JPS5967590U - 高真空排気装置 - Google Patents
高真空排気装置Info
- Publication number
- JPS5967590U JPS5967590U JP16296382U JP16296382U JPS5967590U JP S5967590 U JPS5967590 U JP S5967590U JP 16296382 U JP16296382 U JP 16296382U JP 16296382 U JP16296382 U JP 16296382U JP S5967590 U JPS5967590 U JP S5967590U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high vacuum
- vacuum exhaust
- exhaust equipment
- sample chamber
- mesh
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の高真空排気装置を示す。
１・・・・・・試料室、２・・・・・・メツシュ、２ａ
・・・・・・荒引き時のメツシュ（位置）、２ｂ・・・
・・・高真空排気時のメツシュ（位置）、３・・・・・
・試料室の排気口、４・・・・・・荒引用バルブ、５・
・・・・・高真空排気用バルブ。
・・・・・・荒引き時のメツシュ（位置）、２ｂ・・・
・・・高真空排気時のメツシュ（位置）、３・・・・・
・試料室の排気口、４・・・・・・荒引用バルブ、５・
・・・・・高真空排気用バルブ。
Claims (1)
- 高真空に排気すべき試料室と、前記試料室に接続された
排気口と、前記排気口と前記試料室間の接続部に配置さ
れたメツシュと、前記試料室が所定の真空度になったと
き前記メツシュを前記接続部から移動させる移動部とを
有する高真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16296382U JPS5967590U (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 高真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16296382U JPS5967590U (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 高真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5967590U true JPS5967590U (ja) | 1984-05-08 |
| JPS647250Y2 JPS647250Y2 (ja) | 1989-02-27 |
Family
ID=30357708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16296382U Granted JPS5967590U (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 高真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5967590U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50148916A (ja) * | 1974-05-20 | 1975-11-28 |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP16296382U patent/JPS5967590U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50148916A (ja) * | 1974-05-20 | 1975-11-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS647250Y2 (ja) | 1989-02-27 |
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