JPH0413942A - ピンホール検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はシート等のピンホール検査装置に関する。

（従来の技術） 合成樹脂シートは各種の製造分野において広範囲に使用
されているが、シートに形成されたピンホールが製品の
信頼性に大きく影響を与える場合がある。たとえば、コ
ピー機のドラムに用いるシートではピンホールがあると
黒点となってあられれるため製品不良の原因となるし、
また、きわめて微細な加工が施される半導体製品の製造
分野や高度の信頼性が要求される医療製品などにおいて
もピンホールが製品不良の原因となる。

これらピンホールが重要視される分野で問題となるピン
ホールのサイズはミクロン単位あるいはサブミクロン単
位の大きさのものであるが、シートは通常２０μｍ程度
の表面粗さを有しているからミクロン単位あるいはサブ
ミクロン単位のピンホールを光センサ等を用いて検出す
ることばほとんど不可能である。

従来のピンホール検査方法としては、シートの片面にイ
ンクを塗布し、他方面にインクが抜けるかどうかを調べ
る方法、シー１へを電極ではさみピンホールがある場合
に導通することから調べる方法、目視による方法などが
ある。

（発明が解決しようとする課題） 従来のピンホールの検査方法は上記のように、シー＋へ
自体に接触して検査する破壊試験であるため全数検査す
ることができず、サンプリングによるからたまたまサン
プルにピンホールが存在しないとしても他の製品にピン
ホールが存在しないとは限らず、検査としては信頼性が
低いという問題点がある。また、目視による場合は検査
の信頼性が低く、検査能率が低いという問題点があった
。

そこで、本発明は上記問題点をＭ、消すべくなされたも
のであり、その「１的とするところは、非接触方法によ
ってきわめて容易にかつ確実にピンホールの有無を検査
することができ、能率的に検査を行うことのできるピン
ホール検査装置を提供しようとするものである。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記Ｌ１的を達成するため次の構成をそなえる
。

すなわち、同一形状に形成した開［１部を向かい合わせ
にして配置した一対のベルジャと、該一対のベルジャの
開口部の端縁に設けられ、シート等の被検査体を挟圧し
て該被検査体により前記ベルジャの内空間を隔てて気密
に支持するシール部と、前記一対のベルジャの一方のベ
ルジャ内にセンサ用のガスを導入するセンサ用ガスの導
入手段と、前記被検査体によって隔てられた他方のベル
ジャ内にお【づる前記センサ用ガスの存在を検知するた
めのセンサと、前記他方のベルジャ内のエアを排気する
とともに、該ベルジャ内に前記センサによっては検知さ
れないガスを充填するガス排気充填手段とを備えたこと
を特徴とする。

また、前記センサ用ガスとしてアルゴンガスを用い、ア
ルゴンを検知するセンサを設置したことを特徴とする。

（作用） シーｉ−等の被検査体をベルジャの開１」部の端縁部で
挟圧してシール部により気密にシールする。

ベルジャは被検査体によって二室に隔てられる。

他方のベルジャ内のエアを排気しつつ前記センサにかか
らないガスを充填し、前記各室の内圧のバランスをとり
ながら一方のベルジャ内にアルゴンガス等のセンサ用の
ガスを導入する。

被検査体にピンホールがあるとセンサ用のガスがピンホ
ールをとおって他方のベルジャ内に漏出してセンサに検
知される。被検査体にピンホールがない場合はセンサに
よって検知されず、これによってビンポールの有無が判
定される。

（実施例） 以下本発明のＡＴ適か実施例を添イー１図面に基づいて
詳細に説明する。

第１図は本発明に係るピンホールの検査装置の一実施例
を示す説明図である。

本実施例のピンホール検査装置は、開口部を向かい合わ
せにしてセラ］へすることによって真空チャンバとなる
一対のベルジャ１０．１２を有する。

ベルジャ］０．１２は後述するシー（−支持枠を中間に
挟んで気密に当接する開１コ部の形状を同一に形成する
。実施例では開口部を略矩形状に形成し、双方のベルジ
ャ１０、」２の開１丁１端縁に組み付けのためのフラン
ジ１４を周設する。

上方に配置する一方のベルジャ１０は吊り下げ機構によ
って可動に吊持し、他方のベルジャ１２は開］コ部を上
向きにして固定する。

ベルジャ１０．１２はともにバルブ１６を介して真空ポ
ンプ］８に接続する。一方のベルジャ１０にはバルブ２
０を介してアルゴンガスボンベ２２を接続し、他方のベ
ルジャ１２にはバルブ２４を介して窒素ガスボンベ２６
を接続する。

また、ベルジャ１２にはアルゴンを検出するセンサ２８
を取り付ける。センサ２８のヘッド３゜はベルジャ１２
の側壁からベルジャ２８の中央部まで延出する。

第２図は被検査体であるシート４０を支持枠３２にセラ
１−シた状態を示す。支持枠３２は上記ベルジャ１０．
１２のフランジ１４と同形の矩形枠体状に形成され、シ
ー１−は同形に形成した二枚の支持枠にシー１−の外周
縁部を挟んでセラ１へする。

第１図はこのシート４０をセラ１〜した支持枠３２をベ
ルジャ１０．１２の開口部間に挟んでセラ１へした状態
を示している。フランジ１４の支持枠３２との当接面に
はシール部として０リングを設けて真空をシールしてい
る。

続いて、上記実施例装置の使用方法について説明する。

まず、被検査体であるシートを第２図に示すように支持
枠３２内で張るようにして支持枠３２に支持した後、ベ
ルジャ「２のフランジ１４」二に支持枠３２を位置合わ
せしてセラ１−シ、ベルジャ１０を支持枠３２上に降ろ
し、ベルジャ１０．１２のフランジ１４を気密に締め付
ける。

次に、バルブ１６．１６を開放して真空ポンプ１８．１
８によってベルジャ１０．１２内のエアを排気する。こ
の排気の際にはベルジャ１０．１２内の圧力を等しくし
て排気させる。ベルジャ１０．１２内の空間はシー１−
４０によって隔てられているから双方の圧力のバランス
がとれていないと圧力差によってシー］〜１４が破れる
おそれがあるからである。

真空ポンプ１８によって所定圧まで排気した後、アルゴ
ンガスボンベ２２からベルジャ１０内にアルゴンガスを
導入し、同時に窒素ガスボンベ２６からベルジャ１２内
に窒素ガスを導入する。このときのベルジャ１０内のア
ルゴンガス圧およびベルジャ１２内の窒素ガス圧は同圧
に設定する。

アルゴンガス分子は他のガスと比べて運動エネルギーが
高く、シート４０表面に衝突してシート４０にピンホー
ルがあるとピンホールから他方のベルジャ１２側に漏出
する。ベルジャ１２内に漏出したアルゴン分子はセンサ
２８によってとらえられ、アルゴンガスの漏出がとらえ
られる。

ピンホールがない場合にはアルゴンガスがベルジャ１２
側に漏出することはないがら、センサ２８によってアル
ゴンが検知されるがどうかを調べることによってピンホ
ールの有無を検出することができる。

アルゴン分子はミクロン単位あるいはサブミクロン単位
の孔であれば匍単にとおり抜けるから、シー１−のピン
ホール検査に好適に用いることができる。また、アルゴ
ンセンサは真空漏れ等の検査において−・般に広く用い
られているものであり、精度かたかく、確実にアルゴン
を検出できピンホールの検出を確実にすることができる
。なお、本実施例ではセンサ用のガスとしてアルゴンガ
スを用いたが、もちろんアルゴンガス以外のヘリウムガ
ス等のガスを検出するようにしてもよい。

また、上記例ではベルジャ１０．１２を同時に排気した
が、ベルジャ１２ではエア中のアルゴンガスがセンサに
よって検知されることを除けばよいから、ベルジャ１２
内のエアを排気しつつ窒素ガス２６を充填してベルジャ
１２内を窒素ガスでおきかえ、ベルジャ１０にセンサ用
にアルゴンガスを導入するようにしてもよい。

また、」二記支持枠３２は被測定体であるシートのサイ
ズに合わせて形成しているが、その形状、サイズ等は被
測定体に合わせて、適宜設定すればよい。支持枠にシー
１−をセットシた状態の被検査体をあらかじめ複数用意
しておけば、順に検査ができて能率的である。

なお、場合によっては支持枠３２を用いずにシートをひ
ろげた状態でベルジャ１０．１２のフランジ１４部でシ
ー１−を挟圧して気密に支持し、ベルジャ１０．１２間
をシートで隔てることによって検査することも可能であ
る。

上記本実施例のピンホール検査装置は、シー１へを隔て
た他方側でセンサ用のガスを検知することによってピン
ホールの有無を検査するように構成しているから、検査
結果の信頼性がきわめてたかい。また、検査でシートを
傷めたりすることがないから全数検査が可能である。ま
た、検査のための取り扱い操作が容易であり能率的に行
うことができる。また、装置の構成が前掛であるから安
価で検査装置を製造することができる等の利点がある。

なお、上記例ではシートについてピンホールの有無を検
査する例について調べたが、被検査体としてはシートに
限らず板体状のものであっても同様に利用することがで
きる。また、被検査体の材質も合成樹脂等に限らず種々
材料を対象とすることができる。

以」二、本発明について好適な実施例を挙げて種々説明
したが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく
、発明の精神を逸５１ｓｔ　シない範囲内で多くの改変
を施し得るのはもちろんのことである。

（発明の効果） 本発明に係るピンホール検査装置によれば、被検査体を
傷めることなく、確実に高精度でピンホールの有無を判
定することができ、検査時間も短時間ですみ非常に能率
的にピンホール検査を行うことができる。また、センサ
用ガスとしてアルゴンガスを用いることによって容易に
かつ精度よく検査を行うことができる等の著効を奏する
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るピンホール検査装置の構成を示す
説明図、第２図は支持枠にシートを取り付けた状態を示
す説明図である。 １０．１２・・・ベルジャ、　　１４・・・フランジ、
　　１８・・・真空ポンプ、　２２・・・アルゴンガス
ボンベ、　２６・・・窒素ガスボンベ、２８・・・セン
サ、　　３０・・・ヘッド、　　３２・・・支持枠、　
４０・・・シート。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、同一形状の開口部を向かい合わせにして配置した一
   対のベルジャと、 該一対のベルジャの開口部の端縁に設けられ、シート等
   の被検査体を挟圧して該被検査体により前記ベルジャの
   内空間を隔てて気密に支持するシール部と、 前記一対のベルジャの一方のベルジャ内にセンサ用のガ
   スを導入するセンサ用ガスの導入手段と、 前記被検査体によって隔てられた他方のベルジャ内に設
   けられて前記センサ用ガスを検知するセンサと、 前記他方のベルジャ内のエアを排気するとともに、該ベ
   ルジャ内に前記センサによつては検知されないガスを充
   填するガス排気充填手段とを備えたことを特徴とするピ
   ンホール検査装置。 ２、前記センサ用ガスとしてアルゴンガスを用い、アル
   ゴンを検知するセンサを設置したことを特徴とする請求
   項１記載のピンホール検査装置。