JPH0282131A - 自動リークテスト方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子部品、ラジェータ等のガス洩れを検査する
のに用いられる自動リークテスト方法に関する。

〔従来の技術及びその問題点〕

第８図は従来の自動リークテスト装置におけるリーク検
出器のリークディテクタ・イオン電流値の時間的記録を
示し、各時間Ｔ、−Ｔ２間、Ｔ２−　Ｔ。

間・・・・・・・・・において被測定物が良品であるか
、不良品であるかを判定しているのであるが、いま判定
基準値としてリークディテクタのイオン電流値がＩｏと
して固定されている。そしてこの判定基準値Ｉｏは実際
にはバックグランドが変化するのであるが、これは無視
して一定とされている。（雑誌「真空」１７巻第２号Ｐ
４５〜５２）即ち従来のリークテスト装置の判定方法に
よればリークディテクタのイオン電流値は被測定物毎に
第８図に示すように変化するのであるが被測定物として
の製品が判定値工０よυ大きい電流値を示す時には不良
品と判定される。またこれより小さい電流値を示す時に
は良品と判定される。即ち第１０図に示すような比較回
路によって判定されるのであるが、この基準値としては
上述の電流値Ｉ。

が設定されておシ、比較されるリークディテクタ電流は
被測定物により変化するのであるが今これを時間の関数
としてｆ　（ｔ）とすれば、ｆ　（ｔ）と基準値Ｉｏと
が比較され基準値Ｉｏよりｆ（ｔ）が犬であれば不良品
として判断され、基準値工０より小であれば良品である
と判定している。

第９図は従来のリークテスト装置における真空室及び真
空室内に配設される被測定物に対する排気及びテストの
開始などのタイムチャートを示すものであるが外側の外
環帯＆には真全室の各操作が示されておシ、これから明
らかなように真空室の排気、即ち重列停止と同時に内環
帯ＢＫ示すように被測定物にリークテスト用のガスとし
てヘリウムガスが導入される。冑、ヘリウムガス導入前
に被測定物は排気されてお）、更に、この前段階として
は加圧工程を受けている。そして真空室の重列停止後に
はテストが行われるのであるが実際には真空室の壁から
各種の放出ガスが出てくる。

更に、もし被測定物からリークがあれば、このヘリウム
ガスも被測定物から出てきてリーク検出器により検出さ
れる事になる。部ちリークしたヘリウムガスは放出ガス
とはソ同時にリーク検出器に到達する。よってリーク検
出器の電流値ｆ　（ｔ）に対応するガス分圧又は濃度は
真空室からの放出ガスと被測定物のリークしたヘリウム
ガスを含んでいる。しかしながら実際にはリーク検出器
によって検出されたガスにおける放出ガス（バックグラ
ンド）の分圧が不明である。またテスト用の真空室もし
くは真空槽は通常は複数個用いられ順次、被測定物を導
入、配設させてテスト位置において第９図に示すような
操作を受けてその被測定物のリーク程度から良品か不良
品かソ判定されるのであるが、この各真空室によっても
放出ガス（バックグランド）量は異なるものである。一
般にバックグランドは上記の放出ガスの他に実際には前
回この真空室でテストされた被測定物からリークしたヘ
リウムガスの残留ガスもある。このようなバックグラン
ドにおいて被測定物のリークが検査される。

第１１図はリークテストの記録の他従来例を示すが時間
Ｔ、　、Ｔ！、　Ｔ、・・・・・・・・・が各判定時刻
であり、バックグランドは放出ガスの分圧又は濃度であ
る。

即ちこれに対するリークディテクタ電流イオン電流は図
示のように変化し、今、Ｔ３の判定時刻において被測定
物からヘリウムガスがリークテスト、この分と放出ガス
による即ちバックグランドによるガスとが加算されて実
線のように変動し、よってこれが判定値より大であると
不良品として判断されるのであるが、バックグランドは
各判定時刻において変動し、従って判定値を一定とすれ
ば、ある被測定物に対してはきびしい基準となシ、又、
ある被測定物に対しては、あまい基準値となる。

第１２図はリークテストの記録の更に他従来例を示すが
判定時刻Ｔ、　、Ｔ、　、Ｔ、・・・・・・・・・にお
いて各被測定物のリークが検査され、ヘリウムイオン電
流工は図示したように変化する。この場合、判定時刻Ｔ
！においては特に被測定物のリークが巨大である場合に
は勿論これは不良品として判断されるのであるが、この
被測定物を収容した真空室を次の被測定物に対しても用
いる場合には同じ排気系で排気するといえどもなお多量
のヘリウム残留ガスが存在しており、従って次の測定時
刻Ｔ、においては実際にはそのときの被測定物Ｋ　’Ｊ
−りが無いとしても、その巨大な残留ガスのために不良
品として判断されてしまう事がある。

また第１２図から明らかなように実際にはバックグラン
ドは図示するように変化するのであるが各判定時刻にお
けるバックグランドから判定値までの差は変動する。例
えば判定時刻Ｔ６における許容リーク量と判定時刻Ｔ７
　Ｋおけるそれとは図示するように大きく変シ、判定時
刻Ｔ、における被測定物に対する許容リーク量は大きく
なって、これではこの被測定物に対して妥当な許容判定
基準を与えているとは云えない。

また実際のリーク判定方法においてはバックグランドを
一日において何回か検査し、これに応じて判定値を定め
ているのであるが、それでも次の判定値の設定までＫは
大きく変動し、又、−日中に何回もバックグランドの測
定をしなければならず作業能率を大きく低下させていた
。例えば第３２図において判定値をバックグランドの最
大値に基準レベルをおくものとすればバックグランドの
最小値のときに被測定物が小さいリークをしたときには
これを検出することができなくなる。すなわち検出感度
は良くない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は上記問題に鑑みて為され、−日においてバック
グランドを何回も検査する必要が無く、しかもその折々
のバックグランドの変動にも拘らず常に正確に被測定物
のリーク量を検出する事が出来る自動リークテスト方法
を提供する事を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、密閉空間を有する被測定物を収容する真空
室と、前記被測定物の密閉空間を排気するための第１排
気系と、該第１排気系により排気された前記被測定物の
密閉空間内にリークテスト用ガスを供給するためのガス
供給源と、前記真空室を排気するための第２排気系と、
前記真空室に連通可能で前記リークテスト用ガスの分圧
又は濃度を検出するためのリーク検出器とを備え、前記
第１排気系により前記被測定物の密閉空間を排気し、か
つ前記第２排気系により前記真空室を排気した後、前記
被測定物の密閉空間内に前記ガス供給源より前記リーク
テスト用ガスを供給して、該被測定物からの該ガスの洩
れを前記リーク検出器により検出するようにした自動リ
ークテスト方法において、前記第２排気系により前記真
空室を排気した後、前記真空室と前記リーク検出器とを
連通させて前記真空室及び該真空室から該リーク検出器
までのガス通路に残存する前記リークテスト用ガス及び
／又は該ガスとして検出し得る他ガスを前記リーク検出
器により少なくとも２つの時点で検出して得られる検出
々力から、前記リークテスト用ガス及び／又は該ガスと
して検出し得る他ガスの分圧又は濃度の時間的変化を算
定し、前記真空室を排気した後、前記真空室と前記リー
ク検出器とを連通させてから前記算定後の第１の所定時
間に前記被測定物の密閉空間内に前記リークテスト用ガ
スを供給し、この後の第２の所定時間における前記リー
ク検出器の検出々力から前記時間的変化の算定による検
出々力を減算することにより前記被測定物のガス洩れ又
はガス洩れの大きさをテストするようにしたことを特徴
とする自動リークテスト方法によって達成される。

〔作　用〕

真空室の排気後、リーク検出器により少なくとも２つの
時点でバックグランドのガスの中で該リーク検出器によ
り検出され得るガスの分圧又は濃度が測定され、これか
ら以後のバックグランドの時間的変化が算定される。こ
の後の第１の所定時間に被測定物の密閉空間内にリーク
テスト用ガスが供給される。そして更にこの後の第２の
所定時間におけるリーク検出器の検出々力から上記の時
間的変化の算定による検出々力を減算する。この減算結
果から被測定物のガス洩れ又はこの度合が検知される。

以上のようにしてその折々のバックグランドに応じた補
正をすることができるのでリーク検出感度を向上させる
ことができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例による自動リークテスト装置につ
いて第１図乃至第７図を参照して説明する。

第１図は実施例によるリークテスト装置の概略を示すも
のであるが真空室（１）内には被測定物（２）が配設さ
れ、この被測定物（２）に対しては排気・加圧系（３）
及びヘリウムガス源σ刀が接続され、また真空室（１）
に対しては他の排気系（４）及びリーク検出器（至）が
接続されている。被測定物（２）は例えばラジェータで
あって密閉空間を有し、これは真空室（１）に気密に接
続される管路（５）及びこれから分岐する管路（６）、
電磁弁（７）を介して排気・加圧システモム（８）Ｋ接
続される。更に管路（５）は電磁弁（９）、管路αＱを
介してヘリウムガス源叩に接続される。

真空室（１）は管路（５）、三方電磁弁（至）、管Ｍ（
ト）、三方電磁弁（至）を介してリーク検出器もしくは
へりウムリークデイテクタＯａＫ接続されている。上流
側の三方電磁弁（２）の一方のボートは排気系α弔に接
続されている。下流側の三方電磁弁（イ）は他方の排気
系α７）Ｋ接続されている。ヘリウムリークディテクタ
（ト）は公知の構造を有し、イオン電荷量と質量とＫよ
るイオン流の軌跡の差によってヘリウムを分析するもの
でイオンソース源、偏向用の電磁石、電極等から成りこ
の中に導入されたガスはイオン化されて電場及び磁場の
ローレンツ力を受けてヘリウムイオン検出部に到達する
ような構成となっている。

第２図は第１図の装置を含む製品判定装置全体の平面図
であるが図においてターンテーブル（１）の外周縁部に
は９０度の角度間隔で第１図に示した真空室（１）に対
応する真空槽Ｑ１１■の（２）が配設されている。これ
らは各々ターンテーブル四に固定されており、また配管
ＱＳ４ｃ！６１＠ＣＢを各々気密に接続させている。そ
してこれらの他端側は第１図で示す排気系（３）にター
ンテーブル（イ）の検査位置において気密に接続可能と
なっている。第２図において０１、Ｃ，、Ｃ，、Ｃ，は
それぞれ検査位置Ｃ１、検査済被測定物の取出し位置、
被測定物導入口及びすでに被測定物を導入された真空槽
の待機位置であるが、測定位置Ｃいにおいては第１図で
示すリークディテクタ＋（ト）を含む他の排気系（４）
が気密に接続される事になっている。位置Ｃ３に対向し
てベルトコンベヤ■が配設され、これは矢印に示す方向
に移動しているのであるが測定されるべき品物３υｃｌ
ａｎがこれにより搬送され、導入位置Ｃ，に到るとブツ
シャ−ｔ４１の矢印に示す方向の移動によフ冥空室のに
被測定物時（第２図において）が導入されるようになっ
ている。そしてこの導入後においてターンテーブル翰は
矢印Ｔの示す方向、即ち反時計方向に９０度回転し真空
室θは図示する真空室器の位置Ｃ４に到る。また真空室
ｔ２４１は図示する真空室−）の位置ｑに到り、こ＼で
次の被測定物３２をプッシャー四により導入されるよう
になっている。なお位置Ｃ２においてはｑの測定位置に
おいて良品か不良品か判断された被測定物がこ＼で矢印
に示す方向に外部に取出され、次工程に良品と不良品と
く選別されて供給されるようになっているが、この次工
程については図示は省略する。以上のようにして順次タ
クト運転で第１図に示すような排気系（３）　（４）及
び検出器（至）が接続されて、被測定物が良品か不良品
か判定されるのであるが、次に本発明によるリーク判定
方法について第３図〜第７図を参照して説明する。

第３図は本発明に係わシ、従来例を示すタイムチャート
の第９図と同様な図である一部を示すものであるが真空
室の操作を表わす外環帯Ｎ′から明らかなように本川後
、テストは開始されるのであるが、本発明によれば被測
定物のヘリウムの供給はテスト開始と同時に行なわれる
のでなくテスト開始後所定の時間経過後にヘリウムが供
給されるようになっている。このタイミング操作につい
て第１図を参照して以下説明する。

第１図において真空室（１）は三方電磁弁（ロ）が今、
管路四と排気系（ロ）と連通させてお）管路（資）と（
至）とは遮断されている。従って真空槽（１）は排気系
Ｑ膏により排気される。この時、下流側の三方電磁弁（
７）は管路（至）と他の排気系αηを連通させており、
管路（ト）とディテクタ（ト）とを遮断している。従り
て管路側中にある残留ガスを排気する。上述したように
排気系α祷は真空室（１）の内部を排気するのであるが
、所定の真空度まで排気すると三方電磁弁（至）は切換
えられ管路（２）と（ハ）を連通させ管路（２）と排気
系α美とは遮断する。また下流側の三方電磁弁（７）も
切換えられて管路（至）とヘリウムディテクタ（至）を
連通させ、管路（至）と排気系りとを遮断する。即ち真
空室（１）とヘリウムディテクタ（至）を連通させる。

よづてテストが開始される。

他方、被測定物（２）が真空室（１）内に配設されてい
るのであるが、これは管路（５）、これから分岐する管
路（６）、開放状態の電磁弁（７）を介して排気・加圧
システ＋ム（８）により先づ加圧されて、この被測定物
（２）の耐久性がテストされる。この時、電磁弁（９）
は閉じておシヘリウムガス源αルから被測定物にヘリウ
ムが供給される事はない。排気・加圧システ手ム（８）
からの加圧によＱ被測定物（２）が耐久性あすと判断す
れば排気、加圧システ＋Ａ　（８）は切換えられて排気
作用が行われる。即ち被測定物（２）の密閉空間内は排
気される。

そして上述したようにこの間、排気系（４）においては
三方電磁弁ａ３（ト）は所定のタイミングで切換えられ
るのであるが真空室（１）とヘリウムディテクタ（ト）
とが連通した後、すなわちテストを開始した後、所定時
間経過後に被測定物（２）の上述の排気作用が停止され
、電磁弁（７）が閉じ、他の電磁弁（９）拡開かれてヘ
リウムガス源σηからヘリウムが管路ｃ１０、管路（５
）を介して被測定物（２）内に供給される。この時、ヘ
リウムディテクタ（ト）は勿論、真空室（１）とは連通
しておシテストを続行中である。

第４図はリーク判別回路を示すものであるが第１図に示
すリーク検出器（至）からの出力ｆ　（ｔ）がサンプリ
ング回路１４１）乃至叩に供給されるようになっている
。また時間制御回路５Ｃからは第６図に示すように各時
刻において各操作がおこなわれるのであるが、この操作
を行う時間ｔ。、ｔ８、ｔ８、ｔ４．１．、を丁におい
て時間信号を発生し、これらは選択的−計算器５１１５
３■に供給されるようになっている。

この各時間信号の発生と共にサンプリング制御信号Ｓ、
乃至Ｓ６が発生し、これらは図示するような配線でサン
プリング回路（４１）乃至旧の各々に供給されるように
なっている。即ち第４図において上方から説明するとサ
ンプリング回路組）は時間りにおいて閉じ、この時のリ
ーク検出器（至）の出力ｆ　（ｔωを比較判定回路（ト
）Ｋ供給する。またサンプリング回路＋４７Ｊはテスト
開始時の１０において閉じ、この時のリーク検出器（至
）の出力ｆ　ｅａ）を計算器６υに供給する。

第３のサンプリング回路すは時間ｔ、で閉じ、この時の
リーク検出器（ト）の出力ｆ　（ｔ、）を計算器６υに
供給するようになっている。なお計算器６１）には時間
制御回路ｒ５■から時間信号が各時刻において計算器６
１１に供給されているので、この時間信号のタイミング
に合せてｆ　ｔｏ）及びｆｔＩ）が計算器６］）に導入
されこの中で所定の演算操作を行うようＫしている。

第４のサンプリング回路部は時間−で閉じ、この時のリ
ーク検出器（ト）の出力ｆ　ｔ、）を第２の計算器１５
２に供給するようにしている。同様に第５及び第６のサ
ンプリング回路４９顛は時間ｔ１、ｔ、で閉じ、この時
のリーク検出器（至）の出力ｔ　ｔｓ）、ｆｔＩＩ）を
計算器５５に供給するようになっている。この計算器ｃ
ｉ５においても第１の計算器５υと同様にこれには時間
信号が１丁、ｔ４、ｔｓ、１．において供給されている
が、この供給のタイミングに合せて検出器（ト）の出力
ｆ傾、ｆ　ａｇ）、ｆ　ａｆｆ）を取り入れて所定の演
算操作を行うようにしている。そして計算器５１１の出
力ｘ’（ｔｓ）、ａｏｔ ｘ’（ｔｓ）、Ａ’（ｔｏ）（Ａ’（ｔ）はＡ　（ｔ）
　＝　Ａｏｅ　　　の計算値を表わす）は第２の計算器
（５３に供給される。またその出力ｘ’（ｔｙ）は第３
の計算器Ｓに供給される。計算器５２１においてはＢｏ
ｅ−ｂｏ（ｔ　ｔ２　）の関数に従う計算が行われ計算
値Ｂ’（ｔ’ｒ）が後段の第３の計算器ｌ５３１に供給
される。そこで所定の計算が行われ、この出力ｆ’（ｔ
？）が加算器（ロ）に供給される。この加算器図には許
容リーク値設定器ωから許容リーク値■′が供給され、
これが第３の計算器■の出力ｆ’（ｋ）に加算され、こ
の加算値は比較判定回路（ト）に供給される。この比較
判定回路５５１において所定の判定時刻Ｌｒにおいてリ
ーク検出器（至）の出力ｆ　ｋ）と加算器５４１の出力
とが比較され加算器５４１の出力よりｆ←）の方が大で
あると不良品であると判断し、また小であると良品であ
ると判断するようにしている。

次に各計算器６υ５３５３の詳細について説明する。

本実施例によれば真全室（１）の重傷停止後テストが開
始されるのであるが、この開始後所定時間を経てヘリウ
ムが被測定物（２）に導入されるよう罠なっている。そ
してテスト開始が時刻−で行われ、これから所定時間後
にヘリウムガスが被測定物（２）の密閉空間内に導入さ
れるのであるが、この間において時間ｔ０及びｔｌにお
いて真空室（１）から放出ガスが検出器（ト）へと流れ
るのであるが、これより先にリーク検出器（至）と真空
室（１）との間の管路ＵＱ３（至）Ｋ残存しているヘリ
ウムガスまたはヘリウムガスとして検出可能なガスの分
圧または濃度が検出される。これが図示せずともリーク
ディテクタＱｌｌＧＫ含まれる排気系により排気されて
いるので、はソ指数関数的に減少して行く。この指数関
数をＡ　（ｔ）ａｏｔ ＝Ａｏｅ　　　　と表わす事が出来るが、計算器圓では
この不定定数ＮＯとａＯとを計算するようにしている。

即ち、時間ｔｏとｔｌにおけるリーク検出器（ト）の出
力ｆ　ｋ）、ｆ（１）を受けて、これにより２つの不定
定数を決定する。従ってこれ以後の時間ｔ１、ｔ、・・
・・・・・・・においては真空室（１）とリーク検出器
（ト）とを結ぶ管路中における残留ガスの変化の様子が
算定される。そしてこの時間１ｓ％１４，１．における
計算値が出力としてＡ’（ｔ、）、Ａ’（ｔ、）　、　
Ａ’（ｉｓ）として、及び時間１．における計算値が出
力＆’（ｔｔ）として、それぞれ計算器５２及びωに供
給されるようになっている。

またテスト開始後所定時間経過後においてヘリウムガス
が被測定物（２）　Ｋ供給されるのであるが、このガス
を導入する前に重列停止後の真空室（１）から放出ガス
がリーク検出器（至）Ｋ到達するものとされる。この到
達時間はｔ２とする。そしてこの放出ガスは時間と共に
増大するのであるが、これは指数関数的に増大するもの
と推定してよい。即ちＢ。

＜　１　　、−ｂｏ　（−１２））と表わされる関数で
増大しているものと推定される。この式において未知数
は不定定数ＢＯ１−ｂｏと１．である。従って時間ｔ５
、ｔいｔｓにおいてサンプリング回路Ｉ４４１１ａ１４
Ｇを閉じてＩＪ−り検出器（至）の出力ｆ　Ｌ）、ｆ　
ｔａ）、ｆ６ンを取り入れてこの三つの実測値から不定
定数及び未知数Ｂｏ、−ｂｏ。

ｔｔが決定される。１．は真空室（１）からの放出ガス
がリーク検出器（至）に到達した時間であるが、これが
上記式から算出する事が出来る。Ｂｏ、−１）％１ｔ　
　の不定定数及び未知数が決定されるとこの計算式にお
いて放出ガスが以後、未知数の決定した指数関数で増大
して行き、これ以後の判定時刻ｔ７における値が算定さ
れる。

計算器■は第４図に示すように放出ガス到着後のバック
グランドによるイオン電流の算定値、ｆ’（ｔ）＝入ｏ
ｅ　　　−１−Ｂｏ（１−ｅ　　””−ｉり）の値を計
算す−ａｏす るものであるが計算器５υ（５２１においてＡ□、　ａ
ｏＢｏ、−ｂ。

ｔ２の不定定数もしくは未知数が決定され、これ等の和
が推定パックグランドとなるのであるが、計算器史から
は判定時刻ｔ、における推定イオン電流値ｆ’（ｔｙ）
が算出され、これが加算器（ロ）に供給される。加算器
５４１には許容リーク値工′が供給され、台この和が比
較 判定回路田に供給される。従って判定時間ｔ？において
サンプリング回路１４】）が閉じるのであるが実測＊ｆ
（ｔｔ）がバックグランドの合算推定値ｆ（ｔ’ｙ）と
許容リーク値Ｉとの和と比較されることＫより正確に良
品か不良品かをその時のバックグランドが如何なる値で
あろうと決定するようにしている。

本発明の実施例によるリーク検出装置は以上のように構
成されるが次にこの作用について説明する。

第２図は本実施例に係わるリーク判定装置の概略図を示
すものであるが、ターンテーブル善玉で今、検査すべき
真空室Ｉ２１Ｊが図示の位置に到ったとする。これによ
りこの真空室シＤは第１図で示される真空室（１）に該
当するものであるが、排気系（３）及び（４）に気密【
接続されるようになっている。第９図に示すタイムチャ
ートと同様にして真空室ｆｌ）　Ｋ対しては、排気系α
美により粗引きが行われ、他方、被測定物（２）に対し
ては排気・加圧システム（８〕により加圧が行われ、所
定の耐圧性を有するかどうかテストされる。この後、加
圧用のガスが排気され、次いでこの排気・加圧システム
（８）により排気される。この間、真空室（１）におい
ては粗引きから本引に切替えられる。そして時間ｔｏで
真空室（１）の本引きが停止され電磁バルブ（２）が切
換えられて管路（２）と（ト）側が接続され、電磁弁Ｏ
０も切換えられて管路（ト）はヘリウムリークディテク
タ（ト）に連通状態におかれる。即ちテストが開始され
る。なお、電磁弁ａ３（６）の上述の切換え前には排気
系αηにより管路αＱ中の残留ガスが排気されていた。

第５図及び第６図に示すようにこの時間ｔ。でリークデ
ィテクタイオン電流ｆ　（ｔ）が測定される。即ちｒ（
ｔｏ）が得られる。この後、時間ｔ、　Ｋは更にこの時
のディテクタ電流ｆ（１１）が得られ、これらはサンプ
リング回路＋４ａ　ｔ４３を介して計算器５υに供給さ
れ、ａｏｔ 関数Ａ　（ｔ）　＝　Ａｏｅ　　　の不定定数ＡＯと−
ａＯがこれらによって確定され、以後この確定された定
数に従って各時間におけるこの関数の計算値が得られる
。

本引き停止後には真空室（１）の各部分から放出ガスが
発生するのであるがこれは管路ａ２（至）を介してヘリ
ウムディテクタ（至）Ｋ時間ｔ！で達するものとされる
。即ちこの時点においては、この時開−は未知でみるが
、これは次のようにして推定される。

即ちこれより以降であると考えられる時間ｔ、において
Ｗ、４図においてサンプリング回路（４四が閉じられて
、リークディテクタ゛電流ｆ（りが実測値として祠られ
、これが計算器５２に供給される。更にまたこの後の時
間ｔ４においてはサンプリング回路圓が閉じる事によυ
ｆ−が計算器５２１に供給され、同様にこの後の時間ｔ
、にサンプリング回路けｅからリークデイテクタ電流ｆ
（−も供給される。よって計算器５２１において関数Ｂ
　（ｔ）＝　Ｂｏ（１−ｅ　−ｂｏ（ｔ−”）における
不定定数であるＢＯｌ−ｂｏ及びｔ、が計算され、時間
ｔ２は放出ガスがヘリウムディテクタ（ハ）に到達する
時間であるが、これが決定された事になる。そしてこの
関数Ｂｏ　（１−ｅ−ｂｏ　（ｔ−ｔ２　）　＞の不定
定数の決定により、これ以後の時間におけるこの関数の
値が各時間でｉｒ算される。そして時間ｔ、の後に第１
図において電磁弁（７）が閉じられ、かつ電磁弁（９）
が開かれてヘリウムガス源具からヘリウムガスが管路（
５）を経て被測定物（２）の密閉窒間内に供給される。

そして若しこの被測定物（２）が洩れを生ずるものであ
れば、この洩れたヘリウムガスは時間ｔ、にヘリウムデ
ィテクタ（至）に到達するものとしている。

そしてこの後の時間ｔ？が判楚時刻であう、この時間に
被測定物（２）にどれくらいの洩れがあるか判定される
。これによりこれが良品であるか不良品であるか判断さ
れるのでおるが、この時間ｔ、において、バックグラン
ドとしての放出ガスの変化、即ちＢｏ（１−ｅ−ｂｏ（
ｔ−”））の関数から、この時間ｔ？における数値が計
算される。これは計算器６２で行われ、これが次段の計
算器啜に送られる。他方、計算器１５１１においては管
路Ｑ２叫に残留している同様にバックグランドとしての
ガスが時間と共に減少して行くのであるが、この減少を
表わす関数ａｏｔ Ａ　（ｔ）　＝　＆ｏ　ｅ　　　の時間ｔ、における値
Ａ’（ｈ）が計算され、この値が計算器６に供給される
。よって時間１．におけるバックグランドとしての放出
ガスによるイオン電流分と残留ガスによるイオン電流分
との和が計算され、これが加算器例に供給される。加算
器５４１には許容リーク恒Ｉ′が供給され、そしてこの
合計値が比較／判定回路印に供給されるのであるが、サ
ンプリング回路（４Ｉ）が時間ｔ〒で閉じる墨によりイ
オン電流ｆ←）が比較／判定回路６９に供給され、これ
が加算器５４１の出力より大である場合は不良であり、
小である場合は良であると判断される。即ち、もし被測
定物（２）に洩れがあれば時間ｔ６以降、リークによる
ヘリウム電流は、第５図において鎖線で示すＣ（ｔ）の
ように変化するのであるが、これが上述のバックグラン
ドｆ’（ｔ）　＝　Ａｏｅ　”ｔ−ｌ−Ｂｏ（１−ｅ　
　　　）に加わって実線で示すようにリークがある場合
のイオン電流ｆ　（ｔ）となる。このｔＴＩｃおける測
定値ｆ　ａｙ）とバックグランドの計′Ｊｉ−値が比較
され、この差が許容リーク値工′より大であるか、小で
あるかくよって良品であるか、不良品であるかを判断す
るようにしている。

第２図において真空室３υ内における被測定物が良品か
不良品か以上のようにして判断されるとターンテーブル
四は反時計方向に９０度回転しく２４１で示す位置に到
る。そしてこ＼で良品であるか不良品であるかくよって
、それぞれの工程へと供給されるようになっている。先
の真空室ＱＩＩの位置には次の被測定物を配設された真
空室■が至っておシ上述と同様な作用を受けて良品か不
良品かソ判断される。

本発明の実施例によれば以上のようにして真空室（１）
の本引き停止後、従来のようにこれと同期して被測定物
（２）にヘリウムガスを供給してテストを開始するので
はなくて、成る時間差をおいてヘリウムガスを供給する
ようにしている。そして真空室の本引き停止後、被測定
物にヘリウムガスを供給する時迄の間に、即ち上述の時
間ｔ０、ｔｌ、ｔｌ、ｔい１．においてリークディテク
タ（至）のイオン電流ｆ　（ｔ）を実測して、これから
放出ガス及び残留ガスの変化を推定し、この推定曲線の
判定時刻に当る値を製品であるか、不良品であるかの判
断のバックグランドとし一定値の許容リーク値１′を加
え、この合計値と判定時刻におけるリークディテクタイ
オン電流の実測値との間の大小をくらべて良品、不良品
と判断している。第７図は従来の装置による固定判定値
と本実施例の判定方法とは、どのような関係にあるかを
示すが、この図においてはＴ３、Ｔ、　、　Ｔ、　、Ｔ
、　、　Ｔ、はテスト位置にもたらされた各真空室に対
する上述の判定時刻１．に対応する時間であってリーク
ディテクタイオン電流は図示のように変化するのである
が、各判定時刻Ｔ、　、　Ｔ、　、　Ｔ、、ａｏｔ Ｔ４　％　Ｔ１１における上述のｆ’（ｔ）＝Ａｏｅ　
　　＋Ｂｏ（１−ｅ−ｂ（ｔ−ｔｔ））の計算値が得ら
れ、これに一定の許容リーク値工′が加えられて判定基
準値とされるのであるが、これは第７図において示すよ
うに各判定段階において変化するものであシ、従来の鎖
線で示すように固定したものでなく、従ってその時のバ
ックグランドに応じた基準値とされる。すなわチ計算パ
ックグランドに許容リーク値Ｉ′を加える事により判定
基準とされるので各被測定物に対して公平な判断基準と
される。よって製品が良品であるか不良品であるかソ正
確に判断する事が出来る。

また本実施例によれば従来のようにバックグランドが一
日のうち何回も測定され、これに応じた固定判定値とい
うものを求める事は無く操作が非常に簡単になり生産能
率を向上させる事が出来る。

以上、本発明の実施例について説明したが、勿論、本発
明はこれに限定される事なく、本発明の技術的思想に基
づいて種々の変形が可能である。

例えば以上の実施例においては残留ガスのテス−ｅ−ｂ
ｏ（−１″））とし、これからの不定定数を決定するの
に時間ｔ。、ｔｌ、ｔ３、ｊ４ＸＬ５においてイオン電
流を実測したのであるが、実際には判定装置が一定であ
れば、かつその操作が一応に行われるものであれば、例
えば放出ガスが到達する時間１ｔがはソ一定と見なして
よい。この場合においては上述において不定定数が一つ
減るので、不定定数を定めるためのｆ　（ｔ）の実測も
１回減少させる事が出来る。従って各関数について２回
づ′＞測定すれば、その不定定数を定める事が出来る。

よって更に計算回路が簡単なものとなる。更にまた放出
ガスは第５図で示す鎖線Ｂ　（ｔ）で示すように、はＮ
ｌ［線的に変化するものであるので、これを指数関数で
はなく直線関数と、即ちＢ　（ｔ）＝　Ｂｏ　（ｔ−ｔ
、）と表わされる場合は更に不定定数が減る事になるの
で、計算回路はより単純化する事が出来る。

更に場合によっては判定装置が一定であり、”また操作
が−様なものであれば本引き停止後、所定のテストを開
始し、また所定時間後に被測定物にヘリウムガスを供給
するのであるが、この間におけるイオン電流の実測値を
更に少くして、その変化を推定し判定時刻におけるバッ
クグランドを算定出来るものであれば、計算回路は更に
簡単なものとなる。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明のリーク検出方法によれば被測
定物を収容する真空室における放出ガス或いはこれから
リークディテクタに接続される管路内における削口のリ
ークによる残留ガスが非常に多量であって、このために
従来では、この時の測定物が良品であるにも係らず、バ
ックグランドが大になり、判定値が一定であるために不
良品とされたが、本発明によればこのような事はなく、
各測定毎にバックグランドが推定され、これに所定の許
容リーク値を加える墨により、その時のバックグランド
に応じて被測定物が良品か不良品か判断されるようにし
ているので、すべての被測定物に対して公平に判断する
墨が出来る。また従来のように一日のうち何回も、バッ
クグランドを実測して判断の基準値を定める事は必要で
ないので生産能率を一段と向上させる事が出来る。また
、個々のバックグランドに応じた補正をすることができ
、リーク検出感度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第ｉ６は本発明の方法を具体化する実施例の自動リーク
テスト装置の配管系統及びブロック図、第２図は第１図
の装置が適用される各真空室のテスト位置及び部品導入
及び導出位置を示すための判別装置の概略平面図、第３
図は本発明の方法による各部の操作に対するタイムチャ
ートを示す図、第４図は本発明の実施例における制御回
路のブロック図、第５図は同実施例の作用を示すための
グラフ、第６図は同実施例の操作手順を示すタイムチャ
ート、第７図は従来例のリーク検査方法と本発明の方法
とを比較するためのグラフ、第８図は従来例の検査方法
の作用を示すグラフ、第９図は従来例の操作手順を示す
タイムチャート、第１０回は従来例の制御回路の一部を
示すブロック図、第１１図及び第１２図は他の各従来例
のリーク判定方法を示すグラフである。 なお図において、

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）密閉空間を有する被測定物を収容する真空室と、
   前記被測定物の密閉空間を排気するための第１排気系と
   、該第１排気系により排気された前記被測定物の密閉空
   間内にリークテスト用ガスを供給するためのガス供給源
   と、前記真空室を排気するための第２排気系と、前記真
   空室に連通可能で前記リークテスト用ガスの分圧又は濃
   度を検出するためのリーク検出器とを備え、前記第１排
   気系により前記被測定物の密閉空間を排気し、かつ前記
   第２排気系により前記真空室を排気した後、前記被測定
   物の密閉空間内に前記ガス供給源より前記リークテスト
   用ガスを供給して、該被測定物からの該ガスの洩れを前
   記リーク検出器により検出するようにした自動リークテ
   スト方法において、前記第２排気系により前記真空室を
   排気した後、前記真空室と前記リーク検出器とを連通さ
   せて前記真空室及び該真空室から該リーク検出器までの
   ガス通路に残存する前記リークテスト用ガス及び／又は
   該ガスとして検出し得る他ガスを前記リーク検出器によ
   り少なくとも２つの時点で検出して得られる検出々力か
   ら、前記リークテスト用ガス及び／又は該ガスとして検
   出し得る他ガスの分圧又は濃度の時間的変化を算定し、
   前記真空室を排気した後、前記真空室と前記リーク検出
   器とを連通させてから前記算定後の第１の所定時間に前
   記被測定物の密閉空間内に前記リークテスト用ガスを供
   給し、この後の第２の所定時間における前記リーク検出
   器の検出々力から前記時間的変化の算定による検出々力
   を減算することにより前記被測定物のガス洩れ又はガス
   洩れの大きさをテストするようにしたことを特徴とする
   自動リークテスト方法。
2. （２）前記時間的変化は前記ガス通路中におけるガスと
   、前記真空室からのガスとに分けて算定するようにした
   請求項（１）に記載の自動リークテスト方法。