JP2020531859A - 漏れ検査対象物の漏れ検出器と漏れ検出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
検査対象物の内部は、吸引されたガスの中にトレーサーガスが見つかるかどうかを確認する、漏れ検出器に接続されている。
この方法は、検査される対象物内にあるトレーサーガスの漏れの可能性のある通路を検出する。
1つの解決策は、漏れ検出器のポンプ能力を高めることである。しかしながら、それには、高価でかさばるポンプ装置を使用する必要がある。
この漏れ検出器は、
−検査する対象物に接続するための検出吸入口と、
−ポンプ装置であって、このポンプ装置は、
−検出吸入口に接続された真空ライン、
−前記真空ラインに接続された粗引真空ポンプ、及び
−前記真空ラインに接続され、その吐出口が前記粗引真空ポンプに接続されているタ−ボ分子真空ポンプを含み、
−前記ターボ分子真空ポンプに接続されたガス検出器とを備えたものにおいて、
前記ポンプ装置は、前記粗引真空ポンプに接続され、前記粗引真空ポンプ内のトレーサーガスの到達真空度圧力を低下させる、補助ポンプ手段を備えていることを特徴とする。
トレーサーガスの暗雑音を低減させると、前記漏れの検出感度を、約30%向上させることができる。
さらに、暗雑音を低減できるということは、大きな漏れが検出された後に、漏れ検出器がすぐに動作できるようになるため、連続する2回の漏れ検出の間の待機時間を短縮することが可能になる。
また、粗引真空ポンプの圧力を下げることにより、粗引真空ポンプの騒音レベルを大幅に下げることができ、消費電力を低減することができる。
−この漏れ検出器は、前記真空ラインの圧力を測定するように構成された圧力センサを含み、
−この漏れ検出器は、前記圧力センサに接続された制御ユニットを含み、
−前記ポンプ装置は、前記制御ユニットによって制御可能な到達真空度電動弁を含み、この到達真空度電動弁は、前記補助ポンプ手段を前記粗引真空ポンプに接続する、
−前記制御ユニットは、前記圧力センサによって測定された圧力が低圧閾値以下である場合に、前記到達真空度電動弁の開放を命令するように構成されている。
−前記粗引真空ポンプは、直列に取り付けられた複数のステージで構成され、
−前記補助ポンプ手段は、粗引前記真空ポンプのステージ間の導管に接続されている。
−前記ステージ間の導管は、前記粗引真空ポンプの最後から2番目のポンプステージを前記粗引真空ポンプの最終段のポンプステージに接続する。
−前記漏れ検出器は、前記ステージ間の導管の前記到達真空度電動弁のバイパスとして接続されたパージ装置を備えている。
−前記補助ポンプ手段は、前記粗引真空ポンプの前記吐出口に接続されている、
−前記補助ポンプ手段は、ダイヤフラムポンプなどの少なくとも1つの補助ポンプを含み、
−前記補助ポンプ手段は、負圧貯蔵タンク、前記負圧貯蔵タンクと前記粗引真空ポンプの間に挿入された到達真空度の電動弁、及び、前記負圧貯蔵タンクと前記粗引真空ポンプの吸入口の間に挿入された真空生成用の電動弁から構成されている。
前記到達真空度電動弁及び前記真空生成用電動弁は、前記漏れ検出器の制御ユニットによって制御可能である。
ここで、前記粗引真空ポンプ内のトレーサーガスの到達真空度圧力は、前記補助ポンプ手段を使用して下げられる。
この漏れ検出方法は、完全に自動化できる。
−前記真空ラインで測定された圧力が、50Pa程度など、100Pa以下の低圧閾値以下の場合、補助ポンプ手段を使用して前記粗引真空ポンプ内のトレーサーガスの到達真空度圧力を低下させるために、前記補助ポンプ手段を前記粗引真空ポンプに接続するために、前記到達真空度電動弁の開放が命令される。
−前記漏れ検出器の起動時に、前記真空ラインの圧力は、前記粗引真空ポンプ、及び、前記補助ポンプ手段の補助ポンプを使用して下げられ、
−前記漏れ検出器が所定の期間より長い間使用されておらず、前記到達真空度電動弁の開放が指令されている場合、前記粗引真空ポンプの回転速度は減速される。
−粗引真空ポンプの到達真空度圧力は、漏れ検出器への全体的な電源が遮断された後、所定の期間、補助ポンプ手段を使用して下げられる。
電源は、前記漏れ検出器のバッテリーから供給され、あるいは、前記ターボ分子真空ポンプのロータの回転の運動エネルギーを電気エネルギーの形で回収できる前記漏れ検出器の運動エネルギー回収手段によって供給される。
これらの図面では、同一の要素には同じ参照番号が付けられている。
「到達真空度」は、ガスの流れがない場合において、粗引真空ポンプによって得られる最小圧力であると定義される。
この漏れ検出器1は、検査される対象物に接続される検出吸入口2、ポンプ装置3、ガス検出器4、圧力センサ5、及びこの圧力センサ5に接続された制御ユニット6を備えている。
ポンプ装置3は、検出吸入口2に接続された真空ライン7、真空ライン7に接続された粗引真空ポンプ8、真空ライン7に接続されターボ分子真空ポンプ9、及び、補助ポンプ手段10を備えている。
ポンプ装置3は、さらに、制御ユニット6によって制御可能な到達真空度電動弁11を備えていおり、この到達真空度電動弁11は、補助ポンプ手段10を粗引真空ポンプ8に接続するものである。
ガス検出器4は、ターボ分子真空ポンプ9の例えばその吸入口に接続されている。このガス検出器4は、例えば、質量分析計を備えている。
ターボ分子真空ポンプ9の吐出口は、ポンプ装置3の第1電動遮断弁13を介して、粗引真空ポンプ8の吸入口12に接続されている。この第1電動遮断弁13は、制御ユニット6によって制御される。
より具体的には、ターボ分子真空ポンプ9の吐出口は、第1電動遮断弁13を介して、第2電動遮断弁14と粗引真空ポンプ8の吸入口12との間に接続されている。
第2電動遮断弁14により、漏れ検出器1の真空ライン7を事前に真空にすることができる。
粗引真空ポンプ8は、このポンプ8の吸入口12と吐出口16との間に、次々に直列に設けられた複数のポンプステージT1〜T5、例えば5段のステージを含んでおり、排気されるガスがそこを循環できる。
ポンプステージT1〜T5のステータは、粗引真空ポンプ8の本体を形成する。粗引真空ポンプ8の吐出口16における圧力は、大気圧である。
粗引き真空ポンプ8は、さらに、ポンピングされたガスが真空ポンプ8に逆流するのを防ぐために、最終ポンプステージT5の出口に逆止弁を備えている。
ポンプステージT1〜T5は、掃引容積、すなわちポンプステージと共に減少する(または等しい)ポンピングガスの容積を有し、第1のポンプステージT1は、最大の掃引容積出力を有し、最終ポンプステージT5は、最小の掃引容積出力を有する。
粗引真空ポンプ8は、例えば、40m3/時程度のような、20m3/時〜50m3/時のポンプ能力を有する。
一対のロータは、「ルーツ」タイプ(「8の字型」または「インゲン豆」の形状の断面)のような、同じプロファイルのローブを有している。
一対のロータは、角度的にオフセットされて駆動され、各ステージT1〜T5内で反対方向に同期して回転する。一対のロータが回転すると、吸入口12から吸入されたガスは、一対のロータ及びステータによって生成された容積内に閉じ込められ、次いで一対のロータによって次段のステージに向かって駆動される。
粗引真空ポンプ8は、運転中、一対のロータが固定子と機械的に接触することなく固定子内部で回転し、それにより、ポンプステージT1〜T5においてオイルが完全に不要なため、「ドライ」と称される。
ポンプ装置3は、例えば、少なくとも2つの電動サンプリング弁17a、17bを含み、各電動弁17a、17bがターボ分子真空ポンプ9の別々の中間段に接続されているため、サンプリング流量を、漏れのレベルに適合するように調整することができる。
これらの電動サンプリング弁17a、17bは、検出吸入口2と第2電動遮断弁14の間に配置された真空ライン7のバイパスに接続されている。
圧力センサ5は、真空ライン7の圧力を測定するように構成され、この真空ライン7は、少なくとも1つの電動サンプリング弁17a、17b、第2の電動遮断弁14、及び検出吸入口2を連通させるパイプを含んでいる。
制御ユニット6は、圧力センサ5によって測定された圧力が低圧閾値を超えると、到達真空度電動弁11の閉鎖を命令する。
トレーサーガスの暗雑音を低減させると、漏れ検出の感度を、特に、約30%増加させることができる。
さらに、暗雑音を低減できることにより、大きな漏れを検出した後、漏れ検出器1をすばやく動作させることができる。これにより、2つの連続する検出間の待機時間を短縮できる。
また、粗引真空ポンプ8内の圧力を下げることにより、粗引真空ポンプ8の騒音レベルを大幅に低減し、消費電力を低減することができる。
補助ポンプ18は、例えば、5000Pa(または50ミリバール)から20000Pa(または200ミリバール)の間の到達真空度圧力を得ることができる。
補助ポンプ18は、容積が小さく、軽量であり、低コストであり、特に、漏れ検出器1をコンパクトに保ち、輸送可能であり、制御されたコストに維持することが可能である。補助ポンプ手段10は、到達真空度電動弁11を介して粗引真空ポンプ8の吸入口12に接続することができる。
その場合、例えば、補助ポンプ手段10は、2つのダイヤフラムポンプなど、直列に取り付けられた2つの補助真空ポンプ17を備えるように準備される。
図1に示す実施例では、補助ポンプ手段10は、最後から2番目のポンプステージT4を最終段のポンプステージT5に接続するためのステージ間の導管C4などの、粗引真空ポンプ8のステージ間の導管C1〜C4に接続されている。
補助ポンプ手段10をステージ間の導管C1〜C4、特に粗引真空ポンプ8の最終段のステージ間の導管C4に接続し、粗引真空ポンプ8から補助ポンプ手段10へ、凝縮可能な種の排気を行うことによって、粗引真空ポンプ8の寿命を延ばすことも可能になる。
従って、粗引真空ポンプ8は、この粗引真空ポンプ8の高圧段で凝縮する可能性がある水蒸気などの凝縮性蒸気による潜在的な攻撃から保護される。
次に必要とされるのは、損傷したときに補助ポンプ手段10を交換することだけであり、この補助ポンプ手段10は交換が簡単であり、低コストである。
パージ装置19は、例えば、制御ユニット6により制御可能であり、ステージ間の導管C4と窒素などのパージガス源との間に挿入された電動パージ弁20を備えている。
パージ装置19は、補助ポンプ手段10が到達真空度作動弁11の電気的閉鎖によりステージ間の導管C4から分離されているときに、粗引真空ポンプ8のポンプステージT4、T5の間にパージガスが導入されることを可能にする。
従って、たった1つのコネクタにより、粗引真空ポンプ8内のトレーサーガスの到達真空度圧力を低下させるために、あるいはまた、パージガスをステージ間の導管C4に導入するために、ステージ間の導管C4を、一方では補助ポンプ手段10に、他方ではパージ装置19に接続することができる。
漏れ検出器1への全体的な電源が遮断されると、電動弁11、13、14、17a、17b及び20が閉じられる。
ターボ分子真空ポンプ9、粗引真空ポンプ8及び補助ポンプ18は停止される。真空ライン7内の圧力は大気圧である。
そして、粗引真空ポンプ8とターボ分子真空ポンプ9のスイッチが入れられる。
この始動ステップ101の間、粗引真空ポンプ8及び補助ポンプ18を使用して真空ライン7内の圧力を下げるために、到達真空度電動弁11の開放を命令し、補助ポンプ18を始動することも可能である。
これにより、起動フェーズを加速することができる。漏れ検出器1は、一般に、使用中に何回もスイッチをオン/オフする必要があるため、この始動の支援は、漏れの検出において特に有益である。
具体的には、ジャイロスコープ効果の結果としてターボ分子真空ポンプ9を損傷するリスクを回避するために、漏れ検出器1を別の検出場所に移動する前に、ターボ分子真空ポンプ9のロータを停止する必要がある。
この状態で、漏れ検出器1は、測定サイクルの準備ができている。
ユーザが測定サイクルを開始すると、検出吸入口2と粗引真空ポンプ8の吸入口12との間に挿入された第2電動遮断弁14が開かれる(予備排気ステップ102)。これにより、真空ライン7内の圧力は低下する。
また、電動サンプリング弁17a、17bの一方を開放するように命令が出され、これにより、ターボ分子真空ポンプ9及びガス検出器4を検出器2の吸入口と連通させる(検出ステップ103)。
補助排気手段10を用いて粗引真空ポンプ8の到達真空圧を低下させることにより、トレーサーガスの到達真空圧を低下させることができる。これにより、漏れ検出器1は、スプレー漏れ試験を実行する準備が完了する。
漏れの試験中に、制御ユニット6は、検査される対象物の漏れのレベルに応じて、電動サンプリング弁17a、17bを切り替えることができる。
重大な過圧が発生した場合、すなわち、真空ライン7で測定された圧力が低圧閾値を超えた場合、到達真空度電動弁11が閉じるように命令され、補助ポンプ18が停止される。
ターボ分子真空ポンプ9は、少なくとも1つの電動サンプリング弁17a、17bを閉じることにより、検出吸入口2から隔離される。第2電動遮断弁14は、開くように命令される(事前排気ステップ102)。
粗引真空ポンプ8の回転数を下げることで、不使用時の漏洩検出器1の消費電力を低減することができる。
この待機モードでは、補助ポンプ手段10を使用して粗引真空ポンプ8内の到達真空度圧力を低下させ、それによりさらに漏れ検出器1の電力消費を低減するために、到達真空度電動弁11を開くように命令することができる。
ターボ分子真空ポンプ9の吸入口は、少なくとも1つの電動サンプリング弁17a、17bを閉じることによって隔離される。
漏れ検出器1への全体的な電源が遮断された後、到達真空度電動弁11の開放を命令することにより、そしてこの例では、補助ポンプ18を始動することにより、事前定に設定された所定の期間に、粗引真空ポンプ8内の到達真空度圧力が補助ポンプ手段10によって下げられるように、準備することもできる(再始動ステップ106)。
漏れ検出器1を「再始動」するサイクルは、漏れ検出器1がスイッチオフされた後、例えば、スイッチオフされた漏れ検出器1が動き回っている時間の間になるように、制御ユニット6によってプログラムすることができる。
到達真空度電動弁11、制御ユニット6、及び補助ポンプ18への電力の供給は、漏れ検出器1のバッテリによって提供されてもよい。
具体的には、全体的な電源が遮断されると、蓄積された運動エネルギーと慣性力により、ロータは回転し続ける。次に、ターボ分子真空ポンプ9のモータM1は、発電機として動作するロータによって機械的に回転駆動される。
検出器1に特有のこのような電源は、バッテリーまたは運動エネルギー回収手段を使用して、補助ポンプ手段10への電源を、粗引真空ポンプ8内の圧力を下げるのに十分な時間維持した後、オフにできることを意味する。従って、粗引真空ポンプ8は、使用後にトレーサーガスを「パージ」することができる。
補助ポンプ手段10はまた、凝縮可能な種に対してより頑丈にすることにより、粗引真空ポンプ8の寿命を延ばすことを可能にする。
補助ポンプ手段10はまた、漏れ検出器の起動時に真空の生成を加速するために使用されてもよく、これは、漏れの検査中に比較的頻繁に起こり得るものである。
この同じ補助ポンプ手段を使用して、漏れ検出器1が使用されていないときの電力消費量を削減し、粗引真空ポンプ8が終了した後に、オフになっている粗引真空ポンプ8のトレーサーガスと凝縮性蒸気をパージすることもできる。
さらに、漏れ検出方法100は完全に自動化することができる。
本発明の実施形態の第2の実施例では、補助ポンプ手段10は、負圧貯蔵タンク21、この負圧貯蔵タンク21と粗引真空ポンプ8との間に挿入された到達真空度電動弁11、及び、この負圧貯蔵タンク21と粗引真空ポンプ8の吸入口12の間に挿入された真空生成用電動弁22とを備えている。
到達真空度電動弁11及び真空生成用電動弁22は、制御ユニット6により制御可能である。
負圧貯蔵タンク21は、サイズが小さく、例えば100cm3〜500cm3の間であり、無視できる重量とコストであり、漏れ検出器1をコンパクトに保ち、輸送可能であり、コスト制御下に維持できる。
漏れ検出器1への全体的な電源が遮断されると、電動弁11、13、14、17a、17b、20及び22が閉じられる。ターボ分子真空ポンプ9と粗引真空ポンプ8は停止し、真空ライン7及び負圧貯蔵タンク21内の圧力は大気圧になっている。
漏れ検出器1は、測定サイクルの準備ができている。
ユーザが測定サイクルを開始すると、検出用入口2と粗引真空ポンプ8の吸入口12の間に挿入された電動遮断弁14が開き、真空生成用電動弁22も開く(予備排気ステップ102)。これにより、真空ライン7内の圧力が低下する。
真空ライン7で測定された圧力が、100Pa以下の低圧閾値以下、例えば50Pa程度、である場合、真空生成用電動弁22が閉じられ、補助排気手段10を使用して粗引真空ポンプ8内の到達真空度圧力を低下させるために、到達真空度電動弁11は、例えば、数秒程度の所定の長さの時間にわたって開くように命令される。電動サンプリング弁17a、17bの1つもまた、開くように命令される(検出ステップ103)。
補助排気手段10を用いて粗引真空ポンプ8の到達真空圧を低下させることにより、トレーサーガスの到達真空圧を低下させることができる。
これで、漏れ検出器1は、スプレー漏れ試験を実行する準備ができたことになる。
ガス検出器4によって測定されたトレーサーガス濃度が高すぎる場合、ステージ間の導管C4を補助ポンプ手段10とではなくパージ装置19と連絡させて、トレーサーガスの排気を促進する決定を下すことができる。
粗引真空ポンプ8がパージされている間、到達真空度電動弁11は閉じるように命令される。
従って、これにより、真空生成用電動弁22を開き、負圧貯蔵タンク21内の圧力を再び低下させるという利益を得ることが可能である。
ターボ分子真空ポンプ9は、電動サンプリング弁17a、17bの少なくとも1つを閉じることにより、分離される。
第2電動遮断弁14及び真空生成用電動弁22は、開くように命令される(予備排気ステップ102)。
そして、この場合は、到達真空度電動弁11を開くように命令することが可能である。
負圧貯蔵タンク21の圧力が低い場合は、粗引真空ポンプ8の到達真空圧を下げることができ、それにより、漏れ検出器1の消費電力を低減できる。
オペレータが漏れ検出器1への全体的な電源を遮断すると、電動弁11、13、14、17a、17b、21、22が閉じ、ターボ分子真空ポンプ9と粗引真空ポンプ8がオフに切り替わる(検出器 スイッチオフステップ105)。
もし、負圧貯蔵タンク21が低圧である場合、これにより、粗引真空ポンプ8内の到達真空度圧力を下げることができ、従って、スイッチが切られた粗引真空ポンプ8をパージすることができる。
2 検出吸入口
3 ポンプ装置
4 ガス検出器
5 圧力センサ
6 制御ユニット
7 真空ライン
8 粗引真空ポンプ
9 ターボ分子真空ポンプ
10 補助ポンプ手段
11 到達真空度電動弁
12 粗引真空ポンプの吸入口
13 第1電動遮断弁
14 第2電動遮断弁
16 粗引真空ポンプの吐出口
17a、17b 電動サンプリング弁
18 補助ポンプ
19 パージ装置
20 電動パージ弁20
21 負圧貯蔵タンク
22 真空生成電動弁
C1〜C4 ステージ間の導管
M1 モータ
M2 モータ
T1〜T5 ポンピングステージ
Claims (13)
- トレーサーガスをスプレーすることにより検査される漏れ検出対象物の漏れ検出器(1)であって、
前記漏れ検出器(1)は、
−検査される対象物に接続するための検出吸入口(2)と、
−ポンプ装置であって、このポンプ装置は、
−前記検出吸入口(2)に接続された真空ライン(7)と、
−前記真空ライン(7)に接続された粗引真空ポンプ(8)、及び
−前記真空ライン(7)に接続され、その吐出口が前記粗引真空ポンプ(8)に接続されたターボ分子真空ポンプ(9)を含み、
−前記ターボ分子真空ポンプ(9)に接続されたガス検出器(4)とを備えたものにおいて、
前記ポンプ装置(3)は、前記粗引真空ポンプ(8)に接続され、前記粗引真空ポンプ(8)内のトレーサーガスの到達真空度圧力を低下させる補助ポンプ手段(10)を含むことを特徴とする、漏れ検出対象物の漏れ検出器。 - 請求項1において、前記真空ライン(7)内の圧力を測定するように構成された圧力センサ(5)と、前記圧力センサ(5)に接続された制御ユニット(6)とを備え、
さらに、前記制御ユニット(6)により制御可能な到達真空度電動弁(11)を備え、
前記到達真空度電動弁(11)は、前記補助ポンプ手段(10)を前記粗引真空ポンプ(8)に接続し、
前記制御ユニット(6)は、前記圧力センサ(5)によって測定された圧力が低圧閾値以下であるときに、前記到達真空度電動弁(11)の開放を命令するように構成されていることを特徴とする漏れ検出器(1)。 - 請求項1又は2において、前記粗引真空ポンプ(8)は、直列に取り付けられた複数のポンプステージ(T1〜T5)を含み、
前記補助ポンプ手段(10)は、前記粗引真空ポンプ(8)のステージ間の導管(C1〜C4)に接続されていることを特徴とする漏れ検出器(1)。 - 請求項1〜3のいずれか1項において、前記ステージ間の導管(C4)は、前記粗引真空ポンプ(8)の最後から2番目の前記ポンプステージ(T4)を前記粗引真空ポンプ(8)の最終段のポンプステージ(T5)に接続するように構成されていることを特徴とする漏れ検出器(1)。
- 請求項3〜4のいずれか1項において、
前記ステージ間の導管(C4)の前記到達真空度電動弁(11)のバイパスとして接続されたパージ装置(19)を備えていることを特徴とする漏れ検出器(1)。 - 請求項1〜2のいずれか1項において、前記補助ポンプ手段(10)は、前記粗引真空ポンプ(8)の前記吐出口(16)に接続されていることを特徴とする漏れ検出器(1)。
- 請求項1〜6のいずれか1項において、
前記補助ポンプ手段(10)は、ダイヤフラムポンプなどの少なくとも1つの補助ポンプ(18)を含むことを特徴とする漏れ検出器(1)。 - 請求項1〜6のいずれか1項において、
補助ポンプ手段(10)は、
負圧貯蔵タンク(21)と、
前記負圧貯蔵タンク(21)と前記粗引真空ポンプ(8)の間に挿入された到達真空度電動弁(11)と、
前記負圧貯蔵タンク(21)と前記引真空ポンプ(8)の前記吸入口(12)の間に挿入された真空生成用電動弁(22)とを備え、
前記到達真空度電動弁(11)及び真空生成用電動弁(22)は、前記漏れ検出器(1)の前記制御ユニット(6)によって制御可能であることを特徴とする漏れ検出器(1)。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載の前記漏れ検出器(1)に実装されているトレーサーガスをスプレーすることによって検査される漏れ検出対象物の漏れ検出方法(100)であって、
前記粗引真空ポンプ(8)内の前記トレーサーガスの到達真空度圧は、前記補助ポンプ手段(10)を使用して下げられることを特徴とする漏れ検出方法(100)。 - 請求項9に記載の漏れ検出方法(100)であって、
前記真前記空ライン(7)で測定された圧力が100 Pa以下の低圧閾値以下、例えば50Pa程度、である場合、前記補助ポンプ手段(10)を使用して前記粗引真空ポンプ(8)内の前記トレーサーガスの到達真空度圧力を下げるために、前記補助ポンプ手段(10)を前記粗引真空ポンプ(8)に接続する前記到達真空度電動弁(11)を開くように命令される(検出ステップ103)ことを特徴とする漏れ検出方法(100)。
- 請求項9〜10のいずれか1項に記載の漏れ検出方法(100)であって、
前記漏れ検出器(1)の起動時に、前記粗引真空ポンプ(8)及び補助ポンプ手段(10)の補助ポンプ(18)を使用して、真空ライン(7)の圧力を下げる(開始 アップステップ101)ことを特徴とする漏れ検出方法(100)。 - 請求項9〜11のいずれか1項に記載の漏れ検出方法(100)であって、
前記漏れ検出器(1)が所定の期間より長い間使用されいないとき、前記粗引真空ポンプ(8)の回転速度は減速され、前記到達真空度の電動弁(11)を開くように命令される(待機ステップ104)ことを特徴とする漏れ検出方法(100)。 - 請求項9〜112いずれか1項に記載の漏れ検出方法(100)であって、
前記粗引真空ポンプ(8)の前記到達真空度圧力は、前記漏れ検出器(1)への全体的な電源が遮断された後、所定の期間、前記補助ポンプ手段(10)を使用して下げられ、
電源は、前記漏れ検出器(1)のバッテリーから供給され、あるいは、前記漏れ検出器(1)の運動エネルギー回収手段によって供給され、
前記運動エネルギー回収手段は、前記ターボ分子真空ポンプ(9)のロータの回転の運動エネルギーを電気エネルギーの形で回収される(再始動ステップ106)ことを特徴とする漏れ検出方法(100)。
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