JPS60164684U - 真空装置 - Google Patents
真空装置Info
- Publication number
- JPS60164684U JPS60164684U JP5263984U JP5263984U JPS60164684U JP S60164684 U JPS60164684 U JP S60164684U JP 5263984 U JP5263984 U JP 5263984U JP 5263984 U JP5263984 U JP 5263984U JP S60164684 U JPS60164684 U JP S60164684U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum equipment
- intake
- vacuum container
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す真空装置の概略的な
構成図、第２図は従来の真空装置の概略的な構成図。 １・・・真空容器、２・・・真空排気装置、３・・・真
空弁、４・・・吸気弁１．５・・・消音器、６・・・吸
気弁２゜なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を
示す。
構成図、第２図は従来の真空装置の概略的な構成図。 １・・・真空容器、２・・・真空排気装置、３・・・真
空弁、４・・・吸気弁１．５・・・消音器、６・・・吸
気弁２゜なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を
示す。
Claims (1)
- 真空容器と、真空容器内部を真空排気する真空排気装置
と、真空容器内部に空気を吸気する吸気弁と南吸気時の
騒音を減少させる消音器とで構成された真空装置におい
て、真空容器に第２の吸気弁を設けたことを特徴とする
真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5263984U JPS60164684U (ja) | 1984-04-12 | 1984-04-12 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5263984U JPS60164684U (ja) | 1984-04-12 | 1984-04-12 | 真空装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60164684U true JPS60164684U (ja) | 1985-11-01 |
| JPS6332934Y2 JPS6332934Y2 (ja) | 1988-09-02 |
Family
ID=30572771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5263984U Granted JPS60164684U (ja) | 1984-04-12 | 1984-04-12 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60164684U (ja) |
-
1984
- 1984-04-12 JP JP5263984U patent/JPS60164684U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6332934Y2 (ja) | 1988-09-02 |
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