JPS5824953U - 超高真空装置 - Google Patents

超高真空装置

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JPS5824953U
JPS5824953U JP11877981U JP11877981U JPS5824953U JP S5824953 U JPS5824953 U JP S5824953U JP 11877981 U JP11877981 U JP 11877981U JP 11877981 U JP11877981 U JP 11877981U JP S5824953 U JPS5824953 U JP S5824953U
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JP
Japan
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ultra
high vacuum
vacuum equipment
vacuum
abstract
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Pending
Application number
JP11877981U
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English (en)
Inventor
秀男 戸所
川瀬　進
斉藤　尚武
悟 福原
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の構造を水筆断面図、第２図は本発明の一
実施例を示す断面図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 超高真空を必要とする超高真空装置において、フランジ
    を装着することにより、真木シールの周囲部分が真空容
    器本体の真空と差動排気を形成する如（構成したことを
    特徴とする超高真空装置。
JP11877981U 1981-08-12 1981-08-12 超高真空装置 Pending JPS5824953U (ja)

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JP11877981U JPS5824953U (ja) 1981-08-12 1981-08-12 超高真空装置

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JP11877981U JPS5824953U (ja) 1981-08-12 1981-08-12 超高真空装置

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JPS5824953U true JPS5824953U (ja) 1983-02-17

Family

ID=29912884

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11877981U Pending JPS5824953U (ja) 1981-08-12 1981-08-12 超高真空装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009525581A (ja) * 2006-02-02 2009-07-09 シーイービーティー・カンパニー・リミティッド 電子カラム用真空度差維持器具

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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