JP2003518256A - シート型漏洩探査器を運転する方法並びに該方法を実施するために適したシート型探査器 - Google Patents
シート型漏洩探査器を運転する方法並びに該方法を実施するために適したシート型探査器Info
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Abstract
(57)【要約】
本発明は、それぞれ１つのフレームに張設された２つのシートを有し、被験体が挿入された状態で前記シートによりテスト室が制限されており、２つの真空ポンプを備えているシート型漏洩探査器を運転する方法であって、まずテスト室を排気し、この排気運転のあと漏洩探査運転に切換えられる形式のものに関する。周辺空気における変動するヘリウム濃度による漏洩探査の妨害を回避するためには、漏洩探査プロセスの開始前に周辺空気のヘリウム濃度を測定し、この結果を後続する漏洩測定に際して考慮することが提案されている。
Description
【０００１】
本発明はそれぞれ１つのフレームに張設された２つのシートを有し、被験体が
挿入された状態で該シートがテスト室を制限しており、２つの真空ポンプを備え
ているシート型漏洩探査器を運転する方法であって、まずテスト室を排気し、こ
の排気運転のあと漏洩探査運転に切換え、テスト室の排気期の間は両方の真空ポ
ンプの一方だけを使用し、漏洩探査運転の間は第２の真空ポンプだけを使用する
形式のものに関する（ドイツ国特許出願１９８４６７９９．０号）。さらに本発
明は前記方法を実施するのに適した漏洩探査器にも関する。
挿入された状態で該シートがテスト室を制限しており、２つの真空ポンプを備え
ているシート型漏洩探査器を運転する方法であって、まずテスト室を排気し、こ
の排気運転のあと漏洩探査運転に切換え、テスト室の排気期の間は両方の真空ポ
ンプの一方だけを使用し、漏洩探査運転の間は第２の真空ポンプだけを使用する
形式のものに関する（ドイツ国特許出願１９８４６７９９．０号）。さらに本発
明は前記方法を実施するのに適した漏洩探査器にも関する。
【０００２】
前記原出願１９８４６７９９．０号によるインテグラルな漏洩探査では、被験
体は測定前に既にテストガス、この場合にはヘリウムで充たされる。検査室内で
は存在する漏れによって侵出するヘリウムが検出される。自然の周辺空気はすで
に小量のヘリウムを含んでいるが、これはたいてい無視することができる。充填
プロセスによってこの割合は場合によっては強く上昇することがある。いまや漏
洩探査器の検出システムは、測定されたヘリウムが被験体からのものであるか又
は検査室に閉成された周辺空気からのものであるかを一義的に区別することはで
きなくなる。
体は測定前に既にテストガス、この場合にはヘリウムで充たされる。検査室内で
は存在する漏れによって侵出するヘリウムが検出される。自然の周辺空気はすで
に小量のヘリウムを含んでいるが、これはたいてい無視することができる。充填
プロセスによってこの割合は場合によっては強く上昇することがある。いまや漏
洩探査器の検出システムは、測定されたヘリウムが被験体からのものであるか又
は検査室に閉成された周辺空気からのものであるかを一義的に区別することはで
きなくなる。
【０００３】
本発明の課題は、原出願のシート型漏洩探査器を、周辺空気における高められ
たヘリウム濃度がミス測定をもたらさないように運転しかつ構成することである
。
たヘリウム濃度がミス測定をもたらさないように運転しかつ構成することである
。
【０００４】
この課題は請求項に記載した特徴によって解決された。
【０００５】
本発明のさらなる利点と詳細については図示の実施例に基づき以下に説明する
。
。
【０００６】
実施例
図１には概略に、ヒンジ２を介して結合されたフレーム３と４並びに該フレー
ム３，４に張設されたシート５，６とを有するシート型漏洩探査器１が示されて
いる。
ム３，４に張設されたシート５，６とを有するシート型漏洩探査器１が示されて
いる。
【０００７】
フレーム３，４は円形である。下方のフレームは有利には鋼から成る皿状の底
８の縁部７に支えられている。シート５，６の上にあるフリース区分９は被験体
が挿入された状態で連続したテスト室の形成を保証する。この種のシート型漏洩
探査器の原理的な構造はＤＥ−Ａ−１９６４２０９９号に記載されている。下方
のフレーム４は個々には詳細に示されていない複数の孔を備えている。これらの
孔は被験体が挿入された状態で両方のシート５，６により形成されたテスト室の
内部へ開口している。これらの孔には導管区分１０が接続され、該導管区分１０
は弁１２を有する共通の導管１１を介して前真空ポンプ１３と接続されている。
弁１２の上流側にて導管１１には圧力測定装置１４及び通気弁１５が接続されて
いる。
８の縁部７に支えられている。シート５，６の上にあるフリース区分９は被験体
が挿入された状態で連続したテスト室の形成を保証する。この種のシート型漏洩
探査器の原理的な構造はＤＥ−Ａ−１９６４２０９９号に記載されている。下方
のフレーム４は個々には詳細に示されていない複数の孔を備えている。これらの
孔は被験体が挿入された状態で両方のシート５，６により形成されたテスト室の
内部へ開口している。これらの孔には導管区分１０が接続され、該導管区分１０
は弁１２を有する共通の導管１１を介して前真空ポンプ１３と接続されている。
弁１２の上流側にて導管１１には圧力測定装置１４及び通気弁１５が接続されて
いる。
【０００８】
下方のシート６はほぼ中央に導管接続１８を備えている。この導管接続部１８
には導管区分１９、フィルタ２０及び弁２２を有する導管２１が接続されている
。導管２１も圧力測定装置２３と通気弁２４とを備えている。
には導管区分１９、フィルタ２０及び弁２２を有する導管２１が接続されている
。導管２１も圧力測定装置２３と通気弁２４とを備えている。
【０００９】
圧力測定装置２３の接続部と弁２２との間にある導管２１の区分は、互いに平
行な２つの導管２６と２７を介して導管２８と接続されている。この導管２８は
テストガス検出器２９と第２の真空ポンプ３０との間を延びている。導管２６に
は絞り弁３２がある。導管２７は弁３３を備えている。
行な２つの導管２６と２７を介して導管２８と接続されている。この導管２８は
テストガス検出器２９と第２の真空ポンプ３０との間を延びている。導管２６に
は絞り弁３２がある。導管２７は弁３３を備えている。
【００１０】
前真空ポンプ１３は有利には単段に構成され、前真空ポンプ３０は２段に構成
されている。ポンプ３０はガスバラスト装置を備えている。弁３１が開いている
場合には空気（又はイナートガス）はポンプ３０へ流入する。
されている。ポンプ３０はガスバラスト装置を備えている。弁３１が開いている
場合には空気（又はイナートガス）はポンプ３０へ流入する。
【００１１】
テストガス検出器２９内にはターボ分子真空ポンプ３５があり、ターボ分子真
空ポンプ３５の出口は導管２８と接続されている。ターボ分子真空ポンプの入口
には質量スペクトロメータ３６が接続されている。さらに圧力測定装置３７が導
管２８における圧力を測定する漏洩検出器２９の構成部分を成している。
空ポンプ３５の出口は導管２８と接続されている。ターボ分子真空ポンプの入口
には質量スペクトロメータ３６が接続されている。さらに圧力測定装置３７が導
管２８における圧力を測定する漏洩検出器２９の構成部分を成している。
【００１２】
両方の導管１１と２８は弁１２と２２とに関し下流側で導管３８を介し接続さ
れている。導管３８には導管２１も開口している。この導管３８内には導管２１
の開口と導管２８の開口との間に弁４１と４２とがある。弁４１と４２との間に
ある導管３８の区分にはカップリング４５に接続された導管４４が開口している
。カップリング４５は導管４４をスニフタ４８のスニフティング導管４７に接続
するために用いられている。符号５１で示されたスニフタ４８のスニフティング
ゾンデはハンドグリップ５２とスニフティング先端５３とを有している。
れている。導管３８には導管２１も開口している。この導管３８内には導管２１
の開口と導管２８の開口との間に弁４１と４２とがある。弁４１と４２との間に
ある導管３８の区分にはカップリング４５に接続された導管４４が開口している
。カップリング４５は導管４４をスニフタ４８のスニフティング導管４７に接続
するために用いられている。符号５１で示されたスニフタ４８のスニフティング
ゾンデはハンドグリップ５２とスニフティング先端５３とを有している。
【００１３】
スニフティングゾンデ５１を載置するためには保持体５４が設けられている。
この保持体５４はシート型漏洩探査器１に固定されるか又は独立したスタンドと
して構成されている。保持体５４は中空室５５を有し、該中空室５５は、スニフ
ティングゾンデ５１が載置させられた場合に、スニフティング先端５３を受容す
る。さらにスニフティングゾンデ５１が載置させられた場合に中空室５５をハン
ドグリップ５２に対してシールするシール５６が設けられている。中空室５５に
は導管５７が接続されている。この導管５７はカップリング５８を介して、シー
ト型漏洩探査器１のケーシングに配置された負圧スイッチ５９と接続されている
。スニフティング導管４７としては公知の毛細管（直径約０．５ｍｍ）が用いら
れる。これはスニフティング先端５３により室５５内に生ぜしめられた負圧を迅
速に負圧スイッチ５９に作用させる導管５７にも当嵌まる。
この保持体５４はシート型漏洩探査器１に固定されるか又は独立したスタンドと
して構成されている。保持体５４は中空室５５を有し、該中空室５５は、スニフ
ティングゾンデ５１が載置させられた場合に、スニフティング先端５３を受容す
る。さらにスニフティングゾンデ５１が載置させられた場合に中空室５５をハン
ドグリップ５２に対してシールするシール５６が設けられている。中空室５５に
は導管５７が接続されている。この導管５７はカップリング５８を介して、シー
ト型漏洩探査器１のケーシングに配置された負圧スイッチ５９と接続されている
。スニフティング導管４７としては公知の毛細管（直径約０．５ｍｍ）が用いら
れる。これはスニフティング先端５３により室５５内に生ぜしめられた負圧を迅
速に負圧スイッチ５９に作用させる導管５７にも当嵌まる。
【００１４】
図１のシート型漏洩探査器１においては漏洩探査サイクルは自動的に行なわれ
る。この漏洩探査を制御するためにはブロック６１として示された制御センタが
設けられている。この制御センタ６１にはすべての測定装置と、制御しようとす
るすべての構成部分とが接続されている。これはテスト室の閉鎖で作動されるス
イッチにも当嵌まる。図示の実施例の場合には前記スイッチはフレーム３に設け
られた金属ピン６２とフレーム４に配置されたセンサ６３とを有している。接近
スイッチングであるセンサ６３は制御センタ６１と接続されている。又、電気的
、機械的又は光学的に作動されるものであれ、他のスイッチを前記目的のために
使用することもできる。
る。この漏洩探査を制御するためにはブロック６１として示された制御センタが
設けられている。この制御センタ６１にはすべての測定装置と、制御しようとす
るすべての構成部分とが接続されている。これはテスト室の閉鎖で作動されるス
イッチにも当嵌まる。図示の実施例の場合には前記スイッチはフレーム３に設け
られた金属ピン６２とフレーム４に配置されたセンサ６３とを有している。接近
スイッチングであるセンサ６３は制御センタ６１と接続されている。又、電気的
、機械的又は光学的に作動されるものであれ、他のスイッチを前記目的のために
使用することもできる。
【００１５】
制御センタ６１と構成部分との間の多数の電気的な接続線は図面を見やすくす
るために図示していない。制御センタ６１には２つの信号ランプ６４，６５が接
続されている。これらの信号ランプ６４，６５の一方は被験体が緊密であること
が確認されると緑色に光り、他方は被験体が不緊密であることが確認されると赤
色に光る。
るために図示していない。制御センタ６１には２つの信号ランプ６４，６５が接
続されている。これらの信号ランプ６４，６５の一方は被験体が緊密であること
が確認されると緑色に光り、他方は被験体が不緊密であることが確認されると赤
色に光る。
【００１６】
原発明によるシート型漏洩探査器１が運転準備状態にある場合に、テスト室が
−図１に示されているように−開かれるか又は上方のフレーム３が下方のフレー
ム４から引き離されると、全部の弁−弁４１を除いて−が閉じられている。１つ
の被験体を下のシート６の上に載せかつ上方のフレーム３を下方のフレーム４に
載せたあとで接近スイッチ６２，６３が漏洩探査過程を開始させる。このために
はまず、当該システムに漏洩測定を誤らせる上昇させられたヘリウムバックグラ
ウンドが存在するか否かが試験される。これは質量スペクトロメータ３６を用い
て行なわれる。この質量スペクトロメータ３６が高すぎるバックグラウンドを告
げると弁３１が開放され、ヘリウムバックグラウンドが無害な値をとるまでポン
プ３０がガスバラストで運転される。
−図１に示されているように−開かれるか又は上方のフレーム３が下方のフレー
ム４から引き離されると、全部の弁−弁４１を除いて−が閉じられている。１つ
の被験体を下のシート６の上に載せかつ上方のフレーム３を下方のフレーム４に
載せたあとで接近スイッチ６２，６３が漏洩探査過程を開始させる。このために
はまず、当該システムに漏洩測定を誤らせる上昇させられたヘリウムバックグラ
ウンドが存在するか否かが試験される。これは質量スペクトロメータ３６を用い
て行なわれる。この質量スペクトロメータ３６が高すぎるバックグラウンドを告
げると弁３１が開放され、ヘリウムバックグラウンドが無害な値をとるまでポン
プ３０がガスバラストで運転される。
【００１７】
通常は高められたヘリウムバックグラウンドは存在していないので、テスト室
の閉鎖と共に本来の漏洩探査サイクルも開始する。まず弁１２と２２とが開かれ
る。これはシート５，６の間の室のきわめて迅速な排気をもたらす。フリース区
分９が存在する領域の外側で、互いに直接的に接触するシート５，６はテスト室
のシールを形成する。
の閉鎖と共に本来の漏洩探査サイクルも開始する。まず弁１２と２２とが開かれ
る。これはシート５，６の間の室のきわめて迅速な排気をもたらす。フリース区
分９が存在する領域の外側で、互いに直接的に接触するシート５，６はテスト室
のシールを形成する。
【００１８】
原発明の漏洩探査方法では、若干１００ｍｂａｒ（１００〜３００ｍｂａｒ）
の圧力で絞り弁３２が開放される。絞り弁３２はターボ分子真空ポンプ３５にて
必要な前真空室が許容されないほど高い値をとらないように設計されている。絞
り弁３２が開放されると粗漏洩探査が開始される。ヘリウムが絞り弁３２を通っ
て流れると、ヘリウムは向流でターボ分子ポンプ３５を通って質量スペクトロメ
ータ３６に達する。ヘリウムが記録されると被験体は不緊密である。すなわち、
漏洩探査サイクルは中断される。
の圧力で絞り弁３２が開放される。絞り弁３２はターボ分子真空ポンプ３５にて
必要な前真空室が許容されないほど高い値をとらないように設計されている。絞
り弁３２が開放されると粗漏洩探査が開始される。ヘリウムが絞り弁３２を通っ
て流れると、ヘリウムは向流でターボ分子ポンプ３５を通って質量スペクトロメ
ータ３６に達する。ヘリウムが記録されると被験体は不緊密である。すなわち、
漏洩探査サイクルは中断される。
【００１９】
ヘリウムがまだ記録されない場合には排気プロセスが続行される。圧力がター
ボ分子ポンプ３５の前真空圧の大きさである、装置２３にて測定された値に達す
ると、弁１２，２２および３２が閉じられかつ弁３３が開かれ、敏感な漏洩探査
期が開始させられる。これはテストガスが記録され、したがって被験体が不緊密
であると中断されるか又は所定の時間後に中断される。この場合にはあらかじめ
決まった時間が定められているか又は圧力が（装置２３で測定されて）所定の値
を下回るまで検査される。この時間帯内にテストガスが記録されないと、この結
果からは被験体が緊密であると結論づけることができる。
ボ分子ポンプ３５の前真空圧の大きさである、装置２３にて測定された値に達す
ると、弁１２，２２および３２が閉じられかつ弁３３が開かれ、敏感な漏洩探査
期が開始させられる。これはテストガスが記録され、したがって被験体が不緊密
であると中断されるか又は所定の時間後に中断される。この場合にはあらかじめ
決まった時間が定められているか又は圧力が（装置２３で測定されて）所定の値
を下回るまで検査される。この時間帯内にテストガスが記録されないと、この結
果からは被験体が緊密であると結論づけることができる。
【００２０】
敏感な漏洩探査の間は導管１９と２１と２７だけがテスト室と漏洩検出器２９
との間の接続を成す。被験体の破裂はもはや見込まれない。通常は導管１９と２
１との間にはあらゆる不純物を漏洩検出器２９から遠ざける粒子フィルタ２０が
存在している。
との間の接続を成す。被験体の破裂はもはや見込まれない。通常は導管１９と２
１との間にはあらゆる不純物を漏洩検出器２９から遠ざける粒子フィルタ２０が
存在している。
【００２１】
原発明の漏洩探査サイクルの終了は、これまで開いていたすべての弁−弁４１
を除いて−が閉じられ、弁１５，２４が開かれる形式で行なわれる。テスト室は
通気され、上方のフレーム３は下のフレーム４から引き離される。有利であるの
は、互いにヒンジ結合された両フレーム３，４がヒンジ２の領域で、図示されて
いないばね装置の作用下にあり、このばね装置の力が常に開放方向に作用してい
ることである。ばね装置の力は、漏洩探査の間に発生した真空がテスト室を閉じ
た状態に保ち、フレーム３が通気過程の後で開放位置をとるように設定されてい
る。
を除いて−が閉じられ、弁１５，２４が開かれる形式で行なわれる。テスト室は
通気され、上方のフレーム３は下のフレーム４から引き離される。有利であるの
は、互いにヒンジ結合された両フレーム３，４がヒンジ２の領域で、図示されて
いないばね装置の作用下にあり、このばね装置の力が常に開放方向に作用してい
ることである。ばね装置の力は、漏洩探査の間に発生した真空がテスト室を閉じ
た状態に保ち、フレーム３が通気過程の後で開放位置をとるように設定されてい
る。
【００２２】
漏洩試験の間に被験体が不緊密であることが確認されると、利用者は漏洩個所
を知ることに関心を持つようになる。このためには本発明によるシート型漏洩探
査器はスニフタ４８を備えている。このスニフタ４８はスニフティング導管４７
でカップリング４５を介して導管４４に接続されている。スニフタ４８が用いら
れない間は、スニフタ４８は保持体５４に置かれている。この保持体５４は既に
記述した手段５５から５９までを備えている。これらの手段５５から５９までに
よって制御センタ６１はゾンデ５１が保持体５４に載置させられているか否かを
識別する。他の手段−機械的、電気的又は誘導的に作動されるスイッチを前記目
的のために使用することもできる。
を知ることに関心を持つようになる。このためには本発明によるシート型漏洩探
査器はスニフタ４８を備えている。このスニフタ４８はスニフティング導管４７
でカップリング４５を介して導管４４に接続されている。スニフタ４８が用いら
れない間は、スニフタ４８は保持体５４に置かれている。この保持体５４は既に
記述した手段５５から５９までを備えている。これらの手段５５から５９までに
よって制御センタ６１はゾンデ５１が保持体５４に載置させられているか否かを
識別する。他の手段−機械的、電気的又は誘導的に作動されるスイッチを前記目
的のために使用することもできる。
【００２３】
保持体５４にゾンデ５１が存在している限り、すでに述べたように、弁４１は
開放した状態に保たれる。スニフタはこれにより常時スタンドバイ状態にある。
スニフタが保持体５４から取出されてはじめて弁４１が閉じかつ弁４２が開く。
スニフタ４８を貫流するガス流はこれにより導管２８に達し、ポンプ３０により
維持される。この状態でスニフティング漏洩探査が可能である。ヘリウムがスニ
フティング先端５３によって受容されると、ヘリウムは向流でターボ分子ポンプ
３５を通って質量スペクトロメータ３６に達する。
開放した状態に保たれる。スニフタはこれにより常時スタンドバイ状態にある。
スニフタが保持体５４から取出されてはじめて弁４１が閉じかつ弁４２が開く。
スニフタ４８を貫流するガス流はこれにより導管２８に達し、ポンプ３０により
維持される。この状態でスニフティング漏洩探査が可能である。ヘリウムがスニ
フティング先端５３によって受容されると、ヘリウムは向流でターボ分子ポンプ
３５を通って質量スペクトロメータ３６に達する。
【００２４】
制御センタ６１は、接近スイッチ６２，６３が閉じられている間はスニフタ４
８が待機から漏洩探査運転への切換え（弁４１と４２との切換え）が行われない
ようにプログラミングされている。これによりミス測定につながるシート型漏洩
探査器１とスニフタ４８とを介した同時の漏洩探査は回避される。
８が待機から漏洩探査運転への切換え（弁４１と４２との切換え）が行われない
ようにプログラミングされている。これによりミス測定につながるシート型漏洩
探査器１とスニフタ４８とを介した同時の漏洩探査は回避される。
【００２５】
量的な漏洩探査に際しては通常は見つけ出された漏れのm/bar l/secで測定さ
れた漏れ値が探査者にとって興味深いことである。
れた漏れ値が探査者にとって興味深いことである。
【００２６】
しかし、大きな個数で製造された被験体の検査に際しては、被験体におけるテ
ストガスの濃度の測定も興味深いことである。これはスニフティング先端５３が
被験体へ刺設されるか又は被験体にて規定された漏れを発生させ、シート型漏洩
探査器１にて漏洩探査サイクルを実施することで行うことができる。したがって
、制御センタは図示されていないディスプレーにて漏洩値も濃度も読取り可能で
あるように構成されている。
ストガスの濃度の測定も興味深いことである。これはスニフティング先端５３が
被験体へ刺設されるか又は被験体にて規定された漏れを発生させ、シート型漏洩
探査器１にて漏洩探査サイクルを実施することで行うことができる。したがって
、制御センタは図示されていないディスプレーにて漏洩値も濃度も読取り可能で
あるように構成されている。
【００２７】
図２にはフレーム３と４の構造が示されている。フレーム３と４はそれぞれ１
つの外側のリング７１もしくは７２と内側のリング７３，７４から成っている。
リング対の間にはシート５，６が固定、有利には接着されている。各内側のリン
グはそれぞれ対応する切欠き７５，７６に位置し、切欠き７５，７６は外側のリ
ング７１，７２がテスト室に向いた領域にて互いに直接的に向合いかつこれによ
って張設されたシート５，６の平面を決定するように配置されている。外側の領
域では内側のリング７３，７４は互いに直接的に向合っている。内側のリング７
３，７４の間にはリップシール７７がある。シート５，６は各リング対の間のア
ングル状のギャップ内を延びかつ締込まれているか又は接着されている。
つの外側のリング７１もしくは７２と内側のリング７３，７４から成っている。
リング対の間にはシート５，６が固定、有利には接着されている。各内側のリン
グはそれぞれ対応する切欠き７５，７６に位置し、切欠き７５，７６は外側のリ
ング７１，７２がテスト室に向いた領域にて互いに直接的に向合いかつこれによ
って張設されたシート５，６の平面を決定するように配置されている。外側の領
域では内側のリング７３，７４は互いに直接的に向合っている。内側のリング７
３，７４の間にはリップシール７７がある。シート５，６は各リング対の間のア
ングル状のギャップ内を延びかつ締込まれているか又は接着されている。
【００２８】
さらに図２においては、シール５，６がその間に被験体７９が挿入された状態
でテスト室８０を形成していることが判る。フリース区分９は連続したテスト室
８０の形成を保証する。
でテスト室８０を形成していることが判る。フリース区分９は連続したテスト室
８０の形成を保証する。
【００２９】
下方のフレーム４のリング７２は皿形の底８の縁７に支えられかつこれに接着
されている（接着層７８）。上方のフレーム３には保持体が配属され、この保持
体はフレーム３を外側からかつ部分的に上方から取囲む鋼製プロフィール８１に
より構成されている。フレーム３は軸方向で浮遊して鋼製のプロフィール８１に
固定されているのでフレーム３は下降後に均一にフレーム４に載着される。テス
ト室８０の排気によって付加的に圧着力が生ぜしめられる。軸方向には鋼製プロ
フィール８１はフレーム３を越えて下方へ延びかつ下降運動の最終時期での案内
を形成する。鋼製プロフィール８１をカバーするためには検出リング８５が役立
つ。
されている（接着層７８）。上方のフレーム３には保持体が配属され、この保持
体はフレーム３を外側からかつ部分的に上方から取囲む鋼製プロフィール８１に
より構成されている。フレーム３は軸方向で浮遊して鋼製のプロフィール８１に
固定されているのでフレーム３は下降後に均一にフレーム４に載着される。テス
ト室８０の排気によって付加的に圧着力が生ぜしめられる。軸方向には鋼製プロ
フィール８１はフレーム３を越えて下方へ延びかつ下降運動の最終時期での案内
を形成する。鋼製プロフィール８１をカバーするためには検出リング８５が役立
つ。
【００３０】
さらに図２には環状のハンドグリップ８２を有するシート型漏洩探査器が示さ
れている。このハンドクリップ８２にはスニフタ４８の保持体５４が固定されて
いる。保持体５４には、スニフタ４８のゾンデ５１が保持体５４に載置されてい
るか否かを識別可能にする手段が存在する。保持体５４とケーシング８６はカッ
プリング５８内へ延び込む手納管ホース５７が延びている。
れている。このハンドクリップ８２にはスニフタ４８の保持体５４が固定されて
いる。保持体５４には、スニフタ４８のゾンデ５１が保持体５４に載置されてい
るか否かを識別可能にする手段が存在する。保持体５４とケーシング８６はカッ
プリング５８内へ延び込む手納管ホース５７が延びている。
【００３１】
原発明の漏洩探査方法では、内部の汚染に基づくミス測定を回避する処置が提
案されている。しかしミス測定は漏洩探査器の周辺空気が未知でかつ過剰のヘリ
ウム濃度を有していることによっても可能である。したがって例えば制限された
証明限界を知るか又は適当な形式で補償するためには少なくとも前記ヘリウム濃
度の大きさを知ることが興味深いことである。
案されている。しかしミス測定は漏洩探査器の周辺空気が未知でかつ過剰のヘリ
ウム濃度を有していることによっても可能である。したがって例えば制限された
証明限界を知るか又は適当な形式で補償するためには少なくとも前記ヘリウム濃
度の大きさを知ることが興味深いことである。
【００３２】
これは本願の追加の発明の対象ではテスト室８０が閉鎖される前に空気のヘリ
ウム濃度が測定されることによって行われる。この時点でのこの測定を可能にす
るためには、原発明による漏洩探査方法では粗漏洩探査の間に開かれている絞り
弁３２の構成が、導管２１における圧力が大気圧である場合にも開いているよう
に変更されている。テスト室８０が開放されている場合には、絞り弁３２が開い
た状態で小さな空気流が検出器２９の入口へ達する。質量スペクトロメータ３６
は侵入する空気に存在するヘリウム濃度を記録する。連続的に測定された値は短
時間（数秒で十分）に亘って例えば制御装置に記録される。
ウム濃度が測定されることによって行われる。この時点でのこの測定を可能にす
るためには、原発明による漏洩探査方法では粗漏洩探査の間に開かれている絞り
弁３２の構成が、導管２１における圧力が大気圧である場合にも開いているよう
に変更されている。テスト室８０が開放されている場合には、絞り弁３２が開い
た状態で小さな空気流が検出器２９の入口へ達する。質量スペクトロメータ３６
は侵入する空気に存在するヘリウム濃度を記録する。連続的に測定された値は短
時間（数秒で十分）に亘って例えば制御装置に記録される。
【００３３】
この処置によって空気におけるヘリウム濃度は、後続する漏洩探査プロセスに
際して考慮される。このようなプロセスがフレーム４にフレーム３を載せること
で開始されると、テスト室を閉じる直前に測定されかつ記録された空気中のヘリ
ウム濃度の値が漏洩測定の評価に際して考慮される。被験体に漏れが見られると
、例えば漏洩探査の自動的な修正が実施される。空気中のヘリウム濃度が高すぎ
る場合には視覚的又は聴覚的な警報が発せられることもできる。
際して考慮される。このようなプロセスがフレーム４にフレーム３を載せること
で開始されると、テスト室を閉じる直前に測定されかつ記録された空気中のヘリ
ウム濃度の値が漏洩測定の評価に際して考慮される。被験体に漏れが見られると
、例えば漏洩探査の自動的な修正が実施される。空気中のヘリウム濃度が高すぎ
る場合には視覚的又は聴覚的な警報が発せられることもできる。
【００３４】
重要であることは絞り弁３２が、導管２１が大気圧よりも低くてもターボ分子
ポンプ３５の前真空圧が許容できない高い値をとらないように構成されているこ
と、十分に小さい絞り開口を有していることである。絞り弁３２は少なくとも漏
洩プロセスの開始前に漏洩探査室８０がまだ開かれている状態で開放させられて
いなければならない。
ポンプ３５の前真空圧が許容できない高い値をとらないように構成されているこ
と、十分に小さい絞り開口を有していることである。絞り弁３２は少なくとも漏
洩プロセスの開始前に漏洩探査室８０がまだ開かれている状態で開放させられて
いなければならない。
【図１】
本発明によるシート漏洩探査器をその回路と共に概略的に示した図。
【図２】
シートが張設されたフレームの詳細を示した部分的な断面図。
１ 漏洩探査器、 ２ ヒンジ、 ３，４ フレーム、 ５，６ シート、
７ 縁部、 ８ 底、 ９ フリース区分、 １０ 導管区分、 １１ 導管、
１２ 弁、 １３ 前真空室、 １４ 圧力測定装置、 １５ 通気弁、 １
８ 導管接続部、 １９ 導管区分、 ２０ フィルタ、 ２１ 導管、 ２２
弁、 ２３ 圧力測定装置、 ２４ 通気弁、 ２６，２７ 導管、 ２８
導管、 ２９ テストガス検出器、 ３０ 真空ポンプ、 ３１ 弁、 ３２
絞り弁、 ３３ 弁、 ３５ ターボ分子真空ポンプ、 ３６ 質量スペクトロ
メータ、 ３７ 圧力測定装置、 ３８ 導管、 ４１，４２ 弁、 ４４ 導
管、 ４５ カップリング、 ４７ スニフティング導管、 ４８ スニフタ、
５１ スニフティングゾンデ、 ５２ ハンドグリップ、 ５３ スニフティ
ング先端、 ５４ 保持体、 ５５ 中空室、 ５６ シール、 ５７ 導管、
５８ カップリング、 ５９ 負圧スイッチ、 ６１ 制御センタ、 ６２
金属ピン、 ６３ センサ、 ６４，６５ 信号ランプ、 ７１，７２ リング
、 ７３，４ リング、 ７５ 切欠き、 ７７ リップシール、 ７９ 被験
体、 ８０ テスト室、 ８１ 鋼製プロフィール、 ８２ ハンドグリップ、
８５ 検出リング、 ８６ ケーシング
７ 縁部、 ８ 底、 ９ フリース区分、 １０ 導管区分、 １１ 導管、
１２ 弁、 １３ 前真空室、 １４ 圧力測定装置、 １５ 通気弁、 １
８ 導管接続部、 １９ 導管区分、 ２０ フィルタ、 ２１ 導管、 ２２
弁、 ２３ 圧力測定装置、 ２４ 通気弁、 ２６，２７ 導管、 ２８
導管、 ２９ テストガス検出器、 ３０ 真空ポンプ、 ３１ 弁、 ３２
絞り弁、 ３３ 弁、 ３５ ターボ分子真空ポンプ、 ３６ 質量スペクトロ
メータ、 ３７ 圧力測定装置、 ３８ 導管、 ４１，４２ 弁、 ４４ 導
管、 ４５ カップリング、 ４７ スニフティング導管、 ４８ スニフタ、
５１ スニフティングゾンデ、 ５２ ハンドグリップ、 ５３ スニフティ
ング先端、 ５４ 保持体、 ５５ 中空室、 ５６ シール、 ５７ 導管、
５８ カップリング、 ５９ 負圧スイッチ、 ６１ 制御センタ、 ６２
金属ピン、 ６３ センサ、 ６４，６５ 信号ランプ、 ７１，７２ リング
、 ７３，４ リング、 ７５ 切欠き、 ７７ リップシール、 ７９ 被験
体、 ８０ テスト室、 ８１ 鋼製プロフィール、 ８２ ハンドグリップ、
８５ 検出リング、 ８６ ケーシング
Claims (6)
- 【請求項１】 それぞれ１つのフレーム（３，４）に張設された２つのシー
ト（５，６）を有し、被験体が挿入された状態で該シート（５，６）がテスト室
を制限しており、２つの真空ポンプ（１３，３０）を備えているシート型漏洩探
査器を運転する方法であって、まずテスト室（８０）を排気し、この排気運転の
あと漏洩探査運転に切換え、テスト室（８０）の排気期の間は両方の真空ポンプ
の一方（１３）だけを使用し、漏洩探査運転の間は第２の真空ポンプ（３０）だ
けを使用する形式のものにおいて、漏洩探査プロセスの開始前に、周辺空気のヘ
リウム濃度を測定しかつこの結果を次いで行われる漏洩測定に際して考慮するこ
とを特徴とする、シート型漏洩探査器を運転する方法。 - 【請求項２】 シート型漏洩探査器（１）のテスト室（８０）が前記フレー
ム（３，４）の一方（４）にある孔及び前記シート（５，６）の一方（６）に固
定された接続管片（１８）を介して排気可能であり、テスト室（８０）が第１の
排気期の間、第１の真空ポンプ（１３）を用いて前記孔だけを介して排気されか
つ漏洩探査運転の間は第２の真空ポンプ（３０）と接続された前記接続管片（１
８）だけが用いられる、請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 後続する漏洩探査プロセスに際して粗漏洩探査に役立つ絞り
弁（３２）が、漏洩探査の開始前、開放状態に保たれ、前記絞り弁（３２）を通
って流れる周辺空気のヘリウム濃度が連続的に検出されかつ記録され、後続する
漏洩測定に際し漏洩探査器（１）の閉鎖前に測定されかつ記憶された周辺空気の
ヘリウム濃度の値が考慮される、請求項１又は２記載の方法。 - 【請求項４】 テスト室（８０）におけるインテグラルな漏洩試験に際して
不緊密であると証明された被験体（７９）が次いでスニフタを用いて漏洩部位を
特定するために探査され、インテグラルな漏洩探査、スニフティング漏洩探査及
び周辺空気のヘリウム濃縮度測定に際して同じ検出器（２９）が使用される、請
求項１、２又は３記載の方法。 - 【請求項５】 請求項１から４までの方法を実施するために適したシート型
漏洩探査器であって、制御センタ（６１）を備えていることを特徴とする、シー
ト型漏洩探査器。 - 【請求項６】 大気圧が作用しても許容できない高い値をターボ分子ポンプ
の前真空圧が取らないように絞り弁（３２）が設定されている、請求項５記載の
漏洩探査器。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19962006.7 | 1999-12-22 | ||
| DE19962006A DE19962006A1 (de) | 1998-10-10 | 1999-12-22 | Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher |
| PCT/EP2000/011152 WO2001046667A1 (de) | 1999-12-22 | 2000-11-10 | Verfahren zum betrieb eines folien-lecksuchers sowie für die durchführung dieses verfahrens geeigneter folien-lecksucher |
| US10/175,694 US6945092B2 (en) | 1999-12-22 | 2002-06-20 | Method for operating a film leak indicator and a corresponding film leak indicator for carrying out said method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003518256A true JP2003518256A (ja) | 2003-06-03 |
| JP4567270B2 JP4567270B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=32232044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001547525A Expired - Fee Related JP4567270B2 (ja) | 1999-12-22 | 2000-11-10 | シート型漏洩探査器を運転する方法並びに該方法を実施するために適したシート型探査器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1240491B1 (ja) |
| JP (1) | JP4567270B2 (ja) |
| WO (1) | WO2001046667A1 (ja) |
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| JP2008541076A (ja) * | 2005-05-12 | 2008-11-20 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | クオーツウィンドウセンサを備えたスニッファ漏れ検知器 |
| JP2010506181A (ja) * | 2006-10-10 | 2010-02-25 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 吸込み式漏れ検出器 |
| JP2010511160A (ja) * | 2006-11-29 | 2010-04-08 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 吸込み式漏れ検出器 |
| JP2016537542A (ja) * | 2013-09-26 | 2016-12-01 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | フィルムチャンバの排気方法 |
| JP2020537750A (ja) * | 2017-10-19 | 2020-12-24 | ファイファー バキユーム | 検査対象物の密閉性をチェックするための漏れ検出器 |
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| JPH09196797A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-07-31 | Ulvac Japan Ltd | 漏洩検査装置 |
| WO1998016809A1 (de) * | 1996-10-12 | 1998-04-23 | Leybold Vakuum Gmbh | Prüfung der dichtheit von verpackungen |
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| US4813268A (en) * | 1987-03-23 | 1989-03-21 | Superior Industries International, Inc. | Leakage detection apparatus for drum wheels and method therefore |
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-
2000
- 2000-11-10 EP EP00977527A patent/EP1240491B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-10 WO PCT/EP2000/011152 patent/WO2001046667A1/de active Application Filing
- 2000-11-10 JP JP2001547525A patent/JP4567270B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2001508536A (ja) * | 1996-10-12 | 2001-06-26 | ライボルト ヴァクーム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 包装材のシール性の検査 |
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| JP2020537750A (ja) * | 2017-10-19 | 2020-12-24 | ファイファー バキユーム | 検査対象物の密閉性をチェックするための漏れ検出器 |
| JP7142089B2 (ja) | 2017-10-19 | 2022-09-26 | ファイファー バキユーム | 検査対象物の密閉性をチェックするための漏れ検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4567270B2 (ja) | 2010-10-20 |
| EP1240491A1 (de) | 2002-09-18 |
| WO2001046667A1 (de) | 2001-06-28 |
| EP1240491B1 (de) | 2008-10-08 |
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