CN101839794B - 一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法及系统 - Google Patents

Abstract

一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法，对大型真空产品检漏时先粗抽真空再用高精度检漏仪检漏，其步骤如下：1、将被检真空产品洗净后，与真空管道接口联接，检查系统气路；2、对多个被检真空产品同时进行粗抽；3、待被检测产品中的真空度达到高真空度后，用高精度的检漏仪对被检测产品进行精抽和检查。本发明的有益效果：大大缩短了检测时间；提高了检漏仪检测精度；延长检漏仪的使用寿命。

Description

一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法及系统

技术领域

本发明涉及一种真空产品的真空漏率检测。

背景技术

一般对真空产品进行真空漏率检查，都是采用真空检漏仪与产品直接连接来进行检查，如图1。该种方法存在以下缺点：

1、检漏仪真空系统附带的粗抽泵的功率一般都比较小，对腔体容积较大的真空产品，抽真空达到规定的测试真空度条件，耗时比较长；

2、对腔体容积较大的产品进行真空检漏，检漏仪会因长时间高负荷的运行，对检漏仪的使用寿命有很大的影响；

3、体积大的真空产品内腔，当没有专用设备整体洗净时，人工洗净的内腔通常达不到高精度检漏仪要求的洁净度，在这种状态下抽真空，检漏仪零部件易损坏，特别是系统中的分子泵；

4、检漏仪一般在净空房的环境下使用，环境达不到洁净度要求时，检漏仪的精度下降比较快。

发明内容

本发明要解决现有的真空检漏方法存在费时、检查精度低的问题，提供了一种检测时间短、精度高的用于大型真空腔体批量真空检漏的方法。

本发明的技术方案：

一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法，对大型真空产品检漏时先粗抽真空再用高精度检漏仪检漏，其步骤如下：

1、将被检真空产品洗净后，与真空管道接口联接，检查系统气路；

2、对多个被检真空产品同时进行粗抽；

3、待被检测产品中的真空度达到高真空度后，用高精度的检漏仪对被检测产品进行精抽和检查。

实现本发明方法的用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，包括真空检漏仪，其特征在于：所述真空检漏仪并接有真空粗抽泵，所述真空检漏仪与所述粗抽泵均连接在用于获得真空系统粗抽时的真空度动态数据的真空托表上，所述真空托表的另一侧与检测产品连接。

进一步，所述真空托表上连接有多个检查产品。

进一步，所述真空托表与检查产品、真空粗抽泵、真空检漏仪之间均设有真空阀门。

进一步，所述真空托表的连接管路上设有预留接口。

进一步，所述真空托表与真空阀门之间通过无缝钢管连接。

进一步，所述检查产品、真空粗抽泵、真空检漏仪与真空阀门之间均通过波纹管连接。

本发明先用真空粗抽泵对产品进行粗抽，相对净化了产品中的空气，使其达到高精度检漏仪要求的洁净度后，再用检漏仪进行精抽，从而提高了检漏仪检测精度，也延长检漏仪的使用寿命。本系统可同时对多个产品进行粗抽，针对批量的大型真空产品漏率检测时，大大缩短了检测时间；发生异常漏率时，也可通过阀门控制接入系统的产品，一一确认。

本发明的有益效果：大大缩短了检测时间；提高了检漏仪检测精度；延长检漏仪的使用寿命。

附图说明

图1是传统检漏真空系统的示意图。

图2是本发明的真空检漏系统示意图。

具体实施方式

一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法，对大型真空产品检漏时先粗抽真空再用高精度检漏仪检漏，其具体实施步骤如下：

1、将被检真空产品洗净后，与真空管道接口联接，检查系统气路；

2、关闭控制真空检漏仪的自制阀门；

3、打开真空粗抽泵的自制阀门，打开真空粗抽泵进行粗抽；

4、观察真空托表，当真空托表的数据达到高真空度；

5、关闭控制粗抽泵的自制阀门，停止粗抽；

6、开启高精度检漏仪，仪器完成自检进入检查状态后，打开控制检漏仪的自制阀门；

7、对产品进行真空漏率检查；

8、当出现系统漏率异常，需要对单个产品进行检查确认时，关闭关联回路中的其它几个自制阀门，一一检测；

参照图2，实现本发明方法的用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，包括真空检漏仪1，所述真空检漏仪1并接有真空粗抽泵2，所述真空检漏仪1与所述粗抽泵2均连接在用于获得真空系统粗抽时的真空度动态数据的真空托表4上，所述真空托表4的另一侧与检测产品6连接。

所述真空托表4上连接有多个检查产品6。

所述真空托表4与检查产品6、真空粗抽泵2、真空检漏仪1之间均设有真空阀门3。

所述真空托表4的连接管路上设有预留接口5。

所述真空托表4与真空阀门3之间通过无缝钢管连接。

所述检查产品6、真空粗抽泵2、真空检漏仪1与真空阀门3之间均通过波纹管连接。

本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举，本发明的保护范围的不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本发明的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想到的等同技术手段。

Claims (4)

1.用于大型真空腔体批量真空检漏方法的系统，适用于按照如下步骤对大型真空产品检漏时先粗抽真空再用高精度检漏仪检漏：①将被检真空产品洗净后，与真空管道接口联接，检查系统气路；②对多个被检真空产品同时进行粗抽；③待被检测产品中的真空度达到高真空度后，用高精度的检漏仪对被检测产品进行精抽和检查；包括真空检漏仪，其特征在于：所述真空检漏仪并接有真空粗抽泵，所述真空检漏仪与所述粗抽泵均连接在用于获得真空系统粗抽时的真空度动态数据的真空托表上，所述真空托表的另一侧与检测产品连接；所述真空托表上连接有多个检测产品；所述真空托表与检测产品、真空粗抽泵、真空检漏仪之间均设有真空阀门。

2.根据权利要求1所述的用于大型真空腔体批量真空检漏方法的系统，其特征在于：所述真空托表的连接管路上设有预留接口。

3.根据权利要求2所述的用于大型真空腔体批量真空检漏方法的系统，其特征在于：所述真空托表与真空阀门之间通过无缝钢管连接。

4.根据权利要求3所述的用于大型真空腔体批量真空检漏方法的系统，其特征在于：所述检测产品、真空粗抽泵、真空检漏仪与真空阀门之间均通过波纹管连接。

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