JP2020531859A - 漏れ検査対象物の漏れ検出器と漏れ検出方法 - Google Patents

漏れ検査対象物の漏れ検出器と漏れ検出方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2020531859A
JP2020531859A JP2020512547A JP2020512547A JP2020531859A JP 2020531859 A JP2020531859 A JP 2020531859A JP 2020512547 A JP2020512547 A JP 2020512547A JP 2020512547 A JP2020512547 A JP 2020512547A JP 2020531859 A JP2020531859 A JP 2020531859A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pump
vacuum
vacuum pump
leak
rough
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2020512547A
Other languages
English (en)
Inventor
クーロン ジュリアン
クーロン ジュリアン
Original Assignee
ファイファー バキユーム
ファイファー バキユーム
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ファイファー バキユーム, ファイファー バキユーム filed Critical ファイファー バキユーム
Publication of JP2020531859A publication Critical patent/JP2020531859A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/24Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/28Safety arrangements; Monitoring
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0092Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
    • G01M3/205Accessories or associated equipment; Pump constructions
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/02Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
    • F04C18/0207Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00Application
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00Application
    • F04C2220/10Vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2270/00Control; Monitoring or safety arrangements
    • F04C2270/58Valve parameters
    • F04C2270/585Controlled or regulated
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2270/00Control; Monitoring or safety arrangements
    • F04C2270/80Diagnostics
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/005Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

本発明は、検査対象物に結合される検出吸入口(2)及びポンプ装置(3)を備え、検出対象物に対してレーサガス漏れ検出による漏れ検出を行う漏れ検出器(1)に関する。前記ポンプ装置(3)は、前記検出吸入口(2)に接続された真空ライン(7)、前記真空ライン(7)に接続された粗引真空ポンプ(8)、前記真空ライン(7)に接続され、その吐出口が前記粗引真空ポンプ(8)に接続されターボ分子真空ポンプ(9)と、前記ターボ分子真空ポンプ(9)に接続されたガス検出器(4)を備えている。本発明は、前記ポンプ装置(3)が、前記粗引真空ポンプ(8)内のトレーサーガスの到達真空度圧力を下げるために粗引真空ポンプ(8)に接続された補助ポンプ手段(10)を含むことを特徴としている。本発明はまた、いわゆるトレーサーガス漏れ検出方法を使用する、漏れ検出対象物のための漏れ検出方法に関する。【選択図】図1

Description

本発明は、トレーサーガスがスプレーされるいわゆる「噴霧」技術を使用して、検査される対象物を漏れ試験するための、漏れ検出器、及び漏れ検出方法に関する。
スプレーで漏れを検出する手法では、検査対象物の内部からガスを低圧になるまで排気する。そして、スプレーによって、トレーサーガスに富んだ雰囲気が、検査対象物の周囲に形成される。
検査対象物の内部は、吸引されたガスの中にトレーサーガスが見つかるかどうかを確認する、漏れ検出器に接続されている。
この方法は、検査される対象物内にあるトレーサーガスの漏れの可能性のある通路を検出する。
一般に、ヘリウムまたは水素がトレーサーガスとして使用される。これらのガスは、分子サイズが小さく、移動速度が高いため、他のガスよりも簡単に小さな漏れを通過するからである。この方法は、一般に非常に感度が良い。
しかし、エラーを回避し、特に2回の測定の間の待機時間を短縮することにより、測定の精度とレートを向上させるには、トレーサーガスの暗雑音をできるだけ早く下げる必要がある。
1つの解決策は、漏れ検出器のポンプ能力を高めることである。しかしながら、それには、高価でかさばるポンプ装置を使用する必要がある。
本発明の目的の1つは、軽量で、コンパクトで、安価であり、かつ、トレーサーガスの暗雑音を低減できる、漏れ検出器を提案することである。
この目的のために、本発明の1つの主題は、トレーサーガスをスプレーすることによって検査される漏れ検査の対象物の漏れ検出器である。
この漏れ検出器は、
−検査する対象物に接続するための検出吸入口と、
−ポンプ装置であって、このポンプ装置は、
−検出吸入口に接続された真空ライン、
−前記真空ラインに接続された粗引真空ポンプ、及び
−前記真空ラインに接続され、その吐出口が前記粗引真空ポンプに接続されているタ−ボ分子真空ポンプを含み、
−前記ターボ分子真空ポンプに接続されたガス検出器とを備えたものにおいて、
前記ポンプ装置は、前記粗引真空ポンプに接続され、前記粗引真空ポンプ内のトレーサーガスの到達真空度圧力を低下させる、補助ポンプ手段を備えていることを特徴とする。
前記粗引真空ポンプの到達真空度圧力を下げることにより、前記ガス検出器内のヘリウムまたは水素のトレーサーガスの暗雑音が低下する。
トレーサーガスの暗雑音を低減させると、前記漏れの検出感度を、約30%向上させることができる。
さらに、暗雑音を低減できるということは、大きな漏れが検出された後に、漏れ検出器がすぐに動作できるようになるため、連続する2回の漏れ検出の間の待機時間を短縮することが可能になる。
前記補助ポンプ手段はまた、凝縮可能な種に対してより頑丈にすることにより、粗引真空ポンプの寿命を延ばすことが可能になる。
また、粗引真空ポンプの圧力を下げることにより、粗引真空ポンプの騒音レベルを大幅に下げることができ、消費電力を低減することができる。
本発明の漏れ検出器の1つまたは複数の特徴として、さらに、以下のものを、単独または組み合わせて採用することが考えられる。
−この漏れ検出器は、前記真空ラインの圧力を測定するように構成された圧力センサを含み、
−この漏れ検出器は、前記圧力センサに接続された制御ユニットを含み、
−前記ポンプ装置は、前記制御ユニットによって制御可能な到達真空度電動弁を含み、この到達真空度電動弁は、前記補助ポンプ手段を前記粗引真空ポンプに接続する、
−前記制御ユニットは、前記圧力センサによって測定された圧力が低圧閾値以下である場合に、前記到達真空度電動弁の開放を命令するように構成されている。
−前記粗引真空ポンプは、直列に取り付けられた複数のステージで構成され、
−前記補助ポンプ手段は、粗引前記真空ポンプのステージ間の導管に接続されている。
−前記ステージ間の導管は、前記粗引真空ポンプの最後から2番目のポンプステージを前記粗引真空ポンプの最終段のポンプステージに接続する。
−前記漏れ検出器は、前記ステージ間の導管の前記到達真空度電動弁のバイパスとして接続されたパージ装置を備えている。
−前記補助ポンプ手段は、前記粗引真空ポンプの前記吐出口に接続されている、
−前記補助ポンプ手段は、ダイヤフラムポンプなどの少なくとも1つの補助ポンプを含み、
−前記補助ポンプ手段は、負圧貯蔵タンク、前記負圧貯蔵タンクと前記粗引真空ポンプの間に挿入された到達真空度の電動弁、及び、前記負圧貯蔵タンクと前記粗引真空ポンプの吸入口の間に挿入された真空生成用の電動弁から構成されている。
前記到達真空度電動弁及び前記真空生成用電動弁は、前記漏れ検出器の制御ユニットによって制御可能である。
本発明の別の主題は、トレーサーガスをスプレーすることによって検査される漏れ検出対象物のための漏れ検出方法であって、これは、前記の漏れ検出器で実施される。
ここで、前記粗引真空ポンプ内のトレーサーガスの到達真空度圧力は、前記補助ポンプ手段を使用して下げられる。
この漏れ検出方法は、完全に自動化できる。
本発明の漏れ検出方法の1つまたは複数の特徴として、さらに、以下のものを、単独または組み合わせて採用することが考えられる。
−前記真空ラインで測定された圧力が、50Pa程度など、100Pa以下の低圧閾値以下の場合、補助ポンプ手段を使用して前記粗引真空ポンプ内のトレーサーガスの到達真空度圧力を低下させるために、前記補助ポンプ手段を前記粗引真空ポンプに接続するために、前記到達真空度電動弁の開放が命令される。
−前記漏れ検出器の起動時に、前記真空ラインの圧力は、前記粗引真空ポンプ、及び、前記補助ポンプ手段の補助ポンプを使用して下げられ、
−前記漏れ検出器が所定の期間より長い間使用されておらず、前記到達真空度電動弁の開放が指令されている場合、前記粗引真空ポンプの回転速度は減速される。
−粗引真空ポンプの到達真空度圧力は、漏れ検出器への全体的な電源が遮断された後、所定の期間、補助ポンプ手段を使用して下げられる。
電源は、前記漏れ検出器のバッテリーから供給され、あるいは、前記ターボ分子真空ポンプのロータの回転の運動エネルギーを電気エネルギーの形で回収できる前記漏れ検出器の運動エネルギー回収手段によって供給される。
本発明の実施形態の第1の実施例による、漏れ検出器の概略図である。 図1に示した漏れ検出器に実装されたトレーサーガスをスプレーすることによって検査される、漏れ検出対象物の漏れ検出方法のフローを示す図である。 本発明の実施形態の第2の実施例による、漏れ検出器の概略図である。
本発明のさらなる利点及び特徴は、本発明の特定の、しかし非限定的な以下の実施形態の説明、及び添付の図面を学ぶことから明らかになる。
これらの図面では、同一の要素には同じ参照番号が付けられている。
以下、本発明の実施形態の実施例について述べる。以下の説明は1つまたは複数の実施形態に言及しているが、それは、各参照符号が同じ実施形態に関すること、または特徴が1つの単一の実施例に独自に適用されることを必ずしも意味しない。様々な実施形態の個々の特徴はまた、他の実施形態を形成するために組み合わせまたは交換することができる。
ガスを吸引し、移送し、及び送出し、大気圧で排気する容積式真空ポンプは、粗引真空ポンプとして定義されている。
ガスの流れの方向に関して「上流」が意味するのは、他の要素の前方に配置される要素である。対照的に、「下流」が意味するのは、ポンプ輸送されるガスの流れの方向に関して、他の後方に配置される要素であり、上流に位置する要素は、下流に位置する要素よりも低圧である。
「到達真空度」は、ガスの流れがない場合において、粗引真空ポンプによって得られる最小圧力であると定義される。
図1は、トレーサーガスをスプレーすることにより検査される、漏れ検出対象物の漏れ検出器1を示している。
この漏れ検出器1は、検査される対象物に接続される検出吸入口2、ポンプ装置3、ガス検出器4、圧力センサ5、及びこの圧力センサ5に接続された制御ユニット6を備えている。
ポンプ装置3は、検出吸入口2に接続された真空ライン7、真空ライン7に接続された粗引真空ポンプ8、真空ライン7に接続されターボ分子真空ポンプ9、及び、補助ポンプ手段10を備えている。
ポンプ装置3は、さらに、制御ユニット6によって制御可能な到達真空度電動弁11を備えていおり、この到達真空度電動弁11は、補助ポンプ手段10を粗引真空ポンプ8に接続するものである。
ターボ分子真空ポンプ9は、ロータ、固定子及びモータM1を含んでいる。モータM1が漏れ検出器1の全体的な電源から供電されるとき、ロータは、ステータ内で回転される。
ガス検出器4は、ターボ分子真空ポンプ9の例えばその吸入口に接続されている。このガス検出器4は、例えば、質量分析計を備えている。
ターボ分子真空ポンプ9の吐出口は、ポンプ装置3の第1電動遮断弁13を介して、粗引真空ポンプ8の吸入口12に接続されている。この第1電動遮断弁13は、制御ユニット6によって制御される。
粗引真空ポンプ8の吸入口12は、さらに、制御ユニット6によって制御可能なポンプ装置3の第2電動遮断弁14を介して、検出吸入口2に接続されている。
より具体的には、ターボ分子真空ポンプ9の吐出口は、第1電動遮断弁13を介して、第2電動遮断弁14と粗引真空ポンプ8の吸入口12との間に接続されている。
第2電動遮断弁14により、漏れ検出器1の真空ライン7を事前に真空にすることができる。
粗引真空ポンプ8は、このポンプ8の吸入口12と吐出口16との間に、次々に直列に設けられた複数のポンプステージT1〜T5、例えば5段のステージを含んでおり、排気されるガスがそこを循環できる。
各ポンプステージT1〜T5は、それぞれの入口及び出口を有している。 連続するポンプステージT1〜T5は、先行するポンプステージの出口(または吐出口)を後続の段の入口(または吸入口)に接続する、それぞれのステージ間の導管C1〜C4によって、次々に直列に接続されている。
ポンプステージT1〜T5のステータは、粗引真空ポンプ8の本体を形成する。粗引真空ポンプ8の吐出口16における圧力は、大気圧である。
粗引き真空ポンプ8は、さらに、ポンピングされたガスが真空ポンプ8に逆流するのを防ぐために、最終ポンプステージT5の出口に逆止弁を備えている。
ポンプステージT1〜T5は、掃引容積、すなわちポンプステージと共に減少する(または等しい)ポンピングガスの容積を有し、第1のポンプステージT1は、最大の掃引容積出力を有し、最終ポンプステージT5は、最小の掃引容積出力を有する。
粗引真空ポンプ8は、例えば、40m/時程度のような、20m/時〜50m/時のポンプ能力を有する。
本発明の実施形態の一実施例によれば、粗引真空ポンプ8は、ポンプステージT1〜T5内に延びる2つの回転ローブ型ロータを備えている。これらのロータの軸は、粗引真空ポンプ8のモータM2が漏れ検出器1の全体的な電源を介して給電されるとき、このモータM2によって駆動される。
一対のロータは、「ルーツ」タイプ(「8の字型」または「インゲン豆」の形状の断面)のような、同じプロファイルのローブを有している。
一対のロータは、角度的にオフセットされて駆動され、各ステージT1〜T5内で反対方向に同期して回転する。一対のロータが回転すると、吸入口12から吸入されたガスは、一対のロータ及びステータによって生成された容積内に閉じ込められ、次いで一対のロータによって次段のステージに向かって駆動される。
粗引真空ポンプ8は、運転中、一対のロータが固定子と機械的に接触することなく固定子内部で回転し、それにより、ポンプステージT1〜T5においてオイルが完全に不要なため、「ドライ」と称される。
もちろん、本発明は、「爪」タイプまたは「スクロール」タイプのポンプ、またはスクリュータイプのポンプ、または他の同様の容積式ポンプの原理で動作するものや、または多段ダイヤフラム式粗引真空ポンプなどにも適用できる。
漏れ検出器1の検出吸入口2は、制御ユニット6によって制御可能な少なくとも1つの電動サンプリング弁17a、17bを介してターボ分子真空ポンプ9の中間段に接続されている。
ポンプ装置3は、例えば、少なくとも2つの電動サンプリング弁17a、17bを含み、各電動弁17a、17bがターボ分子真空ポンプ9の別々の中間段に接続されているため、サンプリング流量を、漏れのレベルに適合するように調整することができる。
これらの電動サンプリング弁17a、17bは、検出吸入口2と第2電動遮断弁14の間に配置された真空ライン7のバイパスに接続されている。
圧力センサ5は、真空ライン7の圧力を測定するように構成され、この真空ライン7は、少なくとも1つの電動サンプリング弁17a、17b、第2の電動遮断弁14、及び検出吸入口2を連通させるパイプを含んでいる。
制御ユニット6は、特に電動弁17a、17b、13、14、11の開放を命令するように設計されたメモリ及びプログラムを含む、1つまたは複数のコントローラまたはマイクロコントローラまたはプロセッサを備えている。制御ユニット6はまた、遠隔制御装置及び/または制御パネルなどの、漏れ検出器1のユーザーインターフェースを管理することができる。
本発明の実施形態の一実施例によれば、制御ユニット6はまた、圧力センサ5によって測定された圧力が低圧閾値以下であるとき、到達真空度電動弁11の開放を命令し、それにより、粗引真空ポンプ8内のトレーサーガスの到達真空度圧力を低圧閾値以下にするように構成されている。
制御ユニット6は、圧力センサ5によって測定された圧力が低圧閾値を超えると、到達真空度電動弁11の閉鎖を命令する。
粗引真空ポンプ8の到達真空圧を下げることにより、ガス検出器4内のヘリウムまたは水素トレーサーガスの暗雑音が低下する。
トレーサーガスの暗雑音を低減させると、漏れ検出の感度を、特に、約30%増加させることができる。
さらに、暗雑音を低減できることにより、大きな漏れを検出した後、漏れ検出器1をすばやく動作させることができる。これにより、2つの連続する検出間の待機時間を短縮できる。
また、粗引真空ポンプ8内の圧力を下げることにより、粗引真空ポンプ8の騒音レベルを大幅に低減し、消費電力を低減することができる。
図1の第1の実施例では、補助ポンプ手段10は、ダイヤフラムポンプまたはピストンポンプまたはぜん動ポンプなどの、少なくとも1つの補助ポンプ18を含んでいる。
補助ポンプ18は、例えば、5000Pa(または50ミリバール)から20000Pa(または200ミリバール)の間の到達真空度圧力を得ることができる。
補助ポンプ18は、容積が小さく、軽量であり、低コストであり、特に、漏れ検出器1をコンパクトに保ち、輸送可能であり、制御されたコストに維持することが可能である。補助ポンプ手段10は、到達真空度電動弁11を介して粗引真空ポンプ8の吸入口12に接続することができる。
その場合、例えば、補助ポンプ手段10は、2つのダイヤフラムポンプなど、直列に取り付けられた2つの補助真空ポンプ17を備えるように準備される。
別の実施例によれば、補助ポンプ手段10は、逆止弁の前で、粗引真空ポンプ8の吐出口16に接続される。
図1に示す実施例では、補助ポンプ手段10は、最後から2番目のポンプステージT4を最終段のポンプステージT5に接続するためのステージ間の導管C4などの、粗引真空ポンプ8のステージ間の導管C1〜C4に接続されている。
補助ポンプ手段10を吐出口16に接続するか、または粗引真空ポンプ8の最終段のステージ間の導管C4などの高圧ステージに接続することにより、騒音の観点から約1.5dbAのオーダー、及び電力消費の削減の観点から約250Wのオーダー、より効果的にできる。
補助ポンプ手段10をステージ間の導管C1〜C4、特に粗引真空ポンプ8の最終段のステージ間の導管C4に接続し、粗引真空ポンプ8から補助ポンプ手段10へ、凝縮可能な種の排気を行うことによって、粗引真空ポンプ8の寿命を延ばすことも可能になる。
従って、粗引真空ポンプ8は、この粗引真空ポンプ8の高圧段で凝縮する可能性がある水蒸気などの凝縮性蒸気による潜在的な攻撃から保護される。
次に必要とされるのは、損傷したときに補助ポンプ手段10を交換することだけであり、この補助ポンプ手段10は交換が簡単であり、低コストである。
さらに、ステージ間の導管C4におけるバイパスの存在は、漏れ検出器1をパージするためのパージ装置19を接続するためにも、利益がある。パージ装置19は、ステージ間の導管C4における到達真空度電動弁11に、バイパスとして、接続されている。
パージ装置19は、例えば、制御ユニット6により制御可能であり、ステージ間の導管C4と窒素などのパージガス源との間に挿入された電動パージ弁20を備えている。
パージ装置19は、補助ポンプ手段10が到達真空度作動弁11の電気的閉鎖によりステージ間の導管C4から分離されているときに、粗引真空ポンプ8のポンプステージT4、T5の間にパージガスが導入されることを可能にする。
特に、最終ポンプステージの導管C4へのパージガスの注入により、粗引真空ポンプ8のこの部分に蓄積した可能性のあるトレーサーガスと凝縮性蒸気の排出を促進することができる。
従って、たった1つのコネクタにより、粗引真空ポンプ8内のトレーサーガスの到達真空度圧力を低下させるために、あるいはまた、パージガスをステージ間の導管C4に導入するために、ステージ間の導管C4を、一方では補助ポンプ手段10に、他方ではパージ装置19に接続することができる。
次に、図1の漏れ検出器1に実装されたトレーサーガスをスプレーすることによって検査される、漏れ検出対象物の漏れ検出方法100の一つの実施例について説明する。
漏れ検出器1への全体的な電源が遮断されると、電動弁11、13、14、17a、17b及び20が閉じられる。
ターボ分子真空ポンプ9、粗引真空ポンプ8及び補助ポンプ18は停止される。真空ライン7内の圧力は大気圧である。
漏れ検出器1の始動時(図2:始動ステップ101)、ユーザーが検出器1への全体的な電源をオンにすると、第1電動遮断弁13が開位置になるように命令される。
そして、粗引真空ポンプ8とターボ分子真空ポンプ9のスイッチが入れられる。
この始動ステップ101の間、粗引真空ポンプ8及び補助ポンプ18を使用して真空ライン7内の圧力を下げるために、到達真空度電動弁11の開放を命令し、補助ポンプ18を始動することも可能である。
漏れ検出器1を始動する段階で補助ポンプ手段10を使用すると、より迅速に低圧を達成することができ、粗引真空ポンプ8によるポンピングの準備を助ける。
これにより、起動フェーズを加速することができる。漏れ検出器1は、一般に、使用中に何回もスイッチをオン/オフする必要があるため、この始動の支援は、漏れの検出において特に有益である。
具体的には、ジャイロスコープ効果の結果としてターボ分子真空ポンプ9を損傷するリスクを回避するために、漏れ検出器1を別の検出場所に移動する前に、ターボ分子真空ポンプ9のロータを停止する必要がある。
所定の時間が経過した後、到達真空度電動弁11を閉じることができ、補助ポンプ18をオフにすることができる。
この状態で、漏れ検出器1は、測定サイクルの準備ができている。
ユーザが測定サイクルを開始すると、検出吸入口2と粗引真空ポンプ8の吸入口12との間に挿入された第2電動遮断弁14が開かれる(予備排気ステップ102)。これにより、真空ライン7内の圧力は低下する。
本発明の実施形態の一実施例によれば、真空ライン7で測定された圧力が低圧閾値以下、例えば50Pa(または0.5mbar)程度などの100Pa(または1mbar)以下である場合、到達真空度電動弁11が開くように命令され、そして、補助ポンプ手段10を使用して粗引真空ポンプ8内の到達真空度圧力を下げるために、補助ポンプ18の始動が命令される。
また、電動サンプリング弁17a、17bの一方を開放するように命令が出され、これにより、ターボ分子真空ポンプ9及びガス検出器4を検出器2の吸入口と連通させる(検出ステップ103)。
本発明の実施形態の別の実施例によれば、補助ポンプ18は常に作動しており、粗引真空ポンプ8の到達真空度圧力を常に低下させる。その場合、到達真空度電動弁11は常に開いているか、または漏れ検出器1は、到達真空度電動弁11を備えていない。
補助排気手段10を用いて粗引真空ポンプ8の到達真空圧を低下させることにより、トレーサーガスの到達真空圧を低下させることができる。これにより、漏れ検出器1は、スプレー漏れ試験を実行する準備が完了する。
漏れの試験中に、制御ユニット6は、検査される対象物の漏れのレベルに応じて、電動サンプリング弁17a、17bを切り替えることができる。
ガス検出器4によって測定されたトレーサーガスの濃度が高すぎる場合、到達真空度電動弁11の閉鎖及び電動パージ弁20の開放を命令することにより、ステージ間の導管C4を補助ポンプ手段10ではなくパージ装置19と連通させ、トレーサーガスの排気を促進する決定を下すことができる。
重大な過圧が発生した場合、すなわち、真空ライン7で測定された圧力が低圧閾値を超えた場合、到達真空度電動弁11が閉じるように命令され、補助ポンプ18が停止される。
ターボ分子真空ポンプ9は、少なくとも1つの電動サンプリング弁17a、17bを閉じることにより、検出吸入口2から隔離される。第2電動遮断弁14は、開くように命令される(事前排気ステップ102)。
漏れ検出器1が所定の期間よりも長い期間使用されていない場合、「待機」モードが提供されてもよく、このモードでは、粗引真空ポンプ8の回転速度が減速される(待機ステップ104)。
粗引真空ポンプ8の回転数を下げることで、不使用時の漏洩検出器1の消費電力を低減することができる。
この待機モードは、手動でトリガーすることも、コントロールユニット6で検出して制御することもできる。
この待機モードでは、補助ポンプ手段10を使用して粗引真空ポンプ8内の到達真空度圧力を低下させ、それによりさらに漏れ検出器1の電力消費を低減するために、到達真空度電動弁11を開くように命令することができる。
ターボ分子真空ポンプ9の吸入口は、少なくとも1つの電動サンプリング弁17a、17bを閉じることによって隔離される。
オペレータが漏れ検出器1への全体的な電力の供給を遮断すると、電動弁11、13、14、17a、17b、20が閉じ、ターボ分子真空ポンプ9、粗引き真空ポンプ8、及び補助ポンプ18が停止する(検出器スイッチオフステップ105)。
漏れ検出器1への全体的な電源が遮断された後、到達真空度電動弁11の開放を命令することにより、そしてこの例では、補助ポンプ18を始動することにより、事前定に設定された所定の期間に、粗引真空ポンプ8内の到達真空度圧力が補助ポンプ手段10によって下げられるように、準備することもできる(再始動ステップ106)。
この再始動は、漏れ検出器1のスイッチオフの直後に1回だけ、または周期的に実行できる。
漏れ検出器1を「再始動」するサイクルは、漏れ検出器1がスイッチオフされた後、例えば、スイッチオフされた漏れ検出器1が動き回っている時間の間になるように、制御ユニット6によってプログラムすることができる。
到達真空度電動弁11、制御ユニット6、及び補助ポンプ18への電力の供給は、漏れ検出器1のバッテリによって提供されてもよい。
別の実施例によれば、この電力の供給は、電気エネルギーの形でターボ分子真空ポンプ9のロータの回転の運動エネルギーを回収し、それを、制御ユニット6、到達真空度電動弁11及び補助ポンプ18に電力として供給するように構成された、漏れ検出器1の運動エネルギー回収手段によって提供しても良い。
具体的には、全体的な電源が遮断されると、蓄積された運動エネルギーと慣性力により、ロータは回転し続ける。次に、ターボ分子真空ポンプ9のモータM1は、発電機として動作するロータによって機械的に回転駆動される。
検出器1に特有のこのような電源は、バッテリーまたは運動エネルギー回収手段を使用して、補助ポンプ手段10への電源を、粗引真空ポンプ8内の圧力を下げるのに十分な時間維持した後、オフにできることを意味する。従って、粗引真空ポンプ8は、使用後にトレーサーガスを「パージ」することができる。
従って、漏れ検出方法100は、補助ポンプ手段10を使用してトレーサーガスの暗雑音を低減することを可能にし、これにより、測定感度を高め、2つの測定間の待ち時間を短縮することが可能になる。
補助ポンプ手段10はまた、凝縮可能な種に対してより頑丈にすることにより、粗引真空ポンプ8の寿命を延ばすことを可能にする。
補助ポンプ手段10はまた、漏れ検出器の起動時に真空の生成を加速するために使用されてもよく、これは、漏れの検査中に比較的頻繁に起こり得るものである。
この同じ補助ポンプ手段を使用して、漏れ検出器1が使用されていないときの電力消費量を削減し、粗引真空ポンプ8が終了した後に、オフになっている粗引真空ポンプ8のトレーサーガスと凝縮性蒸気をパージすることもできる。
さらに、漏れ検出方法100は完全に自動化することができる。
図3は、本発明の実施形態の第2の実施例による、漏れ検出器の概略図である。
本発明の実施形態の第2の実施例では、補助ポンプ手段10は、負圧貯蔵タンク21、この負圧貯蔵タンク21と粗引真空ポンプ8との間に挿入された到達真空度電動弁11、及び、この負圧貯蔵タンク21と粗引真空ポンプ8の吸入口12の間に挿入された真空生成用電動弁22とを備えている。
到達真空度電動弁11及び真空生成用電動弁22は、制御ユニット6により制御可能である。
負圧貯蔵タンク21は、サイズが小さく、例えば100cm〜500cmの間であり、無視できる重量とコストであり、漏れ検出器1をコンパクトに保ち、輸送可能であり、コスト制御下に維持できる。
補助ポンプ手段10は、逆止弁の前の粗引真空ポンプ8の吐出口16に、または、最後から2番目のポンプステージT4を最終段のポンプステージT5に接続する粗引真空ポンプ8のステージ間の導管C4などの、ステージ間の導管C1〜C4に接続することができる。
漏れ検出器1への全体的な電源が遮断されると、電動弁11、13、14、17a、17b、20及び22が閉じられる。ターボ分子真空ポンプ9と粗引真空ポンプ8は停止し、真空ライン7及び負圧貯蔵タンク21内の圧力は大気圧になっている。
漏れ検出器1が始動すると(図2;始動ステップ101)、第1電動遮断弁13が開くように命令される。これにより、粗引真空ポンプ8とターボ分子真空ポンプ9のスイッチが入れられる。
漏れ検出器1は、測定サイクルの準備ができている。
ユーザが測定サイクルを開始すると、検出用入口2と粗引真空ポンプ8の吸入口12の間に挿入された電動遮断弁14が開き、真空生成用電動弁22も開く(予備排気ステップ102)。これにより、真空ライン7内の圧力が低下する。
真空ライン7で測定された圧力が、100Pa以下の低圧閾値以下、例えば50Pa程度、である場合、真空生成用電動弁22が閉じられ、補助排気手段10を使用して粗引真空ポンプ8内の到達真空度圧力を低下させるために、到達真空度電動弁11は、例えば、数秒程度の所定の長さの時間にわたって開くように命令される。電動サンプリング弁17a、17bの1つもまた、開くように命令される(検出ステップ103)。
到達真空度電動弁11が開くと、負圧貯蔵タンク21内の圧力は低圧閾値程度なので、粗引真空ポンプ8内の圧力を下げることができる。
補助排気手段10を用いて粗引真空ポンプ8の到達真空圧を低下させることにより、トレーサーガスの到達真空圧を低下させることができる。
これで、漏れ検出器1は、スプレー漏れ試験を実行する準備ができたことになる。
この試験の過程において、制御ユニット6は、試験されている対象物における漏れのレベルに従って、電動サンプリング弁17a、17bを切り替えることができる。
ガス検出器4によって測定されたトレーサーガス濃度が高すぎる場合、ステージ間の導管C4を補助ポンプ手段10とではなくパージ装置19と連絡させて、トレーサーガスの排気を促進する決定を下すことができる。
粗引真空ポンプ8がパージされている間、到達真空度電動弁11は閉じるように命令される。
従って、これにより、真空生成用電動弁22を開き、負圧貯蔵タンク21内の圧力を再び低下させるという利益を得ることが可能である。
重大な過圧が発生した場合、すなわち、真空ライン7で測定された圧力が低圧閾値を超えた場合、到達真空度の電動弁11が閉じるように命令される。
ターボ分子真空ポンプ9は、電動サンプリング弁17a、17bの少なくとも1つを閉じることにより、分離される。
第2電動遮断弁14及び真空生成用電動弁22は、開くように命令される(予備排気ステップ102)。
漏れ検出器1が所定の時間より長い期間使用されない場合、第1の実施例と同様に、粗引真空ポンプ8の回転数を低下させる「待機」モード(待機ステップ104)を設けることは可能である。
そして、この場合は、到達真空度電動弁11を開くように命令することが可能である。
負圧貯蔵タンク21の圧力が低い場合は、粗引真空ポンプ8の到達真空圧を下げることができ、それにより、漏れ検出器1の消費電力を低減できる。
オペレータが漏れ検出器1への全体的な電源を遮断すると、電動弁11、13、14、17a、17b、21、22が閉じ、ターボ分子真空ポンプ9と粗引真空ポンプ8がオフに切り替わる(検出器 スイッチオフステップ105)。
本発明の実施形態の第1の実施例のように、漏れ検出器1への全体的な電源が遮断された後、バッテリーまたは漏れ検出器1の運動エネルギー回収手段によって提供される、到達真空度電動弁11及び制御ユニット6への電力の供給のために、所定の時間、到達真空度電動弁11の開放を命令するように準備することができる(再始動ステップ106)。
もし、負圧貯蔵タンク21が低圧である場合、これにより、粗引真空ポンプ8内の到達真空度圧力を下げることができ、従って、スイッチが切られた粗引真空ポンプ8をパージすることができる。
1 漏れ検出器
2 検出吸入口
3 ポンプ装置
4 ガス検出器
5 圧力センサ
6 制御ユニット
7 真空ライン
8 粗引真空ポンプ
9 ターボ分子真空ポンプ
10 補助ポンプ手段
11 到達真空度電動弁
12 粗引真空ポンプの吸入口
13 第1電動遮断弁
14 第2電動遮断弁
16 粗引真空ポンプの吐出口
17a、17b 電動サンプリング弁
18 補助ポンプ
19 パージ装置
20 電動パージ弁20
21 負圧貯蔵タンク
22 真空生成電動弁
C1〜C4 ステージ間の導管
M1 モータ
M2 モータ
T1〜T5 ポンピングステージ

Claims (13)

  1. トレーサーガスをスプレーすることにより検査される漏れ検出対象物の漏れ検出器(1)であって、
    前記漏れ検出器(1)は、
    −検査される対象物に接続するための検出吸入口(2)と、
    −ポンプ装置であって、このポンプ装置は、
    −前記検出吸入口(2)に接続された真空ライン(7)と、
    −前記真空ライン(7)に接続された粗引真空ポンプ(8)、及び
    −前記真空ライン(7)に接続され、その吐出口が前記粗引真空ポンプ(8)に接続されたターボ分子真空ポンプ(9)を含み、
    −前記ターボ分子真空ポンプ(9)に接続されたガス検出器(4)とを備えたものにおいて、
    前記ポンプ装置(3)は、前記粗引真空ポンプ(8)に接続され、前記粗引真空ポンプ(8)内のトレーサーガスの到達真空度圧力を低下させる補助ポンプ手段(10)を含むことを特徴とする、漏れ検出対象物の漏れ検出器。
  2. 請求項1において、前記真空ライン(7)内の圧力を測定するように構成された圧力センサ(5)と、前記圧力センサ(5)に接続された制御ユニット(6)とを備え、
    さらに、前記制御ユニット(6)により制御可能な到達真空度電動弁(11)を備え、
    前記到達真空度電動弁(11)は、前記補助ポンプ手段(10)を前記粗引真空ポンプ(8)に接続し、
    前記制御ユニット(6)は、前記圧力センサ(5)によって測定された圧力が低圧閾値以下であるときに、前記到達真空度電動弁(11)の開放を命令するように構成されていることを特徴とする漏れ検出器(1)。
  3. 請求項1又は2において、前記粗引真空ポンプ(8)は、直列に取り付けられた複数のポンプステージ(T1〜T5)を含み、
    前記補助ポンプ手段(10)は、前記粗引真空ポンプ(8)のステージ間の導管(C1〜C4)に接続されていることを特徴とする漏れ検出器(1)。
  4. 請求項1〜3のいずれか1項において、前記ステージ間の導管(C4)は、前記粗引真空ポンプ(8)の最後から2番目の前記ポンプステージ(T4)を前記粗引真空ポンプ(8)の最終段のポンプステージ(T5)に接続するように構成されていることを特徴とする漏れ検出器(1)。
  5. 請求項3〜4のいずれか1項において、
    前記ステージ間の導管(C4)の前記到達真空度電動弁(11)のバイパスとして接続されたパージ装置(19)を備えていることを特徴とする漏れ検出器(1)。
  6. 請求項1〜2のいずれか1項において、前記補助ポンプ手段(10)は、前記粗引真空ポンプ(8)の前記吐出口(16)に接続されていることを特徴とする漏れ検出器(1)。
  7. 請求項1〜6のいずれか1項において、
    前記補助ポンプ手段(10)は、ダイヤフラムポンプなどの少なくとも1つの補助ポンプ(18)を含むことを特徴とする漏れ検出器(1)。
  8. 請求項1〜6のいずれか1項において、
    補助ポンプ手段(10)は、
    負圧貯蔵タンク(21)と、
    前記負圧貯蔵タンク(21)と前記粗引真空ポンプ(8)の間に挿入された到達真空度電動弁(11)と、
    前記負圧貯蔵タンク(21)と前記引真空ポンプ(8)の前記吸入口(12)の間に挿入された真空生成用電動弁(22)とを備え、
    前記到達真空度電動弁(11)及び真空生成用電動弁(22)は、前記漏れ検出器(1)の前記制御ユニット(6)によって制御可能であることを特徴とする漏れ検出器(1)。
  9. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の前記漏れ検出器(1)に実装されているトレーサーガスをスプレーすることによって検査される漏れ検出対象物の漏れ検出方法(100)であって、
    前記粗引真空ポンプ(8)内の前記トレーサーガスの到達真空度圧は、前記補助ポンプ手段(10)を使用して下げられることを特徴とする漏れ検出方法(100)。
  10. 請求項9に記載の漏れ検出方法(100)であって、
    前記真前記空ライン(7)で測定された圧力が100 Pa以下の低圧閾値以下、例えば50Pa程度、である場合、前記補助ポンプ手段(10)を使用して前記粗引真空ポンプ(8)内の前記トレーサーガスの到達真空度圧力を下げるために、前記補助ポンプ手段(10)を前記粗引真空ポンプ(8)に接続する前記到達真空度電動弁(11)を開くように命令される(検出ステップ103)ことを特徴とする漏れ検出方法(100)。
  11. 請求項9〜10のいずれか1項に記載の漏れ検出方法(100)であって、
    前記漏れ検出器(1)の起動時に、前記粗引真空ポンプ(8)及び補助ポンプ手段(10)の補助ポンプ(18)を使用して、真空ライン(7)の圧力を下げる(開始 アップステップ101)ことを特徴とする漏れ検出方法(100)。
  12. 請求項9〜11のいずれか1項に記載の漏れ検出方法(100)であって、
    前記漏れ検出器(1)が所定の期間より長い間使用されいないとき、前記粗引真空ポンプ(8)の回転速度は減速され、前記到達真空度の電動弁(11)を開くように命令される(待機ステップ104)ことを特徴とする漏れ検出方法(100)。
  13. 請求項9〜112いずれか1項に記載の漏れ検出方法(100)であって、
    前記粗引真空ポンプ(8)の前記到達真空度圧力は、前記漏れ検出器(1)への全体的な電源が遮断された後、所定の期間、前記補助ポンプ手段(10)を使用して下げられ、
    電源は、前記漏れ検出器(1)のバッテリーから供給され、あるいは、前記漏れ検出器(1)の運動エネルギー回収手段によって供給され、
    前記運動エネルギー回収手段は、前記ターボ分子真空ポンプ(9)のロータの回転の運動エネルギーを電気エネルギーの形で回収される(再始動ステップ106)ことを特徴とする漏れ検出方法(100)。
JP2020512547A 2017-08-29 2018-08-23 漏れ検査対象物の漏れ検出器と漏れ検出方法 Pending JP2020531859A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1757935 2017-08-29
FR1757935A FR3070489B1 (fr) 2017-08-29 2017-08-29 Detecteur de fuites et procede de detection de fuites pour le controle de l'etancheite d'objets a tester
PCT/EP2018/072818 WO2019042868A1 (fr) 2017-08-29 2018-08-23 Détecteur de fuites et procédé de détection de fuites pour le contrôle de l'étanchéité d'objets à tester

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2020531859A true JP2020531859A (ja) 2020-11-05

Family

ID=60020171

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020512547A Pending JP2020531859A (ja) 2017-08-29 2018-08-23 漏れ検査対象物の漏れ検出器と漏れ検出方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11519811B2 (ja)
EP (1) EP3676589B1 (ja)
JP (1) JP2020531859A (ja)
CN (1) CN111033207B (ja)
FR (1) FR3070489B1 (ja)
WO (1) WO2019042868A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3112578B3 (fr) * 2020-07-20 2022-07-22 Pfeiffer Vacuum Pompe à vide à palettes, détecteur et installation de lyophilisation
CN111982407A (zh) * 2020-08-11 2020-11-24 山西国投海德利森氢能装备股份有限公司 一种用于氢能源汽车的气密检测系统
CN112857695A (zh) * 2021-01-15 2021-05-28 合肥工业大学 一种激光陀螺稳定充气和高精度检漏系统

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0815078A (ja) * 1994-06-29 1996-01-19 Ulvac Japan Ltd 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3247975A1 (de) * 1982-12-24 1984-06-28 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Verfahren und vorrichtung zur auffindung von lecks in waenden
US4735084A (en) * 1985-10-01 1988-04-05 Varian Associates, Inc. Method and apparatus for gross leak detection
EP0283543B1 (de) * 1987-03-27 1991-12-11 Leybold Aktiengesellschaft Lecksuchgerät und Betriebsverfahren dazu
FR2653558B1 (fr) * 1989-10-23 1994-06-10 Cit Alcatel Systeme de detection de fuites a gaz traceur.
FR2667937B1 (fr) 1990-10-15 1995-03-10 Cit Alcatel Detecteur de fuite a gaz traceur.
FR2681688B1 (fr) * 1991-09-24 1993-11-19 Alcatel Cit Installation de detection de fuites de gaz utilisant la technique de reniflage.
FR2681689B1 (fr) 1991-09-25 1993-11-12 Alcatel Cit Detecteur de fuite a gaz traceur.
DE4442174A1 (de) * 1994-11-26 1996-05-30 Leybold Ag Lecksuchgerät mit Vakuumpumpen und Betriebsverfahren dazu
FR2728072B1 (fr) * 1994-12-07 1997-01-10 Cit Alcatel Detecteur de fuite
DE19504278A1 (de) * 1995-02-09 1996-08-14 Leybold Ag Testgas-Lecksuchgerät
US5932797A (en) * 1996-05-08 1999-08-03 Southeastern Universities Research Assn. Sensitive hydrogen leak detector
US6286362B1 (en) * 1999-03-31 2001-09-11 Applied Materials, Inc. Dual mode leak detector
KR200191426Y1 (ko) * 2000-02-24 2000-08-16 주식회사사이언스리서치서비스 추적가스를 이용한 누설검사장치
DE10156205A1 (de) * 2001-11-15 2003-06-05 Inficon Gmbh Testgaslecksuchgerät
DE10302764A1 (de) * 2003-01-24 2004-07-29 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
DE10302987A1 (de) * 2003-01-25 2004-08-05 Inficon Gmbh Lecksuchgerät mit einem Einlass
DE10308420A1 (de) * 2003-02-27 2004-09-09 Leybold Vakuum Gmbh Testgaslecksuchgerät
DE10319633A1 (de) * 2003-05-02 2004-11-18 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
US7204127B2 (en) * 2003-06-11 2007-04-17 Varian, Inc. Method and apparatus for large leak testing
DE102006047856A1 (de) * 2006-10-10 2008-04-17 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher
DE102006056215A1 (de) * 2006-11-29 2008-06-05 Inficon Gmbh Schnüffellecksuchgerät
DE102009010064A1 (de) * 2009-02-21 2010-08-26 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher
DE102010033373A1 (de) * 2010-08-04 2012-02-09 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
DE102010048982B4 (de) * 2010-09-03 2022-06-09 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
EP2458218A1 (en) 2010-11-30 2012-05-30 Converteam Technology Ltd A system for maintaining a high vacuum
DE102011107334B4 (de) * 2011-07-14 2023-03-16 Leybold Gmbh Lecksucheinrichtung sowie Verfahren zum Überprüfen von Gegenständen auf Dichtigkeit mittels einer Lecksucheinrichtung
FR2993614B1 (fr) * 2012-07-19 2018-06-15 Pfeiffer Vacuum Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes
FR3034192B1 (fr) * 2015-03-23 2017-04-07 Pfeiffer Vacuum Sas Detecteur de fuites et procede de detection de fuites
US10094381B2 (en) * 2015-06-05 2018-10-09 Agilent Technologies, Inc. Vacuum pump system with light gas pumping and leak detection apparatus comprising the same
DE102015222213A1 (de) * 2015-11-11 2017-05-11 Inficon Gmbh Druckmessung am Prüfgaseinlass
DE102016210701A1 (de) * 2016-06-15 2017-12-21 Inficon Gmbh Massenspektrometrischer Lecksucher mit Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe auf gemeinsamer Welle
FR3072774B1 (fr) * 2017-10-19 2019-11-15 Pfeiffer Vacuum Detecteur de fuites pour le controle de l'etancheite d'un objet a tester

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0815078A (ja) * 1994-06-29 1996-01-19 Ulvac Japan Ltd 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置

Also Published As

Publication number Publication date
FR3070489B1 (fr) 2020-10-23
EP3676589A1 (fr) 2020-07-08
CN111033207B (zh) 2022-12-20
US11519811B2 (en) 2022-12-06
US20200200641A1 (en) 2020-06-25
FR3070489A1 (fr) 2019-03-01
CN111033207A (zh) 2020-04-17
WO2019042868A1 (fr) 2019-03-07
EP3676589B1 (fr) 2023-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2020531859A (ja) 漏れ検査対象物の漏れ検出器と漏れ検出方法
JP7142089B2 (ja) 検査対象物の密閉性をチェックするための漏れ検出器
JP2005330967A (ja) 軽量気体用真空ポンプシステム
RU2545468C2 (ru) Устройство обнаружения утечки
CN103119413B (zh) 渗漏检测装置
TWI696760B (zh) 用於產生真空的泵送系統及利用此泵送系統的泵送方法
JP4745779B2 (ja) 真空装置
TWI734588B (zh) 真空幫浦系統中的抽泵方法及真空幫浦系統
TWI725943B (zh) 用於產生真空的泵送系統及利用此泵送系統的泵送方法
TW201625911A (zh) 逆流滲漏偵測裝置及方法
KR102190221B1 (ko) 진공 펌프 시스템 및 진공 펌프 시스템에서의 펌핑 방법
CN209894400U (zh) 一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置
Grinham et al. Vacuum System Evacuation to Base Pressure: Are there benefits pumping through a separate foreline?
JP2014226655A (ja) 遠心機

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210625

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220630

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220705

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20221004

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20230214