JPS59121833U - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS59121833U JPS59121833U JP1433683U JP1433683U JPS59121833U JP S59121833 U JPS59121833 U JP S59121833U JP 1433683 U JP1433683 U JP 1433683U JP 1433683 U JP1433683 U JP 1433683U JP S59121833 U JPS59121833 U JP S59121833U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust pipe
- low vacuum
- speed
- valve
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来の半導体製造装置の排気系統図、第２図
は、本考案による半導体製造装置の一例を示す排気系統
図である。 １０・・・・・・真空室、２０・・・・・・試料室、３
０・・・・・・低真空排気系、３１．６１・・・・・・
バルブ、３２・・・・・・排気管、３３・・・・・・低
真空ポンプ、４０・・・・・・高真空排気系、６０・・
・・・・初期排気速度抑制手段、６２・・・・・・絞り
弁、６３・・・・・・バイパス排気管。
は、本考案による半導体製造装置の一例を示す排気系統
図である。 １０・・・・・・真空室、２０・・・・・・試料室、３
０・・・・・・低真空排気系、３１．６１・・・・・・
バルブ、３２・・・・・・排気管、３３・・・・・・低
真空ポンプ、４０・・・・・・高真空排気系、６０・・
・・・・初期排気速度抑制手段、６２・・・・・・絞り
弁、６３・・・・・・バイパス排気管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 減圧排気される真空室に置設された試料取入取出室
に低真空排気系と高真空排気系とが連結され、前記試料
取入取出室から前記真空室に搬入された試料にドライプ
ロセスにて所定の処理を施こす装置において、前記試料
取入取出室の大気圧からの初期排気速度を該試料取入取
出室内での塵埃の舞上りを防止できる速度に抑制可能な
初期排気速度抑制手段を前記低真空排気系に設けたこと
を特徴とする半導体製造装置。 ２ 前記初期排気速度抑制手段を、バルブと絞り弁とバ
イパス排気管とで構成するとともに、バルブ、絞り弁が
設けられた只イパス排気管を前記試料取入取出室と前記
低真空排気系の低真知ポンプとを連結する排気管に、該
排気管に設けられたバルブをバイパスして連結した実用
新案登録請求の範囲第１項記載の半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1433683U JPS59121833U (ja) | 1983-02-04 | 1983-02-04 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1433683U JPS59121833U (ja) | 1983-02-04 | 1983-02-04 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59121833U true JPS59121833U (ja) | 1984-08-16 |
Family
ID=30145701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1433683U Pending JPS59121833U (ja) | 1983-02-04 | 1983-02-04 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59121833U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02216823A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-29 | Tokyo Electron Ltd | 処理方法 |
| JP2003168727A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Dainichi Shoji Kk | エクスチェンジャーおよびガス置換方法 |
-
1983
- 1983-02-04 JP JP1433683U patent/JPS59121833U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02216823A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-29 | Tokyo Electron Ltd | 処理方法 |
| JP2003168727A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Dainichi Shoji Kk | エクスチェンジャーおよびガス置換方法 |
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