JP2019191094A - クラック検出システム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記第2の空間にガスを導入するとともに、前記第2の空間内のガスを排気する給排気部と、
前記第1の空間内の前記ガスの有無に応じた信号を出力するガス検出部と、
前記ガス検出部からの前記信号に基づいて前記被検査体に生じたクラックの有無を判断する制御部と、
を備えたことを特徴とする、クラック検出システムである。
前記第2の空間にガスを導入するとともに、前記第2の空間内のガスを排気するステップと、
前記第1の空間内の前記ガスの有無に応じた信号を出力するステップと、
前記ガス検出部からの前記信号に基づいて前記被検査体に生じたクラックの有無を判断するステップと、
を含むことを特徴とする、クラック検出方法である。
まず、本発明に係るクラック検出システムの構成について説明する。
本実施形態のクラック検出システム1は、板状の被検査体Pに生じたクラック(亀裂)の有無について、2種類のガスを用いてクラックから漏洩した一方のガスが他方のガス中に含まれているか否かの検出結果に基づいて判断するシステムである。
よって、本発明におけるクラックとは、被検査体Pの一方の面から他方の面(例えば表面から裏面)にかけて連続するものであり、被検査体Pの表面にのみ形成された損傷や、被検査体Pの表面から裏面まで到達せずに内部で留まっているような損傷は検出対象外となる。
保持部10は、一対の挟持部材11の間にシール部材12を介して被検査体Pを挟持保持する。
第1ガス給排気部20は、保持部10に保持された被検査体Pを境に形成される第1ガス導入空間E1に第1ガス供給源G1から第1のガスを導入する第1ガス導入手段21と、第1ガス導入空間E1内に充満する第1のガスを外部に排気する第1ガス排気手段22とで構成される。第1ガス導入手段21は、第1ガス導入口11cと接続され、第1ガス排気手段22は、第1ガス排気口11dと接続される。第1ガス給排気部20は、制御部50の制御により、図示しない給排気ポンプや開閉弁などを制御しながら第1のガスの流量制御(単位時間あたりの供給量及び排気量の制御)が行われる。
第2ガス給排気部30は、保持部10に保持された被検査体Pを境に形成される第2ガス導入空間E2に第2ガス供給源G2から第2のガスを導入する第2ガス導入手段31と、第2ガス導入空間E2内に充満する第2のガスを外部に排気する第2ガス排気手段32とで構成される。第2ガス導入手段31は、第2ガス導入口11eと接続され、第2ガス排気手段32は、第2ガス排気口11fと接続される。第2ガス給排気部30は、制御部50の制御により、図示しない給排気ポンプや開閉弁などを制御しながら第2のガスの流量制御(単位時間あたりの供給量及び排気量の制御)が行われる。
ガス検出部40は、被検査体Pに生じたクラックから第1ガス導入空間E1に漏洩した第2のガスを検出するためのガス検出装置で構成される。よって、ガス検出部40は、第2ガス給排気部30から導入される第2のガスの種類に応じて適宜選定される。ガス検出部40は、第1ガス導入空間E1中の第1のガス中に含まれる第2のガスの有無や第2のガスのガス濃度を検出する。そして、検出した結果を示す検出信号を制御部50に出力する。本実施形態において、ガス検出部40は、第1ガス給排気部20における第1ガス排気手段20の排気流路中に配置される。
制御部50は、例えばCPUやROM,RAMなどの各種ハードウェアで構成され、クラック検出システム1を構成する各部の駆動制御や演算処理を行う。
次に、上述したクラック検出システム1の処理動作について説明する。
ここでは、ガス検出部40が第1ガス導入空間E1中に第2のガスが含まれているか否かによって被検査体Pにクラックの有無を判断する処理である。
一方、被検査体Pにクラックが発生している場合は、このクラックから第2のガスが第1ガス導入空間E1側へと漏洩するため、第2のガスが検出される。よって、ガス検出部40は、第2のガスが検出されたことを示す検出信号を制御部50に出力する。
以上説明したように、上述したクラック検出システム1は、板状の被検査体Pを境にして第1ガス導入空間E1と第2ガス導入空間E2とが形成されるように、一対の挟持部材11との間にシール部材12を介して挟持保持する。また、第1ガス導入空間E1の背圧よりも第2ガス導入空間E2の背圧の方が高くなるように差圧を持たせて第1ガス給排気部20から第1ガス導入空間E1に第1のガスを導入するとともに、第2ガス給排気部30から第2ガス導入空間E2に第2のガスを導入する。そして、第2のガスがガス検出部40で検出されると、被検査体Pにクラックが発生していると判断する。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下に示すように使用環境等に応じて適宜変更して実施することもできる。また、以下の変更例を本発明の要旨を逸脱しない範囲の中で任意に組み合わせて実施することもできる。
しかし、本発明のクラック検出システム1は、第1の空間内に本来存在しないガスを検出したときに被検査体Pにクラックが生じていることを判断するシステムであるため、この実施形態には限定されない。
このような構成の場合、ガス検出部40は、第1ガス導入空間E1から第2のガスを排気する排気流路中に配置したり、第1挟持部材11aからシール性を確保した状態で第1ガス導入空間E1内にセンサ部分を挿入したりすればよい。
このような構成とした場合、第1の空間内には空間形成時に存在する気体のみとなり、被検査体Pにクラックが生じたときは、給排気部の背圧により第2の空間に導入したガスが第1の空間に漏洩するため、ガス検出部40で第1の空間内のガスの有無を検出すれば被検査体Pのクラックの有無を判断することができる。
10…保持部(10a…固定部材)
11…挟持部材(11a…第1挟持部材、11b…第2挟持部材、11c…第1ガス導入口、11d…第1ガス排気口、11e…第2ガス導入口、11f…第2ガス排気口)
12…シール部材
20…第1ガス給排気部
21…第1ガス導入手段
22…第1ガス排気手段
30…第2ガス給排気部
31…第2ガス導入手段
32…第2ガス排気手段
40…ガス検出部
50…制御部
E1…第1ガス導入空間
E2…第2ガス導入空間
G1…第1のガス供給源
G2…第2のガス供給源
P…板状の被検査体
Claims (2)
- 被検査体を境として第1の空間と第2の空間がそれぞれ形成されるように、シール部材を介して前記被検査体を一対の挟持部材の間で挟持保持する保持部と、
前記第2の空間にガスを導入するとともに、前記第2の空間内のガスを排気する給排気部と、
前記第1の空間内の前記ガスの有無に応じた信号を出力するガス検出部と、
前記ガス検出部からの前記信号に基づいて前記被検査体に生じたクラックの有無を判断する制御部と、
を備えたことを特徴とするクラック検出システム。 - 被検査体を境として第1の空間と第2の空間がそれぞれ形成されるように、シール部材を介して前記被検査体を一対の挟持部材の間で挟持保持するステップと、
前記第2の空間にガスを導入するとともに、前記第2の空間内のガスを排気するステップと、
前記第1の空間内の前記ガスの有無に応じた信号を出力するステップと、
前記ガス検出部からの前記信号に基づいて前記被検査体に生じたクラックの有無を判断するステップと、
を含むことを特徴とするクラック検出方法。
Priority Applications (1)
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JP2018086853A JP2019191094A (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | クラック検出システム及び方法 |
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JP2018086853A JP2019191094A (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | クラック検出システム及び方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2018
- 2018-04-27 JP JP2018086853A patent/JP2019191094A/ja active Pending
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