JPS5845987U - 自動真空排気系切替機構 - Google Patents
自動真空排気系切替機構Info
- Publication number
- JPS5845987U JPS5845987U JP14038881U JP14038881U JPS5845987U JP S5845987 U JPS5845987 U JP S5845987U JP 14038881 U JP14038881 U JP 14038881U JP 14038881 U JP14038881 U JP 14038881U JP S5845987 U JPS5845987 U JP S5845987U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- switching mechanism
- system switching
- exhaust system
- vacuum exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の単導体製造装置における代表的な真空排
気系の構成図、第２図は本考案の真空排′気系の構成図
である。
気系の構成図、第２図は本考案の真空排′気系の構成図
である。
Claims (1)
- 化学的に活性なガスを排気する真空ポンプを有する装置
において、ポンプオイルの劣化に共なう真空度低下を検
知する測定子と、真空ポンプおよび、バルブを２基備え
、そのうちの１基を使用中に、真空度が低下した場合、
上記の真空測定子の信号で他の真空排気系に切替えるこ
とにより、装置の真空排気を停止せずに連続して、使用
できることを特徴とする自動真空排気系切替機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14038881U JPS5845987U (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 自動真空排気系切替機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14038881U JPS5845987U (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 自動真空排気系切替機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5845987U true JPS5845987U (ja) | 1983-03-28 |
Family
ID=29933549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14038881U Pending JPS5845987U (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 自動真空排気系切替機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5845987U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015009823A (ja) * | 2013-06-27 | 2015-01-19 | ホシザキ電機株式会社 | 真空包装機 |
-
1981
- 1981-09-24 JP JP14038881U patent/JPS5845987U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015009823A (ja) * | 2013-06-27 | 2015-01-19 | ホシザキ電機株式会社 | 真空包装機 |
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