JPS59100853U - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
- Publication number
- JPS59100853U JPS59100853U JP19644082U JP19644082U JPS59100853U JP S59100853 U JPS59100853 U JP S59100853U JP 19644082 U JP19644082 U JP 19644082U JP 19644082 U JP19644082 U JP 19644082U JP S59100853 U JPS59100853 U JP S59100853U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- deposition equipment
- cryopumps
- recorded
- electronic filing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はこの考案の一実施例の原理を示すブロック図で
ある。 1・・・チャンバ、2a〜2C・・・バルブ、4a、
4b・・・クライオポンプ、5・・・コントローラ。
ある。 1・・・チャンバ、2a〜2C・・・バルブ、4a、
4b・・・クライオポンプ、5・・・コントローラ。
Claims (1)
- 2台のクライオポンプを備え、いずれか一方の、クライ
オポンプが運転中のときに、他のクライオポンプの再生
を行うことを特徴とする蝋着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19644082U JPS59100853U (ja) | 1982-12-25 | 1982-12-25 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19644082U JPS59100853U (ja) | 1982-12-25 | 1982-12-25 | 蒸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59100853U true JPS59100853U (ja) | 1984-07-07 |
Family
ID=30421449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19644082U Pending JPS59100853U (ja) | 1982-12-25 | 1982-12-25 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59100853U (ja) |
-
1982
- 1982-12-25 JP JP19644082U patent/JPS59100853U/ja active Pending
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