JPS6054805U - 減圧移送装置 - Google Patents

減圧移送装置

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JPS6054805U
JPS6054805U JP14648883U JP14648883U JPS6054805U JP S6054805 U JPS6054805 U JP S6054805U JP 14648883 U JP14648883 U JP 14648883U JP 14648883 U JP14648883 U JP 14648883U JP S6054805 U JPS6054805 U JP S6054805U
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JP
Japan
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transfer device
reduced pressure
decompression transfer
piston
moves
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Pending
Application number
JP14648883U
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English (en)
Inventor
潔 奥田
Original Assignee
株式会社精工舎
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示し、第１図は装置全体の概
略図、第２図は減圧エアシリンダの断面図、第３Ａ図は
ソレノイドバルブの無通電状態の断面図、第３Ｂ図は通
電状態の断面図である。 １・・・・・・モータ、２・・・・・・真空ポンプ、３
・・・・・・チューブ、４，５・・・・・・ツレ／イド
バルブ、６・・・・・・減圧エアシリンダ、１０・・・
・・・ピストン、１１・・・・・・ピストンロンド。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 減圧手段と、この減圧手段の負圧により移動するピスト
    ンを有する減圧エアシリンダと、上記ピストンに連動し
    被移送物を移送する移送部材とを設けた減圧移送装置。
JP14648883U 1983-09-21 1983-09-21 減圧移送装置 Pending JPS6054805U (ja)

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JPS6054805U true JPS6054805U (ja) 1985-04-17

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ID=30326051

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JP14648883U Pending JPS6054805U (ja) 1983-09-21 1983-09-21 減圧移送装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240076719A (ko) 2022-11-22 2024-05-30 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 세정 장치, 기판 처리 장치, 세정 부재를 세정하는 장치 및 세정 부재를 세정하는 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5119174A (ja) * 1974-08-01 1976-02-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Dendokakuhanki

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5119174A (ja) * 1974-08-01 1976-02-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Dendokakuhanki

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KR20240076719A (ko) 2022-11-22 2024-05-30 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 세정 장치, 기판 처리 장치, 세정 부재를 세정하는 장치 및 세정 부재를 세정하는 방법

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