CN1188543A - 有预真空泵的检漏仪 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用氦作为测试气体进行工作的检漏仪(1),它有一个用作为试样或测试腔接头的进口(3),有一个检测器(4),有一台连接在检测器上逆其输送方向流过测试气体的高真空泵(5),有一台预真空泵(6),有一根将高真空泵(5)的出口与预真空泵的进口连接起来的导管(9、13),以及有一根将试样接头(3)与高真空泵(5)的出口连接起来的导管(7、9);为了降低用于产生预真空所需的费用,建议导管(13)配备有节流器(14),以及,有一根将试样接头(3)与预真空泵(6)的进口直接连接并带有阀(16)的导管(15)。

Description

有预真空泵的检漏仪
本发明涉及一种有专利权利要求1前序部分特点的借助于氦作为测试气体进行工作的检漏仪。
这里所涉及类型的已知检漏仪中，配备有一个测试气体检测器(通常为质谱仪)，一台被测试气体逆其输送方向流过的高真空泵，以及一台设在高真空泵下游较小的第一预真空泵。此外，还设有另一台有较大抽吸能力的预真空泵，它用于将试样或检漏试样的测试腔抽成真空。采用两台预真空泵的理由是，一方面应能快速抽空试样或测试腔。为此，第二台预真空泵的抽气能力选择得尽可能强。虽然借助于此第二台预真空泵也可以产生高真空泵所需的预真空；但是这必须以牺性不可谓不大的灵敏度为代价。为避免这一点，为高真空泵配设具有较低抽气能力的单独的预真空泵。
本发明的目的是，在一种这里所涉及类型的检漏仪中，在无须损失灵敏度的情况下，降低为造成预真空所需的费用。
按本发明此目的通过专利权利要求的特征部分所述特征来达到。
采取了所建议的措施，可以取消用于高真空泵的单独的预真空泵。阀可以这样连接，即，一方面能极迅速地完成试样或与检漏仪连接的测试腔的抽空，另一方面能灵敏地检漏。
特别合乎目的的是，采用按螺旋原理工作的容积式真空泵作为预真空泵，例如由DE-A-2927690已知的那样。这种泵在抽吸腔内不需要密封剂(油)，所以若高真空泵是一台摩擦泵，存在的便都只是无油的真空泵。试样或测试腔受碳氢化合物分子污染的危险不复存在。
本发明的其它优点和细节可借助于图1和2中表示的实施例说明。其中表示：
图1具有在上部的一台单级高真空泵的检漏仪；以及
图2具有一台多级式高真空泵的检漏仪。
在两种实施例中，检漏仪总体用1表示，其上部(用点划线表示的)用2表示，进口亦即试样接头用3表示，测试气体检测器用4表示，高真空泵用5表示，以及位于上部2之外的预真空泵用6表示。试样接头3通过导管段7(带有阀8)和9(带有阀11)与高真空泵5的出口连接。在导管7上连接着压力测量装置12。在阀8和11之间连接了一根导管13，后者通往预真空泵6的进口并配备有节流器14。此外，试样接头3和预真空泵6的进口通过导管15与阀16连接。用17表示具有阀18的另一根导管，它通入导管13中，并如后面要说明的那样用来供入吹洗用气体。
在按图1的实施例中，高真空泵5是一台单级涡轮分子泵。在备用状态，除阀11外的所有阀关闭。在这一阶段中，高真空泵5产生为质谱仪4的工作所需的压力。预真空泵6产生为高真空泵5工作所需的预真空，预真空泵6的进口通过导管9(带有开启着的阀11)和13与高真空泵5的出口连接。
为了开始测量，关闭阀11，打开阀8和16。因此，试样接头3便通过总体上较大的流动截面与预真空泵连通。预真空泵6较大的抽气能力可以得到充分的利用，从而可以快速地将试样抽成真空。若由压力测量装置12记录的压力已足够低(例如小于2mbar)，便可开始粗检漏为此打开阀11。可能吸入的测试气体经导管7、9以及逆流通过高真空泵5到达测试气体检测器4内，并借助于它进行记录。在粗检漏期间进口压力进一步降低。当此压力达到例如0.05mbar时，可开始细检漏。为此关闭阀16。在这一阶段，在由于节流器14降低了预真空泵5抽气能力的情况下，可以查明最小的漏泄率。
为了在测量后置于备用状态，首先关闭所有的阀，打开阀18。通过导管17供入吹洗用气体(例如空气)，借此消除氦的底层，这种氦的底层有可能在测量期间在预真空泵5内形成。为此，阀18打开短时间(例如10至20s)便足够了。
按图2的实施例，高真空泵5设计成多级的。它包括三个摩擦泵级(21、22、23)，其中两级(21、22)设计为涡轮分子泵级。在这两级之间有节流器24。在预真空泵一侧的级23设计为分子泵，并因而改善了高真空泵5的预真空稳定性。为阀8、11配设一带有阀26的旁通导管25。在导管7上还连接有带有阀28的导管27，它汇入两个涡轮分子泵级21、22之间的连接管道中，而且沿输送方向在节流器24的上方。
如在按图1的实施例中那样，在备用状态除阀11外关闭所有的阀。测量阶段的第一部分—将试样抽成真空—也与按图1的方案一致。通过打开阀11和26开始粗检漏。由于改善了高真空泵的预真空稳定性，在压力约为2mbar时便已经可以实现这一点。在压力约0.1mbar时打开阀28，而阀26被关闭。通过这一步骤提高灵敏度。在压力为5.10-2mbar时关闭阀16，所以此后也可以确定最小的漏泄。
节流器14的性能应选为，使在节流器上方有效的抽气能力只还有预真空泵6全部抽气能力的10-20％。与有效的抽气能力的降低相应地提高了检漏仪的灵敏度。

Claims (4)

1.用氦作为测试气体进行工作的检漏仪(1)，它有一个作为试样或测试腔接头的进口(3)，一个检测器(4)，一台连接在检测器上逆其输送方向流过测试气体的高真空泵(5)，一台预真空泵(6)，一根将高真空泵(5)的出口与预真空泵(6)的进口连接起来的导管(9、13)，以及一根将试样接头(3)与高真空泵(5)的出口连接起来的导管(7、9)，其特征为：导管(13)配备有节流器(14)；以及，一根将试样接头(3)与预真空泵(6)的进口直接连接并配备有阀(16)的导管(15)。
2.按照权利要求1所述的检漏仪，其特征为：预真空泵(6)是按螺旋原理工作的容积式泵。
3.按照权利要求1或2所述的检漏仪，其特征为：导管(13)最好在节流器(14)和预真空泵(6)的进口之间配备一个吹洗气体进口(17、18)。
4.按照权利要求1、2、3所述的检漏仪，其特征为：高真空泵(5)是一个设计为多级式的摩擦泵。
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