JPS59100571U - 真空ピンセツト - Google Patents

真空ピンセツト

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Publication number
JPS59100571U
JPS59100571U JP20160382U JP20160382U JPS59100571U JP S59100571 U JPS59100571 U JP S59100571U JP 20160382 U JP20160382 U JP 20160382U JP 20160382 U JP20160382 U JP 20160382U JP S59100571 U JPS59100571 U JP S59100571U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hole
wafer
section
suction
vacuum tweezers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20160382U
Other languages
English (en)
Inventor
清 斉藤
Original Assignee
株式会社東芝
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社東芝 filed Critical 株式会社東芝
Priority to JP20160382U priority Critical patent/JPS59100571U/ja
Publication of JPS59100571U publication Critical patent/JPS59100571U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の真空ピンセットの構成図、第２図ａ、　
　ｂはこの考案の一実施例に係る真空ピンセットの構成
図であり、同図ａは減圧状態、同図すは大気状態の場合
をそれぞれ示している。 ２１・・・吸入孔、２２・・ニウェハ吸着部、２３・・
・押しボタンスイッチ、２４・・・スイッチ部、２５−
Ｘ空ライン取付部、２６・・・貫通孔、２７・・・挿入
孔、２８・・・挿入棒、２９・・・連結孔、３０・・・
スプリング、３１・・・大気吸入孔。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空ポンプに連結されて半導体ウェハの吸着及び取り外
    しを行う真空ピンセットにおいて、前記半導体ウェハを
    減圧状態で吸着し、大気状態で取り外すウェハ吸着部と
    、このウェハ吸着部と前記真空ポンプとを連結する貫通
    孔及び前記ウェハ吸着部と大気とを連結する大気吸入孔
    が形成されると共に、押圧時には当該貫通孔を導通させ
    ると同時に当該大気吸入孔を閉鎖させ、ウェハ吸着部を
    減圧状態にじ、非押圧時には当該貫通孔を非導通にさせ
    ると同時に当該大気吸入孔を開放させ、前記ウェハ吸着
    部を大気状態とする押しボタンスイッチを有するスイッ
    チ部とを具備したことを特徴とする真空ピンセット。
JP20160382U 1982-12-27 1982-12-27 真空ピンセツト Pending JPS59100571U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20160382U JPS59100571U (ja) 1982-12-27 1982-12-27 真空ピンセツト

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20160382U JPS59100571U (ja) 1982-12-27 1982-12-27 真空ピンセツト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59100571U true JPS59100571U (ja) 1984-07-06

Family

ID=30427097

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20160382U Pending JPS59100571U (ja) 1982-12-27 1982-12-27 真空ピンセツト

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59100571U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05131375A (ja) * 1991-11-06 1993-05-28 Kiyoshi Takahashi 真空ピンセツト装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05131375A (ja) * 1991-11-06 1993-05-28 Kiyoshi Takahashi 真空ピンセツト装置

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