CN111033207B - 用于对物体进行泄漏检测的泄露检测器和泄漏检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于通过示踪气体泄漏检测来对物体进行泄漏检测的泄漏检测器(1)，该泄漏检测器(1)包括：‑旨在连接到待测试物体的检测入口(2)；‑泵送装置(3)，其包括连接到所述检测入口(2)的真空管线(7)、连接到该真空管线(7)的粗抽真空泵(8)、连接到该真空管线(7)的涡轮分子真空泵(9)，其输出端连接到所述粗抽真空泵(8)；‑连接到所述涡轮分子真空泵(9)的气体检测器(4)，其特征在于，所述泵送装置(3)包括辅助泵送装置(10)，它连接到粗抽真空泵(8)以降低所述粗抽真空泵(8)中的示踪气体的极限真空压力。本发明还涉及一种使用所谓的示踪气体泄漏检测方法对物体进行泄漏测试的泄漏检测方法。

Description

用于对物体进行泄漏检测的泄露检测器和泄漏检测方法
技术领域
本发明涉及一种泄漏检测器，并且涉及一种用于使用其中喷射示踪气体的所谓的“喷射”技术来对待测试物体进行泄漏测试的泄露检测方法。
背景技术
通过喷雾检测泄漏的技术涉及从待测试物体的内部排空气体至低压。然后通过喷射在物体周围形成富含示踪气体的气氛。将待测试物体的内部连接到泄漏检测器，该泄漏检测器验证是否可以在吸入的气体中找到示踪气体。
该方法涉及检测示踪气体通过待测试物体中可能存在的任何泄漏部。通常将氦气或氢气用作示踪气体，因为这些气体由于它们的分子尺寸小且移动速度快而比其它气体更容易通过小的泄漏部。
此方法通常高度敏感。
然而，为了避免错误以便特别是通过减少两次测量之间的等待时间来提高测量的精度和速度，需要尽快将示踪气体的背景噪声降至最低。
一种解决方案是增加泄漏检测器的泵送能力。然而，这需要使用昂贵且笨重的泵送设备。
发明内容
本发明的一个目的是提出一种泄漏检测器，该泄漏检测器重量轻、紧凑且便宜，并且可以实现示踪气体的低背景噪声。
为此，本发明的一个主题是一种用于通过喷射示踪气体来对待测试物体进行泄漏检测的泄漏检测器，该泄漏检测器包括：
-旨在连接到待测试物体的检测入口，
-泵送装置，该泵送装置包括：
-连接到检测入口的真空管线，
-连接到真空管线的真空泵，和
-连接到真空管线的涡轮分子真空泵，该涡轮分子真空泵的输出端连接到粗抽真空泵，
-连接到涡轮分子真空泵的气体检测器，
其特征在于，该泵送装置包括辅助泵送装置，该辅助泵送装置连接到粗抽真空泵，以降低粗抽真空泵中的示踪气体的极限真空压力。
通过降低粗抽真空泵中的极限真空压力，降低了气体检测器中的氦或氢示踪气体的背景噪声。降低示踪气体的背景噪声可以将泄漏检测的灵敏度提高特别是大约30％。此外，获得低背景噪声的能力意味着，在检测到大的泄漏之后，泄漏检测器可以迅速开始工作，从而可以减少两次检测之间的等待时间。
辅助泵送装置还可以通过使粗抽真空泵对可冷凝物质更稳健而延长其使用寿命。
粗抽真空泵中的压力的降低还可以大幅降低粗抽真空泵的噪声水平并降低其电力消耗。
根据单独或结合考虑的泄漏检测器的一个或多个特征：
-泄漏检测器包括压力传感器，该压力传感器构造成测量真空管线中的压力，
-泄漏检测器包括连接到压力传感器的控制单元，
-泵送装置包括可通过控制单元控制的极限真空电动阀，该极限真空电动阀将辅助泵送装置连接到粗抽真空泵，
-控制单元被配置成当由压力传感器测定的压力低于或等于低压阈值时命令极限真空电动阀打开，
-粗抽真空泵包括多个串联安装的泵送级，
-辅助泵送装置连接到抽真空泵的级间通道，
–所述级间通道将粗抽真空泵的倒数第二个泵送级连接到粗抽真空泵的最后一个泵送级，
-泄漏检测器包括吹扫装置，该吹扫装置作为极限真空电动阀的旁路连接在级间通道上，
-辅助泵送装置连接到粗抽真空泵的输出端，
-辅助泵送装置包括至少一个辅助泵，例如隔膜泵，
-辅助泵送装置包括真空储器、插置在真空储器与粗抽真空泵之间的极限真空电动阀和插置在真空储器与粗抽真空泵的进气口之间的真空产生电动阀，极限真空电动阀和真空产生电动阀可由泄漏检测器的控制单元控制。
本发明的另一主题是一种用于通过喷射示踪气体来对待测试物体进行泄漏测试的泄漏检测方法，该方法在如上所述的泄漏检测器中实施，其中，使用辅助泵送装置降低粗抽真空泵中的示踪气体的极限真空压力。
该泄漏检测方法可以是完全自动化的。
根据单独或结合考虑的泄漏检测方法的一个或多个特征：
-当在真空管线中测得的压力低于或等于低压阈值(低于或等于100Pa，例如约50Pa)时，命令使辅助泵送装置与粗抽真空泵相连的极限真空电动阀打开，以便使用辅助泵送装置来降低粗抽真空泵中的示踪气体的极限真空压力，
-在泄漏检测器启动时，使用粗抽真空泵和辅助泵送装置的辅助泵降低真空管线中的压力，
-当泄漏检测器的未使用时间比预定时间长时降低粗抽真空泵的转速，并且命令极限真空电动阀打开，
-在切断对泄漏检测器的总电源之后，使用辅助泵送装置降低粗抽真空泵中的极限真空压力持续预定时间，电源(能量供应)由泄漏检测器的电池或泄漏检测器的动能回收装置提供，该动能回收装置能够将涡轮分子真空泵的转子的旋转动能以电能的形式回收。
附图说明
通过阅读以下对本发明的一个特定的但非限制性的实施例的描述以及研究附图，其它优点和特征将变得显而易见，在附图中：
图1描绘了根据第一实施例的泄漏检测器的示意图。
图2描绘了在泄漏检测器(例如图1的泄漏检测器)中实施的用于通过喷射示踪气体来对待测试物体进行泄漏检测的泄漏检测方法的流程图。
图3示出了根据第二实施例的泄漏检测器的示意图。
在这些附图中，相同的元件具有相同的附图标记。
具体实施方式
以下实施例为示例。尽管描述引用了一个或多个实施例，但这不一定意味着每次引用涉及同一实施例或特征仅适用于一个实施例。各种实施例的简单的单个特征也可以被组合或互换以形成其它实施例。
将在大气压下抽吸、转移然后输送待泵送气体的容积式真空泵定义为粗抽真空泵。
“上游”是指一个元件相对于气体循环方向位于另一元件之前。相反，“下游”是指一个元件相对于待泵送气体的循环方向被放置在另一元件之后，位于上游的元件处于比位于下游的元件低的压力下。
“极限真空”定义为在除了任何潜在的有害且可忽略的气流之外未引入气流时通过粗抽真空泵获得的最低压力。
图1示出了用于通过喷射示踪气体对待测试物体进行泄漏测试的泄漏检测器1。
泄漏检测器1包括旨在连接到待测试物体的检测入口2、泵送装置3、气体检测器4、压力传感器5和连接到压力传感器5的控制单元6。
泵送装置3包括连接到检测入口2的真空管线7、连接到真空管线7的粗抽真空泵8、连接到真空管线7的涡轮分子真空泵9、以及辅助泵送装置10。泵送装置3还可以包括可由控制单元6控制的极限真空电动阀11，该极限真空电动阀11将辅助泵送装置10连接到粗抽真空泵8。
涡轮分子真空泵9包括转子、定子和马达M1。当马达M1由泄漏检测器1的总电源供电时，马达M1驱动转子在定子中旋转。
气体检测器4连接到涡轮分子真空泵9，例如连接到其进气口。气体检测器4包括例如质谱仪。
涡轮分子真空泵9的输出端经由泵送装置3的第一电动隔离阀13连接到粗抽真空泵8的进气口12。第一电动隔离阀13可由控制单元6控制。
粗抽真空泵8的入口12也经由可由控制单元6控制的泵送装置3的第二电动隔离阀14连接到检测入口2。更具体地，涡轮分子真空泵9的输出端经由第一电动隔离阀13连接在第二电动隔离阀14与粗抽真空泵8的进气口12之间。
第二电动隔离阀14允许泄漏检测器1的真空管线7被预排空。
粗抽真空泵8在该泵8的进气口12和输出端16之间包括彼此串联安装的多个泵送级T1-T5，例如五个级，待泵送气体可以循环通过这些泵送级。
每个泵送级T1-T5包括各自的入口和出口。相继的泵送级T1-T5通过将前一泵送级的出口(或输出端)连接到随后的级的入口(或进气口)的相应级间通道C1-C4彼此串联连接。泵送级T1-T5的定子形成粗抽真空泵8的主体。粗抽真空泵8的输出端16处的压力是大气压。粗抽真空泵8还包括位于最终泵送级T5的出口处的止回阀，以防止所泵送的气体返回真空泵8。泵送级T1-T5具有随泵送级增大的扫掠容积(即所泵送的气体的体积)，第一泵送级T1具有最高的扫掠容积输出，而最终泵送级T5具有最小的扫掠容积输出。粗抽真空泵8具有例如在20m3/h至50m3/h之间、例如约40m3/h的泵送能力。
根据一个实施例，粗抽真空泵8包括两个延伸到泵送级T1至T5中的旋转叶片式转子。当经由泄漏检测器1的总电源为粗抽真空泵8的马达M2供电时，转子的轴被该马达M2驱动。转子具有轮廓相同的叶片，例如“根”型(“八字形”或“扁豆”形的截面)叶片。转子在角度上偏移并被驱动以使得它们在每个级T1-T5内沿相反的方向同步旋转。当它们旋转时，从进气口12吸入的气体被捕集在由转子和定子产生的容积中，然后由转子朝向下一级驱动。粗抽真空泵8被称为“干式”的，因为在运转期间，转子在定子内部旋转而不与定子进行任何机械接触，从而允许泵送级T1至T5中完全没有油。
当然，本发明也适用于其它类型的多级粗抽真空泵，例如“爪”型或“涡旋”型多级粗抽真空泵，或螺杆型或根据其他类似的容积式泵原理工作的粗抽真空泵，或诸如多级隔膜式粗抽真空泵。
泄漏检测器1的检测入口2经由至少一个可由控制单元6控制的电动采样阀17a、17b连接到涡轮分子真空泵9的中间级。泵送装置3包括例如至少两个电动采样阀17a、17b，各个电动阀17a、17b连接到涡轮分子真空泵9的不同中间级，使得可以调整采样流量以适应泄漏的程度，电动采样阀17a、17b连接到布置在检测入口2与第二电动隔离阀14之间的真空管线7的旁路。
压力传感器5构造成测量真空管线7中的压力，真空管线7包括使所述至少一个电动采样阀17a、17b、第二电动隔离阀14和检测入口2连通的管道。
控制单元6包括一个或多个控制器或微控制器或处理器，其包括被特别设计为控制电动阀17a、17b、13、14、11的打开的存储器和程序。控制单元6还使得能管理泄漏检测器1的用户界面，例如遥控器和/或控制面板。
根据一个实施例，控制单元6还被配置为当由压力传感器5测定的压力低于或等于低压阈值时命令极限真空电动阀11打开以降低粗抽真空泵8中的示踪气体的极限真空压力。当由压力传感器5测定的压力高于低压阈值时，控制单元6命令极限真空电动阀11关闭。
通过降低粗抽真空泵8中的极限真空压力，降低了气体检测器4中的氦或氢示踪气体的背景噪声。降低示踪气体的背景噪声可以使泄漏检测的灵敏度提高特别是约30％。此外，获得低背景噪声的能力允许泄漏检测器1在检测到大的泄漏之后迅速地开始工作，从而可以减少两次检测之间的等待时间。
粗抽真空泵8中的压力的降低还使得可以大幅降低粗抽真空泵8的噪声水平并降低其电力消耗。
在图1的第一实施例中，辅助泵送装置10包括至少一个辅助泵18，例如隔膜泵或活塞泵或蠕动泵。辅助泵18例如能够获得介于5000Pa(或50mbar)至20000Pa(或200mbar)之间的极限真空压力。辅助泵18体积小，重量轻且成本低，特别是使得泄漏检测器1可以保持紧凑，可运输并且成本可以得到控制。
辅助泵送装置10可以经由极限真空电动阀11连接到真空泵8的进气口12。在这种情况下，例如设想辅助泵送装置10包括两个串联安装的辅助真空泵17，例如两个隔膜泵。
根据另一示例，辅助泵送装置10在止回阀之前连接到粗抽真空泵8的输出端16。
在图1所示的示例中，辅助泵送装置10连接到粗抽真空泵8的级间通道C1-C4，例如连接到将倒数第二个泵送级T4连接到最后一个泵送级T5的级间通道C4。
将辅助泵送装置10连接到输出端16或在粗抽真空泵8的高压级中例如连接到最后一个级间通道C4可以更有效地降噪约1.5dbA并且降低电力消耗约250W。
将辅助泵送装置10连接到粗抽真空泵8的级间通道C1-C4且特别是连接到粗抽真空泵8的最后一个级间通道C4还可以通过将可冷凝物从粗抽真空泵8排空到辅助泵送装置10中来提高粗抽真空泵8的寿命。这样就保护了粗抽真空泵8免受可能在粗抽真空泵8的高压级中冷凝的诸如水蒸气的可冷凝蒸气的潜在侵害。因此仅需要辅助泵送装置10在损坏时被更换，辅助泵送装置10易于更换并且成本低廉。
此外，可以受益于级间通道C4上存在旁路，以便还连接用于吹扫泄漏检测器1的吹扫装置19。
吹扫装置19作为旁路连接到级间通道C4上的极限真空电动阀11。吹扫装置19包括例如电动吹扫阀20，该电动吹扫阀20可由控制单元6控制并插置在级间通道C4和吹扫气体如氮气的源之间。
当辅助泵送装置10通过极限真空电动阀11的关闭而与级间通道C4隔离时，吹扫装置19允许将吹扫气体引入粗抽真空泵8的泵送级T4、T5之间。
吹扫气体的—尤其是向最终泵送级C4中的—注入可以促进可能已经积累在粗抽真空泵8的该部分中的示踪气体和可冷凝蒸气的排空。因此，仅一个连接器就允许级间通道C4一方面连接到辅助泵送装置10，另一方面连接到吹扫装置19，以便降低粗抽真空泵8中的示踪气体的最终真空压力或将吹扫气体引入级间通道C4中。
现在将描述在图1的泄漏检测器1中实施的用于通过喷射示踪气体来对待测试物体进行泄漏测试的泄漏检测方法100的一个示例。
当泄漏检测器1的总电源被切断时，电动阀11、13、14、17a、17b和20关闭。涡轮分子真空泵9、粗抽真空泵8和辅助泵18停止。真空管线7中的压力是大气压。
在泄漏检测器1启动时(图2：启动步骤101)，当用户打开检测器1的总电源时，第一电动隔离阀13被命令处于打开位置。真空泵8和涡轮分子真空泵9接通。
在该启动步骤101期间，还可以命令极限真空电动阀11打开并启动辅助泵18，以便使用粗抽真空泵8和辅助泵18降低真空管线7中的压力。
在启动泄漏检测器1阶段使用辅助泵送装置10允许更快地实现低压，并有助于通过粗抽真空泵8进行泵送起动。这可以加速启动阶段。这种启动辅助在泄漏检测中是特别有益的，因为在使用过程中通常需要多次接通/断开泄漏检测器1。具体地，为了避免由于陀螺效应而损坏涡轮分子真空泵9的风险，必须在泄漏检测器1可以移动到另一检测地点之前停止涡轮分子真空泵9的转子。
在预定时间段过去之后，可以关闭极限真空电动阀11，并且切断辅助泵18。
泄漏检测器1准备进行测量循环。
当用户启动测量周期时，打开插置在检测入口2与粗抽真空泵8的进气口12之间的第二电动隔离阀14(预排空步骤102)。
真空管线7中的压力降低。
根据一个实施例，当在真空管线7中测定的压力低于或等于低压阈值、例如低于或等于100Pa(或1mbar)—例如约50Pa(或0.5mbar)时，极限真空电动阀11被命令打开，并且在这种情况下命令辅助泵18启动，以使用辅助泵送装置10降低粗抽真空泵8中的极限真空压力。还命令电动采样阀17a、17b之一打开，以使涡轮分子真空泵9和气体检测器4与检测器的入口2连通(检测步骤103)。
根据另一实施例，辅助泵18处于恒定运行中，并不断降低粗抽真空泵8中的极限真空压力。在这种情况下，极限真空电动阀11始终打开或泄漏检测器1不包括极限真空电动阀11。
使用辅助泵送装置10降低粗抽真空泵8中的极限真空压力使得可以降低示踪气体的极限真空压力。然后，泄漏检测器1准备执行喷射泄漏测试。
在测试过程中，控制单元6可以根据待测试物体的泄漏水平来切换电动采样阀17a、17b。
当由气体检测器4测定的示踪气体浓度太大时，可以通过命令关闭极限真空电动阀11并打开电动吹扫阀20来决定使级间通道C4与吹扫装置19连通而不是与辅助泵送装置10连通，以改善示踪气体的排出。
在明显过压的情况下，即，当在真空管线7中测定的压力高于低压阈值时，命令极限真空电动阀11关闭并停止辅助泵18。通过至少关闭所述至少一个电动采样阀17a、17b来将涡轮分子真空泵9与检测入口2隔离。命令第二电动隔离阀14打开(预排空步骤102)。
当泄漏检测器1未被使用的时间长于预定时间时，可以提供“待机”模式，在该模式下，粗抽真空泵8的转速降低(待机步骤104)。降低粗抽真空泵8的转速使得可以减少泄漏检测器1在不使用期间的电力消耗。
该模式可以手动触发，或者可以由控制单元6检测和控制。
在该待机模式下，可以命令极限真空电动阀11打开，以便使用辅助泵送装置10降低粗抽真空泵8中的极限真空压力，从而进一步降低泄漏检测器1的电力消耗。通过关闭所述至少一个电动采样阀17a、17b来隔离涡轮分子真空泵9的进气口。
当操作人员切断泄漏检测器1的总电源时，电动阀11、13、14、17a，17b和20关闭，并且涡轮分子真空泵9、粗抽真空泵8和辅助泵18停止(检测器切断步骤105)。
可以设想，通过命令打开极限真空电动阀11，并且在这种情况下通过启动辅助泵18，在切断泄漏检测器1的总电源之后，辅助泵送装置10在预定的时间内降低粗抽真空泵8中的极限真空压力(重新启动步骤106)。
该重新启动可以在泄漏检测器1切断之后仅执行一次，或者循环执行。因此，在泄漏检测器1已被切断之后，例如在切断的泄漏检测器1正在四处移动的时间间隔内，可以通过控制单元6来编程“重新启动”泄漏检测器1的周期。
可以通过泄漏检测器1的电池向极限真空电动阀11、控制单元6和辅助泵18供电。
根据另一示例，该供电可以由泄漏检测器1的动能回收装置提供，该动能回收装置构造成以电能的形式回收涡轮分子真空泵9的转子的旋转动能并释放它以给控制单元6、极限真空电动阀11和辅助泵18供电。具体而言，当总电源被切断时，累积的动能和惯性意味着转子继续转动。涡轮分子真空泵9的马达M1然后可以由作为发电机运行的转子机械地旋转驱动。
检测器1专用的这种电源—使用电池或使用动能回收装置—意味着可以将辅助泵送装置10的供电维持足够长的时间，以允许随后切断的粗抽真空泵8中的压力降低。粗抽真空泵8因此可以在使用之后被“吹扫”掉示踪气体。
因此，泄漏检测方法100可以使用辅助泵送装置10来降低示踪气体的背景噪声，这可以提高测量灵敏度并减少两次测量之间的等待时间。辅助泵送装置10还可以通过使粗抽真空泵8相对于可冷凝物质更稳健而延长其使用寿命。辅助泵送装置10还可以用于在泄漏检测器启动时加速真空的产生，这在寻找泄漏期间可能会相对频繁地发生。该辅助泵送装置还可以用于在泄漏检测器1未使用减少电力消耗，并且在粗抽真空泵8已被切断之后将示踪气体和可冷凝蒸气从粗抽真空泵8吹扫掉。
另外，泄漏检测方法100可以是全自动的。
图3示出了第二实施例。
在该第二示例中，辅助泵送装置10包括真空储器21、插置在真空储器21与粗抽真空泵8之间的极限真空电动阀11、和插置在真空储器21与粗抽真空泵8的进气口12之间的真空产生电动阀22。
极限真空电动阀11和真空产生电动阀22可由控制单元6控制。
真空储器21的尺寸小，例如在100cm3至500cm3之间，并且重量和成本可忽略不计，从而允许泄漏检测器1保持紧凑、可运输并且成本保持可控。
辅助泵送装置10可以在止回阀之前连接到粗抽真空泵8的输出端16，或者可以连接到粗抽真空泵8的级间通道C1-C4、例如将倒数第二个泵送级T4连接到最后一个泵送级T5的级间通道C4。
当泄漏检测器1的总电源被切断时，电动阀11、13、14、17a、17b、20和22关闭。涡轮分子真空泵9和粗抽真空泵8停止。真空管线7和真空储器21中的压力是大气压。
当泄漏检测器1启动时(图2；启动步骤101)，命令第一电动隔离阀13打开。真空泵8和涡轮分子真空泵9被接通。
泄漏检测器1准备进行测量循环。
当使用者启动测量循环时，插置在检测入口2与真空泵8的进气口12之间的电动隔离阀14被打开，真空产生电动阀22也被打开(预排空步骤102)。
真空管线7中的压力降低。
当在真空管线7中测定的压力低于或等于低压阈值、例如低于或等于100Pa、例如约50Pa时，真空产生电动阀22关闭并且命令极限真空电动阀11打开例如约几秒钟的预定时长，以便使用辅助泵送装置10降低粗抽真空泵8中的极限真空压力。还命令电动取样阀17a，17b之一打开(检测步骤103)。
当极限真空电动阀11打开时，真空储器21中的压力处于低压阈值的量级，从而可以降低粗抽真空泵8中的压力。
使用辅助泵送装置10降低粗抽真空泵8中的极限真空压力可以降低示踪气体的极限真空压力。
然后，泄漏检测器1准备执行喷射泄漏测试。
在测试过程中，控制单元6可以根据被测试物体中的泄漏水平来切换电动采样阀17a、17b。
当由气体检测器4测定的示踪气体浓度太大时，可以决定使级间通道C4与吹扫装置19连通而不是与辅助泵送装置10连通，以改善示踪气体的排出。在吹扫粗抽真空泵8的同时，命令极限真空电动阀11关闭。因此，可以从中受益以打开真空产生电动阀22，从而再次降低真空储器21中的压力。
在显著过压的情况下，即，当在真空管线7中测定的压力高于低压阈值时，命令极限真空电动阀11关闭。通过至少关闭所述至少一个电动采样阀17a、17b来隔离涡轮分子真空泵9。命令第二电动隔离阀14和真空产生电动阀22打开(预排空步骤102)。
当泄漏检测器1不使用的时间长于预定的时长时，如在第一实施例中那样，可以提供“待机”模式，其中粗抽真空泵8的转速降低(待机步骤104)，并且可以命令极限真空电动阀11打开。如果真空储器21处于低压下，则意味着可以降低粗抽真空泵8中的极限真空压力，从而减少泄漏检测器1的电力消耗。
当操作人员切断泄漏检测器1的总电源时，电动阀11、13、14、17a、17b、21和22关闭，涡轮分子真空泵9和粗抽真空泵8切断(检测器切断步骤105)。
如在第一实施例中那样，可以设想在切断泄漏检测器1的总电源之后命令极限真空电动阀11打开预定时长(重新启动步骤106)，通过电池或泄漏检测器1的动能回收装置向极限真空电动阀11和控制单元6供电。如果真空储器21处于低压下，则允许降低粗抽真空泵8中的极限真空压力，从而允许切断被吹扫的粗抽真空泵8。

Claims (13)

1.一种用于通过喷射示踪气体来对待测试物体进行泄漏检测的泄漏检测器(1)，所述泄漏检测器(1)包括：
-旨在连接到待测试物体的检测入口(2)，
-泵送装置(3)，其包括：
-连接到所述检测入口(2)的真空管线(7)，
-连接到所述真空管线(7)的粗抽真空泵(8)，和
-连接到所述真空管线(7)的涡轮分子真空泵(9)，它的输出端连接到所述粗抽真空泵(8)，
-连接到所述涡轮分子真空泵(9)的气体检测器(4)，
其特征在于，所述泵送装置(3)包括辅助泵送装置(10)，该辅助泵送装置连接到所述粗抽真空泵(8)，以降低所述粗抽真空泵(8)中的示踪气体的极限真空压力，其中，所述粗抽真空泵(8)包括串联安装的多个泵送级(T1-T5)，所述辅助泵送装置(10)连接到所述粗抽真空泵(8)的级间通道(C1-C4)。
2.根据前一项权利要求所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述泄漏检测器包括构造成测量所述真空管线(7)中的压力的压力传感器(5)和连接到所述压力传感器(5)的控制单元(6)，所述泵送装置(3)包括能由所述控制单元(6)控制的极限真空电动阀(11)，所述极限真空电动阀(11)将所述辅助泵送装置(10)连接到所述粗抽真空泵(8)，所述控制单元(6)还被配置为当由所述压力传感器(5)测定的压力低于或等于低压阈值时命令打开所述极限真空电动阀(11)。
3.根据前一项权利要求所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述级间通道(C4)将所述粗抽真空泵(8)的倒数第二个泵送级(T4)连接到所述粗抽真空泵(8)的最后一个泵送级(T5)。
4.根据权利要求2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述泄漏检测器包括作为极限真空电动阀(11)的旁路连接在所述级间通道(C4)上的吹扫装置(19)。
5.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述辅助泵送装置(10)包括至少一个辅助泵(18)。
6.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述辅助泵送装置(10)包括真空储器(21)、插置在所述真空储器(21)与所述粗抽真空泵(8)之间的极限真空电动阀(11)和插置在所述真空储器(21)与所述粗抽真空泵(8)的进气口(12)之间的真空产生电动阀(22)，所述极限真空电动阀(11)和真空产生电动阀(22)能由所述泄漏检测器(1)的控制单元(6)控制。
7.根据权利要求5所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述至少一个辅助泵(18)是隔膜泵。
8.一种用于通过喷射示踪气体来对待测试物体进行泄漏检测的泄漏检测方法(100)，所述泄漏检测方法在根据前述权利要求中任一项所述的泄漏检测器(1)中实施，其中，使用辅助泵送装置(10)降低粗抽真空泵(8)中的示踪气体的极限真空压力。
9.根据前一项权利要求所述的泄漏检测方法(100)，其中，当在真空管线(7)中测定的压力低于或等于低压阈值，命令使所述辅助泵送装置(10)与所述粗抽真空泵(8)相连的极限真空电动阀(11)打开，以便使用所述辅助泵送装置(10)来降低所述粗抽真空泵(8)中的示踪气体的极限真空压力。
10.根据权利要求8或9所述的泄漏检测方法(100)，其中，在所述泄漏检测器(1)启动时，使用所述粗抽真空泵(8)并使用所述辅助泵送装置(10)的辅助泵(18)来降低所述真空管线(7)中的压力。
11.根据权利要求9所述的泄漏检测方法(100)，其中，当所述泄漏检测器(1)未使用的时间长于预定时间时降低所述粗抽真空泵(8)的转速，并命令所述极限真空电动阀(11)打开。
12.根据权利要求8或9所述的泄漏检测方法(100)，其特征在于，在切断所述泄漏检测器(1)的总电源后的预定时间内使用所述辅助泵送装置(10)来降低所述粗抽真空泵(8)中的极限真空压力，由所述泄漏检测器(1)的电池或所述泄漏检测器(1)的动能回收装置提供电源，所述动能回收装置能够以电能的形式回收所述涡轮分子真空泵(9)的转子的旋转动能。
13.根据权利要求9所述的泄漏检测方法(100)，其中，低压阈值为100pa或50pa。
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