JP2000292301A - 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 - Google Patents
漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法Info
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- JP2000292301A JP2000292301A JP11094376A JP9437699A JP2000292301A JP 2000292301 A JP2000292301 A JP 2000292301A JP 11094376 A JP11094376 A JP 11094376A JP 9437699 A JP9437699 A JP 9437699A JP 2000292301 A JP2000292301 A JP 2000292301A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 漏れ検査装置の校正をするためのリーク基準
器の残留トレーサガスを容易に除去することができる漏
れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法を提供する。 【解決手段】 被検査ワーク７が内部に設置されるチャ
ンバ６と、チャンバ６に接続されたトレーサガス検出器
１と、チャンバ６内を真空にする第１の真空ポンプ５
と、被検査ワーク７内にトレーサガスを充填するトレー
サガス供給源と、チャンバ６に接続されチャンバ６の漏
れを校正するリーク基準器１１と、リーク基準器１１に
接続されクリーニングガスをリーク基準器１１に供給す
るクリーニングガス供給手段と、クリーニングガスをリ
ーク基準器１１から排出する排出手段と、を有する。
器の残留トレーサガスを容易に除去することができる漏
れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法を提供する。 【解決手段】 被検査ワーク７が内部に設置されるチャ
ンバ６と、チャンバ６に接続されたトレーサガス検出器
１と、チャンバ６内を真空にする第１の真空ポンプ５
と、被検査ワーク７内にトレーサガスを充填するトレー
サガス供給源と、チャンバ６に接続されチャンバ６の漏
れを校正するリーク基準器１１と、リーク基準器１１に
接続されクリーニングガスをリーク基準器１１に供給す
るクリーニングガス供給手段と、クリーニングガスをリ
ーク基準器１１から排出する排出手段と、を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、漏れ検査装置及び
漏れ検査装置の校正方法に関し、特に漏れをトレーサガ
スを使用して検査する漏れ検査装置の校正をするための
リーク基準器の残留トレーサガスの除去を容易且つ迅速
にすることができる漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校
正方法に関する。
漏れ検査装置の校正方法に関し、特に漏れをトレーサガ
スを使用して検査する漏れ検査装置の校正をするための
リーク基準器の残留トレーサガスの除去を容易且つ迅速
にすることができる漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校
正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、中空被検査品を検査するための漏
れ検査装置が知られている。図６は従来の漏れ検査装置
を示す模式図である。
れ検査装置が知られている。図６は従来の漏れ検査装置
を示す模式図である。
【０００３】図６に示すように、従来の漏れ検査装置に
おいては、チャンバ１０５に被検査ワーク１０６が設置
されている。この被検査ワーク１０６のトレーサガス供
給口（図示せず）にカプラ１０７が接続され、このカプ
ラ１０７にはトレーサガス導入用配管１０３が接続され
ている。このトレーサガス導入用配管１０３はチャンバ
１０５の外に設けられているバルブ１０８に接続されて
いる。このバルブ１０８はトレーサガス供給系と接続さ
れている。また、チャンバ１０５にはセンシングバルブ
１０１を介してトレーサガス検出器１００が接続されて
いる。更に、チャンバ１０５には粗引きバルブ１０２を
介して粗引き系の真空ポンプ１０４が接続されている。
このチャンバ１０５はバルブ１０９を介してリーク基準
器１１０が接続されている。このリーク基準器１１０に
は１次側バルブ１１１を介してトレーサガス供給系（図
示せず）が接続されている。
おいては、チャンバ１０５に被検査ワーク１０６が設置
されている。この被検査ワーク１０６のトレーサガス供
給口（図示せず）にカプラ１０７が接続され、このカプ
ラ１０７にはトレーサガス導入用配管１０３が接続され
ている。このトレーサガス導入用配管１０３はチャンバ
１０５の外に設けられているバルブ１０８に接続されて
いる。このバルブ１０８はトレーサガス供給系と接続さ
れている。また、チャンバ１０５にはセンシングバルブ
１０１を介してトレーサガス検出器１００が接続されて
いる。更に、チャンバ１０５には粗引きバルブ１０２を
介して粗引き系の真空ポンプ１０４が接続されている。
このチャンバ１０５はバルブ１０９を介してリーク基準
器１１０が接続されている。このリーク基準器１１０に
は１次側バルブ１１１を介してトレーサガス供給系（図
示せず）が接続されている。
【０００４】次に、従来の漏れ検査方法について図６に
基づいて説明する。先ず、チャンバ１０５内に被検査ワ
ーク１０６を置き、カプラ１０７を繋いでバルブ１０８
を介してトレーサガス供給系に接続する。チャンバ１０
５は被検査ワーク１０６をセットした後、密閉して粗引
きバルブ１０２を開いて真空引きする。一方、被検査ワ
ーク１０６はバルブ１０８を介してトレーサガス供給系
により、規定圧力のトレーサガスとして、例えば、Ｈｅ
ガスを供給する。このトレーサガス供給系の操作と並行
して、チャンバ１０５が所定の圧力になった時点で、粗
引きバルブ１０２を閉め（場合によっては、開のま
ま）、センシングバルブ１０１を開けて、トレーサガス
検出器１００（トレーサガスがＨｅの場合には、Ｈｅリ
ークディテクター）へ繋げ、チャンバ１０５内の残留ガ
ス成分の内のトレーサガス成分の有無又は漏れ量率（以
下、リークレートという。）を調べて、被検査ワーク１
０６の合否判定をするものである。
基づいて説明する。先ず、チャンバ１０５内に被検査ワ
ーク１０６を置き、カプラ１０７を繋いでバルブ１０８
を介してトレーサガス供給系に接続する。チャンバ１０
５は被検査ワーク１０６をセットした後、密閉して粗引
きバルブ１０２を開いて真空引きする。一方、被検査ワ
ーク１０６はバルブ１０８を介してトレーサガス供給系
により、規定圧力のトレーサガスとして、例えば、Ｈｅ
ガスを供給する。このトレーサガス供給系の操作と並行
して、チャンバ１０５が所定の圧力になった時点で、粗
引きバルブ１０２を閉め（場合によっては、開のま
ま）、センシングバルブ１０１を開けて、トレーサガス
検出器１００（トレーサガスがＨｅの場合には、Ｈｅリ
ークディテクター）へ繋げ、チャンバ１０５内の残留ガ
ス成分の内のトレーサガス成分の有無又は漏れ量率（以
下、リークレートという。）を調べて、被検査ワーク１
０６の合否判定をするものである。
【０００５】次に、チャンバ１０５の校正は被検査ワー
ク１０６をチャンバ１０５内にセットせずに密閉し、被
検査ワーク１０６に代わりにバルブ１０９を開けてリー
ク基準器１１０に接続した状態で上述の工程と同様に粗
引きバルブ１０２を開き、同様にリーク基準器１１０の
１次側バルブ１１１を介してトレーサガス供給系（図示
せず）に接続し、同様にリーク基準器１１０により漏れ
検査装置の校正を行う。
ク１０６をチャンバ１０５内にセットせずに密閉し、被
検査ワーク１０６に代わりにバルブ１０９を開けてリー
ク基準器１１０に接続した状態で上述の工程と同様に粗
引きバルブ１０２を開き、同様にリーク基準器１１０の
１次側バルブ１１１を介してトレーサガス供給系（図示
せず）に接続し、同様にリーク基準器１１０により漏れ
検査装置の校正を行う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図６に示す従
来の漏れ検査装置においては、リーク基準器１１０によ
る漏れ検査装置の校正が行われた後、リーク基準器１１
０内の残留トレーサガスを抜くために、バルブ１０９を
開けて、漏れ検査装置全体を一旦真空排気すると共に、
トレーサガス供給系も１次側バルブ１１１を開けて一旦
真空排気し、その後１次側バルブ１１１を閉じる。しか
しながら、バルブ１１１、１０９は常に完全に気密を保
つことが難しく、気密が不完全で漏れが発生した場合に
被検査ワーク１０６の検査中にチャンバ１０５内に高濃
度のトレーサガスが流入し、被検査ワーク１０６に漏れ
がない場合でも、トレーサガス検出器１００がトレーサ
ガスを検出して、漏れがあると誤判断してしまう虞があ
るという問題点がある。
来の漏れ検査装置においては、リーク基準器１１０によ
る漏れ検査装置の校正が行われた後、リーク基準器１１
０内の残留トレーサガスを抜くために、バルブ１０９を
開けて、漏れ検査装置全体を一旦真空排気すると共に、
トレーサガス供給系も１次側バルブ１１１を開けて一旦
真空排気し、その後１次側バルブ１１１を閉じる。しか
しながら、バルブ１１１、１０９は常に完全に気密を保
つことが難しく、気密が不完全で漏れが発生した場合に
被検査ワーク１０６の検査中にチャンバ１０５内に高濃
度のトレーサガスが流入し、被検査ワーク１０６に漏れ
がない場合でも、トレーサガス検出器１００がトレーサ
ガスを検出して、漏れがあると誤判断してしまう虞があ
るという問題点がある。
【０００７】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、トレーサガスを使用して漏れを検査する漏
れ検査装置の校正をするためのリーク基準器の残留トレ
ーサガスを容易に除去することができる漏れ検査装置及
び漏れ検査装置の校正方法を提供することを目的とす
る。
のであって、トレーサガスを使用して漏れを検査する漏
れ検査装置の校正をするためのリーク基準器の残留トレ
ーサガスを容易に除去することができる漏れ検査装置及
び漏れ検査装置の校正方法を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る漏れ検査装
置は、被検査ワークが内部に設置されるチャンバと、前
記チャンバに接続されたトレーサガス検出器と、前記チ
ャンバ内を真空にする第１の真空ポンプと、前記被検査
ワーク内にトレーサガスを充填するトレーサガス供給源
と、前記チャンバに接続され前記チャンバの漏れを校正
するリーク基準器と、前記リーク基準器に接続されクリ
ーニングガスを前記リーク基準器に供給するクリーニン
グガス供給手段と、前記クリーニングガスを前記リーク
基準器から排出する排出手段と、を有することを特徴と
する。例えば、トレーサガスは、Ｈｅガスであり、例え
ば、クリーニングガスは、Ｎ2ガス、ＣＯ2ガス、Ｏ2ガ
ス又は空気である。
置は、被検査ワークが内部に設置されるチャンバと、前
記チャンバに接続されたトレーサガス検出器と、前記チ
ャンバ内を真空にする第１の真空ポンプと、前記被検査
ワーク内にトレーサガスを充填するトレーサガス供給源
と、前記チャンバに接続され前記チャンバの漏れを校正
するリーク基準器と、前記リーク基準器に接続されクリ
ーニングガスを前記リーク基準器に供給するクリーニン
グガス供給手段と、前記クリーニングガスを前記リーク
基準器から排出する排出手段と、を有することを特徴と
する。例えば、トレーサガスは、Ｈｅガスであり、例え
ば、クリーニングガスは、Ｎ2ガス、ＣＯ2ガス、Ｏ2ガ
ス又は空気である。
【０００９】本発明においては、漏れ試験装置における
前記リーク基準器には、更に第２の真空ポンプが接続さ
れていることが好ましい。
前記リーク基準器には、更に第２の真空ポンプが接続さ
れていることが好ましい。
【００１０】また、本発明においては、前記クリーニン
グガス供給手段は、可変リークバルブを介して接続され
ていることが好ましい。
グガス供給手段は、可変リークバルブを介して接続され
ていることが好ましい。
【００１１】更に、本発明においては、前記可変リーク
バルブには、並列してバルブが接続されていることが好
ましい。
バルブには、並列してバルブが接続されていることが好
ましい。
【００１２】本発明に係る漏れ検査の校正方法は、前記
リーク基準器の１次側及び２次側の少なくとも一方へ、
トレーサガスを含まないクリーニングガスを流入させる
工程と、前記リーク基準器の前記クリーニングガスを流
入させた側からクリーニングガスを排出する工程と、を
有することを特徴とする。
リーク基準器の１次側及び２次側の少なくとも一方へ、
トレーサガスを含まないクリーニングガスを流入させる
工程と、前記リーク基準器の前記クリーニングガスを流
入させた側からクリーニングガスを排出する工程と、を
有することを特徴とする。
【００１３】本発明におていては、前記クリーニングガ
スを連続的又は間欠的に流入及び排出することが好まし
い。
スを連続的又は間欠的に流入及び排出することが好まし
い。
【００１４】また、本発明においては、前記クリーニン
グガスは、差圧をつけて流すことが好ましい。例えば、
真空ポンプ又は圧縮ガスによりクリーニングガスを流す
ことができる。
グガスは、差圧をつけて流すことが好ましい。例えば、
真空ポンプ又は圧縮ガスによりクリーニングガスを流す
ことができる。
【００１５】本発明においては、チャンバに接続されチ
ャンバ内への漏れを校正するリーク基準器と、リーク基
準器に接続されクリーニングガスをリーク基準器に供給
するクリーニングガス供給手段とを設けることにより、
バルブに多少の漏れがあっても、バルブの１次側は低圧
力で極微量のトレーサガスの濃度に保たれており、バル
ブの気密性が損なわれても検査への影響は極めて少なく
抑えることができる。
ャンバ内への漏れを校正するリーク基準器と、リーク基
準器に接続されクリーニングガスをリーク基準器に供給
するクリーニングガス供給手段とを設けることにより、
バルブに多少の漏れがあっても、バルブの１次側は低圧
力で極微量のトレーサガスの濃度に保たれており、バル
ブの気密性が損なわれても検査への影響は極めて少なく
抑えることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について添
付の図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の第
１実施例に係る漏れ検査装置を示す模式図である。図２
は本発明の第１実施例に係る漏れ検査方法を示すフロー
チャート図である。
付の図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の第
１実施例に係る漏れ検査装置を示す模式図である。図２
は本発明の第１実施例に係る漏れ検査方法を示すフロー
チャート図である。
【００１７】本実施例の漏れ検査装置においては、チャ
ンバ６に被検査ワーク７が設置されている。この被検査
ワーク７にはトレーサガス供給口（図示せず）にカプラ
８が接続され、このカプラ８にはトレーサガス導入用配
管２１が接続されている。このトレーサガス導入用配管
２１はチャンバ６の外に設けられているバルブ９に接続
されている。このバルブ９はトレーサガス供給系又はト
レーサガス供給源と接続されている。また、チャンバ６
にはセンシングバルブ２を介してトレーサガス検出器１
に接続されている。更に、粗引きバルブ３を介して粗引
き系の真空ポンプ５が接続されている。更に、チャンバ
６にはバルブ１０を介してリーク基準器１１が接続さ
れ、このリーク基準器１１は１次側バルブ１２を介して
トレーサガスボンベ１８と接続されている。リーク基準
器１１と１次側バルブ１２との間にはバルブ４が設けら
れている。バルブ１０とリーク基準器１１の２次側との
間にはバルブ１４と、バルブ１３とが接続されている。
このバルブ１３にはクリーニングガス供給手段であるク
リーニングガスボンベ１９が接続されている。また、バ
ルブ１４にはクリーニングガスを排出させる排出口２０
が設けられている。
ンバ６に被検査ワーク７が設置されている。この被検査
ワーク７にはトレーサガス供給口（図示せず）にカプラ
８が接続され、このカプラ８にはトレーサガス導入用配
管２１が接続されている。このトレーサガス導入用配管
２１はチャンバ６の外に設けられているバルブ９に接続
されている。このバルブ９はトレーサガス供給系又はト
レーサガス供給源と接続されている。また、チャンバ６
にはセンシングバルブ２を介してトレーサガス検出器１
に接続されている。更に、粗引きバルブ３を介して粗引
き系の真空ポンプ５が接続されている。更に、チャンバ
６にはバルブ１０を介してリーク基準器１１が接続さ
れ、このリーク基準器１１は１次側バルブ１２を介して
トレーサガスボンベ１８と接続されている。リーク基準
器１１と１次側バルブ１２との間にはバルブ４が設けら
れている。バルブ１０とリーク基準器１１の２次側との
間にはバルブ１４と、バルブ１３とが接続されている。
このバルブ１３にはクリーニングガス供給手段であるク
リーニングガスボンベ１９が接続されている。また、バ
ルブ１４にはクリーニングガスを排出させる排出口２０
が設けられている。
【００１８】本実施例における漏れ検査及び漏れ検査校
正方法について、図２を参照して詳細に説明する。
正方法について、図２を参照して詳細に説明する。
【００１９】漏れ検査は、図２に示すように、先ず、チ
ャンバ６内に被検査ワーク７を置き、トレーサガス導入
用配管２１の先端のカプラ８を被検査ワーク７のトレー
サガス供給口に接続し、チャンバ６の扉を閉めて密閉状
態にする（ステップＳ１）。
ャンバ６内に被検査ワーク７を置き、トレーサガス導入
用配管２１の先端のカプラ８を被検査ワーク７のトレー
サガス供給口に接続し、チャンバ６の扉を閉めて密閉状
態にする（ステップＳ１）。
【００２０】次に、粗引き系の真空ポンプ５は予め稼動
状態にしておく。そして、粗引きバルブ３を開けてチャ
ンバ６内を所定の圧力まで真空引きした状態で粗引きバ
ルブ３を閉じる（ステップＳ２）と共に、同時にトレー
サガス供給系のバルブ９を開けて、被検査ワーク７内の
空気を所定の圧力まで真空引きする（ステップＳ３）。
状態にしておく。そして、粗引きバルブ３を開けてチャ
ンバ６内を所定の圧力まで真空引きした状態で粗引きバ
ルブ３を閉じる（ステップＳ２）と共に、同時にトレー
サガス供給系のバルブ９を開けて、被検査ワーク７内の
空気を所定の圧力まで真空引きする（ステップＳ３）。
【００２１】次に、センシングバルブ２を開けて、チャ
ンバ６とトレーサガス検出器１とを接続する（ステップ
Ｓ４）。なお、トレーサガスがＨｅの場合には、トレー
サガス検出器１はヘリウムディテクターである。
ンバ６とトレーサガス検出器１とを接続する（ステップ
Ｓ４）。なお、トレーサガスがＨｅの場合には、トレー
サガス検出器１はヘリウムディテクターである。
【００２２】次に、トレーサガス供給系のボンベから所
定圧力のトレーサガスを被検査ワーク７へ供給する（ス
テップＳ５）。
定圧力のトレーサガスを被検査ワーク７へ供給する（ス
テップＳ５）。
【００２３】ここで、被検査ワーク７に漏れがある場合
には、漏れ出てきたトレーサガスはトレーサガス検出器
１で検出される。所定の時間経過後のリークレートによ
り、予め決められた閾値と比較して合否を判定する（ス
テップＳ６）。
には、漏れ出てきたトレーサガスはトレーサガス検出器
１で検出される。所定の時間経過後のリークレートによ
り、予め決められた閾値と比較して合否を判定する（ス
テップＳ６）。
【００２４】合否の判定を終えた段階でセンシングバル
ブ２を閉じ、被検査ワーク７内のトレーサガスを排出し
（ステップＳ７）、バルブ９を閉じて、チャンバ６内に
大気導入系のバルブ（図示せず）を開けて大気を導入
し、扉を開いて被検査ワーク７を取出して一連の被検査
ワーク７に対するテスト（ワークテスト）を終える。
ブ２を閉じ、被検査ワーク７内のトレーサガスを排出し
（ステップＳ７）、バルブ９を閉じて、チャンバ６内に
大気導入系のバルブ（図示せず）を開けて大気を導入
し、扉を開いて被検査ワーク７を取出して一連の被検査
ワーク７に対するテスト（ワークテスト）を終える。
【００２５】次に、異なる被検査ワーク７を再びチャン
バ６内にステップＳ１のようにセットして、次の漏れ検
査（リークテスト）を行う。
バ６内にステップＳ１のようにセットして、次の漏れ検
査（リークテスト）を行う。
【００２６】本実施例の校正方法について説明する。先
ず、チャンバ６内に通常は、何も置かずにチャンバ６の
扉を閉めて密閉状態にする。そして、バルブ９を閉じ
る。カプラ８は通常何も接続しない自由状態では、自閉
式のものとし、自由状態とする。即ち、チャンバ６内に
被検査ワーク７を封入して検査する代わりに外部に置い
てある所定のリークレート値を示すリーク基準器１１に
よりチャンバ６の校正をする。
ず、チャンバ６内に通常は、何も置かずにチャンバ６の
扉を閉めて密閉状態にする。そして、バルブ９を閉じ
る。カプラ８は通常何も接続しない自由状態では、自閉
式のものとし、自由状態とする。即ち、チャンバ６内に
被検査ワーク７を封入して検査する代わりに外部に置い
てある所定のリークレート値を示すリーク基準器１１に
よりチャンバ６の校正をする。
【００２７】次に、バルブ１３及びバルブ１４を閉じ
て、バルブ１０を開けた状態で、粗引きバルブ３を開け
てチャンバ６内を上述のステップＳ２乃至ステップＳ６
の同様の工程を行う。所定時間経過後のリークレート値
がリーク基準器１１による漏れ検査装置の校正値にな
る。
て、バルブ１０を開けた状態で、粗引きバルブ３を開け
てチャンバ６内を上述のステップＳ２乃至ステップＳ６
の同様の工程を行う。所定時間経過後のリークレート値
がリーク基準器１１による漏れ検査装置の校正値にな
る。
【００２８】上述のステップＳ７のように、センシング
バルブ２を閉じ、リーク基準器１１内のトレーサガスを
抜く。校正が終わった段階で、バルブ１０及びセンシン
グバルブ２を閉じ、１次側バルブ１２を閉じ、バルブ４
を開けてトレーサガスを排出し、バルブ１３を開けてク
リーニングガスをクリーニングガスボンベ１９から供給
し、大気圧以上の圧力にした後に、バルブ１４を開け
て、排出口２０からクリーニングガスをリーク基準器１
１（特に２次側）を流通させて、大気中へ次回の校正工
程まで排出する。
バルブ２を閉じ、リーク基準器１１内のトレーサガスを
抜く。校正が終わった段階で、バルブ１０及びセンシン
グバルブ２を閉じ、１次側バルブ１２を閉じ、バルブ４
を開けてトレーサガスを排出し、バルブ１３を開けてク
リーニングガスをクリーニングガスボンベ１９から供給
し、大気圧以上の圧力にした後に、バルブ１４を開け
て、排出口２０からクリーニングガスをリーク基準器１
１（特に２次側）を流通させて、大気中へ次回の校正工
程まで排出する。
【００２９】一方、チャンバ６内に大気導入するため、
大気導入バルブ（図示せず）を開けて大気を導入し内部
が大気圧になった後に、チャンバ６の扉を開いて一連の
校正工程を終える。
大気導入バルブ（図示せず）を開けて大気を導入し内部
が大気圧になった後に、チャンバ６の扉を開いて一連の
校正工程を終える。
【００３０】本実施例においては、バルブ１０とリーク
基準器１１との間の配管に接続されたバルブ１３及びバ
ルブ１４と、このバルブ１３に接続されたクリーニング
ガスボンベ１９とを設ける構成にすることにより、漏れ
検査装置の校正操作後の残留トレーサガスを抜く工程を
分離して、他の工程と並行して行えるために校正操作が
短く、残留トレーサガスを時間をかけて抜くことができ
るため、トレーサガスを完全に抜くことができる。ま
た、バルブ１０に多少の漏れがあっても、バルブ１０の
１次側は低圧力で極微量のトレーサガスの濃度に保たれ
ており、バルブ１０の気密性が損なわれても検査への影
響は極めて少なく抑えることができる。
基準器１１との間の配管に接続されたバルブ１３及びバ
ルブ１４と、このバルブ１３に接続されたクリーニング
ガスボンベ１９とを設ける構成にすることにより、漏れ
検査装置の校正操作後の残留トレーサガスを抜く工程を
分離して、他の工程と並行して行えるために校正操作が
短く、残留トレーサガスを時間をかけて抜くことができ
るため、トレーサガスを完全に抜くことができる。ま
た、バルブ１０に多少の漏れがあっても、バルブ１０の
１次側は低圧力で極微量のトレーサガスの濃度に保たれ
ており、バルブ１０の気密性が損なわれても検査への影
響は極めて少なく抑えることができる。
【００３１】また、本実施例においては、リーク基準器
１１の１次側のトレーサガスは漏れ検査装置の校正基準
又はリーク基準器１１の規格によっては、１次側バルブ
１２を閉じ、バルブ４を開けてトレーサガスを抜かなく
とも良いために、リーク基準器１１の１次側のトレーサ
ガス供給系の操作が簡略化される。
１１の１次側のトレーサガスは漏れ検査装置の校正基準
又はリーク基準器１１の規格によっては、１次側バルブ
１２を閉じ、バルブ４を開けてトレーサガスを抜かなく
とも良いために、リーク基準器１１の１次側のトレーサ
ガス供給系の操作が簡略化される。
【００３２】更に、本実施例においては、トレーサガス
の排出はバルブ１３及びバルブ１４を開けて、例えば、
クリーニングガス供給側の圧力等で調整し、所定のガス
種を所定量を連続して流しておけば、リーク基準器１１
内のトレーサガスを１次側バルブ１２を開けて排出しな
くとも実用上問題はない。
の排出はバルブ１３及びバルブ１４を開けて、例えば、
クリーニングガス供給側の圧力等で調整し、所定のガス
種を所定量を連続して流しておけば、リーク基準器１１
内のトレーサガスを１次側バルブ１２を開けて排出しな
くとも実用上問題はない。
【００３３】更にまた、本実施例においては、リーク基
準器１１の２次側にクリーニングガスとして、大気と同
等又はそれより大きい分子量のガスである例えば、窒素
ガス（Ｎ2）、酸素ガス（Ｏ2）、炭酸ガス（ＣＯ2）、
その他の実質上トレーサガス成分（Ｈｅ）を含まないガ
ス又は漏れ基準の緩やかな場合には空気等のガスを連続
的又は間欠的に流してリーク基準器１１に残留している
トレーサガスを抜くこともできる。
準器１１の２次側にクリーニングガスとして、大気と同
等又はそれより大きい分子量のガスである例えば、窒素
ガス（Ｎ2）、酸素ガス（Ｏ2）、炭酸ガス（ＣＯ2）、
その他の実質上トレーサガス成分（Ｈｅ）を含まないガ
ス又は漏れ基準の緩やかな場合には空気等のガスを連続
的又は間欠的に流してリーク基準器１１に残留している
トレーサガスを抜くこともできる。
【００３４】一方、トレーサガス供給系側は校正後の検
査前の工程又は検査後の排出工程でバルブ１２を閉じた
状態でバルブ４を開けて排気後に閉じ、次回の校正工程
まで、そのままにして置いても良い。漏れ基準の仕様又
はリークテスト方式等によってはそのままでも良い。
査前の工程又は検査後の排出工程でバルブ１２を閉じた
状態でバルブ４を開けて排気後に閉じ、次回の校正工程
まで、そのままにして置いても良い。漏れ基準の仕様又
はリークテスト方式等によってはそのままでも良い。
【００３５】本発明の第２実施例を図３を参照して詳細
に説明する。なお、図１に示す第１実施例と同一構成物
には同一符号を付しその詳細な説明は省略する。図３は
本発明の第２実施例に係る漏れ検査装置を示す模式図で
ある。
に説明する。なお、図１に示す第１実施例と同一構成物
には同一符号を付しその詳細な説明は省略する。図３は
本発明の第２実施例に係る漏れ検査装置を示す模式図で
ある。
【００３６】本実施例の漏れ検査装置は、第１実施例と
比較して、バルブ１３とバルブ１４との間にバルブ１５
を介して真空ポンプ１６が接続されている点及びリーク
基準器１１と１次側バルブ１２との間にバルブ４がない
点で異なり、それ以外は第１実施例と同様の構成であ
る。
比較して、バルブ１３とバルブ１４との間にバルブ１５
を介して真空ポンプ１６が接続されている点及びリーク
基準器１１と１次側バルブ１２との間にバルブ４がない
点で異なり、それ以外は第１実施例と同様の構成であ
る。
【００３７】本実施例における漏れ検査校正方法につい
て図３を参照して詳細に説明する。本実施例において
は、リーク基準器１１の２次側にクリーニングガスを連
続的又は間欠的に流しながら一時的に減圧排気すること
が異なり、それ以外は第１実施例と同様の方法である。
即ち、本実施例においては、バルブ１４を閉じ、バルブ
１３及びバルブ１５を開いた状態で真空ポンプ１６を稼
動し、減圧排気を行った後、バルブ１５を閉じ、バルブ
１４を開ける。状況に応じて、この操作を数回繰り返
す。
て図３を参照して詳細に説明する。本実施例において
は、リーク基準器１１の２次側にクリーニングガスを連
続的又は間欠的に流しながら一時的に減圧排気すること
が異なり、それ以外は第１実施例と同様の方法である。
即ち、本実施例においては、バルブ１４を閉じ、バルブ
１３及びバルブ１５を開いた状態で真空ポンプ１６を稼
動し、減圧排気を行った後、バルブ１５を閉じ、バルブ
１４を開ける。状況に応じて、この操作を数回繰り返
す。
【００３８】また、第１実施例と比較して、校正が終わ
った段階におけるトレーサガス抜き工程において異な
り、それ以外は同様の工程である。即ち、本実施例にお
いては、バルブ１０及びセンシングバルブ２を閉じ、リ
ーク基準器１１内のトレーサガスをトレーサガス供給系
の供給源（図示せず）により回収し１次側バルブ１２を
閉じ、バルブ１５を開けて真空ポンプ１６でリーク基準
器１１の２次側のトレーサガスを一旦減圧排気した後、
バルブ１５を閉じて、バルブ１３を開けてクリーニング
ガスを供給し、大気圧以上の圧力になってから、バルブ
１４を開けてクリーニングガスを大気中へ次回の校正工
程まで連続放出しつづける。この場合、バルブ１５を開
けて真空ポンプ１６でのトレーサガスの減圧抜き工程
で、トレーサガスを早く抜くことができるので頻繁に校
正操作を繰り返す必要がある場合に有効である。
った段階におけるトレーサガス抜き工程において異な
り、それ以外は同様の工程である。即ち、本実施例にお
いては、バルブ１０及びセンシングバルブ２を閉じ、リ
ーク基準器１１内のトレーサガスをトレーサガス供給系
の供給源（図示せず）により回収し１次側バルブ１２を
閉じ、バルブ１５を開けて真空ポンプ１６でリーク基準
器１１の２次側のトレーサガスを一旦減圧排気した後、
バルブ１５を閉じて、バルブ１３を開けてクリーニング
ガスを供給し、大気圧以上の圧力になってから、バルブ
１４を開けてクリーニングガスを大気中へ次回の校正工
程まで連続放出しつづける。この場合、バルブ１５を開
けて真空ポンプ１６でのトレーサガスの減圧抜き工程
で、トレーサガスを早く抜くことができるので頻繁に校
正操作を繰り返す必要がある場合に有効である。
【００３９】本実施例においては、真空ポンプ１６によ
る真空排気では真空ポンプ１６が油ロータリーポンプ等
の湿式ポンプの場合では、多量のトレーサガスが真空ポ
ンプ１６内の油中に包含されることがある。また、真空
排気特性は圧力が下がれば下がるほど又は使用する気体
の分子量が小さい（例えば、Ｈ2及びＨｅ）程落ちる。
これらの真空ポンプの油中に多量のトレーサガスを包含
したり、真空排気特性の低下することを防止するために
は分子量が空気と同程度又はそれより大きいガスをクリ
ーニングガスとして流しながら真空ポンプ１６により減
圧排気すると、低分子量のガス単体で排気するのではな
く、クリーニングガスが低分子量のガスとの混合ガスと
なり能率よく排気できると共に、真空ポンプ１６油中で
バブリングを起こして、油中にトレーサガスが混入し包
含されることを防止することができるために効果があ
る。
る真空排気では真空ポンプ１６が油ロータリーポンプ等
の湿式ポンプの場合では、多量のトレーサガスが真空ポ
ンプ１６内の油中に包含されることがある。また、真空
排気特性は圧力が下がれば下がるほど又は使用する気体
の分子量が小さい（例えば、Ｈ2及びＨｅ）程落ちる。
これらの真空ポンプの油中に多量のトレーサガスを包含
したり、真空排気特性の低下することを防止するために
は分子量が空気と同程度又はそれより大きいガスをクリ
ーニングガスとして流しながら真空ポンプ１６により減
圧排気すると、低分子量のガス単体で排気するのではな
く、クリーニングガスが低分子量のガスとの混合ガスと
なり能率よく排気できると共に、真空ポンプ１６油中で
バブリングを起こして、油中にトレーサガスが混入し包
含されることを防止することができるために効果があ
る。
【００４０】本発明の第３実施例を図４を参照して詳細
に説明する。なお、図１に示す第１実施例と同一構成物
には同一符号を付しその詳細な説明は省略する。図４は
本発明の第３実施例に係る漏れ検査装置を示す模式図で
ある。
に説明する。なお、図１に示す第１実施例と同一構成物
には同一符号を付しその詳細な説明は省略する。図４は
本発明の第３実施例に係る漏れ検査装置を示す模式図で
ある。
【００４１】本実施例の漏れ検査装置は、第２実施例と
比較して、バルブ１３が可変リークバルブ１７に変更さ
れている点で異なり、それ以外は第２実施例と同様の構
成である。
比較して、バルブ１３が可変リークバルブ１７に変更さ
れている点で異なり、それ以外は第２実施例と同様の構
成である。
【００４２】本実施例は第２実施例と同様にチャンバ６
にバルブ９を介してトレーサガス供給系、センシングバ
ルブ２を介してトレーサガス検出器１及び粗引きバルブ
３を介して真空ポンプ５が接続されている。これらは、
第２実施例と同様に操作される。
にバルブ９を介してトレーサガス供給系、センシングバ
ルブ２を介してトレーサガス検出器１及び粗引きバルブ
３を介して真空ポンプ５が接続されている。これらは、
第２実施例と同様に操作される。
【００４３】また、本実施例においては、微小残留トレ
ーサガスを能率よく排気するため、リーク基準器１１の
２次側のクリーニングガスの流量を可変リークバルブ１
７により調整し、トレーサガスの減圧排気をリーク基準
器１１の２次側圧力を減圧排気能率の良好な値を保持し
ながら行う点で異なり、それ以外は第２実施例と同様で
ある。
ーサガスを能率よく排気するため、リーク基準器１１の
２次側のクリーニングガスの流量を可変リークバルブ１
７により調整し、トレーサガスの減圧排気をリーク基準
器１１の２次側圧力を減圧排気能率の良好な値を保持し
ながら行う点で異なり、それ以外は第２実施例と同様で
ある。
【００４４】本実施例における漏れ検査校正方法につい
て図４を参照して詳細に説明する。本実施例は第２実施
例と比較して、トレーサガスの抜き工程において異な
り、それ以外は第２実施例と同様の方法である。即ち、
トレーサガス抜き工程において、リーク基準器１１の２
次側のトレーサガスを可変リークバルブ１７で一定のク
リーニングガスを供給しながら連続減圧排気、又は所定
のクリーニングガスを供給しながら一旦減圧排気した後
に、バルブ１５を閉じて、可変リークバルブ１７により
クリーニングガスを大気中へ放出するようにしたもので
ある。
て図４を参照して詳細に説明する。本実施例は第２実施
例と比較して、トレーサガスの抜き工程において異な
り、それ以外は第２実施例と同様の方法である。即ち、
トレーサガス抜き工程において、リーク基準器１１の２
次側のトレーサガスを可変リークバルブ１７で一定のク
リーニングガスを供給しながら連続減圧排気、又は所定
のクリーニングガスを供給しながら一旦減圧排気した後
に、バルブ１５を閉じて、可変リークバルブ１７により
クリーニングガスを大気中へ放出するようにしたもので
ある。
【００４５】ここで、第２実施例においては所期の目的
は達成できるものの真空ポンプ１６による減圧排気時に
バルブ１３により比較的多量のクリーニングガスを流す
ため、真空ポンプ１６の油回転ポンプ等の湿式ポンプを
使用すると多量の油煙が発生して不都合を生じるため、
比較的短時間の減圧排気しかできない。しかし、本実施
例においては、可変リークバルブ１７を調整することに
より、第２実施例と比較してクリーニングガスの流量を
絞って長時間連続減圧排気することができる。
は達成できるものの真空ポンプ１６による減圧排気時に
バルブ１３により比較的多量のクリーニングガスを流す
ため、真空ポンプ１６の油回転ポンプ等の湿式ポンプを
使用すると多量の油煙が発生して不都合を生じるため、
比較的短時間の減圧排気しかできない。しかし、本実施
例においては、可変リークバルブ１７を調整することに
より、第２実施例と比較してクリーニングガスの流量を
絞って長時間連続減圧排気することができる。
【００４６】本発明の第４実施例を図５を参照して詳細
に説明する。なお、図１に示す第１実施例と同一構成物
には同一符号を付しその詳細な説明は省略する。図５は
本発明の第４実施例に係る漏れ検査装置を示す模式図で
ある。
に説明する。なお、図１に示す第１実施例と同一構成物
には同一符号を付しその詳細な説明は省略する。図５は
本発明の第４実施例に係る漏れ検査装置を示す模式図で
ある。
【００４７】本実施例の漏れ検査装置は、第２実施例と
第３実施例とを組み合わせた構成であり、第３実施例と
比較して、可変リークバルブ１７に並列してバルブ１３
が形成されている点で異なり、それ以外の構成は第３実
施例と同様の構成である。
第３実施例とを組み合わせた構成であり、第３実施例と
比較して、可変リークバルブ１７に並列してバルブ１３
が形成されている点で異なり、それ以外の構成は第３実
施例と同様の構成である。
【００４８】本実施例における漏れ検査校正方法につい
て図５を参照して詳細に説明する。本実施例は第２実施
例と比較して、トレーサガスの抜き工程において異な
り、それ以外は第２実施例と同様の方法である。即ち、
トレーサガス抜き工程において、バルブ１３を閉じてお
き、可変リークバルブ１７を適当な流量に調整した状態
で、バルブ１５及び真空ポンプ１６の系統で減圧連続排
気した後、即ち、充分トレーサガスの量が少なくなった
時点でバルブ１５を閉じて、バルブ１３を開けて大気圧
以上になったところでバルブ１４を開けてクリーニング
ガスを連続で流す。
て図５を参照して詳細に説明する。本実施例は第２実施
例と比較して、トレーサガスの抜き工程において異な
り、それ以外は第２実施例と同様の方法である。即ち、
トレーサガス抜き工程において、バルブ１３を閉じてお
き、可変リークバルブ１７を適当な流量に調整した状態
で、バルブ１５及び真空ポンプ１６の系統で減圧連続排
気した後、即ち、充分トレーサガスの量が少なくなった
時点でバルブ１５を閉じて、バルブ１３を開けて大気圧
以上になったところでバルブ１４を開けてクリーニング
ガスを連続で流す。
【００４９】本実施例においては、第２実施例と比較し
て、可変リークバルブ１７を適当な流量に調整した状態
で微小残留トレーサガスを能率よく排気することができ
るため、バルブ１３及びバルブ１４を閉じ、可変リーク
バルブ１７を開けた状態で真空ポンプ１６を稼動した条
件でリーク基準器１１の微小残留トレーサガスを能率よ
く排気することができる。
て、可変リークバルブ１７を適当な流量に調整した状態
で微小残留トレーサガスを能率よく排気することができ
るため、バルブ１３及びバルブ１４を閉じ、可変リーク
バルブ１７を開けた状態で真空ポンプ１６を稼動した条
件でリーク基準器１１の微小残留トレーサガスを能率よ
く排気することができる。
【００５０】上述のいずれの実施例においても、バルブ
開閉は手動又は予め定められた所定の圧力以上になると
開くバルブ、例えば、リリーフバルブ等を使用して、自
動的にバルブの開閉が行えるように制御する構成とする
こともできる。
開閉は手動又は予め定められた所定の圧力以上になると
開くバルブ、例えば、リリーフバルブ等を使用して、自
動的にバルブの開閉が行えるように制御する構成とする
こともできる。
【００５１】また、上述のいずれの実施例においても、
リーク基準器１１の２次側のみにクリーニングガスの供
給手段と排出手段を設ける構成にしたが、本発明は特に
これに限定されるものではなく、１次側のみにクリーニ
ングガスの供給手段と排出手段を設ける構成とすること
もできる。また、１次側及び２次側の双方にクリーニン
グガスの供給手段と排出手段とを設ける構成とすること
もできる。
リーク基準器１１の２次側のみにクリーニングガスの供
給手段と排出手段を設ける構成にしたが、本発明は特に
これに限定されるものではなく、１次側のみにクリーニ
ングガスの供給手段と排出手段を設ける構成とすること
もできる。また、１次側及び２次側の双方にクリーニン
グガスの供給手段と排出手段とを設ける構成とすること
もできる。
【００５２】更に、上述のいずれの実施例においても、
特定気体（例えば、Ｎ2又はＣＯ2）を供給するようにク
リーニングガスボンベ１９を設ける構成にしたが、空気
を通すときは、クリーニングガスボンベ１９ではなく、
流入側と放出側とに設けられた排出口２０を夫々大気中
に開放しておき、経路中にポンプ等を設けて空気の流れ
を作るような構成にすることもできる。
特定気体（例えば、Ｎ2又はＣＯ2）を供給するようにク
リーニングガスボンベ１９を設ける構成にしたが、空気
を通すときは、クリーニングガスボンベ１９ではなく、
流入側と放出側とに設けられた排出口２０を夫々大気中
に開放しておき、経路中にポンプ等を設けて空気の流れ
を作るような構成にすることもできる。
【００５３】
【発明の効果】以上詳述したように本発明においては、
チャンバに接続されチャンバ内への漏れを校正するリー
ク基準器と、リーク基準器に接続されクリーニングガス
をリーク基準器に供給するクリーニングガス供給手段と
を設けることにより、漏れ検査装置の校正操作後のリー
ク基準器に残留した残留トレーサガスを抜く工程を分離
して他の工程と並行して行える。従って、従来のように
校正操作後又は校正操作前に残留トレーサガスを抜くた
めの漏れ検査装置全体を真空排気するようなトレーサガ
ス抜工程を入れる必要がなくなり、校正操作を短くでき
ると共に、リーク基準器の残留トレーサガスを時間をか
けて抜くことができるために、残留とレーサガスを完全
に抜くことができる。
チャンバに接続されチャンバ内への漏れを校正するリー
ク基準器と、リーク基準器に接続されクリーニングガス
をリーク基準器に供給するクリーニングガス供給手段と
を設けることにより、漏れ検査装置の校正操作後のリー
ク基準器に残留した残留トレーサガスを抜く工程を分離
して他の工程と並行して行える。従って、従来のように
校正操作後又は校正操作前に残留トレーサガスを抜くた
めの漏れ検査装置全体を真空排気するようなトレーサガ
ス抜工程を入れる必要がなくなり、校正操作を短くでき
ると共に、リーク基準器の残留トレーサガスを時間をか
けて抜くことができるために、残留とレーサガスを完全
に抜くことができる。
【図１】 本発明の第１実施例に係る漏れ検査装置を示
す模式図である。
す模式図である。
【図２】 本発明の第１実施例に係る漏れ検査方法を示
すフローチャート図である。
すフローチャート図である。
【図３】 本発明の第２実施例に係る漏れ検査装置を示
す模式図である。
す模式図である。
【図４】 本発明の第３実施例に係る漏れ検査装置を示
す模式図である。
す模式図である。
【図５】 本発明の第４実施例に係る漏れ検査装置を示
す模式図である。
す模式図である。
【図６】 従来の漏れ検査装置を示す模式図である。
１、１００；トレーサガス検出器、 ２、１０１；セン
シングバルブ、 ３、１０２；粗引きバルブ、 ５、１
６、１０４；真空ポンプ、 ６、１０５；チャンバ、
７、１０６；被検査ワーク、 ８、１０７；カプラ、
４、９、１０、１３、１４、１５、１０８、１０９；バ
ルブ、 １１、１１０；リーク基準器、１２、１１１；
１次側バルブ、 １７；可変リークバルブ、 １８；ト
レーサガスボンベ、 １９；クリーニングガスボンベ、
２０；排出口、 ２１、１０３；トレーサガス導入用
配管
シングバルブ、 ３、１０２；粗引きバルブ、 ５、１
６、１０４；真空ポンプ、 ６、１０５；チャンバ、
７、１０６；被検査ワーク、 ８、１０７；カプラ、
４、９、１０、１３、１４、１５、１０８、１０９；バ
ルブ、 １１、１１０；リーク基準器、１２、１１１；
１次側バルブ、 １７；可変リークバルブ、 １８；ト
レーサガスボンベ、 １９；クリーニングガスボンベ、
２０；排出口、 ２１、１０３；トレーサガス導入用
配管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川路 裕章 静岡県浜松市中沢町10番１号 ヤマハ株式 会社内 (72)発明者 久保田 一成 静岡県浜松市中沢町10番１号 ヤマハ株式 会社内 Ｆターム(参考） 2G067 BB38 CC11 CC13 DD17 DD18
Claims (9)
- 【請求項１】 被検査ワークが内部に設置されるチャン
バと、前記チャンバに接続されたトレーサガス検出器
と、前記チャンバ内を真空にする第１の真空ポンプと、
前記被検査ワーク内にトレーサガスを充填するトレーサ
ガス供給源と、前記チャンバに接続され前記チャンバの
漏れを校正するリーク基準器と、前記リーク基準器に接
続されクリーニングガスを前記リーク基準器に供給する
クリーニングガス供給手段と、前記クリーニングガスを
前記リーク基準器から排出する排出手段と、を有するこ
とを特徴とする漏れ検査装置。 - 【請求項２】 前記リーク基準器には、第２の真空ポン
プが接続されていることを特徴とする請求項１に記載の
漏れ検査装置。 - 【請求項３】 前記クリーニングガス供給手段は、可変
リークバルブを介して接続されていることを特徴とする
請求項１又は２に記載の漏れ検査装置。 - 【請求項４】 前記可変リークバルブには、並列してバ
ルブが接続されていることを特徴とする請求項３に記載
の漏れ検査装置。 - 【請求項５】 前記リーク基準器の１次側及び２次側の
少なくとも一方へ、トレーサガスを含まないクリーニン
グガスを流入させる工程と、前記リーク基準器の前記ク
リーニングガスを流入させた側からクリーニングガスを
排出する工程と、を有することを特徴とする漏れ検査装
置の校正方法。 - 【請求項６】 前記クリーニングガスを連続的又は間欠
的に流入及び排出することを特徴とする請求項５に記載
の漏れ検査装置の校正方法。 - 【請求項７】 前記クリーニングガスは、差圧をつけて
流されることを特徴とする請求項５又は６に記載の漏れ
検査装置の校正方法。 - 【請求項８】 前記クリーニングガスは、真空ポンプに
より流されることを特徴とする請求項５又は６に記載の
漏れ検査装置の校正方法。 - 【請求項９】 前記クリーニングガスは、圧縮ガスによ
り流されることを特徴とする請求項５又は６に記載の漏
れ検査装置の校正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09437699A JP4277351B2 (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09437699A JP4277351B2 (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000292301A true JP2000292301A (ja) | 2000-10-20 |
| JP4277351B2 JP4277351B2 (ja) | 2009-06-10 |
Family
ID=14108611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09437699A Expired - Fee Related JP4277351B2 (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4277351B2 (ja) |
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| CN107014570A (zh) * | 2017-06-20 | 2017-08-04 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种气密性检测装置及方法 |
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| CN117073921A (zh) * | 2023-10-16 | 2023-11-17 | 成都睿宝电子科技有限公司 | 一种基于氦质谱检漏仪的自动化校准测试装置及方法 |
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|---|---|---|---|---|
| JP5665678B2 (ja) * | 2011-07-14 | 2015-02-04 | 本田技研工業株式会社 | ガス式漏洩検査装置の校正方法及びその機構 |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP09437699A patent/JP4277351B2/ja not_active Expired - Fee Related
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