａ
と可変流量バルブ６．６とが夫々設けられている。

さらに、ターボ分子ポンプ２とロータリポンプ３とは、
第３開閉パルプ７を介して接続されている。なお、この
第３開閉バルブ７は省略してもよい。

次に、本実施例の作用について説明する。

先ず最初に、ターボ分子ポンプ２の最大排気流量以下に
なるように補助排気流路５の流量を可変流量バルブ５ａ
により調整し、また、第１開閉バルブ４ａを閉とすると
ともにｊＪ２開閉バルブ５ａｓ５ａと第３開閉バルブ７
とを開とする。

そして、その調整された補助排気流路５を通じてターボ
分子ポンプ２により真空室１を粗引き排気する。

この場合に、補助排気流路５からの流量は可変流量バル
ブ５ａによりターボ分子ポンプ２の最大排気流量以下に
なるように調整されているので、ターボ分子ポンプ２の
作動に支障はない。

また、ターボ分子ポンプ２は、ロータリポンプよりもそ
の排気速度が１〜２桁大であるので、補助排気流路５が
小径の配管により形成されていても、ロータリポンプに
よる粗引き排気速度に劣ることはない。

さらに、ターボ分子ポンプ２は、ポンプオイル汚染の虞
が極めて少ないので、ロータリポンプにより直接的に粗
引き排気する場合に比べ、真空室１のポンプオイル汚染
の虞がない。

このようなターボ分子ポンプ２による粗引き排気により
、真空室１の圧力が該ターボ分子ポンプ２の最大排気流
量以下に低下したときに、第１開閉バルブ４ａを開とし
て、その開となった主排気流路４を通じてターボ分子ポ
ンプ２により真空室１をさらに連続的に減圧させて真空
にする。

したがって、ターボ分子ポンプ２の作動を停止させるこ
となく、粗引き排気に引き続いて連続的に真空室１を排
気させることができる。

このように本実施例によれば、以下の効果を得ることが
できる。

（１）、ターボ分子ポンプ２の最大排気流量以下になる
ように補助排気流路５の流量を可変流量バルブ６により
調整した後に、その調整された補助排気流路５を通じて
ターボ分子ポンプ２により真空室１を粗引き排気し、そ
して、そのターボ分子ポンプ２による粗引き排気により
ターボ分子ポンプ２の最大排気流量以下に真空室１の圧
力が低下したときに、主排気流路４を通じてターボ分子
ポンプ２により真空室１をさらに連続的に減圧すること
ができる。

（２）、（１）の効果により、補助排気流路５の配管を
小径で短縮することができるので、すなわち補助排気流
路５はターボ分子ポンプ２の最大排気流量以下の微量の
排気がなされるに過ぎないものであるため、その配管を
小径で短縮することができるので、補助排気流路５に関
する配管の簡素化や小形化を図ることができる。

（３）、前記（２）のように、補助排気流路５に関する
配管の簡素化や小形化を図っても、ターボ分子ポンプ２
の排気速度は、ロータリポンプの排気速度より１〜２桁
大であるので、ロータリポンプによる粗引き排気速度に
劣ることはなく、したがって、該排気速度を減少させる
ことなく補助排気流路５に関する配管の簡素化や小形化
を図ることができる。

（４）、　（１）の効果により、ターボ分子ポンプ２の
作動を停止させることな（、粗引き排気に引き続いて連
続的に真空室工を排気させることができるので、ターボ
分子ポンプ２の作動停止のための手間と時間とを不用と
し、減圧の迅速化や効率化を図ることができる。

（５）、　（１）の効果により、ポンプオイルの汚染の
虞が多いロークリポンプによる直接的な粗引き排気が不
用であるので、そのポンプオイルによる真空室１の汚染
を確実に防止することができる。

（６）、　（２）と（３）の効果により、装置全体の簡
略化や小形化を図ることができる。

（７）、（２）〜（６）の効果により、減圧装置の信頼
性の向上を図ることができる。

以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。

たとえば、本実施例における主ポンプは、ターボ分子ポ
ンプ２が使用されているが、ターボ分子ポンプ２に限定
するものではなく、これに類するものであればよい。

また、本実施例においては、可変流量バルブ５ａは複数
設けられているが、単数でもよい。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその利用分野である半導体装置の製造に使用する真空
装置に適用した場合について説明したが、これに限定さ
れるものではなく、それ以外の真空装置乃至減圧装置に
適用することも可能である。

［発明の効果コ 本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、主ポンプの最大排気流量以下になるように補
助排気流路の流量を可変流量バルブにより調整した後に
、その調整された補助排気流路を通じて主ポンプにより
減圧室を粗引き排気し、そして、その主ポンプによる粗
引き排気により主ポンプの最大排気流量以下に減圧室の
圧力が低下したときに、主排気流路を通じて主ポンプに
より減圧室をさらに連続的に減圧することができるので
、ターボ分子ポンプ２の作動停止のための手間と時間と
を不用とし減圧の迅速化や効率化の向上を図ることがで
き、また、補助排気流路の配管に関する簡素化や小形化
を図ることができる。

さらに、ポンプオイルの汚染の虞が多いポンプによる直
接的な粗引き排気を不要とすることができるので、その
ポンプオイルによる減圧室の汚染を確実に防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である減圧装置を示す説明図
である。 １・・・真空室（減圧室）、２・・・ターボ分子ポンプ
（主ポンプ）、３・・・ローダリポンプ、４・・・主排
気流路、４ａ・・・第１開閉バルブ、５・・・補助排気
流路、５ａ・・・第２開閉パルプ、６・・・可変流量バ
ルブ、７・・・第３開閉バルブ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、減圧室と、この減圧室を減圧するとともにその最大
   排気流量が制限されている主ポンプと、前記減圧室と主
   ポンプとを接続する主排気流路と、前記減圧室と主ポン
   プとを接続する補助排気流路とからなる減圧装置であっ
   て、前記主ポンプの最大排気流量以下に流量を調整する
   可変流量バルブが前記補助排気流路に設けられている減
   圧装置。 ２、減圧室が真空室であることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の減圧装置。 ３、主ポンプがターボ分子ポンプであることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の減圧装置。