JPH0720015A - ガスサンプリング装置 - Google Patents
ガスサンプリング装置Info
- Publication number
- JPH0720015A JPH0720015A JP16295193A JP16295193A JPH0720015A JP H0720015 A JPH0720015 A JP H0720015A JP 16295193 A JP16295193 A JP 16295193A JP 16295193 A JP16295193 A JP 16295193A JP H0720015 A JPH0720015 A JP H0720015A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sampling
- pressure
- leak
- sampling device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 リークの有無を検知し得る有効なガスサンプ
リング装置を提供することを目的とする。 【構成】 サンプリング管路２の始点近傍および終点近
傍にそれぞれサンプリング管路を気密保持可能に密閉す
る遮断弁２１、ＳＶ2、ＳＶ3を設ける。それら遮断弁の
間に設定される検査対象範囲内に検査ガスを密封し、そ
のガス圧を圧力センサ２３により刻々と検出する。監視
装置２４により圧力センサの検出値を所定時間継続して
監視する。リークがあれば検出値が変動するから、その
変動の状況からリークの有無を判断する。
リング装置を提供することを目的とする。 【構成】 サンプリング管路２の始点近傍および終点近
傍にそれぞれサンプリング管路を気密保持可能に密閉す
る遮断弁２１、ＳＶ2、ＳＶ3を設ける。それら遮断弁の
間に設定される検査対象範囲内に検査ガスを密封し、そ
のガス圧を圧力センサ２３により刻々と検出する。監視
装置２４により圧力センサの検出値を所定時間継続して
監視する。リークがあれば検出値が変動するから、その
変動の状況からリークの有無を判断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種のプロセスにおい
てガス分析を行うべくガスをサンプリングするための装
置に関する。
てガス分析を行うべくガスをサンプリングするための装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえばセメント製造プロセスにおいて
は、キルンの燃焼状態の監視やプロセス機器の保護のた
め、キルン排ガスをサンプリングして排ガス中の酸素や
一酸化炭素の濃度を計測するためのガス分析を行うこと
が重要である。そのような場合に適用されるガスサンプ
リング装置は、低濃度領域において高精度の計測を行い
得ることが要求されるものであり、このため、標準ガス
を用いて零点チェックやスパンチェック等のキャリブレ
ーションを確実に行い得るものが一般に採用されてい
る。すなわち、セメント製造プロセスにおいては、排ガ
ス中の酸素濃度の基準値は２〜３％程度、一酸化炭素濃
度の基準値は０．１％程度といずれも低濃度であって、
それらの基準値に対する僅かな変動を検知する必要があ
り、このため、ガスサンプリング装置としては、窒素ガ
スを用いて厳密な零点チェックを行うとともに、測定対
象ガスである酸素および一酸化炭素を実際に用いてスパ
ンチェックを高精度で行うようにしたものが用いられて
いる。
は、キルンの燃焼状態の監視やプロセス機器の保護のた
め、キルン排ガスをサンプリングして排ガス中の酸素や
一酸化炭素の濃度を計測するためのガス分析を行うこと
が重要である。そのような場合に適用されるガスサンプ
リング装置は、低濃度領域において高精度の計測を行い
得ることが要求されるものであり、このため、標準ガス
を用いて零点チェックやスパンチェック等のキャリブレ
ーションを確実に行い得るものが一般に採用されてい
る。すなわち、セメント製造プロセスにおいては、排ガ
ス中の酸素濃度の基準値は２〜３％程度、一酸化炭素濃
度の基準値は０．１％程度といずれも低濃度であって、
それらの基準値に対する僅かな変動を検知する必要があ
り、このため、ガスサンプリング装置としては、窒素ガ
スを用いて厳密な零点チェックを行うとともに、測定対
象ガスである酸素および一酸化炭素を実際に用いてスパ
ンチェックを高精度で行うようにしたものが用いられて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来一般に
採用されているその種のガスサンプリング装置は、上記
のようにキャリブレーションは精度良く行い得るもの
の、リークつまりサンプリングに際してのガスの漏出や
外気の漏入に対する対策は何等なされておらず、このた
め測定結果に対する信頼性の点で必ずしも満足し得るも
のではなかった。すなわち、従来一般のガスサンプリン
グ装置にはサンプリング管路の途中に簡易なクリップに
よる接続部分があり、そのような接続部分においてはリ
ークの発生の余地があるにも拘らず、リークが生じたと
してもそのことを検知し得るものではなかった。したが
って分析結果が変動した場合にそれがプロセス上の理由
による有意な変動であるのか、サンプリングに際しての
リークに起因するものであるかを判断することは困難で
あり、その結果、異常な状況を看過したり、正常である
にも拘らず異常との誤判断をして種々のトラブルを招い
てしまう懸念があった。
採用されているその種のガスサンプリング装置は、上記
のようにキャリブレーションは精度良く行い得るもの
の、リークつまりサンプリングに際してのガスの漏出や
外気の漏入に対する対策は何等なされておらず、このた
め測定結果に対する信頼性の点で必ずしも満足し得るも
のではなかった。すなわち、従来一般のガスサンプリン
グ装置にはサンプリング管路の途中に簡易なクリップに
よる接続部分があり、そのような接続部分においてはリ
ークの発生の余地があるにも拘らず、リークが生じたと
してもそのことを検知し得るものではなかった。したが
って分析結果が変動した場合にそれがプロセス上の理由
による有意な変動であるのか、サンプリングに際しての
リークに起因するものであるかを判断することは困難で
あり、その結果、異常な状況を看過したり、正常である
にも拘らず異常との誤判断をして種々のトラブルを招い
てしまう懸念があった。
【０００４】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、リークの有無を検知し得てより信頼性に優れる有効
なガスサンプリング装置を提供することを目的としてい
る。
で、リークの有無を検知し得てより信頼性に優れる有効
なガスサンプリング装置を提供することを目的としてい
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、各種プロセス
においてガス分析を行うべく、分析対象のガスをサンプ
リング管路を通してガス分析計に導くようにされたガス
サンプリング装置であって、前記サンプリング管路の始
点近傍および終点近傍にそれぞれ設置されてサンプリン
グ管路を気密保持可能に密閉する遮断弁と、それら遮断
弁の間に形成される検査対象範囲内に密封した検査ガス
の圧力を検出する圧力センサと、その圧力センサの検出
値を所定時間継続して監視することによって検査対象範
囲内におけるリークの有無を判断する監視装置とを具備
してなることを特徴としている。
においてガス分析を行うべく、分析対象のガスをサンプ
リング管路を通してガス分析計に導くようにされたガス
サンプリング装置であって、前記サンプリング管路の始
点近傍および終点近傍にそれぞれ設置されてサンプリン
グ管路を気密保持可能に密閉する遮断弁と、それら遮断
弁の間に形成される検査対象範囲内に密封した検査ガス
の圧力を検出する圧力センサと、その圧力センサの検出
値を所定時間継続して監視することによって検査対象範
囲内におけるリークの有無を判断する監視装置とを具備
してなることを特徴としている。
【０００６】
【作用】本発明のガスサンプリング装置は、従来のもの
と同様にサンプリング管路を通してサンプリングしたガ
スをガス分析計により分析するものであるが、サンプリ
ング管路におけるリークの有無を監視するべく、サンプ
リング管路の始点近傍および終点近傍をそれぞれ遮断弁
により気密保持可能に密閉し、その範囲を検査対象範囲
としてそこに空気等の検査ガスを密封するとともに、そ
の検査ガスの圧力を圧力センサにより検出し、その検出
値を監視装置が所定時間継続して監視することによりそ
の変動の状況からリークの有無を判断する。すなわち、
検査対象範囲内においてリークがなければそこに密封し
た検査ガスの圧力は変動することはないが、リークがあ
れば検査ガスの圧力は変動するから、そのことをもって
リークの有無を判断し得るのである。
と同様にサンプリング管路を通してサンプリングしたガ
スをガス分析計により分析するものであるが、サンプリ
ング管路におけるリークの有無を監視するべく、サンプ
リング管路の始点近傍および終点近傍をそれぞれ遮断弁
により気密保持可能に密閉し、その範囲を検査対象範囲
としてそこに空気等の検査ガスを密封するとともに、そ
の検査ガスの圧力を圧力センサにより検出し、その検出
値を監視装置が所定時間継続して監視することによりそ
の変動の状況からリークの有無を判断する。すなわち、
検査対象範囲内においてリークがなければそこに密封し
た検査ガスの圧力は変動することはないが、リークがあ
れば検査ガスの圧力は変動するから、そのことをもって
リークの有無を判断し得るのである。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は本実施例のガスサンプリング装置の系統
図、図２はその制御回路図である。このガスサンプリン
グ装置はセメント製造プロセスに付設されるものであっ
て、キルン排ガス中の酸素および一酸化炭素の濃度を測
定するべく、サンプリングプローブ１によりキルン排ガ
スをサンプリングし、以下に列挙する各機器が備えられ
ているサンプリング管路２を矢印で示す如く通してＣＯ
ガス分析計３およびＯ2ガス分析計４に導くようにした
ものである。図中符号５はドレンセパレータ、６はフィ
ルタ、７はサンプリングガスを吸引するための吸引ポン
プ、８は圧力計、９はガス流量計、１０はクーラ、１１
はフィルタ、１２はガス流量計、１３はドレンポット、
１４はドレン管、１５はパージ用のエア管である。ま
た、符号１６，１７，１８はそれぞれキャリブレーショ
ンのための標準ガスであるＣＯ、Ｏ2、Ｎ2のガスボン
ベ、１９はキャリブレーションの際にそれら標準ガスを
サンプリング管路２に供給するための切替コックであ
る。鎖線で示している符号２０は上記各構成機器を収納
しているケーシングである。
する。図１は本実施例のガスサンプリング装置の系統
図、図２はその制御回路図である。このガスサンプリン
グ装置はセメント製造プロセスに付設されるものであっ
て、キルン排ガス中の酸素および一酸化炭素の濃度を測
定するべく、サンプリングプローブ１によりキルン排ガ
スをサンプリングし、以下に列挙する各機器が備えられ
ているサンプリング管路２を矢印で示す如く通してＣＯ
ガス分析計３およびＯ2ガス分析計４に導くようにした
ものである。図中符号５はドレンセパレータ、６はフィ
ルタ、７はサンプリングガスを吸引するための吸引ポン
プ、８は圧力計、９はガス流量計、１０はクーラ、１１
はフィルタ、１２はガス流量計、１３はドレンポット、
１４はドレン管、１５はパージ用のエア管である。ま
た、符号１６，１７，１８はそれぞれキャリブレーショ
ンのための標準ガスであるＣＯ、Ｏ2、Ｎ2のガスボン
ベ、１９はキャリブレーションの際にそれら標準ガスを
サンプリング管路２に供給するための切替コックであ
る。鎖線で示している符号２０は上記各構成機器を収納
しているケーシングである。
【０００８】以上の構成は従来のガスサンプリング装置
と基本的に同様であるが、本実施例の装置においては上
記構成に加えてサンプリング管路２におけるリークを監
視するための装置が付加されている。
と基本的に同様であるが、本実施例の装置においては上
記構成に加えてサンプリング管路２におけるリークを監
視するための装置が付加されている。
【０００９】すなわち、サンプリング管路２の始点であ
るサンプリングプローブ１には、電磁弁ＳＶ1により空
気圧で開閉操作される遮断弁２１が設置されているとと
もに、サンプリング管路２の終点であるガス分析計３，
４の入り側にはそれぞれ遮断弁である電磁弁ＳＶ2、Ｓ
Ｖ3が備えられ、電磁弁ＳＶ1を遠隔操作により開いて遮
断弁２１を閉じるとともに、電磁弁ＳＶ2、ＳＶ3を遠隔
操作により閉じることでサンプリング管路２をその始点
近傍および終点近傍の位置で密閉し、その密閉される範
囲（図１において太線で示す部分）を検査対象範囲とし
てリークの有無を検査するようにしている。
るサンプリングプローブ１には、電磁弁ＳＶ1により空
気圧で開閉操作される遮断弁２１が設置されているとと
もに、サンプリング管路２の終点であるガス分析計３，
４の入り側にはそれぞれ遮断弁である電磁弁ＳＶ2、Ｓ
Ｖ3が備えられ、電磁弁ＳＶ1を遠隔操作により開いて遮
断弁２１を閉じるとともに、電磁弁ＳＶ2、ＳＶ3を遠隔
操作により閉じることでサンプリング管路２をその始点
近傍および終点近傍の位置で密閉し、その密閉される範
囲（図１において太線で示す部分）を検査対象範囲とし
てリークの有無を検査するようにしている。
【００１０】また、上記のようにして設定される検査対
象範囲の途中（本実施例においてはサンプリングプロー
ブ１の近傍の位置）には、リーク検査ガスである空気を
図示しない供給源から供給するための供給管２２が接続
され、その供給管２２の基端部には空気の供給を停止す
るための遮断弁である電磁弁ＳＶ4が取り付けられてい
る。
象範囲の途中（本実施例においてはサンプリングプロー
ブ１の近傍の位置）には、リーク検査ガスである空気を
図示しない供給源から供給するための供給管２２が接続
され、その供給管２２の基端部には空気の供給を停止す
るための遮断弁である電磁弁ＳＶ4が取り付けられてい
る。
【００１１】さらに、上記のように検査ガスである空気
が供給される検査対象範囲の所定位置（本実施例におい
ては電磁弁ＳＶ4の近傍の位置）には、検査対象範囲内
に密封される空気の圧力を検出するための圧力発信器
（圧力センサ）２３が取り付けられ、その圧力発信器２
３の検出信号は監視装置２４に入力されるようになって
いる。
が供給される検査対象範囲の所定位置（本実施例におい
ては電磁弁ＳＶ4の近傍の位置）には、検査対象範囲内
に密封される空気の圧力を検出するための圧力発信器
（圧力センサ）２３が取り付けられ、その圧力発信器２
３の検出信号は監視装置２４に入力されるようになって
いる。
【００１２】その監視装置２４には、圧力発信器２３か
らの検出値Ｐnが刻々と入力されるとともに、検査開始
当初に設定される基準圧力Ｐoの設定値と、検査開始時
間Ｔoおよび検査停止時間Ｔsの設定値が入力されるよう
になっている。そして、この監視装置２４は、以下に述
べる手順でリーク監視を行い、異常時つまりリークが生
じていることを検知した場合には警報を発するようにさ
れている。
らの検出値Ｐnが刻々と入力されるとともに、検査開始
当初に設定される基準圧力Ｐoの設定値と、検査開始時
間Ｔoおよび検査停止時間Ｔsの設定値が入力されるよう
になっている。そして、この監視装置２４は、以下に述
べる手順でリーク監視を行い、異常時つまりリークが生
じていることを検知した場合には警報を発するようにさ
れている。
【００１３】監視装置２４の作動手順を図３に示すフロ
ーチャートに基づき説明する。リーク監視の開始時間Ｔ
oになると、監視装置２４が電磁弁ＳＶ1を作動させて遮
断弁２１に作動空気を供給してそれを閉じるとともに、
電磁弁ＳＶ2、ＳＶ3をそれぞれ閉じてサンプリング管路
２を密閉する。続いて、電磁弁ＳＶ4を開いて密閉され
たサンプリング管路２内に検査ガスである空気を供給
し、その圧力を圧力発信器２３により計測して基準圧力
Ｐoとなったら空気の供給を停止する。これにより、密
閉されたサンプリング管路２内に基準圧力Ｐoで空気が
密封されることになる。その時点から運転タイマーが起
動し、運転停止時間Ｔsに達するまでその状態を維持す
る。そして、その間、圧力発信器２３は刻々と検査対象
範囲内に密封されている空気の圧力を検出してその検出
値Ｐnを監視装置２４に出力し、監視装置２４は、入力
された検出値Ｐnと基準圧力Ｐoとの差を刻々と演算す
る。その差の値が予め設定した許容変動値を越えないま
ま運転時間が経過すれば、すなわち一定時間の間に許容
限度を越える圧力変動がなければ、リークが生じていな
い正常状態と判断し、その場合は運転時間が終了してか
らさらに停止タイマーに設定されている所定時間を経た
後に作動が停止して検査を終了する。その後は通常のガ
スサンプリングを行うべく元の状態に復帰する。
ーチャートに基づき説明する。リーク監視の開始時間Ｔ
oになると、監視装置２４が電磁弁ＳＶ1を作動させて遮
断弁２１に作動空気を供給してそれを閉じるとともに、
電磁弁ＳＶ2、ＳＶ3をそれぞれ閉じてサンプリング管路
２を密閉する。続いて、電磁弁ＳＶ4を開いて密閉され
たサンプリング管路２内に検査ガスである空気を供給
し、その圧力を圧力発信器２３により計測して基準圧力
Ｐoとなったら空気の供給を停止する。これにより、密
閉されたサンプリング管路２内に基準圧力Ｐoで空気が
密封されることになる。その時点から運転タイマーが起
動し、運転停止時間Ｔsに達するまでその状態を維持す
る。そして、その間、圧力発信器２３は刻々と検査対象
範囲内に密封されている空気の圧力を検出してその検出
値Ｐnを監視装置２４に出力し、監視装置２４は、入力
された検出値Ｐnと基準圧力Ｐoとの差を刻々と演算す
る。その差の値が予め設定した許容変動値を越えないま
ま運転時間が経過すれば、すなわち一定時間の間に許容
限度を越える圧力変動がなければ、リークが生じていな
い正常状態と判断し、その場合は運転時間が終了してか
らさらに停止タイマーに設定されている所定時間を経た
後に作動が停止して検査を終了する。その後は通常のガ
スサンプリングを行うべく元の状態に復帰する。
【００１４】また、運転時間中に検出値Ｐnと基準圧力
Ｐoとの差の値が許容変動値を越えた場合、すなわち一
定時間の間に許容限度を越える圧力変動が生じた場合に
は、密閉されているはずのサンプリング管路２が充分に
密閉されていない、つまりリークが生じている異常状態
と判断して警報を発する。
Ｐoとの差の値が許容変動値を越えた場合、すなわち一
定時間の間に許容限度を越える圧力変動が生じた場合に
は、密閉されているはずのサンプリング管路２が充分に
密閉されていない、つまりリークが生じている異常状態
と判断して警報を発する。
【００１５】上記構成のガスサンプリング装置では、従
来のものと同様に標準ガスを用いての充分なキャリブレ
ーションを行い得ることはもとより、監視装置２４によ
り上記手順によってリーク検査をガスサンプリングに先
立って行うことにより、あるいはガスサンプリングを行
いつつその途中で一定時間毎にリーク検査を行うことに
より、リークの有無を確実かつ自動的に検知できる。し
たがって、リークが生じている場合には速やかな対処を
行うことができ、その結果、ガスサンプリングシステム
全体の信頼性を著しく向上させることができるものであ
る。
来のものと同様に標準ガスを用いての充分なキャリブレ
ーションを行い得ることはもとより、監視装置２４によ
り上記手順によってリーク検査をガスサンプリングに先
立って行うことにより、あるいはガスサンプリングを行
いつつその途中で一定時間毎にリーク検査を行うことに
より、リークの有無を確実かつ自動的に検知できる。し
たがって、リークが生じている場合には速やかな対処を
行うことができ、その結果、ガスサンプリングシステム
全体の信頼性を著しく向上させることができるものであ
る。
【００１６】なお、リークが全く発生していない場合に
は圧力発信器２３の検出値Ｐnは基準圧力Ｐoから全く変
動しないからそれらの差は常にゼロとなるが、通常は避
け得ない計測誤差を考慮して上記実施例のようにそれら
の差の値に対して所定の許容値を設定しておくことが現
実的である。また、リーク検査開始当初に設定する基準
圧力Ｐoは正圧（大気圧以上）としても負圧（大気圧以
下）としても良く、前者の場合はリークがあれば圧力は
低下していき、後者の場合は上昇していくことはいうま
でもない。さらに、検査ガスとしては空気に限らず他の
ガスを使用し得る。
は圧力発信器２３の検出値Ｐnは基準圧力Ｐoから全く変
動しないからそれらの差は常にゼロとなるが、通常は避
け得ない計測誤差を考慮して上記実施例のようにそれら
の差の値に対して所定の許容値を設定しておくことが現
実的である。また、リーク検査開始当初に設定する基準
圧力Ｐoは正圧（大気圧以上）としても負圧（大気圧以
下）としても良く、前者の場合はリークがあれば圧力は
低下していき、後者の場合は上昇していくことはいうま
でもない。さらに、検査ガスとしては空気に限らず他の
ガスを使用し得る。
【００１７】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明は、サン
プリング管路の始点近傍および終点近傍にそれぞれサン
プリング管路を気密保持可能に密閉する遮断弁を設け
て、それら遮断弁の間に設定される検査対象範囲内に検
査ガスを密封するとともにそのガス圧を圧力センサによ
り検出し、その変動の状況から監視装置がリークの有無
を判断する構成であるから、サンプリング管路における
リークの有無を確実かつ自動的に検知し得るものであ
り、したがってガスサンプリング装置全体の信頼性を充
分に高めることができるという優れた効果を奏する。
プリング管路の始点近傍および終点近傍にそれぞれサン
プリング管路を気密保持可能に密閉する遮断弁を設け
て、それら遮断弁の間に設定される検査対象範囲内に検
査ガスを密封するとともにそのガス圧を圧力センサによ
り検出し、その変動の状況から監視装置がリークの有無
を判断する構成であるから、サンプリング管路における
リークの有無を確実かつ自動的に検知し得るものであ
り、したがってガスサンプリング装置全体の信頼性を充
分に高めることができるという優れた効果を奏する。
【図１】本発明の実施例であるガスサンプリング装置の
系統図である。
系統図である。
【図２】同装置の制御回路図である。
【図３】同装置の動作手順を示すフローチャートであ
る。
る。
２ サンプリング管路 ３，４ ガス分析計 ２１ 遮断弁 ２２ 検査ガス供給管 ２３ 圧力発信器（圧力センサ） ２４ 監視装置 ＳＶ2、ＳＶ3 電磁弁（遮断弁）。
Claims (1)
- 【請求項１】 各種プロセスにおいてガス分析を行うべ
く、分析対象のガスをサンプリング管路を通してガス分
析計に導くようにされたガスサンプリング装置であっ
て、前記サンプリング管路の始点近傍および終点近傍に
それぞれ設置されてサンプリング管路を気密保持可能に
密閉する遮断弁と、それら遮断弁の間に形成される検査
対象範囲内に密封した検査ガスの圧力を検出する圧力セ
ンサと、その圧力センサの検出値を所定時間継続して監
視することによって検査対象範囲内におけるリークの有
無を判断する監視装置とを具備してなることを特徴とす
るガスサンプリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16295193A JPH0720015A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | ガスサンプリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16295193A JPH0720015A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | ガスサンプリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0720015A true JPH0720015A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15764370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16295193A Pending JPH0720015A (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | ガスサンプリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720015A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012137183A (ja) * | 2010-04-06 | 2012-07-19 | Yuutekku:Kk | 油圧回路の保守方法 |
| JP2013242275A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Horiba Ltd | 排ガス分析システム |
| CN109991011A (zh) * | 2019-05-06 | 2019-07-09 | 广西玉柴机器股份有限公司 | 部分流稀释采样系统采样通道切换系统 |
| CN112782264A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-05-11 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种用于密闭空间微量有害气体检测及校准的装置及方法 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP16295193A patent/JPH0720015A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012137183A (ja) * | 2010-04-06 | 2012-07-19 | Yuutekku:Kk | 油圧回路の保守方法 |
| JP2013242275A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Horiba Ltd | 排ガス分析システム |
| US9964512B2 (en) | 2012-05-22 | 2018-05-08 | Horiba, Ltd. | Exhaust gas analyzing system |
| CN109991011A (zh) * | 2019-05-06 | 2019-07-09 | 广西玉柴机器股份有限公司 | 部分流稀释采样系统采样通道切换系统 |
| CN109991011B (zh) * | 2019-05-06 | 2023-12-19 | 广西玉柴机器股份有限公司 | 部分流稀释采样系统采样通道切换系统 |
| CN112782264A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-05-11 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种用于密闭空间微量有害气体检测及校准的装置及方法 |
| CN112782264B (zh) * | 2020-12-14 | 2023-10-24 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种用于密闭空间微量有害气体检测及校准的装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102093571B1 (ko) | 누설 검사 장치 및 방법 | |
| US6900439B2 (en) | Gas leakage detection system, gas leakage detection method and semiconductor manufacturing apparatus | |
| JP4119003B2 (ja) | ガス分析装置及び方法 | |
| US7707871B2 (en) | Leak detection system with controlled differential pressure | |
| JPH09184600A (ja) | ガス配管系の検定システム | |
| CN108120805A (zh) | 气体浓度检测装置和气体浓度检测方法 | |
| JP4630791B2 (ja) | 流量式性能検査方法 | |
| JPH0720015A (ja) | ガスサンプリング装置 | |
| CN109611694A (zh) | 一种气体泄漏检测装置检测被测管路漏气的控制方法 | |
| KR102259556B1 (ko) | 솔레노이드 밸브 점검을 위한 시험장비 | |
| JP3875885B2 (ja) | 気密試験方法 | |
| CN208187667U (zh) | 元素分析仪气体管路的压力法检漏和数据校正的装置 | |
| JP2005037268A (ja) | 流量検査装置 | |
| JP2649490B2 (ja) | ハウジング水密試験装置 | |
| JPH0465967B2 (ja) | ||
| JP3382727B2 (ja) | 漏れ試験装置 | |
| JP3422348B2 (ja) | 洩れ検査方法及び装置 | |
| JP3186644B2 (ja) | 気体漏洩検査方法 | |
| JPH11241971A (ja) | リークテスト装置 | |
| JP2007256072A (ja) | ガスパイプライン監視設備 | |
| CN113790893B (zh) | 排放设备快速校核验证系统及校核验证方法 | |
| CN219084327U (zh) | 一种气密性测试装置 | |
| US20230314267A1 (en) | Method for leak testing | |
| JPS63215932A (ja) | 漏洩検出装置 | |
| CN112197177B (zh) | 一种基于测氧方法的管道漏点定位装置及其检测定位方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030128 |