JP5665678B2 - ガス式漏洩検査装置の校正方法及びその機構 - Google Patents
ガス式漏洩検査装置の校正方法及びその機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5665678B2 JP5665678B2 JP2011155850A JP2011155850A JP5665678B2 JP 5665678 B2 JP5665678 B2 JP 5665678B2 JP 2011155850 A JP2011155850 A JP 2011155850A JP 2011155850 A JP2011155850 A JP 2011155850A JP 5665678 B2 JP5665678 B2 JP 5665678B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- chamber
- inspection
- leakage
- sampling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 158
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 15
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 58
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 41
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 37
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 30
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 346
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 35
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 35
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 35
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 16
- 230000009471 action Effects 0.000 description 15
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 12
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
ワークをチャンバに収容する工程と、
リークマスタから、校正用の基準ガスを前記チャンバ内に導入し、前記基準ガスと、該チャンバ内に予め存在していたガスとを混合して混合ガスを得る工程と、
前記チャンバ内で前記ワークに当接した挟持盤と、前記ワークを載置する載置台に当接して前記チャンバを形成した隔壁部材との間に画成されるモニタスペース内の前記混合ガスをサンプリングガスとして前記モニタスペース外に排出する工程と、
前記サンプリングガスの一部を漏洩検査ガス検出手段に導入するとともに、残部を前記モニタスペース内に戻す工程と、
を有し、
前記漏洩検査ガス検出手段によって検出された前記サンプリングガス中の前記基準ガスの量を、前記検査ガスを用いた漏洩検査の際に当該量を超える量が検出されると不合格と判断するための基準値とすることを特徴とする。
ワークを収容するチャンバに校正用の基準ガスを導入するリークマスタと、
前記基準ガスと前記チャンバ内に予め存在していたガスとが混合した混合ガスを、前記チャンバ内で前記ワークに当接した挟持盤と、前記ワークを載置する載置台に当接して前記チャンバを形成した隔壁部材との間に画成されるモニタスペースからサンプリングガスとして前記チャンバ外に排出する往路用流通路と、
前記サンプリングガスの一部が導入され、前記サンプリングガス中の前記基準ガスを検出する漏洩検査ガス検出手段と、
前記サンプリングガスの残部を前記モニタスペースに戻す復路用流通路と、
前記漏洩検査ガス検出手段からの情報を受け取る制御回路と、
を備え、
前記制御回路は、前記漏洩検査ガス検出手段によって検出された前記サンプリングガス中の前記基準ガスの量を基準値として認識し、前記検査ガスを用いた漏洩検査の際に当該量を超える量が検出されると不合格と判断することを特徴とする。
14…隔壁部材 16…チャンバ
18…ケース部材 20…開口
21…側壁貫通孔 22…天井壁貫通孔
24…中空室 26…基台
34…第1シリンダ 36…第1ロッド
44…第1環状溝 46…第1シール部材
48、92…プラグ 50…ストッパ
56…中子 58…第1クリーンポンプ
60…第1排気用配管 62…検査ガス導入用配管
63…検査ガス回収用配管 66…基準ガス導入用配管
68…リークマスタ 69…モニタスペース
70…第2排気用配管 71…圧力センサ
80a〜80d…支柱 82…挟持盤
88…第2環状溝 90…第2シール部材
94…第1ファン 98…第2シリンダ
100…第2ロッド 102…閉塞部材
104…第3シリンダ 106…第3ロッド
108…第3シール部材 110…第2ファン
116…循環用配管 118…往路配管
120…復路配管 121…サンプリングライン
122…ディテクタ 124…第1電磁弁
126…プローブ用配管 128…プローブ
130…第2電磁弁 132…ラインクリーニング用配管
134…第2クリーンポンプ 136…クリーニング用孔
138…二方バルブ 140…チャンバクリーニング用配管
142…出口配管 144…湾曲部
148…第4シリンダ 150…第4ロッド
152、154…信号線 156…制御回路
Claims (6)
- ワークの中空室から壁部を介する漏洩があるか否かを検査ガスによって判断するためのガス式漏洩検査装置の校正方法であって、
ワークをチャンバに収容する工程と、
リークマスタから、校正用の基準ガスを前記チャンバ内に導入し、前記基準ガスと、該チャンバ内に予め存在していたガスとを混合して混合ガスを得る工程と、
前記チャンバ内で前記ワークに当接した挟持盤と、前記ワークを載置する載置台に当接して前記チャンバを形成した隔壁部材との間に画成されるモニタスペース内の前記混合ガスをサンプリングガスとして前記モニタスペース外に排出する工程と、
前記サンプリングガスの一部を漏洩検査ガス検出手段に導入するとともに、残部を前記モニタスペース内に戻す工程と、
を有し、
前記漏洩検査ガス検出手段によって検出された前記サンプリングガス中の前記基準ガスの量を、前記検査ガスを用いた漏洩検査の際に当該量を超える量が検出されると不合格と判断するための基準値とすることを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正方法。 - 請求項1記載の校正方法において、前記モニタスペース内の前記サンプリングガスの一部を前記漏洩検査ガス検出手段に送気するとともに、残部を前記モニタスペースに戻す間、前記モニタスペース内の前記混合ガスを撹拌することを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正方法。
- 請求項1又は2記載の校正方法において、前記中空室の空間容積を低減する中子を該中空室に配置することを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正方法。
- ワークの中空室から壁部を介する漏洩があるか否かを検査ガスによって判断するためのガス式漏洩検査装置の校正機構であって、
ワークを収容するチャンバに校正用の基準ガスを導入するリークマスタと、
前記基準ガスと前記チャンバ内に予め存在していたガスとが混合した混合ガスを、前記チャンバ内で前記ワークに当接した挟持盤と、前記ワークを載置する載置台に当接して前記チャンバを形成した隔壁部材との間に画成されるモニタスペースからサンプリングガスとして前記チャンバ外に排出する往路用流通路と、
前記サンプリングガスの一部が導入され、前記サンプリングガス中の前記基準ガスを検出する漏洩検査ガス検出手段と、
前記サンプリングガスの残部を前記モニタスペースに戻す復路用流通路と、
前記漏洩検査ガス検出手段からの情報を受け取る制御回路と、
を備え、
前記制御回路は、前記漏洩検査ガス検出手段によって検出された前記サンプリングガス中の前記基準ガスの量を基準値として認識し、前記検査ガスを用いた漏洩検査の際に当該量を超える量が検出されると不合格と判断することを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正機構。 - 請求項4記載の校正機構において、前記モニタスペース内の前記混合ガスを撹拌する撹拌手段が設けられたことを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正機構。
- 請求項4又は5記載の校正機構において、前記中空室に配置されて該中空室の空間容積を低減する中子を有することを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011155850A JP5665678B2 (ja) | 2011-07-14 | 2011-07-14 | ガス式漏洩検査装置の校正方法及びその機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011155850A JP5665678B2 (ja) | 2011-07-14 | 2011-07-14 | ガス式漏洩検査装置の校正方法及びその機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013019869A JP2013019869A (ja) | 2013-01-31 |
JP5665678B2 true JP5665678B2 (ja) | 2015-02-04 |
Family
ID=47691436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011155850A Active JP5665678B2 (ja) | 2011-07-14 | 2011-07-14 | ガス式漏洩検査装置の校正方法及びその機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5665678B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101741565B1 (ko) | 2017-03-06 | 2017-05-30 | 주식회사 스탠더드시험연구소 | 원전 시설 기밀도 시험용 병렬형 매니폴드 장치 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3203528B2 (ja) * | 1993-03-16 | 2001-08-27 | 株式会社生野製作所 | 気密検査方法及びその装置 |
JPH1183662A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-26 | Topy Ind Ltd | 環状ワークのリークテスト方法及び装置 |
JP4277351B2 (ja) * | 1999-03-31 | 2009-06-10 | ヤマハ株式会社 | 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 |
JP4199229B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2008-12-17 | サンデン株式会社 | 流体機械の漏れ検査方法、当該方法に用いられる装置、及び当該方法を介して製造された流体機械 |
JP2008209220A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Denso Corp | 漏れ検査方法及び装置 |
-
2011
- 2011-07-14 JP JP2011155850A patent/JP5665678B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013019869A (ja) | 2013-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7210335B2 (en) | Automated clamp-on sample chamber for flow porometry and a method of using same | |
JPH10300626A (ja) | リーク検査方法及びその装置 | |
JP5766057B2 (ja) | ガス式漏洩検査方法 | |
JP4313970B2 (ja) | 原子炉の燃料要素の検査方法及び装置 | |
JP5710559B2 (ja) | 貫通孔閉塞ユニット及びそれを備えるガス式漏洩検査装置 | |
JP4665004B2 (ja) | 漏れ検査装置および漏れ検査方法 | |
KR100832345B1 (ko) | 진공용 공압 앵글밸브의 테스트 장치 | |
JP5756696B2 (ja) | ガス式漏洩検査装置 | |
WO2019058718A1 (ja) | 漏れ検査装置及び漏れ検査方法 | |
RU2368881C1 (ru) | Стенд для испытания на герметичность сварных изделий | |
JP5665678B2 (ja) | ガス式漏洩検査装置の校正方法及びその機構 | |
JP2009281934A (ja) | 外圧検出型漏れ検査装置及びそれを使った漏れ検査方法 | |
JP4574092B2 (ja) | リーク検出装置 | |
CN117129152B (zh) | 一种壳体气密性测试设备 | |
CN207636251U (zh) | 一种精密过滤器密封性检测装置 | |
JP2001033343A (ja) | 漏洩試験方法および漏洩試験装置 | |
KR101060654B1 (ko) | 기판흡착장치 및 기판흡착방법 | |
JP3002999B2 (ja) | 管継手類の気密漏れ検査装置 | |
CN103630302B (zh) | 一种管路容积压差法测试仪 | |
EP2199655B1 (en) | A leakage control mechanism for LPG cylinders | |
JP3065777U (ja) | 漏れ検査装置 | |
CN219038302U (zh) | 一种燃料电池电堆泄漏检测设备 | |
CN108692873A (zh) | 一种气压检漏试验装置及试验方法 | |
CN219178846U (zh) | 一种继电器密封性检测装置 | |
CN218937665U (zh) | 一种水管阀门检测设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130902 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140318 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140514 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141118 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5665678 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |