JPS5867998U - オイルフリ−多室排気装置 - Google Patents

オイルフリ−多室排気装置

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JPS5867998U
JPS5867998U JP16301381U JP16301381U JPS5867998U JP S5867998 U JPS5867998 U JP S5867998U JP 16301381 U JP16301381 U JP 16301381U JP 16301381 U JP16301381 U JP 16301381U JP S5867998 U JPS5867998 U JP S5867998U
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JP
Japan
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oil
exhaust system
pump
turbo
vacuum chamber
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Application number
JP16301381U
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English (en)
Inventor
洋 山内
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Publication date
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Landscapes

  • Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
、　　第１図は本考案の一実施例装置の構成を示す配管
図、第２図はターボ分子ポンプの一例の縦断面図、第３
図は第２図の一部拡大図である。 Ａ・・・主真空室、Ｂ＝−・副真空室、Ｍ・・・ターボ
分子ポンプ、Ｒ−０−タリポンプ、ｖｌ、ｖ２・・・バ
ルブ、■３〜■５・・・電磁バルブ、Ｈ・・・試料棒。 、。　　　１′ 第３図

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ターボ分子ポンプの吸気側に主真空室を接続し、このタ
    ーボ分子ポンプの吸気口と排気りとの中間の適所に副真
    空室を接続し、副真輪とロータリポンプとの間をバルブ
    を介在させて接続すると共に、上記ターボ分子ポンプと
    副真空室との間及び−同ポンプとロータリポンプとの間
    にも夫々バルブを介在させたオイルフリー多室排気装置
    。 白ｉ− ヒ。
JP16301381U 1981-10-30 1981-10-30 オイルフリ−多室排気装置 Pending JPS5867998U (ja)

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