CN209894400U - 一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对真空室抽真空的真空泵系统，真空泵系统包括都与真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与真空室相连通的皮拉尼真空计。该高真空冷阴极电离规的性能检测装置能够方便地检测高真空冷阴极电离规的性能，其结构较为简单，检测效率较高，能够缩短真空磁控溅射设备的停机时间，降低对生产的影响。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置。
背景技术
高真空冷阴极电离规，又称为冷规、IG表，其利用低压下气体分子的电离与压力有关的特性，用放电电流作为真空度的度量，其可以用在真空磁控溅射设备中测量真空度。高真空冷阴极电离规在使用一定周期后需要进行保养维护。在保养维护后，技术人员不能确定其性能是否完全正常。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其能够方便快速地检测出高真空冷阴极电离规的性能是否满足要求，不影响真空磁控溅射设备的使用。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对所述真空室抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统包括都与所述真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与所述真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与所述高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与所述真空室相连通的皮拉尼真空计。
优选地，所述高真空冷阴极电离规与所述真空室之间设置有第一蝶阀。
优选地，所述涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵串接在一起并依次远离所述真空室。
进一步优选地，所述涡轮分子泵与罗茨真空泵之间、所述罗茨真空泵与旋片真空泵之间都设置有控制阀。
优选地，所述真空泵系统与所述真空室之间设置有第二蝶阀。
优选地，所述皮拉尼真空计与所述真空室之间设置有第三蝶阀。
优选地，所述真空室为所述真空磁控溅射设备的真空腔室。
由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：该高真空冷阴极电离规的性能检测装置能够方便地检测高真空冷阴极电离规的性能，旋片真空泵、罗茨真空泵、涡轮分子泵抽真空的能力依次增强，在真空室内处于不同的真空度时，依次开启上述三个泵，能够最大限度地发挥出各个泵的优势，减少抽真空的时间；通过皮拉尼真空计检测高真空冷阴极电离规的保养结果，其结构较为简单，检测效率较高，能够缩短真空磁控溅射设备的停机时间，降低对生产的影响。
附图说明
附图1为高真空冷阴极电离规的性能检测装置的结构示意图；
其中：1、真空室；2、高真空冷阴极电离规；3、皮拉尼真空计；4、涡轮分子泵；5、罗茨真空泵；6、旋片真空泵；7、直流电源；8、电压表；10、第一蝶阀；20、第二蝶阀；30、第三蝶阀；40、控制阀。
具体实施方式
下面结合附图来对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。
参见图1所示，高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室1、用于对真空室抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统包括都与真空室1相连接的涡轮分子泵4、罗茨真空泵5、旋片真空泵6，高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与真空室1相连通的高真空冷阴极电离规2、都与高真空冷阴极电离规2相连通的直流电源7和电压表8、以及与真空室1相连通的皮拉尼真空计3。
在使用本实施例的高真空冷阴极电离规的性能检测装置时，先启动旋片真空泵6，当真空室1的真空度达到一定程度时，再依次启动罗茨真空泵5和涡轮分子泵4，这是因为旋片真空泵6、罗茨真空泵5、涡轮分子泵4抽真空的能力依次增强，依次开启上述三个泵，能够最大限度地发挥出各个泵的优势，减少抽真空的时间。当真空室1的真空度达到一定程度时，利用皮拉尼真空计3测量真空室1的真空度，皮拉尼真空计3通过测量热导率表征真空度，其原理与高真空冷阴极电离规2不同。当真空室1的真空度达到1×10-4mbar时，打开高真空冷阴极电离规2，利用电压表8测量高真空冷阴极电离规2的电压，若电压值为8.7±0.02V，则表明高真空冷阴极电离规2性能正常，可以使用，若电压值不在上述范围内，则表明高真空冷阴极电离规2性能不满足要求，需要重新保养维护。该高真空冷阴极电离规的性能检测装置能够方便地检测高真空冷阴极电离规2的性能。
高真空冷阴极电离规2与真空室1之间设置有第一蝶阀10，当真空室1的真空度达到1×10-4mbar之前，第一蝶阀10处于关闭状态，防止超出高真空冷阴极电离规2的量程，损坏仪器。
涡轮分子泵4、罗茨真空泵5、旋片真空泵6串接在一起并依次远离所述真空室1。在对真空室1抽真空时，上述几个泵逐个打开。
涡轮分子泵4与罗茨真空泵5之间、罗茨真空泵5与旋片真空泵6之间都设置有控制阀40，便于设备的调试与控制。
真空泵系统与真空室1之间设置有第二蝶阀20，第二蝶阀20起到控制真空泵系统与真空室1之间通断的作用。皮拉尼真空计3与真空室1之间设置有第三蝶阀30，只有当开启涡轮分子泵4、真空室1的真空度达到一定程度时，再打开第三蝶阀30，避免皮拉尼真空计3受损。
在某些实施例中，真空室1为真空磁控溅射设备的真空腔室，也就是说，该高真空冷阴极电离规的性能检测装置能够直接安装在真空磁控溅射设备上，进一步降低了真空计检测对于生产节拍的影响。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，其特征在于：所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对所述真空室抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统包括都与所述真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，所述高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与所述真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与所述高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与所述真空室相连通的皮拉尼真空计。
2.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述高真空冷阴极电离规与所述真空室之间设置有第一蝶阀。
3.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵串接在一起并依次远离所述真空室。
4.根据权利要求3所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述涡轮分子泵与罗茨真空泵之间、所述罗茨真空泵与旋片真空泵之间都设置有控制阀。
5.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述真空泵系统与所述真空室之间设置有第二蝶阀。
6.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述皮拉尼真空计与所述真空室之间设置有第三蝶阀。
7.根据权利要求1所述的高真空冷阴极电离规的性能检测装置，其特征在于：所述真空室为所述真空磁控溅射设备的真空腔室。
Priority Applications (1)
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| CN201921000339.6U CN209894400U (zh) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置 |
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| CN201921000339.6U CN209894400U (zh) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置 |
Publications (1)
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| CN201921000339.6U Active CN209894400U (zh) | 2019-06-28 | 2019-06-28 | 一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置 |
Country Status (1)
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2019
- 2019-06-28 CN CN201921000339.6U patent/CN209894400U/zh active Active
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