JPS60132455U - 真空蒸着における排気装置 - Google Patents
真空蒸着における排気装置Info
- Publication number
- JPS60132455U JPS60132455U JP1541084U JP1541084U JPS60132455U JP S60132455 U JPS60132455 U JP S60132455U JP 1541084 U JP1541084 U JP 1541084U JP 1541084 U JP1541084 U JP 1541084U JP S60132455 U JPS60132455 U JP S60132455U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum evaporation
- exhaust equipment
- exhaust
- utility
- model registration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例に係る真空蒸着装置の排気系統図、第２
図は本考案の第１実施例に係る排気系統図、第３図は同
、第２実施例に係る排気系統図、第４図は同、第３実施
例に係る排気系統図である。 ３・・・・・・ロータリーポンプ、７，９，１０，１２
．１４・・・・・・緩衝手段。
図は本考案の第１実施例に係る排気系統図、第３図は同
、第２実施例に係る排気系統図、第４図は同、第３実施
例に係る排気系統図である。 ３・・・・・・ロータリーポンプ、７，９，１０，１２
．１４・・・・・・緩衝手段。
Claims (2)
- （１）ロータリーポンプを用いた真空排気装置において
、その排気経路の途中に、排気の脈動や乱流の発生をな
くするための緩衝手段を設けたことを特徴とする真空蒸
着における排気装置。 - （２）実用新案登録請求の範囲第（１）項において、前
記緩衝手段を排気経路に対して複数並置したことを特徴
とする真空蒸着における排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1541084U JPS60132455U (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | 真空蒸着における排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1541084U JPS60132455U (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | 真空蒸着における排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60132455U true JPS60132455U (ja) | 1985-09-04 |
| JPH0136909Y2 JPH0136909Y2 (ja) | 1989-11-08 |
Family
ID=30501229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1541084U Granted JPS60132455U (ja) | 1984-02-08 | 1984-02-08 | 真空蒸着における排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60132455U (ja) |
-
1984
- 1984-02-08 JP JP1541084U patent/JPS60132455U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0136909Y2 (ja) | 1989-11-08 |
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