JPH0719554Y2 - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
- Publication number
- JPH0719554Y2 JPH0719554Y2 JP1988125044U JP12504488U JPH0719554Y2 JP H0719554 Y2 JPH0719554 Y2 JP H0719554Y2 JP 1988125044 U JP1988125044 U JP 1988125044U JP 12504488 U JP12504488 U JP 12504488U JP H0719554 Y2 JPH0719554 Y2 JP H0719554Y2
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- Japan
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- roughing
- vacuum
- exhaust
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- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は真空装置の排気系の改良に関するものであ
る。
る。
基板等の上に薄膜を生成する際、通常、真空装置が用い
られる。一般に、真空装置は、第４図に示すように、薄
膜の生成される基板等が載置される真空容器（チェン
バ）と、チェンバ内の粗引きを行うための粗引きライン
Ｃと、ターボ分子ポンプ等の排気用ポンプ２が接続され
チェンバ内の本引きを行うための本引きラインＢと、ス
トップバルブ3b1，3b2,3cと、粗引きポンプ１とを有し
ており、粗引きラインＣ及び本引きラインＢにより排気
系が構成されている。そして通常、粗引きラインＣの管
径dCは本引きラインＢの管径dBよりも小さくなってい
る。
られる。一般に、真空装置は、第４図に示すように、薄
膜の生成される基板等が載置される真空容器（チェン
バ）と、チェンバ内の粗引きを行うための粗引きライン
Ｃと、ターボ分子ポンプ等の排気用ポンプ２が接続され
チェンバ内の本引きを行うための本引きラインＢと、ス
トップバルブ3b1，3b2,3cと、粗引きポンプ１とを有し
ており、粗引きラインＣ及び本引きラインＢにより排気
系が構成されている。そして通常、粗引きラインＣの管
径dCは本引きラインＢの管径dBよりも小さくなってい
る。
このような真空装置においてチェンバ内の真空引きを行
うには、まずストップバルブ3cを開き、粗引きラインＣ
を通じて粗引きポンプ１によりチェンバ内の粗引きを行
う。粗引き終了後、ストップバルブ3cを閉じるととも
に、ストップバルブ3b1及び3b2を開き、粗引きポンプ１
及び排気用ポンプ２によりチェンバ内の本引きを行う。
うには、まずストップバルブ3cを開き、粗引きラインＣ
を通じて粗引きポンプ１によりチェンバ内の粗引きを行
う。粗引き終了後、ストップバルブ3cを閉じるととも
に、ストップバルブ3b1及び3b2を開き、粗引きポンプ１
及び排気用ポンプ２によりチェンバ内の本引きを行う。
ところが、前記のように排気系を構成した場合、粗引き
時において、チェンバ内が大気圧の状態から急激に真空
引きされるため、チェンバ内壁等に付着していたダスト
が舞い上がり、これが薄膜生成用の基板に付着して良好
な膜生成の妨げとなっていた。
時において、チェンバ内が大気圧の状態から急激に真空
引きされるため、チェンバ内壁等に付着していたダスト
が舞い上がり、これが薄膜生成用の基板に付着して良好
な膜生成の妨げとなっていた。
そこで、前記のようなダストの舞い上がりを防止するた
めに、第３図に示すように、従来の粗引きラインＣにバ
イパスラインＤを設け、粗引きを２段階に分けて行うよ
うにしている。第３図において、バイパスラインＤに
は、ストップバルブ3d及び可変コンダクタンスバルブ５
が接続されている。また、各ラインB,C,Dの管径は、dB
＞dC＞dDとなっている。
めに、第３図に示すように、従来の粗引きラインＣにバ
イパスラインＤを設け、粗引きを２段階に分けて行うよ
うにしている。第３図において、バイパスラインＤに
は、ストップバルブ3d及び可変コンダクタンスバルブ５
が接続されている。また、各ラインB,C,Dの管径は、dB
＞dC＞dDとなっている。
この第３図に示された装置の粗引き時においては、まず
ストップバルブ3b1及び3cを閉じるとともにストップバ
ルブ3dを開き、可変コンダクタンスバルブ５を絞った状
態で、バイパスラインＤを通じてチェンバ内の第１回目
の粗引きを行う。次にストップバルブ3dを閉じるととも
にストップバルブ3cを開き、粗引きラインＣを通じて第
２回目の粗引きを行う。このように粗引きを２段階に分
け、第１回目の粗引き時には管径の小さい、即ちコンダ
クタンスの小さなラインを用いることにより、チェンバ
内の急激な粗引きを防止してスロー粗引きを行い、前述
のようなダストの舞い上がりを防いでいる。
ストップバルブ3b1及び3cを閉じるとともにストップバ
ルブ3dを開き、可変コンダクタンスバルブ５を絞った状
態で、バイパスラインＤを通じてチェンバ内の第１回目
の粗引きを行う。次にストップバルブ3dを閉じるととも
にストップバルブ3cを開き、粗引きラインＣを通じて第
２回目の粗引きを行う。このように粗引きを２段階に分
け、第１回目の粗引き時には管径の小さい、即ちコンダ
クタンスの小さなラインを用いることにより、チェンバ
内の急激な粗引きを防止してスロー粗引きを行い、前述
のようなダストの舞い上がりを防いでいる。
しかし、このような真空排気装置では、排気系が複雑に
なるという欠点があり、また、その結果、高価な制御系
が必要となって、装置全体が高価となるという欠点があ
った。
なるという欠点があり、また、その結果、高価な制御系
が必要となって、装置全体が高価となるという欠点があ
った。
そこで、排気系を簡単な構造にするために、第４図の従
来装置において、粗引きラインＣに可変コンダクタンス
バルブを設けることが考えられる。そして粗引き時にお
いて、可変コンダクタンスバルブを絞ることにより第１
回目の粗引き（スロー粗引き）を行い、その後可変コン
ダクタンスバルブを全開にして第２回目の粗引きを行え
ば、前述のようなダストの舞い上がりを防止することが
できる。
来装置において、粗引きラインＣに可変コンダクタンス
バルブを設けることが考えられる。そして粗引き時にお
いて、可変コンダクタンスバルブを絞ることにより第１
回目の粗引き（スロー粗引き）を行い、その後可変コン
ダクタンスバルブを全開にして第２回目の粗引きを行え
ば、前述のようなダストの舞い上がりを防止することが
できる。
しかし、前述の可変コンダクタンスバルブは全開時のコ
ンダクタンスが小さいため、第２回目の粗引き時の排気
速度が低下し、粗引きに長時間を要するという問題が生
じる。また一般に可変コンダクタンスバルブは高価なの
で、これを用いると装置全体が高価なものになってしま
う。
ンダクタンスが小さいため、第２回目の粗引き時の排気
速度が低下し、粗引きに長時間を要するという問題が生
じる。また一般に可変コンダクタンスバルブは高価なの
で、これを用いると装置全体が高価なものになってしま
う。
この考案は、かかる点に鑑みてなされたもので、簡単か
つ安価な構造を有し、しかも粗引き時の排気速度の低下
を招くことのない真空排気装置を得ることを目的とす
る。
つ安価な構造を有し、しかも粗引き時の排気速度の低下
を招くことのない真空排気装置を得ることを目的とす
る。
この考案に係る真空排気装置は、チェンバ内を排気する
排気路に対して、本引き用真空ポンプと粗引き用真空ポ
ンプをチェンバの側から順に直列接続するとともにチェ
ンバと本引き用真空ポンプとの間及び両真空ポンプの間
にそれぞれ排気路の全開、全閉を行うストップ弁を接続
した排気装置において、前記チェンバと粗引き用真空ポ
ンプとの間に前記排気路とは別個の排気路を併設し、こ
の併設排気路に排気路の全開、全閉を行うストップ弁
と、閉塞が微小隙間を残す閉位置及び全開位置の２位置
に制御可能なバタフライ弁を接続するとともに前記バタ
フライ弁を閉位置と全開位置に作動させる駆動手段を備
えたものである。
排気路に対して、本引き用真空ポンプと粗引き用真空ポ
ンプをチェンバの側から順に直列接続するとともにチェ
ンバと本引き用真空ポンプとの間及び両真空ポンプの間
にそれぞれ排気路の全開、全閉を行うストップ弁を接続
した排気装置において、前記チェンバと粗引き用真空ポ
ンプとの間に前記排気路とは別個の排気路を併設し、こ
の併設排気路に排気路の全開、全閉を行うストップ弁
と、閉塞が微小隙間を残す閉位置及び全開位置の２位置
に制御可能なバタフライ弁を接続するとともに前記バタ
フライ弁を閉位置と全開位置に作動させる駆動手段を備
えたものである。
この考案においては、排気路に、ストップ弁とバタフラ
イ弁とを直列に接続し、バタフライ弁を、閉塞が微小隙
間を残す閉位置及び全開位置の２位置に制御可能とした
ので、ストップ弁を全開、バタフライ弁を閉位置として
スロー粗引きを達成でき、従来本引きラインに対するバ
イパスラインにさらに別個のバイパスラインを設けてい
たが、そのようなさらに別個のバイパスラインを設ける
ことなくチェンバ内のダストの舞い上がりを防止でき
る。さらに、バタフライ弁は全開位置におけるコンダク
タンスが非常に大きいので、バタフライ弁を全開にすれ
ば排気速度を低下せず、粗引き処理の時間が短縮化され
る。
イ弁とを直列に接続し、バタフライ弁を、閉塞が微小隙
間を残す閉位置及び全開位置の２位置に制御可能とした
ので、ストップ弁を全開、バタフライ弁を閉位置として
スロー粗引きを達成でき、従来本引きラインに対するバ
イパスラインにさらに別個のバイパスラインを設けてい
たが、そのようなさらに別個のバイパスラインを設ける
ことなくチェンバ内のダストの舞い上がりを防止でき
る。さらに、バタフライ弁は全開位置におけるコンダク
タンスが非常に大きいので、バタフライ弁を全開にすれ
ば排気速度を低下せず、粗引き処理の時間が短縮化され
る。
以下、本考案の実施例を図に基づいて説明する。第１図
は本考案の一実施例による真空排気装置の構成図を示
す。１はチェンバ内の粗引きを行うための粗引きポンプ
であって、ロータリーポンプ等が用いられる。またチェ
ンバ内には、薄膜の生成される基板等が載置される。チ
ェンバと粗引きポンプ１との間には、チェンバ内の粗引
きを行うための第１の真空引きライン（粗引きライン）
Ａと本引きを行うための第２の真空引きライン（本引き
ライン）Ｂとが接続され、これらにより排気系が構成さ
れている。粗引きラインＡには、ストップバルブ3aとバ
タフライ弁４とが直列に接続されて設けられている。ス
トップバルブ3aは、チェンバ及び粗引きポンプ１間の排
気路を全開又は全閉の２位置に制御可能となっている。
バタフライ弁４は、図示しない駆動装置により、閉塞が
微小隙間を残した閉位置及び全開位置の２位置に制御可
能となっている。本引きラインＢには、ストップバルブ
3b1，3b2が接続されるとともに、ターボ分子ポンプ等の
高真空排気用ポンプ２が接続されている。
は本考案の一実施例による真空排気装置の構成図を示
す。１はチェンバ内の粗引きを行うための粗引きポンプ
であって、ロータリーポンプ等が用いられる。またチェ
ンバ内には、薄膜の生成される基板等が載置される。チ
ェンバと粗引きポンプ１との間には、チェンバ内の粗引
きを行うための第１の真空引きライン（粗引きライン）
Ａと本引きを行うための第２の真空引きライン（本引き
ライン）Ｂとが接続され、これらにより排気系が構成さ
れている。粗引きラインＡには、ストップバルブ3aとバ
タフライ弁４とが直列に接続されて設けられている。ス
トップバルブ3aは、チェンバ及び粗引きポンプ１間の排
気路を全開又は全閉の２位置に制御可能となっている。
バタフライ弁４は、図示しない駆動装置により、閉塞が
微小隙間を残した閉位置及び全開位置の２位置に制御可
能となっている。本引きラインＢには、ストップバルブ
3b1，3b2が接続されるとともに、ターボ分子ポンプ等の
高真空排気用ポンプ２が接続されている。
次に、バタフライ弁４の駆動装置の一例を第２図に示
す。第２図は、市販のバタフライ弁のシリンダ部を改造
したものである。第２図（ａ）において、10は駆動装置
全体を示す。11はバタフライ弁４のシリンダ部であり、
その両端にはそれぞれエアの挿入口11a及び11bが設けら
れ、外部のコンプレッサ等の空気圧機器からエアが送り
込まれるようになっている。シリンダ部11内にはラック
・アンド・ピニオン12が装着されている。ラック12aの
両端には受圧面を有する部材13及び14が固定されてお
り、前記空気圧機器からのエアを受けることにより、ラ
ック全体がシリンダの長手方向に移動自在となってい
る。ピニオン12bは回転自在に軸支された軸12cに固定さ
れており、その軸12cの一端はシリンダ部11に固定さ
れ、他端にはバタフライ弁４が固定されている（第２図
（ｂ）参照）。バタフライ弁４はピニオン12bの回転に
呼応して回動し、排気路Ａを連通または遮断するように
なってる（第２図（ｂ）参照）。またシリンダ部11の一
端にはアジャスタネジ15が装着されており、シリンダ部
11内への突出長さを調節できるようになっている。そし
てこのネジの調節によりラックの右方向（第２図（ａ）
参照）の停止位置を調整でき、これによりバタフライ弁
４の閉位置における微小隙間を調節できるようになって
いる。
す。第２図は、市販のバタフライ弁のシリンダ部を改造
したものである。第２図（ａ）において、10は駆動装置
全体を示す。11はバタフライ弁４のシリンダ部であり、
その両端にはそれぞれエアの挿入口11a及び11bが設けら
れ、外部のコンプレッサ等の空気圧機器からエアが送り
込まれるようになっている。シリンダ部11内にはラック
・アンド・ピニオン12が装着されている。ラック12aの
両端には受圧面を有する部材13及び14が固定されてお
り、前記空気圧機器からのエアを受けることにより、ラ
ック全体がシリンダの長手方向に移動自在となってい
る。ピニオン12bは回転自在に軸支された軸12cに固定さ
れており、その軸12cの一端はシリンダ部11に固定さ
れ、他端にはバタフライ弁４が固定されている（第２図
（ｂ）参照）。バタフライ弁４はピニオン12bの回転に
呼応して回動し、排気路Ａを連通または遮断するように
なってる（第２図（ｂ）参照）。またシリンダ部11の一
端にはアジャスタネジ15が装着されており、シリンダ部
11内への突出長さを調節できるようになっている。そし
てこのネジの調節によりラックの右方向（第２図（ａ）
参照）の停止位置を調整でき、これによりバタフライ弁
４の閉位置における微小隙間を調節できるようになって
いる。
次に、動作について説明する。
粗引き前においては、粗引きポンプ１及び高真空排気用
ポンプ２を、既に立ち上げが完了した定常運転状態とし
ておく。また、ストップバルブ3a,3b1及び3b2は全閉状
態としておき、バタフライ弁４は駆動装置により閉位
置、即ち微小隙間が生じる状態としておく。そして、チ
ェンバ内を真空排気する場合は、まず粗引きラインＡを
用いて粗引き行い、その後本引きラインＢを用いて本引
きを行う。また粗引きを行う場合は、最初にスロー粗引
きを行う。
ポンプ２を、既に立ち上げが完了した定常運転状態とし
ておく。また、ストップバルブ3a,3b1及び3b2は全閉状
態としておき、バタフライ弁４は駆動装置により閉位
置、即ち微小隙間が生じる状態としておく。そして、チ
ェンバ内を真空排気する場合は、まず粗引きラインＡを
用いて粗引き行い、その後本引きラインＢを用いて本引
きを行う。また粗引きを行う場合は、最初にスロー粗引
きを行う。
前記スロー粗引き時においては、ストップバルブ3aを全
開状態とする。すると、粗引きポンプ１により、粗引き
ラインＡを通じてチェンバ内の真空粗引きが行われる。
開状態とする。すると、粗引きポンプ１により、粗引き
ラインＡを通じてチェンバ内の真空粗引きが行われる。
次にストップバルブ3aを全開にした状態で、駆動装置に
よりバタフライ弁４を全開位置にする。すると、粗引き
ポンプ１により、粗引きラインＡを通じてチェンバ内の
真空引きが行われる。このように、２段階にわたって粗
引きを行った後、本引きを行う。
よりバタフライ弁４を全開位置にする。すると、粗引き
ポンプ１により、粗引きラインＡを通じてチェンバ内の
真空引きが行われる。このように、２段階にわたって粗
引きを行った後、本引きを行う。
本引き時においては、まずストップバルブ3aを全閉状態
にするとともに、バタフライ弁４を閉位置にする。そし
てストップバルブ3b1及び3b2を全開状態におく。する
と、粗引きポンプ１及び高真空排気用ポンプ２により、
本引きラインＢを通じてチェンバ内の本引きが行われ
る。
にするとともに、バタフライ弁４を閉位置にする。そし
てストップバルブ3b1及び3b2を全開状態におく。する
と、粗引きポンプ１及び高真空排気用ポンプ２により、
本引きラインＢを通じてチェンバ内の本引きが行われ
る。
このような本実施例では、第１回目の粗引き時には、バ
タフライ弁は全閉とならず微小隙間を生じているため、
スロー粗引きを達成でき、チェンバ内のダストの舞い上
がりを防止できる。また、第２回目の粗引き時には、コ
ンダクタンスの非常に大きなバタフライ弁が全開となる
ので、排気速度の低下を招くことなく短時間で粗引き処
理を行うことができる。そしてこの際、第３図で示した
従来方式のようなバイパスラインが不要となり、２本の
真空引きラインにより排気系を構成することができ、こ
れにより装置全体の構造を簡単なものにすることができ
る。また、比較的安価なバタフライ弁を用いるので装置
全体を安価にすることができる。
タフライ弁は全閉とならず微小隙間を生じているため、
スロー粗引きを達成でき、チェンバ内のダストの舞い上
がりを防止できる。また、第２回目の粗引き時には、コ
ンダクタンスの非常に大きなバタフライ弁が全開となる
ので、排気速度の低下を招くことなく短時間で粗引き処
理を行うことができる。そしてこの際、第３図で示した
従来方式のようなバイパスラインが不要となり、２本の
真空引きラインにより排気系を構成することができ、こ
れにより装置全体の構造を簡単なものにすることができ
る。また、比較的安価なバタフライ弁を用いるので装置
全体を安価にすることができる。
なお、前記実施例ではバタフライ弁の駆動装置として第
２図（ａ）に示す構成を示したが、バタフライ弁を駆動
する構成はこれに限定されるものではない。
２図（ａ）に示す構成を示したが、バタフライ弁を駆動
する構成はこれに限定されるものではない。
以上のように、この考案によれば、２本の真空引きライ
ンにより排気系を構成することができ、本引き排気路の
設置とことでチェンバの排気を確実ならしめ、またスト
ップ弁の介設によってチェンバの排気系形成を円滑に行
わせるとともに排気当初においては併設した排気路のス
トップ弁とバタフライ弁の作動によって、チェンバ内の
ダストなどが舞い上がらないよう排気することができ
る。しかも排気路構成を簡略にしてダストの舞上りを防
止しつつ迅速な排気特性を得ることができるという利点
を有する。また比較的安価なバタフライ弁を用いるので
装置全体を安価にすることができる効果がある。
ンにより排気系を構成することができ、本引き排気路の
設置とことでチェンバの排気を確実ならしめ、またスト
ップ弁の介設によってチェンバの排気系形成を円滑に行
わせるとともに排気当初においては併設した排気路のス
トップ弁とバタフライ弁の作動によって、チェンバ内の
ダストなどが舞い上がらないよう排気することができ
る。しかも排気路構成を簡略にしてダストの舞上りを防
止しつつ迅速な排気特性を得ることができるという利点
を有する。また比較的安価なバタフライ弁を用いるので
装置全体を安価にすることができる効果がある。
第１図は本考案の一実施例による真空排気装置を示す構
成図、第２図（ａ）はバタフライ弁の駆動装置の一例を
示す図、第２図（ｂ）は該駆動装置の一部を詳細に示す
図、第３図は従来の真空排気装置の一例を示す構成図、
第４図は従来の真空排気装置の他の例を示す構成図であ
る。 Ａ…粗引きライン、Ｂ…本引きライン、１…粗引きポン
プ、3a…ストップバルブ、４…バタフライ弁。
成図、第２図（ａ）はバタフライ弁の駆動装置の一例を
示す図、第２図（ｂ）は該駆動装置の一部を詳細に示す
図、第３図は従来の真空排気装置の一例を示す構成図、
第４図は従来の真空排気装置の他の例を示す構成図であ
る。 Ａ…粗引きライン、Ｂ…本引きライン、１…粗引きポン
プ、3a…ストップバルブ、４…バタフライ弁。
Claims (1)
- 【請求項１】チェンバ内を排気する排気路に対して、本
引き用真空ポンプと粗引き用真空ポンプをチェンバの側
から順に直列接続するとともにチェンバと本引き用真空
ポンプとの間及び両真空ポンプの間にそれぞれ排気路の
全開、全閉を行うストップ弁を接続した排気装置におい
て、前記チェンバと粗引き用真空ポンプとの間に前記排
気路とは別個の排気路を併設し、この併設排気路に排気
路の全開、全閉を行うストップ弁と、閉塞が微小隙間を
残す閉位置及び全開位置の２位置に制御可能なバタフラ
イ弁を接続するとともに前記バタフライ弁を閉位置と全
開位置に作動させる駆動手段を備えたことを特徴とする
真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988125044U JPH0719554Y2 (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988125044U JPH0719554Y2 (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0245136U JPH0245136U (ja) | 1990-03-28 |
| JPH0719554Y2 true JPH0719554Y2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=31375300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988125044U Expired - Lifetime JPH0719554Y2 (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719554Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5967619A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-17 | Kokusai Electric Co Ltd | 減圧容器を有する半導体製造装置の圧力制御装置 |
| JPH0815542B2 (ja) * | 1988-06-24 | 1996-02-21 | 富士通株式会社 | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
-
1988
- 1988-09-24 JP JP1988125044U patent/JPH0719554Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0245136U (ja) | 1990-03-28 |
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