JPS6367643B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6367643B2
JPS6367643B2 JP5748481A JP5748481A JPS6367643B2 JP S6367643 B2 JPS6367643 B2 JP S6367643B2 JP 5748481 A JP5748481 A JP 5748481A JP 5748481 A JP5748481 A JP 5748481A JP S6367643 B2 JPS6367643 B2 JP S6367643B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ozone
air
inspected
valve
gas
Prior art date
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Expired
Application number
JP5748481A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS57171236A (en
Inventor
Kyoshi Furuse
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cosmo Instruments Co Ltd
Original Assignee
Cosmo Instruments Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Cosmo Instruments Co Ltd filed Critical Cosmo Instruments Co Ltd
Priority to JP5748481A priority Critical patent/JPS57171236A/ja
Publication of JPS57171236A publication Critical patent/JPS57171236A/ja
Publication of JPS6367643B2 publication Critical patent/JPS6367643B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は通常の空気中に存在しないガスを被
検査物に供給してその被検査物から漏れたガスを
検出することによつて、被検査物の漏れの有無ま
たはその量を検査する漏洩検査装置に関するもの
である。
従来、漏洩検査装置としては、被検査物と基準
タンクに同一の空気圧を印加してその両者の圧力
差を時間の経過によつて検出し、圧力差が時間と
ともに増加する場合は被検査物に漏れが存在する
とする差圧式の検査装置がある。この装置は空気
圧の変化を検出しているため、被検査物に供給し
た空気の温度の変化、圧力を印加することによる
被検査物の容積変化、更には被検査物の内面に附
着する水分等の蒸気圧の変化などの影響を受けて
検知能力が低下する欠点がある。
このような点から従来においても空気中に存在
しないガスを被検査物内に供給し、その被検査物
から漏れる当該ガスの有無、またはその量を検出
する異種ガス検知式漏れ検査装置が実用化されて
いる。しかし従来のこの種装置においては異種ガ
スとして空気中に存在しないヘリウムガスやハロ
ゲンガスなどが用いられていたが、量産品を被検
査物とする場合は、これ等高価なガスが消費され
るため、いわゆるランニングコストが高いものと
なる。しかもハロゲンガスとして代表的なフロン
ガスを使用する場合は、これに対する検出器が他
のガスなどに反応するおそれがあつて誤動作が大
きいとされている。またこれを多量に空気中に放
出すると公害問題となるおそれがある。またヘリ
ウムガスの場合はそれ自体高価であるばかりでな
く、これを検出するため、いわゆる質量分析管が
用いられる。これは検出感度は高いが高真空状態
でないと動作せず、従つて高真空排気装置が必要
となる。
また、これらガスの消費量を少なくするために
は、複雑なガス回収装置が必要となる。
これらの点から従来の異種ガス検知式漏れ検査
装置は、量産品を短時間に繰返し検査する用途に
は不向きで、むしろ特殊な試験的用途が多かつ
た。
この発明の目的は空気中にない異種ガスとして
オゾンを使用することによつて従来のガス検知式
漏洩検査の各種の欠点を一掃するものである。
この発明によれば、オゾンは空気を原料として
容易に生成することができ、またこれが漏れて万
一空気中に放出されても、僅かであればあまり問
題にならず、10〜30分程度で酸素に復元してしま
うものである。更にオゾンは微量でも極めて高い
感度でしかも短時間に検知することができる。従
つて量産品を対象とした高感度の漏れ検査に適す
ることになる。
次にこの発明によるオゾン検知式漏洩検査装置
を図面を参照して説明しよう。第1図に示すよう
にこの発明においては無声放電法又は光化学方法
によつて空気から連続的にオゾンを発生させるオ
ゾン発生器12が用いられる。例えばエアコンプ
レツサ11より乾燥した圧縮空気をオゾン発生器
12に供給する。オゾン発生器12より発生する
オゾンを含む空気は例えば弁13を通じて貯圧タ
ンク14に貯えられる。測定に際して貯圧タンク
14に貯えられたオゾンを含む空気は弁15を通
じて被検査物19に供給される。
その供給後において若し被検査物19に漏れが
あれば密閉容器20内のオゾン濃度が時間と共に
増加する。オゾン濃度は弁21を通じてオゾン検
出器22で検出される。第2図に示すように一定
検出時間T内においてその検出出力が一定である
Aの場合は被検査物19に漏れはないとし、時間
と共に増加するBの場合は漏れがあると判定し、
またその増加量によつて漏れ量を測定することが
できる。
測定が完了すれば弁21を閉じ弁24を通じて
真空ポンプ25により例えば給排水可能な密閉さ
れた水槽26内に完全に排気する。その後弁24
を閉じ弁23を開いて新鮮な外気を密閉容器20
内に導入する。一方被検査物20内に導入したオ
ゾンを含む空気は弁15を閉じ弁16を通じて真
空ポンプ17により同様に水槽26に排気した後
弁16を閉じ弁18を開いて外気を被検査物19
に導入する。以上の操作を完了した後、被検査物
19を密閉容器20内から取出し、次の被検査物
の検査を行なうものとする。
被検査物としては容器状のものでなく例えば板
状のものに対しても適用でき、板状のものの一方
側から他方側への漏れを検査する場合は第3図に
示すよう被検査物19によつて密閉容器20を二
室に分離し、その一方の側よりオゾンを含む空気
を供給し、他方の側に漏れたオゾンをオゾン検出
器22で検出することができる。
なお高濃度のオゾンは人体に毒性があるため万
一大気に漏れる対策として全装置を収納する密閉
室27を設けることが望ましい。
以上述べたようにこの発明による漏洩検査装置
によれば通常の大気中に含まれない異種ガス検知
方式であるため、空気圧の変化を検出する方式と
比較して温度、容積及び蒸気圧の影響を受けない
ばかりでなく、通常の空気から生成されるオゾン
を媒体としているため、従来のヘリウムやクロン
等の高価なガスを使用する方式と比較して非常に
経済的であるという大きな利点がある。更に万一
オゾン(O3)が大気中に僅かづつ漏れ出しても
比較的短時間に通常の酸素(O2)に戻つて消滅
するためバツクグラウンド中のオゾンが時間と共
に増加して誤差を生ずることがなく、また安全性
の点でも有利である。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明によるオゾン漏洩検査装置の
具体例を示す構成図、第2図はオゾン検出出力の
時間的経過を示す図、第3図は被検査物の他の形
に対するこの発明の漏れ検査装置の例を示す略線
図である。 11:空圧源(エアコンプレツサ等)、12:
オゾン発生器、13,15,16,18,21,
23,24:弁、17:真空ポンプ、19:被検
査物、20:密閉容器、22:オゾン検出器、2
5:真空ポンプ、26:水槽、27:密閉室。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 空気からオゾンを発生させるオゾン発生器
    と、発生したオゾンを含む空気を被検査物の内部
    又は一方の側に供給する手段と、その被検査物の
    外部又は他方の側から漏れたオゾンを検出するオ
    ゾン検出器とを具備するオゾン検知式漏洩検査装
    置。
JP5748481A 1981-04-15 1981-04-15 Ozone detection type leakage inspector Granted JPS57171236A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5748481A JPS57171236A (en) 1981-04-15 1981-04-15 Ozone detection type leakage inspector

Applications Claiming Priority (1)

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JP5748481A JPS57171236A (en) 1981-04-15 1981-04-15 Ozone detection type leakage inspector

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Publication Number Publication Date
JPS57171236A JPS57171236A (en) 1982-10-21
JPS6367643B2 true JPS6367643B2 (ja) 1988-12-27

Family

ID=13056979

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5748481A Granted JPS57171236A (en) 1981-04-15 1981-04-15 Ozone detection type leakage inspector

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JP (1) JPS57171236A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017022349A1 (ja) * 2015-08-03 2017-02-09 株式会社ジェイ・イー・ティ センサユニット及び気密性検査装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015107707A1 (ja) * 2014-01-15 2015-07-23 株式会社グッドマン 漏水探索装置および漏水探索方法
DE102019118067A1 (de) * 2019-07-04 2021-01-07 Trw Airbag Systems Gmbh Gasgenerator, verfahren zur herstellung eines gasgenerators sowie verfahren zum bestimmen eines lecks in einem gasgenerator

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017022349A1 (ja) * 2015-08-03 2017-02-09 株式会社ジェイ・イー・ティ センサユニット及び気密性検査装置
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JPS57171236A (en) 1982-10-21

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