JPS6043186U - 複合クライオポンプ - Google Patents
複合クライオポンプInfo
- Publication number
- JPS6043186U JPS6043186U JP13642383U JP13642383U JPS6043186U JP S6043186 U JPS6043186 U JP S6043186U JP 13642383 U JP13642383 U JP 13642383U JP 13642383 U JP13642383 U JP 13642383U JP S6043186 U JPS6043186 U JP S6043186U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- composite
- pump
- recorded
- opened
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来のものを示す模式図、第２図は、本考案
の実施例を示す模式図である。 １・・・ケーシング、４・・・クライオコンデンセーシ
ョンポンプ、５・・・クライオソープションポンプ。
の実施例を示す模式図である。 １・・・ケーシング、４・・・クライオコンデンセーシ
ョンポンプ、５・・・クライオソープションポンプ。
Claims (1)
- ） クライオコンデンセーションポンプと吸着
ポンプとの間に開閉自在の遮断弁を設けた複合クライオ
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13642383U JPS6043186U (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 複合クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13642383U JPS6043186U (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 複合クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6043186U true JPS6043186U (ja) | 1985-03-27 |
Family
ID=30306754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13642383U Pending JPS6043186U (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 複合クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6043186U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014124582A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | コールドトラップ、及びコールドトラップの取付構造 |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP13642383U patent/JPS6043186U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014124582A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | コールドトラップ、及びコールドトラップの取付構造 |
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