JPS58145380A - 電子ビ−ム溶接機真空排気システム - Google Patents

電子ビ−ム溶接機真空排気システム

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Publication number
JPS58145380A
JPS58145380A JP3010782A JP3010782A JPS58145380A JP S58145380 A JPS58145380 A JP S58145380A JP 3010782 A JP3010782 A JP 3010782A JP 3010782 A JP3010782 A JP 3010782A JP S58145380 A JPS58145380 A JP S58145380A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
booster pump
mechanical booster
absorber
vacuum valve
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3010782A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaru Manabe
真鍋 勝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP3010782A priority Critical patent/JPS58145380A/ja
Publication of JPS58145380A publication Critical patent/JPS58145380A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00Electron-beam welding or cutting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、2ステーシヨン、4ステーシヨン等のサイ
クルタイムの短かい多源生産型の電子ビーム浴接1幾の
真空排気システムに関するものである。
第1図は従来の電子ビーム溶接機真空排気システムを示
す系統図であり、図において、11)は被溶接物(図示
せず)を収納する溶接室、(2)は真空バルブ、(3)
はメカニカルブースタポンプ5(4)は油回転ポンプ、
(5)はメカニカルブースタポンプ(3)の駆動開始圧
力(数10 Torr )を検出するための真空スイッ
チ、(6〕は溶接室11)に空気を流入するためのリー
クバルブである。
従来の排気システムは上記のように1薄成され。
まず真空バルブ(2)を閉じ、次に油回転ポンプ(4)
を動作させて真空バルブ(2)と油回転ポンプ(4)間
を真空引きする。真空引きを続けていくとメカニカルブ
ースタポンプ(3)の駆動開始圧力(数10 Torr
 )に設定されている真空スイッチ−が作動する。その
動作によりメカニカルブースタポンプ(3)がa作開始
する。それらと平行して溶接室口)内に被溶接物(図示
せず)を搬入し溶接室扉(図示せず)を閉じる。溶接室
扉を閉じた後、真空バルブ(2)を開いて溶接室11)
内を真空引きする。溶接室+i)内が所定の圧力まで真
空排気が完了すると電子ビーム(図示せず)を照射し溶
接する。溶接が完了すると真空バルブ(2)を閉じリー
クバルブ(6)を開いて溶接室(1)内に空気を流入さ
せ被溶接物(図示せず)を浴接室11)からとり出す。
上記の工程で真空バルブ(2)を開いた時、溶接室11
)内の空気(圧カフ60 Torr)がメカニカルブー
スタポンプ(3)内に流入することになる。その流入空
気によりメカニカルブースタポンプ(3)の吸込側の圧
力がm動開始圧力(数10 Torr )以上になり、
メカニカルブースタポンプ(3)が過負荷になりメカニ
カルブースタポンプ(2)駆動用モータ(図示せず)の
異常発熱による焼損、メカニカルブースタポンプ(2)
の回転軸(図示せず)の破損等の原因になり安定かつ長
時間連続運転できないという欠点があった。
この発明は、上記のような従来のもの\欠点を隠去する
ためになされたもので真空バルブとメカニカルブースタ
ポンプの間にアブソーバを配設すルコトによりメカニカ
ルブースタポンプが過負荷になることを防止して円滑に
動作する真空排気システムを得ることを目的とするもの
である。
第2図はこの発明の一実施例を示す電子ビーム溶接機真
空排気システムの系統図であり、11)〜(6)は上記
従来装置と全く同一のものである。
(7)は真空バルブ(2)とメカニカルブースタポンプ
(3)の間に取り付けられたアブソーバである。
上記のように楯成された排気システムにおいては、真空
バルブ(2)を開いた時、溶接室(1)内の空気(圧カ
フ60 Torr)がメカニカルブースタポンプ(3)
に流入する。
ところが、真空バルブ(11)を開く前まで、すなわち
溶接室(1)内に被溶接物(図示せず)をセットし。
溶接室鱒(図示せず)を閉じるとか、溶接が完了した被
溶接物を溶接室(1)から取り出している間に。
真空バルブ(2)とメカニカルブースタポンプ(3)間
およびアブソーバ(7)内は約0.01 Torr前後
の圧力まで^空排気されている。よってアブソーバ(7
)の容量を適当に選定すれば、溶接室+11内から流入
した空気がアブソーバ(7)により減圧される。
その減圧後の圧力をメカニカルブースタポンプ(3)の
l111!1動開始圧力(数10 Torr )以下に
なるようにアブソーバ(7)の容積を選定すればメカニ
カルブースタポンプ(3)が過負荷になることなく安定
した動作を得ることができる。
なお上記実施例では、真空バルブ(2)とメカニカルブ
ースタポンプ(3)間にアブソーバ(7)を備えたが。
第8図のように真空バルブ(2)とメカニカルブースタ
ポンプ(3)間の配管容積を大きく取り、アブソーバ(
7)の機能をもたしたものでも同様の効果が期待できる
この発明は以上説明したとうり、真空バルブとメカニカ
ルブースタポンプ間にアブソーバを取り付けるという簡
単な構造により、メカニカルブースタポンプの過負荷を
防止し安定かつ長時間連続運転することができるという
効果がある。
【図面の簡単な説明】
41図は従来の電子ビーム溶接機真空排気システムを示
す系統図、第2図、第8図はこの発明の各実施例を示す
′tに子ビーム溶接機真空排気システム系統(4である
。 図において(1)は溶接室、(2)は真空バルブ、(3
)はメカニカルブースタポンプ%(4)は油回転ポンプ
、(6)はアブソーバである。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人  葛 野 信 − 第1図 第2図 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被溶接物を収納し真空引きされる溶接室、この病接室を
    真空引きするために直列に接続された真空バルブとメカ
    ニカルブ−スタポンプと油回転ポン接礪真空排気システ
    ム。
JP3010782A 1982-02-24 1982-02-24 電子ビ−ム溶接機真空排気システム Pending JPS58145380A (ja)

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JP3010782A JPS58145380A (ja) 1982-02-24 1982-02-24 電子ビ−ム溶接機真空排気システム

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JP3010782A JPS58145380A (ja) 1982-02-24 1982-02-24 電子ビ−ム溶接機真空排気システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58145380A true JPS58145380A (ja) 1983-08-30

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ID=12294548

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3010782A Pending JPS58145380A (ja) 1982-02-24 1982-02-24 電子ビ−ム溶接機真空排気システム

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JP (1) JPS58145380A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61167197A (ja) * 1985-01-18 1986-07-28 Mitsubishi Electric Corp 真空処理装置
JPS61175296A (ja) * 1985-01-30 1986-08-06 Mitsubishi Electric Corp 電子ビ−ム溶接装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61167197A (ja) * 1985-01-18 1986-07-28 Mitsubishi Electric Corp 真空処理装置
JPS61175296A (ja) * 1985-01-30 1986-08-06 Mitsubishi Electric Corp 電子ビ−ム溶接装置

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