JP7025232B2 - ガス濃度検出方法及びガス濃度検出装置 - Google Patents
ガス濃度検出方法及びガス濃度検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7025232B2 JP7025232B2 JP2018016359A JP2018016359A JP7025232B2 JP 7025232 B2 JP7025232 B2 JP 7025232B2 JP 2018016359 A JP2018016359 A JP 2018016359A JP 2018016359 A JP2018016359 A JP 2018016359A JP 7025232 B2 JP7025232 B2 JP 7025232B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- atmosphere
- sensor element
- measured
- gas concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
「加熱された被測定ガス雰囲気におけるガス濃度を検出するガス濃度検出方法であって、
固体電解質のセンサ素子、該センサ素子の表面に設けられた基準電極、及び、該基準電極が接している第一空間と区画されている第二空間において前記センサ素子の表面に設けられた測定電極を備えるセンサプローブを使用し、
前記センサ素子において少なくとも前記測定電極側の端部を、前記被測定ガス雰囲気と連通し、且つ、前記被測定ガス雰囲気より低い温度の低温雰囲気に配設し、
前記基準電極と前記測定電極との間に生じる起電力に基づいて、前記被測定ガス雰囲気におけるガス濃度を検出する」ものである。
「前記被測定ガス雰囲気を減圧する」ものとすることができる。
「被測定ガス雰囲気を加熱する加熱部と、
固体電解質のセンサ素子、該センサ素子の表面に設けられた基準電極、及び、該基準電極が接している第一空間と区画されている第二空間において前記センサ素子の表面に設けられた測定電極を備えるセンサプローブであって、前記センサ素子において少なくとも前記測定電極側の端部が、前記被測定ガス雰囲気と連通し、且つ、前記被測定ガス雰囲気より低い温度の低温雰囲気に配設されているセンサプローブと、
前記基準電極と前記測定電極との間に生じる起電力を測定する電圧計と、を具備する」ものである。
11 センサ素子
15 ヒータ
20 加熱炉
21 炉壁
22 発熱体(加熱部)
22b 外部ヒータ(加熱部)
25 断熱材層
31 ガス導入管
32 ガス排出管
35 管状部材
41 減圧装置
42 圧力計
H 被測定ガス雰囲気
L 低温雰囲気
p1 基準電極
p2 測定電極
S1 第一空間
S2 第二空間
Claims (6)
- 加熱された被測定ガス雰囲気におけるガス濃度を検出するガス濃度検出方法であって、
固体電解質のセンサ素子、該センサ素子の表面に設けられた基準電極、及び、該基準電極が接している第一空間と区画されている第二空間において前記センサ素子の表面に設けられた測定電極を備えるセンサプローブを使用し、
前記センサ素子において少なくとも前記測定電極側の端部を、前記被測定ガス雰囲気と連通し、且つ、前記被測定ガス雰囲気より低い温度の低温雰囲気に配設し、
前記基準電極と前記測定電極との間に生じる起電力に基づいて、前記被測定ガス雰囲気におけるガス濃度を検出するものであり、
前記被測定ガス雰囲気を、加熱炉において炉壁の内周面に積層された多孔質の断熱材層より内側の空間の雰囲気とし、前記低温雰囲気を前記断熱材層の層内雰囲気とすることにより、前記センサ素子の温度を前記被測定ガス雰囲気の温度より少なくとも200℃低い温度とする
ことを特徴とするガス濃度検出方法。 - 加熱された被測定ガス雰囲気におけるガス濃度を検出するガス濃度検出方法であって、
固体電解質のセンサ素子、該センサ素子の表面に設けられた基準電極、及び、該基準電極が接している第一空間と区画されている第二空間において前記センサ素子の表面に設けられた測定電極を備えるセンサプローブを使用し、
前記センサ素子において少なくとも前記測定電極側の端部を、前記被測定ガス雰囲気と連通し、且つ、前記被測定ガス雰囲気より低い温度の低温雰囲気に配設し、
前記基準電極と前記測定電極との間に生じる起電力に基づいて、前記被測定ガス雰囲気におけるガス濃度を検出するものであり、
前記低温雰囲気を、前記被測定ガス雰囲気からの排気を流通させるために常温の空間内に配設された排気路の途中に接続された管状部材の内部雰囲気とし、前記センサ素子をヒータで加熱することにより、前記センサ素子の温度を前記被測定ガス雰囲気より少なくとも200℃低い温度とする
ことを特徴とするガス濃度検出方法。 - 前記被測定ガス雰囲気を減圧する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のガス濃度検出方法。 - 被測定ガス雰囲気を加熱する加熱部と、
固体電解質のセンサ素子、該センサ素子の表面に設けられた基準電極、及び、該基準電極が接している第一空間と区画されている第二空間において前記センサ素子の表面に設けられた測定電極を備えるセンサプローブであって、前記センサ素子において少なくとも前記測定電極側の端部が、前記被測定ガス雰囲気と連通し、且つ、前記被測定ガス雰囲気より低い温度の低温雰囲気に配設されているセンサプローブと、
前記基準電極と前記測定電極との間に生じる起電力を測定する電圧計と、を具備し、
前記被測定ガス雰囲気は、加熱炉において炉壁の内周面に積層された多孔質の断熱材層より内側の空間の雰囲気であり、
前記低温雰囲気は、前記断熱材層の層内雰囲気である
ことを特徴とするガス濃度検出装置。 - 前記被測定ガス雰囲気を減圧する減圧装置を更に具備する
ことを特徴とする請求項4に記載のガス濃度検出装置。 - 被測定ガス雰囲気を加熱する加熱部と、
固体電解質のセンサ素子、該センサ素子の表面に設けられた基準電極、及び、該基準電極が接している第一空間と区画されている第二空間において前記センサ素子の表面に設けられた測定電極を備えるセンサプローブであって、前記センサ素子において少なくとも前記測定電極側の端部が、前記被測定ガス雰囲気と連通し、且つ、前記被測定ガス雰囲気よ
り低い温度の低温雰囲気に配設されているセンサプローブと、
前記基準電極と前記測定電極との間に生じる起電力を測定する電圧計と、を具備し、
前記低温雰囲気は、前記被測定ガス雰囲気からの排気を流通させるために常温の空間内に配設される排気路の途中に接続された管状部材の内部雰囲気であり、
前記センサプローブは、前記センサ素子を加熱するヒータを更に備えると共に、
前記被測定ガス雰囲気を減圧する減圧装置を更に具備する
ことを特徴とするガス濃度検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018016359A JP7025232B2 (ja) | 2018-02-01 | 2018-02-01 | ガス濃度検出方法及びガス濃度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018016359A JP7025232B2 (ja) | 2018-02-01 | 2018-02-01 | ガス濃度検出方法及びガス濃度検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019132756A JP2019132756A (ja) | 2019-08-08 |
JP7025232B2 true JP7025232B2 (ja) | 2022-02-24 |
Family
ID=67546063
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018016359A Active JP7025232B2 (ja) | 2018-02-01 | 2018-02-01 | ガス濃度検出方法及びガス濃度検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7025232B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114720509B (zh) * | 2022-06-08 | 2022-08-26 | 苏州芯镁信电子科技有限公司 | 一种气体检测组件及其制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003050226A (ja) | 2001-05-31 | 2003-02-21 | Denso Corp | ガス濃度センサのヒータ制御装置 |
JP2004053507A (ja) | 2002-07-23 | 2004-02-19 | Toho Gas Co Ltd | 炭化水素系分解ガス用の濃淡電池型水素センサ |
JP2005257403A (ja) | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Murata Mfg Co Ltd | 雰囲気センサおよび熱処理炉 |
US20160327509A1 (en) | 2015-05-06 | 2016-11-10 | Joseph C. Nemer | Oxygen sensing probe/analyzer |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61265554A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-25 | Horiba Ltd | ガス分析装置 |
JP3469448B2 (ja) * | 1997-12-27 | 2003-11-25 | 株式会社山武 | 酸素検出素子の温度制御装置の調整方法 |
-
2018
- 2018-02-01 JP JP2018016359A patent/JP7025232B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003050226A (ja) | 2001-05-31 | 2003-02-21 | Denso Corp | ガス濃度センサのヒータ制御装置 |
JP2004053507A (ja) | 2002-07-23 | 2004-02-19 | Toho Gas Co Ltd | 炭化水素系分解ガス用の濃淡電池型水素センサ |
JP2005257403A (ja) | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Murata Mfg Co Ltd | 雰囲気センサおよび熱処理炉 |
US20160327509A1 (en) | 2015-05-06 | 2016-11-10 | Joseph C. Nemer | Oxygen sensing probe/analyzer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019132756A (ja) | 2019-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20160223487A1 (en) | Gas sensor | |
US3598711A (en) | Electrochemical oxygen analyzer | |
WO2017080005A1 (zh) | 一种测量金属熔体中氢含量的传感器及测量方法 | |
US9829457B2 (en) | Sensor element and a method for detecting a parameter of a gas mixture in a gas chamber | |
JP2016148525A (ja) | 気密検査装置 | |
JP7025232B2 (ja) | ガス濃度検出方法及びガス濃度検出装置 | |
JP7311992B2 (ja) | ガスセンサ及びセンサ素子 | |
EP2581738B1 (en) | Calibration technique for calibrating a zirconium oxide oxygen sensor and calibrated sensor | |
Kalyakin et al. | Determining humidity of nitrogen and air atmospheres by means of a protonic ceramic sensor | |
JP2018084478A (ja) | ガス濃度検出方法及び固体電解質センサ | |
JP4865572B2 (ja) | ガスセンサ素子、ガスセンサ及びNOxセンサ | |
JP4944972B2 (ja) | センサ素子の検査装置およびセンサ素子の電気的特性検査方法 | |
Katahira et al. | A solid electrolyte steam sensor with an electrochemically supplied hydrogen standard using proton-conducting oxides | |
JP2019086338A (ja) | 酸素濃度計測装置および酸素濃度計測方法 | |
US4674321A (en) | Leak detector | |
US20180372674A1 (en) | Sensor element for detecting at least one property of a measuring gas in a measuring gas chamber | |
US4795544A (en) | Electrochemical gas sensor | |
JP4175767B2 (ja) | ガス分析計およびその校正方法 | |
US9562876B2 (en) | Hydrocarbon gas sensor | |
JP6480228B2 (ja) | ガスセンサ | |
US20210080421A1 (en) | Gas sensor | |
JP7001325B2 (ja) | セル評価システム及び方法 | |
JP7445379B2 (ja) | 固体電解質センサ | |
CN101893597B (zh) | 用于调节处理传感器元件的方法 | |
JP2020118487A (ja) | ガスセンサ及びガスセンサの使用方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220210 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7025232 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |