JPS59104046U - リ−クテスト装置 - Google Patents
リ−クテスト装置Info
- Publication number
- JPS59104046U JPS59104046U JP19758282U JP19758282U JPS59104046U JP S59104046 U JPS59104046 U JP S59104046U JP 19758282 U JP19758282 U JP 19758282U JP 19758282 U JP19758282 U JP 19758282U JP S59104046 U JPS59104046 U JP S59104046U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turbo molecular
- test object
- test device
- molecular pump
- probe gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の構成を示す図、第２図はこの考案による
構成を示す図である。 １・・・・・・質量分析計（管）、２．４・・・・・・
ターボ分子ポンプ、３・・・・・・補助ポンプ、５・曲
・スロ゛シトルバルブ、６・・・・・・被試験体、７・
・・・・・粗引バルブ、８・・・・・・粗引排気真空ポ
ンプ。
構成を示す図である。 １・・・・・・質量分析計（管）、２．４・・・・・・
ターボ分子ポンプ、３・・・・・・補助ポンプ、５・曲
・スロ゛シトルバルブ、６・・・・・・被試験体、７・
・・・・・粗引バルブ、８・・・・・・粗引排気真空ポ
ンプ。
Claims (1)
- 被試験体と質量分析計との接続系にターボ分子ポンプの
排気系を結合し被試験体からのプローブガスを質量分析
計にて検知するようにするとともにターボ分子ポンプに
て大気へ排気するようにして被試験体のリーク有無をテ
ストする装置において、ターボ分子ポンプを２段直列に
接続して前記排気系を構成し、後段のターボ分子ポンプ
のプローブガス圧縮比に比例してプローブガスの逆流量
を低下させるようにしたことを特徴とするリークテスト
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19758282U JPS59104046U (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | リ−クテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19758282U JPS59104046U (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | リ−クテスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59104046U true JPS59104046U (ja) | 1984-07-13 |
Family
ID=33307768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19758282U Pending JPS59104046U (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | リ−クテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59104046U (ja) |
-
1982
- 1982-12-29 JP JP19758282U patent/JPS59104046U/ja active Pending
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