JPS59100853U - 蒸着装置 - Google Patents

蒸着装置

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JPS59100853U
JPS59100853U JP19644082U JP19644082U JPS59100853U JP S59100853 U JPS59100853 U JP S59100853U JP 19644082 U JP19644082 U JP 19644082U JP 19644082 U JP19644082 U JP 19644082U JP S59100853 U JPS59100853 U JP S59100853U
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JP
Japan
Prior art keywords
vapor deposition
deposition equipment
cryopumps
recorded
electronic filing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19644082U
Other languages
English (en)
Inventor
滋 蒲原
古澤　隆三
城戸　善行
Original Assignee
ロ−ム株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by ロ−ム株式会社 filed Critical ロ−ム株式会社
Priority to JP19644082U priority Critical patent/JPS59100853U/ja
Publication of JPS59100853U publication Critical patent/JPS59100853U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例の原理を示すブロック図で
ある。 １・・・チャンバ、２ａ〜２Ｃ・・・バルブ、４ａ、　
　４ｂ・・・クライオポンプ、５・・・コントローラ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ２台のクライオポンプを備え、いずれか一方の、クライ
    オポンプが運転中のときに、他のクライオポンプの再生
    を行うことを特徴とする蝋着装置。
JP19644082U 1982-12-25 1982-12-25 蒸着装置 Pending JPS59100853U (ja)

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JP19644082U JPS59100853U (ja) 1982-12-25 1982-12-25 蒸着装置

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JP19644082U JPS59100853U (ja) 1982-12-25 1982-12-25 蒸着装置

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JPS59100853U true JPS59100853U (ja) 1984-07-07

Family

ID=30421449

Family Applications (1)

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JP19644082U Pending JPS59100853U (ja) 1982-12-25 1982-12-25 蒸着装置

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