DE2926888A1 - Lecksuchgeraet - Google Patents

Lecksuchgeraet

Info

Publication number
DE2926888A1
DE2926888A1 DE19792926888 DE2926888A DE2926888A1 DE 2926888 A1 DE2926888 A1 DE 2926888A1 DE 19792926888 DE19792926888 DE 19792926888 DE 2926888 A DE2926888 A DE 2926888A DE 2926888 A1 DE2926888 A1 DE 2926888A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
leak detector
mass spectrometer
line
detector according
sniffer probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19792926888
Other languages
English (en)
Inventor
Roland Gevaud
Jacques Tallon
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel CIT SA
Original Assignee
Alcatel CIT SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alcatel CIT SA filed Critical Alcatel CIT SA
Publication of DE2926888A1 publication Critical patent/DE2926888A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Description

LECKSUCHGERAT
Die Erfindung bezieht sich auf ein Lecksuchgerät, bei dem ein Massenspektrometer und eine Schnüffelsonde verwendet werden, wobei das Massenspektrometer mit einer zweistufigen Vorvakuumpumpe versehen ist. Die Erfindung ist insbesondere anwendbar zur Leckprüfung von Behältern, die zumindest für die Leckprüfung mit Helium gefüllt worden sind.
Die Leckprüfung von Behältern mithilfe eines auf Helium ansprechenden Massenspektrometers ist bekannt. Wenn die Schnüffelsonde über eine mehrere Meter lange Leitung mit dem Massenspektrometer verbunden ist, dann erfolgt die Anzeige im Massenspektrometer mit einer großen Verzögerung, die der Zeit entspricht, die das Helium braucht, bis es von der Sonde bis zur Meßzelle gelangt. Diese Verzögerung verlangsamt den Meßvorgang und erschwert die Lokalisierung eines Lecks. Dieser Nachteil kann vermieden werden, indem man in der Nähe des Massen-, spektrometers an die zur Sonde führende Leitung eine Hilfspumpe anschließt, mit deren Hilfe das Meßgas in viskosem Zustand mit ausreichender Geschwindigkeit bis zum Eingang des Massenspektrometers gefördert wird.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Lecksuchgerät anzugeben, bei dem eine solche Hilfspumpe, die unhandlich und teuer ist, vermieden werden kann und doch die Reaktionsgeschwindigkeit des Geräts hinreichend hoch ist.
030042/06U
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einem Lecksuchgerät der eingangs genannten Art dadurch erreicht, daß eine Hilfsleitung die Schnüffelsonde mit der Verbindungsleitung zwischen den beiden Stufen der Vorvakuumpumpe des Massenspektrometers verbindet.
Bezüglich von Merkmalen bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung wird auf die Unteransprüche verwiesen.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels mithilfe einer einzigen Zeichnung näher erläutert, die schematisch ein erfindungsgemäßes Lecksuchgerät zeigt.
Dieses Lecksuchgerät besteht im wesentlichen aus einem an sich bekannten Massenspektrometer 1 und aus einer Schnüffelsonde 2, die über eine längere biegsame Leitung 3 mit einem Druckanschluß 14 des Massenspektrometers lösbar verbunden ist. Von diesem Anschluß 14 führt eine Zwischenleitung 19, in die ein Elektroventil 13 eingefügt ist, zu einem Probeentnahmeorgan 12, welches seinerseits an die normale Eingangsleitung 4 des Massenspektrometers angeschlossen ist.
Die Eingangsleitung 4 mündet in eine Kältefalle 5 mit flüssigem Stickstoff, die einerseits an eine Meßzelle 6 und andererseits an eine Molekular-Diffusionspumpe 7 angeschlossen ist. Der Ausgang dieser Pumpe 7 führt zu einer mechanischen Vorvakuumpumpe 18, die zwei Stufen besitzt, nämlich eine Vakuumstufe 8 und eine gegen die Atmosphäre arbeitende Stufe 9. Der Eingang der Vakuumstufe 8 ist an die Molekular-Diffusionspumpe 7 angeschlossen, während der Ausgang dieser Stufe über eine Verbindungsleitung 10 zum Eingang der Stufe 9 führt. Andererseits ist die
030042/OSU
292S8S8
Verbindungsleitung 10 über eine Hilfsleitung Il an das Probeentnahmeorgan 12 angeschlossen, welches andererseits die Proben über die Zwischenieitung 19 zugeführt erhält. Das Probeentnahmeorgan 12 besteht aus einem Nadelventil oder einer porösen Membran und ist an die normale Eingangsleitung 4 des Massenspektrometer angeschlossen.
Die Funktionsweise des erfindungsgemäßen Geräts wird nunmehr erläutert.
Nachdem der zu prüfende Behälter 15 mit Helium gefüllt worden ist, führt man die Schnüffelsonde 2 über dessen Oberfläche, um Helium aufzuspüren, das aus eventuellen Lecks des Behälters ausströmt. Das zusammen mit viel Luft von der Schnüffelsonde 2 aufgefangene Helium wird im viskosen Zustand bei großer Geschwindigkeit von der gegen die Atmosphäre arbeitenden letzten Stufe 9 der Vorvakuumpumpe 18 angesaugt. Beim Durchgang durch das Probeentnahmeorgan 12 gelangt ein geringer Teil der Luft-Helium-Mischung in die Kältefalle 5 des Massenspektrometer, während der größere Teil dieser Mischung von der Vorvakuumpumpe 18, d.h. von deren letzter Stufe 9, in die Atmosphäre abgegeben wird.
Die Verbindung von dem Probeentnahmeorgan 12 zur Atmosphäre erfolgt über die Zwischenleitung 10 zwischen den beiden Stufen, so daß sich ein sshneller Helium-Transport mithilfe eines Saugdrucks in der Größenordnung einiger Millibar ergibt. Dies wäre nicht sichergestellt, wenn die Mischung über die Molekular-Diffus ionspumpe 5 angesaugt würde.
Das Elektroventil 13 soll automatisch bei Netzausfall schließen und damit den Eintritt von Luft in die Diffusionspumpe
030042/0614
verhindern,wenn die mechanische Pumpe 18 stehenbleibt.
Die Schnüffelsonde 2 besteht aus einem Kapillarröhrchen aus rostfreiem Stahl oder aus einem weiteren Nadelventil.
Das Massenspektrometer besitzt auch einen normalen Eingang 16, der direkt an die normale Eingangs leitung 4 angeschlossen ist. Dieser normale Eingang wird durch einen Stopfen 17 verschlossen, wenn die Schnüffelsonde über eine lange Leitung an den Anschluß 14 angeschlossen wird.
χ χ
030042/0614

Claims (5)

  1. Fo U 595 D
  2. COMPAGKIE IHDUSTRIELLE DE
  3. 3 TELECOMMUNICATIONS C IT-.ALCATEL S.A.
    1?-, rue d-2 la Baume, 75OOS PARIS, Frankreich
    LECKSUCHGERÄ.T
    PATENTANSPRÜCHE
    1 -
  4. 4 Lecksuchgerät, bei dem ein Massenspektrometer und eine Schnüffelsonde verwendet werden, wobei das Massenspektrometer mit einer zweistufigen Vorvakuumpumpe versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine Hilfsleitung (11) die Schnüffelsonde (2) mit der Verbindungsieitung (10) zwischen den beiden Stufen (8,9) der Vorvakuumpumpe (18) verbindet.
    ?. - Lecksuchgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Probeentnahmeorgan (12) mit einem Nadelventil vorgesehen ist.
    3 - Lecksuchgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Probeentnahmeorgan (12) mit einer porösen Membran vorgesehen ist.
    _■ - Lecksuchgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, -.lurch gekennzeichnet, daß ein Elektro-Ll ( ; ;:) zwischen dar Johnüffelsonde C3) und dem Probeentnahme-
    030042/0814
    ORIGINAL INSPECTED
  5. 5 - Lecksuchgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schnüffelsonde (2) über eine biegsame Leitung (3) lösbar an einen Anschluß (14) des Massenspektrometers (1) angeschlossen ist.
    030042/0614
DE19792926888 1979-03-28 1979-07-03 Lecksuchgeraet Withdrawn DE2926888A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7907788A FR2452699A1 (fr) 1979-03-28 1979-03-28 Dispositif de reniflage pour detecteur de fuites a helium a spectrometre de masse

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2926888A1 true DE2926888A1 (de) 1980-10-16

Family

ID=9223658

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19792926888 Withdrawn DE2926888A1 (de) 1979-03-28 1979-07-03 Lecksuchgeraet

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4294106A (de)
JP (1) JPS55131740A (de)
DE (1) DE2926888A1 (de)
FR (1) FR2452699A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008064964A1 (de) * 2006-11-29 2008-06-05 Inficon Gmbh Schnüffellecksuchgerät

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE16217T1 (de) * 1981-07-22 1985-11-15 Cit Alcatel Heliumleckdetektor.
US4459844A (en) * 1982-06-17 1984-07-17 Smith & Denison Gas separation chamber and portable leak detection system
US4735084A (en) * 1985-10-01 1988-04-05 Varian Associates, Inc. Method and apparatus for gross leak detection
US4785666A (en) * 1986-12-19 1988-11-22 Martin Marietta Corporation Method of increasing the sensitivity of a leak detector in the probe mode
DE3775213D1 (de) * 1987-03-27 1992-01-23 Leybold Ag Lecksuchgeraet und betriebsverfahren dazu.
FR2681688B1 (fr) * 1991-09-24 1993-11-19 Alcatel Cit Installation de detection de fuites de gaz utilisant la technique de reniflage.
DE4228313A1 (de) * 1992-08-26 1994-03-03 Leybold Ag Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe
DE4343912A1 (de) * 1993-12-22 1995-06-29 Leybold Ag Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher
FR2734633B1 (fr) * 1995-05-24 1997-06-20 Cit Alcatel Installation pour detecter la presence d'helium dans un circuit de fluide
JPH11166698A (ja) * 1997-12-02 1999-06-22 Nippon Air Liquide Kk ガス漏れ検知装置
DE19846799A1 (de) 1998-10-10 2000-04-13 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher
DE19846798A1 (de) * 1998-10-10 2000-04-13 Leybold Vakuum Gmbh Einrichtung zur integralen Testgas-Lecksuche sowie Betriebsverfahren dafür
DE102004059485A1 (de) * 2004-12-10 2006-06-22 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
DE102007035932A1 (de) * 2007-07-31 2009-02-05 Inficon Gmbh Lecksuchgerät
FR2935800B1 (fr) * 2008-09-09 2010-11-19 R & I Alliance Procede et dispositif de detection de fuites dans une conduite de liquide souterraine, notamment une conduite d'eau
CN103063523B (zh) * 2012-12-25 2014-10-15 西安建筑科技大学 一种中空纤维膜丝抗爆破压力和抗压压力测试装置与方法
TWM454545U (zh) * 2013-02-01 2013-06-01 Jusun Instr Co Ltd 充電電池檢測設備
CN103207050B (zh) * 2013-04-15 2015-06-03 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 一种可延长密封器件候检时间的质谱检漏预充氦法
CN105910771A (zh) * 2016-05-30 2016-08-31 华电电力科学研究院 一种氦气真空查漏装置
FR3069639B1 (fr) * 2017-07-26 2019-08-30 Pfeiffer Vacuum Sonde de reniflage, detecteur de fuites et procede de detection de fuites

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2486199A (en) * 1945-09-10 1949-10-25 Univ Minnesota Method and apparatus for determining leaks
US3327521A (en) * 1964-10-26 1967-06-27 Nat Res Corp Leak detector and vacuum pumping station
CH454492A (de) * 1965-10-02 1968-04-15 Leybolds Nachfolger E Vorrichtung zur Lecksuche
FR1474137A (fr) * 1966-02-08 1967-03-24 Alcatel Sa Détecteur de fuites à l'hélium aisément transportable
DE1648648C3 (de) * 1967-04-12 1980-01-24 Arthur Pfeiffer-Hochvakuumtechnik Gmbh, 6330 Wetzlar Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip
US3690151A (en) * 1968-07-25 1972-09-12 Norton Co Leak detector
US3626760A (en) * 1969-07-16 1971-12-14 Varian Associates Leak detection cyclic pumping control
US3616680A (en) * 1969-10-27 1971-11-02 Sargent Welch Scientific Co Leak detector
US3645127A (en) * 1970-01-12 1972-02-29 Veeco Instr Remote leak detection
US3762212A (en) * 1971-07-15 1973-10-02 Advanced Technologies Inc Leak testing apparatus and methods
US3867631A (en) * 1972-09-28 1975-02-18 Varian Associates Leak detection apparatus and inlet interface
US3968675A (en) * 1974-06-07 1976-07-13 Varian Associates Method and apparatus for preparing a mass spectrometer leak detector system for operation

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008064964A1 (de) * 2006-11-29 2008-06-05 Inficon Gmbh Schnüffellecksuchgerät

Also Published As

Publication number Publication date
FR2452699B1 (de) 1983-02-18
FR2452699A1 (fr) 1980-10-24
US4294106A (en) 1981-10-13
JPS55131740A (en) 1980-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2926888A1 (de) Lecksuchgeraet
EP2720023B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung
EP0432305B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Leckprüfung
DE1937271A1 (de) Lecksuchgeraet
DE3715452C2 (de) Vorrichtung zur Vakuum-Leckprüfung
DE3421533A1 (de) Gegenstrom-leckdetektor mit kuehlfalle
DE3613694A1 (de) Vorrichtung zur kalibrierung des detektors eines lecksuchgeraetes
DE19627922A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Rückgewinnung des bei der Heliumlecksuche verwendeten Heliums
EP0834061B1 (de) Lecksuchgerät mit vorvakuumpumpe
DE2441124A1 (de) Lecksucheinrichtung
DE2403360A1 (de) Leckpruefverfahren
EP1119753B1 (de) Folienlecksucher und verfahren zur durchführung der lecksuche mit einem folien-lecksucher dieser art
DE2827537A1 (de) Betriebsverfahren fuer eine einrichtung zur lecksuche, gasanalyse o.dgl. und dazu geeignete einrichtung
DE4228148A1 (de) Vakuum-Lecksuchgerät für die Testgaslecksuche mit leichten Gasen
EP0646781A2 (de) Verfahren und Anordnung zum Prüfen der Dichtigkeit des Gasentnahmesystems einer Gasanalysevorrichtung
DE4038266A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur pruefung der gasdichtigkeit von bauteilen, insbesondere sf(pfeil abwaerts)6(pfeil abwaerts)-dichtigkeit von kondensatoren
EP3568685A1 (de) Prüfvorrichtung, insbesondere für pharmazeutische erzeugnisse, mit verbesserter messqualität
WO2000022400A1 (de) Einrichtung zur integralen testgas-lecksuche sowie betriebsverfahren dafür
WO2001046667A1 (de) Verfahren zum betrieb eines folien-lecksuchers sowie für die durchführung dieses verfahrens geeigneter folien-lecksucher
DE2606935A1 (de) Verschiebbare leckpruefvorrichtung, verfahren zu deren verwendung und anlage zur durchfuehrung dieses verfahrens
DE2135751B2 (de) Verfahren zu integralen Dichtigkeitsbestimmung
DE19820913A1 (de) Verfahren zur hochgenauen Messung der Emissionen von Flanschverbindungen
DE4117134A1 (de) Dichtigkeitspruefung
DE3038089A1 (de) Verfahren zum ermitteln der stationaeren leckrate
DD205995B1 (de) Vorrichtung zur integralen vakuum-lenkratenmessung

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
8130 Withdrawal