JP2964045B2 - 外囲器のスローリーク測定方法 - Google Patents
外囲器のスローリーク測定方法Info
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- JP2964045B2 JP2964045B2 JP23731390A JP23731390A JP2964045B2 JP 2964045 B2 JP2964045 B2 JP 2964045B2 JP 23731390 A JP23731390 A JP 23731390A JP 23731390 A JP23731390 A JP 23731390A JP 2964045 B2 JP2964045 B2 JP 2964045B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、蛍光表示管、CRT、プラズマディスプレイ
等の表示素子の外囲器及び電球、蛍光灯、水銀ランプ等
の光源の外囲器のスローリークの測定方法に関するもの
である。
等の表示素子の外囲器及び電球、蛍光灯、水銀ランプ等
の光源の外囲器のスローリークの測定方法に関するもの
である。
［従来技術］ 前述の外囲器は、一般にガラスで形成されたものが多
く、又外囲器内は、高真空や所定の雰囲気を有している
ので真空度を保持したり、雰囲気を維持するためリーク
量は、非常に小さいのが一般的である。
く、又外囲器内は、高真空や所定の雰囲気を有している
ので真空度を保持したり、雰囲気を維持するためリーク
量は、非常に小さいのが一般的である。
一般に、密閉した外囲器への気体の漏れ、すなわちリ
ーク量を測定する方法の一つにプローブガス法がある。
そして該プローブガス法は外囲器の内部を真空にして、
外部からヘリウムガスを吹付けて、外囲器内部に漏れる
ヘリウムを検出する真空法又は外部注入式と称する方法
と、外囲器の内部にヘリウムガスを封入し、外部に漏れ
出てくるヘリウムガスを検出する加圧法又は内圧式と称
する方法がある。
ーク量を測定する方法の一つにプローブガス法がある。
そして該プローブガス法は外囲器の内部を真空にして、
外部からヘリウムガスを吹付けて、外囲器内部に漏れる
ヘリウムを検出する真空法又は外部注入式と称する方法
と、外囲器の内部にヘリウムガスを封入し、外部に漏れ
出てくるヘリウムガスを検出する加圧法又は内圧式と称
する方法がある。
前記真空法には、外囲器にヘリウムガスを吹付ける方
法により、真空吹付法、真空フード法、真空積分法等に
分類されるが、いずれも外囲器の一部に排気孔を設け、
この排気孔にヘリウムリークディテクタの導管のＯリン
グや金属ガスケット等を接触させて、外囲器の外側から
外囲器に向かってヘリウムを吹付け外囲器内部に漏れる
ヘリウムを検出する方法である。
法により、真空吹付法、真空フード法、真空積分法等に
分類されるが、いずれも外囲器の一部に排気孔を設け、
この排気孔にヘリウムリークディテクタの導管のＯリン
グや金属ガスケット等を接触させて、外囲器の外側から
外囲器に向かってヘリウムを吹付け外囲器内部に漏れる
ヘリウムを検出する方法である。
又、前記加圧法も加圧吸込法、加圧積分法、吸盤法、
真空容器法、浸漬法等に分類されるが、いずれの方法に
おいても外囲器に設けた排気孔から外囲器内部にヘリウ
ムガスを吹付けて外囲器の外側のフード内へ漏れるヘリ
ウムをヘリウムリークディテクタで検出する方法である
が、排気孔とガス導入管の間にはＯリングが介在して接
触している。また、外囲器の外側にあるフードとヘリウ
ムリークディテクタを接続する部分にもＯリングやバル
ブを介して接続されている。
真空容器法、浸漬法等に分類されるが、いずれの方法に
おいても外囲器に設けた排気孔から外囲器内部にヘリウ
ムガスを吹付けて外囲器の外側のフード内へ漏れるヘリ
ウムをヘリウムリークディテクタで検出する方法である
が、排気孔とガス導入管の間にはＯリングが介在して接
触している。また、外囲器の外側にあるフードとヘリウ
ムリークディテクタを接続する部分にもＯリングやバル
ブを介して接続されている。
［発明が解決しようとする課題］ 従来のスローリーク量の測定方法の真空法等に於ては
Ｏリングを介して外囲器の排気孔にヘリウムリークディ
テクタの導管が接続されて、外囲器内に漏れたヘリウム
をヘリウムリークディテクタで検出する方法であるが、
前記Ｏリングは真空度が高くなるとリークすることが周
知である。このリーク速度は約１×10-11Torr.1/sec位
の小さな値であるがこのリーク量が測定するリーク量に
加算されるので、この値以下のリーク速度は検出不可能
になる。
Ｏリングを介して外囲器の排気孔にヘリウムリークディ
テクタの導管が接続されて、外囲器内に漏れたヘリウム
をヘリウムリークディテクタで検出する方法であるが、
前記Ｏリングは真空度が高くなるとリークすることが周
知である。このリーク速度は約１×10-11Torr.1/sec位
の小さな値であるがこのリーク量が測定するリーク量に
加算されるので、この値以下のリーク速度は検出不可能
になる。
又、前記加圧法においても、外囲器内部にヘリウムを
導入する導入管と外囲器の間にもＯリングが介在してい
るのでヘリウムの圧力が高くなってくると、Ｏリング部
分から漏れて外囲器を囲んでいるフード内に流出してし
まう。このリーク量は、外囲器に押し付ける導入管の圧
力により違ってくるが、前述のように外囲器がガラスで
形成されているものが多いために高に圧力を加えられな
い。したがって、真空に引くときと同等の１×10-11Tor
r.1/sec位かそれ以上大きいリーク速度が生じることに
なる。
導入する導入管と外囲器の間にもＯリングが介在してい
るのでヘリウムの圧力が高くなってくると、Ｏリング部
分から漏れて外囲器を囲んでいるフード内に流出してし
まう。このリーク量は、外囲器に押し付ける導入管の圧
力により違ってくるが、前述のように外囲器がガラスで
形成されているものが多いために高に圧力を加えられな
い。したがって、真空に引くときと同等の１×10-11Tor
r.1/sec位かそれ以上大きいリーク速度が生じることに
なる。
さらに又、バルブを使用している場合はバルブからの
リークも当然考えられる。
リークも当然考えられる。
そして、リークしたヘリウムを測定するヘリウムリー
クディテクタもＯリングやバルブ等を使用しているので
検出限界は１〜５×10-12Torr.1/secのリーク速度であ
る。
クディテクタもＯリングやバルブ等を使用しているので
検出限界は１〜５×10-12Torr.1/secのリーク速度であ
る。
しかしながら、正常な蛍光表示管の外囲器に於ける微
少リーク速度は、前記検出限界より小さく、１×10-12T
orr.1/sec以下であった。
少リーク速度は、前記検出限界より小さく、１×10-12T
orr.1/sec以下であった。
したがって、従来の測定法ではスローリークによる不
良品か又はスローリークのない正常品かの正しい判断が
できないという問題点を有していた。
良品か又はスローリークのない正常品かの正しい判断が
できないという問題点を有していた。
そこで本発明は前記問題点を解決し、従来より検出限
界がより小さいスローリーク量の外囲器でも測定可能な
測定方法を提供することを目的とするものである。
界がより小さいスローリーク量の外囲器でも測定可能な
測定方法を提供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、封止した外囲器を真空加圧容器内のヘリウ
ムの加圧雰囲気に所定時間浸漬した後、前記外囲器を真
空加圧容器から取り出して真空容器内に載置し、真空雰
囲気内で前記外囲器を破壊して、真空容器内にリークし
たヘリウムをヘリウムリークディテクタで計測する外囲
器のスローリーク測定方法である。
ムの加圧雰囲気に所定時間浸漬した後、前記外囲器を真
空加圧容器から取り出して真空容器内に載置し、真空雰
囲気内で前記外囲器を破壊して、真空容器内にリークし
たヘリウムをヘリウムリークディテクタで計測する外囲
器のスローリーク測定方法である。
［作用］ 本発明の測定法において、外囲器は、製造工程により
封止されＯリング等は使用していないので、従来のよう
にＯリング部分からヘリウムが入ることも、漏れること
もない。又、外囲器を真空加圧容器内で加圧されたヘリ
ウム雰囲気に長時間浸漬させるのでヘリウムガスのリー
ク量も加速度的に増加する。そしてこの増加したヘリウ
ムガスを外囲器を破壊して、一度に測定するので、従来
のヘリウムリークディテクタでも充分に測定することが
可能な範囲である。
封止されＯリング等は使用していないので、従来のよう
にＯリング部分からヘリウムが入ることも、漏れること
もない。又、外囲器を真空加圧容器内で加圧されたヘリ
ウム雰囲気に長時間浸漬させるのでヘリウムガスのリー
ク量も加速度的に増加する。そしてこの増加したヘリウ
ムガスを外囲器を破壊して、一度に測定するので、従来
のヘリウムリークディテクタでも充分に測定することが
可能な範囲である。
［実施例］ 以下、本発明の外囲器のスローリークの測定方法の一
実施例について図面を参照しながら説明する。
実施例について図面を参照しながら説明する。
第１図は、外囲器をヘリウム雰囲気に浸漬させる工程
を示す断面図であり、第２図は、リークしたヘリウムを
溜めた外囲器を真空容器中で破壊して、ヘリウムを計測
する工程を示す断面図である。
を示す断面図であり、第２図は、リークしたヘリウムを
溜めた外囲器を真空容器中で破壊して、ヘリウムを計測
する工程を示す断面図である。
図中１は、スローリークを測定する外囲器である。外
囲器１は、蛍光表示管、CRT、プラズマデイスプレイ等
の表示素子用及び電球、蛍光灯、水銀ランプ等の光源用
と各種形状は異なっているが、外囲器の材料がガラスに
よって形成されているものが多い。したがって、本発明
の測定方法の要件である外囲器を破壊することは可能で
ある。以下、蛍光表示管の外囲器の実施例で本発明を説
明する。蛍光表示管の外囲器は、ガラス板による基板
と、基板の周囲に立設した側面板と、側面板上で、前記
基板と対面する前面板とをガラス接着材により接着して
偏平箱形の外囲器１を形成している。外囲器の一部に排
気孔が形成され、この排気孔にガラス管によるチップ管
を設け、このチップ管を封止するタイプと、排気孔を金
属蓋で封止するタイプがある。いずれのタイプの場合で
あっても外囲器内は高真空状態を保つようにチップ管を
溶融して密閉したり、金属蓋を接着して密閉している。
このように封止した外囲器を第１図に示すように、真空
加圧容器２中に入れる。真空加圧容器２は、容器部３と
密閉蓋４とから構成され、容器部３には、容器部３内の
気体を排気する排気バルブ５と、ヘリウムガスを導入す
る導入バルブ６が配設されている。又密閉蓋４は、容器
部３内の真空度が保てるようにＯリングやパッキングが
配設されると共に所定の圧力に保つようにボルトとナッ
トのような固着手段が設けられている。
囲器１は、蛍光表示管、CRT、プラズマデイスプレイ等
の表示素子用及び電球、蛍光灯、水銀ランプ等の光源用
と各種形状は異なっているが、外囲器の材料がガラスに
よって形成されているものが多い。したがって、本発明
の測定方法の要件である外囲器を破壊することは可能で
ある。以下、蛍光表示管の外囲器の実施例で本発明を説
明する。蛍光表示管の外囲器は、ガラス板による基板
と、基板の周囲に立設した側面板と、側面板上で、前記
基板と対面する前面板とをガラス接着材により接着して
偏平箱形の外囲器１を形成している。外囲器の一部に排
気孔が形成され、この排気孔にガラス管によるチップ管
を設け、このチップ管を封止するタイプと、排気孔を金
属蓋で封止するタイプがある。いずれのタイプの場合で
あっても外囲器内は高真空状態を保つようにチップ管を
溶融して密閉したり、金属蓋を接着して密閉している。
このように封止した外囲器を第１図に示すように、真空
加圧容器２中に入れる。真空加圧容器２は、容器部３と
密閉蓋４とから構成され、容器部３には、容器部３内の
気体を排気する排気バルブ５と、ヘリウムガスを導入す
る導入バルブ６が配設されている。又密閉蓋４は、容器
部３内の真空度が保てるようにＯリングやパッキングが
配設されると共に所定の圧力に保つようにボルトとナッ
トのような固着手段が設けられている。
前述のような真空加圧容器２に外囲器１を入れた後密
閉蓋４により真空加圧容器２を密封した後、真空ポンプ
７により排気バルブ５から真空加圧容器２内の空気を排
気し、真空状態（数torr）にした後排気バルブ５を締
め、次いで導入バルブ６を開けてヘリウムガスボンベ８
よりヘリウムガスを真空加圧容器２内に導入し、ヘリウ
ム雰囲気を形成する。このヘリウム雰囲気は、1.0〜2.0
気圧の範囲で加圧されたヘリウム雰囲気である。このよ
うなヘリウム雰囲気で所定時間、例えば10〜50日間外囲
器をヘリウムの加圧雰囲気に浸漬させる。外囲器１が微
少リークする部分があれば、外囲器１内に漏れ侵入して
くる。そして所定の浸漬時間に侵入してくるので、侵入
するヘリウム量は加速され次第に外囲器内に溜まり増え
てくる。
閉蓋４により真空加圧容器２を密封した後、真空ポンプ
７により排気バルブ５から真空加圧容器２内の空気を排
気し、真空状態（数torr）にした後排気バルブ５を締
め、次いで導入バルブ６を開けてヘリウムガスボンベ８
よりヘリウムガスを真空加圧容器２内に導入し、ヘリウ
ム雰囲気を形成する。このヘリウム雰囲気は、1.0〜2.0
気圧の範囲で加圧されたヘリウム雰囲気である。このよ
うなヘリウム雰囲気で所定時間、例えば10〜50日間外囲
器をヘリウムの加圧雰囲気に浸漬させる。外囲器１が微
少リークする部分があれば、外囲器１内に漏れ侵入して
くる。そして所定の浸漬時間に侵入してくるので、侵入
するヘリウム量は加速され次第に外囲器内に溜まり増え
てくる。
所定時間浸漬した後、外囲器１を真空加圧容器２から
取り出し、第２図に示す真空容器９内に載置する。この
真空容器９は、容器部10と密閉蓋11から構成されてい
る。容器部10には、排気バルブ12を介して真空ポンプ13
が配設され、真空容器９内の気体を排気して真空状態を
形成することができる。さらに容器部10には、バルブ14
を介して、ヘリウムリークディテクタ15が配設されてい
る。又、密閉蓋11と対面する容器部10の面にはＯリング
が設けられ、真空容器９内を真空に保つように構成され
ている。一方密閉蓋11には透孔が設けられ、この透孔に
ベローズ16がＯリングを介して取り付けられている。ベ
ローズ16は伸縮自在であり伸びると真空容器９内の外囲
器１に接触できるように形成されている。
取り出し、第２図に示す真空容器９内に載置する。この
真空容器９は、容器部10と密閉蓋11から構成されてい
る。容器部10には、排気バルブ12を介して真空ポンプ13
が配設され、真空容器９内の気体を排気して真空状態を
形成することができる。さらに容器部10には、バルブ14
を介して、ヘリウムリークディテクタ15が配設されてい
る。又、密閉蓋11と対面する容器部10の面にはＯリング
が設けられ、真空容器９内を真空に保つように構成され
ている。一方密閉蓋11には透孔が設けられ、この透孔に
ベローズ16がＯリングを介して取り付けられている。ベ
ローズ16は伸縮自在であり伸びると真空容器９内の外囲
器１に接触できるように形成されている。
前述のように構成された真空容器９に、前記真空加圧
容器２から取り出した外囲器１を載置し、密閉蓋11を締
め、排気バルブ12より、真空容器９内の空気を真空ポン
プ13により排気して真空雰囲気を形成する。排気すると
きにバルブ14は締めておく。次に、真空雰囲気内でベロ
ーズ16内に設けた破壊手段17により、機械的に外囲器１
を破壊して、外囲器１内に溜まっていたヘリウムを、バ
ルブ14を開けてヘリウムリークディテクタで検出し、計
測する。
容器２から取り出した外囲器１を載置し、密閉蓋11を締
め、排気バルブ12より、真空容器９内の空気を真空ポン
プ13により排気して真空雰囲気を形成する。排気すると
きにバルブ14は締めておく。次に、真空雰囲気内でベロ
ーズ16内に設けた破壊手段17により、機械的に外囲器１
を破壊して、外囲器１内に溜まっていたヘリウムを、バ
ルブ14を開けてヘリウムリークディテクタで検出し、計
測する。
次に具体的な計測例を説明する。
正常な蛍光表示管をヘリウム雰囲気1.3気圧、浸漬時
間を30日間その後外囲器を破壊してヘリウム量を計測し
たら、8.3×10-7Torr.1であった。30日間を秒で表す
と、2.59×106秒であるのでヘリウムリーク速度は 8.3×10-7÷2.59×106×1.3＝2.5×10-13Torr.1/secと
なる。
間を30日間その後外囲器を破壊してヘリウム量を計測し
たら、8.3×10-7Torr.1であった。30日間を秒で表す
と、2.59×106秒であるのでヘリウムリーク速度は 8.3×10-7÷2.59×106×1.3＝2.5×10-13Torr.1/secと
なる。
又空気のリーク速度は、 2.5×10-13÷2.7＝9.3×10-14Torr.1/secとなる。
［効果］ 以上説明したように、本発明は、テストする外囲器を
封止した状態で加圧したヘリウム雰囲気中に長時間浸漬
させて、外囲器内にヘリウムを蓄積させる。その後外囲
器を真空容器中で破壊して、外囲器中のヘリウムを計測
する加速評価方法であるので次のような効果がある。
封止した状態で加圧したヘリウム雰囲気中に長時間浸漬
させて、外囲器内にヘリウムを蓄積させる。その後外囲
器を真空容器中で破壊して、外囲器中のヘリウムを計測
する加速評価方法であるので次のような効果がある。
ヘリウムは外囲器内に蓄積されるのでＯリングやバ
ルブ等によってリークする量に比較し多量のヘリウム量
が計測される。したがって、Ｏリング等からのリーク量
は誤差として問題なくなり、計算により従来の検出限界
以下のリーク速度が測定できるという効果を有する。
ルブ等によってリークする量に比較し多量のヘリウム量
が計測される。したがって、Ｏリング等からのリーク量
は誤差として問題なくなり、計算により従来の検出限界
以下のリーク速度が測定できるという効果を有する。
従来の検出限界以下のリーク量が測定できるので、
従来外囲器における微少リークによる不良品が正常品か
の正しい判別が抜きとり試験により判別できるという効
果がある。
従来外囲器における微少リークによる不良品が正常品か
の正しい判別が抜きとり試験により判別できるという効
果がある。
外囲器の材料や、製造方法等を変えた場合に従来の
正常品との微少リークに関して良くなるか、悪くなるか
の判断のデータを出すことが従来の測定法では非常に困
難であったが本発明の測定方法では、正常品のリーク速
度も算出できるので、前述のデータを出すことは容易に
できるという効果を有する。
正常品との微少リークに関して良くなるか、悪くなるか
の判断のデータを出すことが従来の測定法では非常に困
難であったが本発明の測定方法では、正常品のリーク速
度も算出できるので、前述のデータを出すことは容易に
できるという効果を有する。
第１図は、本発明の測定方法に使用する真空加圧容器の
断面図、第２図は、本発明の測定方法に使用する真空容
器の断面図である。 １……外囲器、２……真空加圧容器 ９……真空容器、15……ヘリウムリークディテクタ
断面図、第２図は、本発明の測定方法に使用する真空容
器の断面図である。 １……外囲器、２……真空加圧容器 ９……真空容器、15……ヘリウムリークディテクタ
Claims (1)
- 【請求項１】封止した外囲器を真空加圧容器内のヘリウ
ムの加圧雰囲気中に所定時間浸漬した後、前記外囲器を
真空加圧容器から取り出して真空容器内に載置し、真空
雰囲気中で前記外囲器を破壊して、真空容器内のヘリウ
ムをヘリウムリークディテクタで計測する外囲器のスロ
ーリーク測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23731390A JP2964045B2 (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 外囲器のスローリーク測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23731390A JP2964045B2 (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 外囲器のスローリーク測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04116439A JPH04116439A (ja) | 1992-04-16 |
| JP2964045B2 true JP2964045B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=17013517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23731390A Expired - Lifetime JP2964045B2 (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 外囲器のスローリーク測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2964045B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101118071B1 (ko) * | 2003-07-17 | 2012-02-24 | 산텐 세이야꾸 가부시키가이샤 | 구멍이 형성된 용기의 구멍 검사 시스템 |
-
1990
- 1990-09-07 JP JP23731390A patent/JP2964045B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04116439A (ja) | 1992-04-16 |
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