JP2013019869A - ガス式漏洩検査装置の校正方法及びその機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークであるケース部材18をチャンバ16に収容するとともに、該チャンバ16内に基準ガス(例えば、ヘリウム)を導入する。この基準ガスがモニタスペース69に予め存在していたガスと混合することで、混合ガスとなる。該混合ガスは、モニタスペース69からサンプリングガスとして抽出される。サンプリングガスの一部が、循環用配管116及びサンプリングライン121を経てディテクタ122に到達すると、ディテクタ122は、基準ガスと、モニタスペース69に予め存在していたガスに含まれて基準ガスと同一種のガスとの総和に応じた値を示す。このときの値を基準値としてガス式漏洩検査装置10を校正する。なお、校正に供されなかったサンプリングガスの残部は、循環用配管116を介してモニタスペース69に戻される。
【選択図】図1
Description
ワークをチャンバに収容する工程と、
リークマスタから、校正用の基準ガスを前記チャンバ内に導入し、前記基準ガスと、該チャンバ内に予め存在していたガスとを混合して混合ガスを得る工程と、
前記チャンバ内で前記ワークに当接した挟持盤と、前記ワークを載置する載置台に当接して前記チャンバを形成した隔壁部材との間に画成されるモニタスペース内の前記混合ガスをサンプリングガスとして前記モニタスペース外に排出する工程と、
前記サンプリングガスの一部を漏洩検査ガス検出手段に導入するとともに、残部を前記モニタスペース内に戻す工程と、
を有し、
前記漏洩検査ガス検出手段によって検出された前記サンプリングガス中の前記基準ガスの量を基準値とすることを特徴とする。
ワークを収容するチャンバに校正用の基準ガスを導入するリークマスタと、
前記基準ガスと前記チャンバ内に予め存在していたガスとが混合した混合ガスを、前記チャンバ内で前記ワークに当接した挟持盤と、前記ワークを載置する載置台に当接して前記チャンバを形成した隔壁部材との間に画成されるモニタスペースからサンプリングガスとして前記チャンバ外に排出する往路用流通路と、
前記サンプリングガスの一部が導入され、前記サンプリングガス中の前記基準ガスを検出する漏洩検査ガス検出手段と、
前記サンプリングガスの残部を前記モニタスペースに戻す復路用流通路と、
を備えることを特徴とする。
14…隔壁部材 16…チャンバ
18…ケース部材 20…開口
21…側壁貫通孔 22…天井壁貫通孔
24…中空室 26…基台
34…第1シリンダ 36…第1ロッド
44…第1環状溝 46…第1シール部材
48、92…プラグ 50…ストッパ
56…中子 58…第1クリーンポンプ
60…第1排気用配管 62…検査ガス導入用配管
63…検査ガス回収用配管 66…基準ガス導入用配管
68…リークマスタ 69…モニタスペース
70…第2排気用配管 71…圧力センサ
80a〜80d…支柱 82…挟持盤
88…第2環状溝 90…第2シール部材
94…第1ファン 98…第2シリンダ
100…第2ロッド 102…閉塞部材
104…第3シリンダ 106…第3ロッド
108…第3シール部材 110…第2ファン
116…循環用配管 118…往路配管
120…復路配管 121…サンプリングライン
122…ディテクタ 124…第1電磁弁
126…プローブ用配管 128…プローブ
130…第2電磁弁 132…ラインクリーニング用配管
134…第2クリーンポンプ 136…クリーニング用孔
138…二方バルブ 140…チャンバクリーニング用配管
142…出口配管 144…湾曲部
148…第4シリンダ 150…第4ロッド
152、154…信号線 156…制御回路
Claims (6)
- ワークの中空室から壁部を介する漏洩があるか否かを検査ガスによって判断するためのガス式漏洩検査装置の校正方法であって、
ワークをチャンバに収容する工程と、
リークマスタから、校正用の基準ガスを前記チャンバ内に導入し、前記基準ガスと、該チャンバ内に予め存在していたガスとを混合して混合ガスを得る工程と、
前記チャンバ内で前記ワークに当接した挟持盤と、前記ワークを載置する載置台に当接して前記チャンバを形成した隔壁部材との間に画成されるモニタスペース内の前記混合ガスをサンプリングガスとして前記モニタスペース外に排出する工程と、
前記サンプリングガスの一部を漏洩検査ガス検出手段に導入するとともに、残部を前記モニタスペース内に戻す工程と、
を有し、
前記漏洩検査ガス検出手段によって検出された前記サンプリングガス中の前記基準ガスの量を基準値とすることを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正方法。 - 請求項1記載の校正方法において、前記モニタスペース内の前記サンプリングガスの一部を前記漏洩検査ガス検出手段に送気するとともに、残部を前記モニタスペースに戻す間、前記モニタスペース内の前記混合ガスを撹拌することを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正方法。
- 請求項1又は2記載の校正方法において、前記中空室の空間容積を低減する中子を該中空室に配置することを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正方法。
- ワークの壁部から漏洩があるか否かを検査ガスによって判断するためのガス式漏洩検査装置の校正機構であって、
ワークを収容するチャンバに校正用の基準ガスを導入するリークマスタと、
前記基準ガスと前記チャンバ内に予め存在していたガスとが混合した混合ガスを、前記チャンバ内で前記ワークに当接した挟持盤と、前記ワークを載置する載置台に当接して前記チャンバを形成した隔壁部材との間に画成されるモニタスペースからサンプリングガスとして前記チャンバ外に排出する往路用流通路と、
前記サンプリングガスの一部が導入され、前記サンプリングガス中の前記基準ガスを検出する漏洩検査ガス検出手段と、
前記サンプリングガスの残部を前記モニタスペースに戻す復路用流通路と、
を備えることを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正機構。 - 請求項4記載の校正機構において、前記モニタスペース内の前記混合ガスを撹拌する撹拌手段が設けられたことを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正機構。
- 請求項4又は5記載の校正機構において、前記中空室に配置されて該中空室の空間容積を低減する中子を有することを特徴とするガス式漏洩検査装置の校正機構。
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