JPS59193656U - 保持装置 - Google Patents
保持装置Info
- Publication number
- JPS59193656U JPS59193656U JP8784483U JP8784483U JPS59193656U JP S59193656 U JPS59193656 U JP S59193656U JP 8784483 U JP8784483 U JP 8784483U JP 8784483 U JP8784483 U JP 8784483U JP S59193656 U JPS59193656 U JP S59193656U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- porous body
- holder
- holding device
- flow rate
- vacuum source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図及び第２図は基板の従来の保持方法を示す図、第
３図は本考案の一実施例の保持装置の要部断面図である
。 ８：保持台、９：多孔性体、１０：吸着板（薄板）、１
２：流量制御弁。
３図は本考案の一実施例の保持装置の要部断面図である
。 ８：保持台、９：多孔性体、１０：吸着板（薄板）、１
２：流量制御弁。
Claims (1)
- 有底筒状の保持台と、この保持台に嵌装された多孔性体
と、この多孔性体に連接するとともに上記保持台開口端
部を閉止しかつ上記多孔性体に連通ずる透孔が穿設され
た弾性体からなる吸着板と、上記保持台に接続された真
空源と、この真空源と上記保持台との間に設けられ空気
の流量速度を制御する流量制御弁とを具備することを特
徴とする保持装置。 −
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8784483U JPS59193656U (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | 保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8784483U JPS59193656U (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | 保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59193656U true JPS59193656U (ja) | 1984-12-22 |
Family
ID=30217757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8784483U Pending JPS59193656U (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | 保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59193656U (ja) |
-
1983
- 1983-06-10 JP JP8784483U patent/JPS59193656U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59193656U (ja) | 保持装置 | |
| JPS60113868U (ja) | 吸着チヤツク装置 | |
| JPS58164688U (ja) | 吸着移送装置 | |
| JPS59183330U (ja) | 真空吸着装置 | |
| JPS5917316U (ja) | 吸着保持具 | |
| JPS60126442U (ja) | 板材の吸着カツプ | |
| JPS6054333U (ja) | 吸着式保持装置 | |
| JPS59111748U (ja) | メ−タ−付エヤ−チヤツク | |
| JPS59139936U (ja) | ベロフラム式真空スイツチ | |
| JPS6030533U (ja) | 真空装置 | |
| JPS6038680U (ja) | プロジエクシヨン溶接におけるチリ除去装置 | |
| JPS6140116U (ja) | 防塵装置 | |
| JPS5877050U (ja) | 基板吸着装置 | |
| JPS60159346U (ja) | 脈動負圧発生装置 | |
| JPS5836069U (ja) | 結晶吸着器 | |
| JPS59123527U (ja) | 集塵装置 | |
| JPS5820650U (ja) | 電気掃除機 | |
| JPS6012778U (ja) | ボ−ルタツプ | |
| JPS60171944U (ja) | 負圧制御装置 | |
| JPS59184399U (ja) | ポンプ装置 | |
| JPS6031589U (ja) | ポンプのダンパ−装置 | |
| JPS59173166U (ja) | テ−プ吸着保持器 | |
| JPS59169046U (ja) | 吸着器 | |
| JPS597875U (ja) | 吸盤クリツプ | |
| JPS5939159U (ja) | 薄片状部材の保持装置 |