JPH0815542B2 - 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 - Google Patents
制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法Info
- Publication number
- JPH0815542B2 JPH0815542B2 JP63156585A JP15658588A JPH0815542B2 JP H0815542 B2 JPH0815542 B2 JP H0815542B2 JP 63156585 A JP63156585 A JP 63156585A JP 15658588 A JP15658588 A JP 15658588A JP H0815542 B2 JPH0815542 B2 JP H0815542B2
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- JP
- Japan
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- decompression chamber
- exhaust
- valve
- gas
- pressure
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Lift Valve (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 大気圧状態の減圧室の気体を排気して減圧状態にする
機器及び減圧室の排気方法に関し、 減圧室から気体を排気する際にパーティクルの浮遊が
生じないように排気する気体の流量を自動的に変化させ
ることにより、排気初期の減圧室の室内圧の急激な変動
をなすくすことが可能な、制御機能付きバルブ及び減圧
室の排気方法の提供を目的とし、 減圧室の気体を排気するのに用いるバルブであって、
排気気体の排気量を規制する弁体と、該弁体の開閉を制
御する手段とを具備よう構成する。
機器及び減圧室の排気方法に関し、 減圧室から気体を排気する際にパーティクルの浮遊が
生じないように排気する気体の流量を自動的に変化させ
ることにより、排気初期の減圧室の室内圧の急激な変動
をなすくすことが可能な、制御機能付きバルブ及び減圧
室の排気方法の提供を目的とし、 減圧室の気体を排気するのに用いるバルブであって、
排気気体の排気量を規制する弁体と、該弁体の開閉を制
御する手段とを具備よう構成する。
本発明は、真空を利用する装置に係り、特に大気圧状
態の減圧室の気体を排気して減圧状態にする機器及び減
圧室の排気方法に関するものである。
態の減圧室の気体を排気して減圧状態にする機器及び減
圧室の排気方法に関するものである。
近年、真空を利用する装置において、大気圧状態の減
圧室の気体を排気して減圧状態にする場合に、パーティ
クルが浮遊しないように種々の異径オリフィスによる多
段排気を行うため、オリフィスの切り換え時点において
大きな圧力変動が生じる障害が発生し、更にこの減圧室
から排気する気体の配管系統に多くの継手を用いるため
にリークの発生する確率が高くなる障害が発生してい
る。
圧室の気体を排気して減圧状態にする場合に、パーティ
クルが浮遊しないように種々の異径オリフィスによる多
段排気を行うため、オリフィスの切り換え時点において
大きな圧力変動が生じる障害が発生し、更にこの減圧室
から排気する気体の配管系統に多くの継手を用いるため
にリークの発生する確率が高くなる障害が発生してい
る。
以上のように状況から減圧室からの排気に際して圧力
変動が生じない、配管系統にリークが発生しないように
することが可能な機器及び方法が要望されている。
変動が生じない、配管系統にリークが発生しないように
することが可能な機器及び方法が要望されている。
従来の減圧室の気体を廃棄するのに用いる機器及び排
気方法について第３図及び第４図により説明する。
気方法について第３図及び第４図により説明する。
減圧室10の排気系統に何も対策を講じないで減圧室10
内の空気を排気ポンプ11によって排気する場合、減圧室
10の室内圧は、第３図に点線にて示すような圧力変化を
する。
内の空気を排気ポンプ11によって排気する場合、減圧室
10の室内圧は、第３図に点線にて示すような圧力変化を
する。
この場合には、室内圧の急激な変化のためにパーティ
クルが浮遊する障害が発生する。
クルが浮遊する障害が発生する。
このため、従来の真空を用いる装置の減圧室の排気
は、第４図に示すような気体を多段排気により行う排気
方法を採用している。
は、第４図に示すような気体を多段排気により行う排気
方法を採用している。
大気圧状態の減圧室10内の気体を排気する場合には、
図に示すように排気側にそれぞれ異なる配管径を有する
複数の排気配管を設けて真空ポンプ11と接続し、それぞ
れの排気配管にニードルバルブ21,22,23を設け、まず第
３図にＡで示す期間には配管径の最も細いニードルバル
ブ21を開き、つぎに第３図にＢで示す期間にはニードル
バルブ21と配管径が中位のニードルバルブ22、更に第３
図にＣで示す期間にはニードルバルブ23を加えてニード
ルバルブ21,22,23のすべてを開く多段排気法によって減
圧室10の気体を排気している。
図に示すように排気側にそれぞれ異なる配管径を有する
複数の排気配管を設けて真空ポンプ11と接続し、それぞ
れの排気配管にニードルバルブ21,22,23を設け、まず第
３図にＡで示す期間には配管径の最も細いニードルバル
ブ21を開き、つぎに第３図にＢで示す期間にはニードル
バルブ21と配管径が中位のニードルバルブ22、更に第３
図にＣで示す期間にはニードルバルブ23を加えてニード
ルバルブ21,22,23のすべてを開く多段排気法によって減
圧室10の気体を排気している。
このように順次ニードルバルブを開いて排気量を増加
させてゆくと、第３図に一点鎖線にて示すように、開く
ニードルバルブを追加する度に減圧室10内の圧力が大き
く変動し、また、この減圧室から排気する気体の配管系
統に多くの継手を用いるためにリークの生じる確率が高
くなる障害が発生している。
させてゆくと、第３図に一点鎖線にて示すように、開く
ニードルバルブを追加する度に減圧室10内の圧力が大き
く変動し、また、この減圧室から排気する気体の配管系
統に多くの継手を用いるためにリークの生じる確率が高
くなる障害が発生している。
以上説明の従来の減圧室の気体を排気するのに用いる
機器及び方法ににおいては、ニードルバルブを追加して
開く度に減圧室内の圧力が大きく変動するという問題点
があり、また、この減圧室から排気する気体の配管系統
に多くの継手を用いるためにリークの生じる確率が高く
なる障害が発生するという問題点があった。
機器及び方法ににおいては、ニードルバルブを追加して
開く度に減圧室内の圧力が大きく変動するという問題点
があり、また、この減圧室から排気する気体の配管系統
に多くの継手を用いるためにリークの生じる確率が高く
なる障害が発生するという問題点があった。
本発明は以上のような状況から、減圧室から気体を排
気する際にパーティクルの浮遊が生じないように排気す
る気体の流量を自動的に変化させることにより、排気初
期の減圧室の室内圧の急激な変動をなくすことが可能
な、制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法の提供を
目的としたものである。
気する際にパーティクルの浮遊が生じないように排気す
る気体の流量を自動的に変化させることにより、排気初
期の減圧室の室内圧の急激な変動をなくすことが可能
な、制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法の提供を
目的としたものである。
本発明の制御機能付きバルブは、減圧室と真空ポンプ
との間に設けられるバルブであって、排気気体の入口及
び出口を備えた流路と、この流路における該排気気体の
排気量を規制する弁体と、この減圧室とこの真空ポンプ
の排気圧との圧力差によりこの弁体の開放状態を制御す
る手段と、この弁体の動作とは無関係に開放される排気
ポートとを具備するように構成し、本発明の減圧室の排
気方法は、上記の制御機能付きバルブによりこの弁体の
開放状態を制御し、この減圧室の排気速度を制御するよ
うに構成する。
との間に設けられるバルブであって、排気気体の入口及
び出口を備えた流路と、この流路における該排気気体の
排気量を規制する弁体と、この減圧室とこの真空ポンプ
の排気圧との圧力差によりこの弁体の開放状態を制御す
る手段と、この弁体の動作とは無関係に開放される排気
ポートとを具備するように構成し、本発明の減圧室の排
気方法は、上記の制御機能付きバルブによりこの弁体の
開放状態を制御し、この減圧室の排気速度を制御するよ
うに構成する。
室内の気体を排気する場合のパーティクルの浮遊の物
理的条件は、パーティクルの付着力をρ、排気圧力をＰ
とすると、ρ＞Ｐの場合はパーティクルが浮遊しない。
理的条件は、パーティクルの付着力をρ、排気圧力をＰ
とすると、ρ＞Ｐの場合はパーティクルが浮遊しない。
つまり排気の初期から完了迄の間にこの条件が維持で
きれば、パーティクルの浮遊を防止することが可能とな
る。
きれば、パーティクルの浮遊を防止することが可能とな
る。
本発明においては、排気気体の排気量を規制する弁体
と、この弁体の開閉の度合いを制御する手段とを具備す
る制御機能付きバルブを用いてこの弁体の開閉の度合い
の制御を行うので、上記の条件を満足する状態で、この
減圧室の気体を排気初期の室内圧の急激な変動をなくし
て排気することが可能となる。
と、この弁体の開閉の度合いを制御する手段とを具備す
る制御機能付きバルブを用いてこの弁体の開閉の度合い
の制御を行うので、上記の条件を満足する状態で、この
減圧室の気体を排気初期の室内圧の急激な変動をなくし
て排気することが可能となる。
以下第１図〜第３図について本発明の一実施例を説明
する。
する。
第１図は本発明による一実施例の自己制御型バルブの
動作状態を示している。
動作状態を示している。
第２図は本発明による一実施例の減圧室の排気方法を
示しており、減圧室10には第１図の自己制御型バルブ及
びバルブ11aが接続され、バルブ11aには真空ポンプ11が
接続されている。
示しており、減圧室10には第１図の自己制御型バルブ及
びバルブ11aが接続され、バルブ11aには真空ポンプ11が
接続されている。
減圧室10の室内圧が大気圧で未だ真空ポンプ11が作動
していない場合には、第１図（ａ）に示すように弁体２
はスプリング４により弁座１から離れている。
していない場合には、第１図（ａ）に示すように弁体２
はスプリング４により弁座１から離れている。
真空ポンプ11が作動して排気が始まる排気初期の状態
では、第１図（ｂ）に示すように圧力差がスプリング３
の圧縮力よりも大なる間は、弁体２が弁座１と接触して
弁座１と弁体２との間隔が零となり、小口径のポート1a
を通る気体のみが徐々に排気される。
では、第１図（ｂ）に示すように圧力差がスプリング３
の圧縮力よりも大なる間は、弁体２が弁座１と接触して
弁座１と弁体２との間隔が零となり、小口径のポート1a
を通る気体のみが徐々に排気される。
減圧室10の室内圧が低下する排気中期の状態では、第
１図（ｃ）に示すようにスプリング３の圧縮力が弁体２
の両側の圧力差よりも大になると、弁体２が弁座１から
徐々に離れ始め、その間隔が増加し始める。
１図（ｃ）に示すようにスプリング３の圧縮力が弁体２
の両側の圧力差よりも大になると、弁体２が弁座１から
徐々に離れ始め、その間隔が増加し始める。
弁体２の両側の圧力差が殆どなくなる排気後期の状態
では、第１図（ａ）の状態と同様になり弁体２はスプリ
ング３により弁座１から離れ、弁体２と弁座１との間隔
は最大となる。
では、第１図（ａ）の状態と同様になり弁体２はスプリ
ング３により弁座１から離れ、弁体２と弁座１との間隔
は最大となる。
このように減圧室10の室内圧と弁座１の真空ポンプ11
の側の圧力との差と、スプリング３の圧縮力との相対関
係により自己制御が行われ、減圧室10の中の気体を排気
初期における圧力の急激な変動が起こらぬように、連続
的に排気することが可能となる。
の側の圧力との差と、スプリング３の圧縮力との相対関
係により自己制御が行われ、減圧室10の中の気体を排気
初期における圧力の急激な変動が起こらぬように、連続
的に排気することが可能となる。
このような制御機能付きバルブを用いて減圧室10の中
の気体を排気すると、第３図に実線にて示す逆Ｓ字形の
排気曲線のように、室内圧の初期の圧力の降下が非常に
小さく、一定時間経過後や中期には急速に室内圧が下降
し、後期には緩やかに室内圧を変化させる排気を行うこ
とが可能となる。
の気体を排気すると、第３図に実線にて示す逆Ｓ字形の
排気曲線のように、室内圧の初期の圧力の降下が非常に
小さく、一定時間経過後や中期には急速に室内圧が下降
し、後期には緩やかに室内圧を変化させる排気を行うこ
とが可能となる。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、簡単
な構造の制御機能付きバルブを減圧室の排気配管に接続
して配設するので、排気初期にはパーティクルの浮遊が
生じないようにすることができ、排気中期には減圧室の
室内圧を急速に降下させることができ、排気後期には室
内圧を緩やかに変化させて排気を行うことが可能となる
等の利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上の効果
が期待でき工業的には極めて有用なものである。
な構造の制御機能付きバルブを減圧室の排気配管に接続
して配設するので、排気初期にはパーティクルの浮遊が
生じないようにすることができ、排気中期には減圧室の
室内圧を急速に降下させることができ、排気後期には室
内圧を緩やかに変化させて排気を行うことが可能となる
等の利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上の効果
が期待でき工業的には極めて有用なものである。
第１図は本発明による一実施例の制御機能付きバルブの
動作状態を示す側断面図、 第２図は本発明による一実施例の減圧室の排気方法を示
す図、 第３図は減圧室の室内圧の推移を示す図、 第４図は従来の減圧室の排気方法を示す図、 である。 図において、 １は弁座、 1aはポート、 ２は弁体、 ３はスプリング、 ４はスプリング、 ５は油圧制御器、 ６はシリンダ、 ７ピストン、 ８弁体、 ９弁座、 10は減圧室、 11は真空ポンプ、 11aはバルブ、 を示す。
動作状態を示す側断面図、 第２図は本発明による一実施例の減圧室の排気方法を示
す図、 第３図は減圧室の室内圧の推移を示す図、 第４図は従来の減圧室の排気方法を示す図、 である。 図において、 １は弁座、 1aはポート、 ２は弁体、 ３はスプリング、 ４はスプリング、 ５は油圧制御器、 ６はシリンダ、 ７ピストン、 ８弁体、 ９弁座、 10は減圧室、 11は真空ポンプ、 11aはバルブ、 を示す。
Claims (2)
- 【請求項１】減圧室と真空ポンプとの間に設けられるバ
ルブであって、 排気気体の入口及び出口を備えた流路と、 該流路における該排気気体の排気量を規制する弁体と、 該減圧室と該真空ポンプの排気圧との圧力差により該弁
体の開放状態を制御する手段と、 該弁体の動作とは無関係に開放される排気ポートと、 を具備することを特徴とする制御機能付きバルブ。 - 【請求項２】請求項１記載の制御機能付きバルブにより
前記弁体の開放状態を制御し、前記減圧室の排気速度を
制御することを特徴とする減圧室の排気方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156585A JPH0815542B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63156585A JPH0815542B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026835A JPH026835A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH0815542B2 true JPH0815542B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=15630982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63156585A Expired - Lifetime JPH0815542B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 制御機能付きバルブ及び減圧室の排気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815542B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0719554Y2 (ja) * | 1988-09-24 | 1995-05-10 | 株式会社島津製作所 | 真空排気装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0451861Y2 (ja) * | 1986-04-30 | 1992-12-07 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP63156585A patent/JPH0815542B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH026835A (ja) | 1990-01-11 |
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