KR920003290B1 - 음극선관의 가스분석방법 및 그 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

음극선관의 가스분석방법 및 그 장치

제1도는 본 발명에 따른 음극선관의 가스분석장치를 개략적으로 나타낸 입단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2 : 어댑터 2a : (어댑터의) 공간부

2b : 네크지지부 2c : 배기관지지부

3 : 챔버(Chamber) 4 : 펌프

5 : 가스분석관

본 발명은 음극선관의 가스분석방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 음극선관의 제작공정중 게터플레싱(getter flashing) 및 에이징(aging)공정에서 발생하는 가스분석방법 및 그 장치의 개선에 관한 것이다.

통상적으로 고진공인 음극선관의 내부에서 발생하는 가스를 감지하여 분석하기 위해서는 고진공의 진공챔버내에서 음극선관을 파괴하여 음극선관 내부의 가스를 챔버내로 확산되도록하고 이 확산된 가스를 감지하여 분석하거나, 고진공의 음극선관의 몸체에 배기관을 설치하여 이로부터 펌핑된 가스를 감지하여 분석하는 방법을 사용하여 왔다. 이와 같은 종래의 가스분석 방법은 제작이 완료된 음극선관을 파괴하여야 하므로 많은 위험성이 내재되어 있을 뿐만 아니라 가스를 분석하는데에 많은 경비가 소요되는 문제점이 있었다. 또한 상기와 같은 분석방법은 음극선관의 제작이 완료된 상태에서만 음극선관 내부의 잔류가스 측정이 가능하므로 각 제작공정에서 발생하는 가스의 종류 및 가스량을 정확하게 측정할 수 없는 문제점이 있었다.

따라서 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서 측정하고자하는 음극선관을 파괴하지 않고 내부의 가스를 측정할 수 있으며 특히 제작공정에서 발생하는 잔류가스를 용이하게 감지하여 분석할 수 있는 음극선관의 가스분석방법 및 그 장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 음극선관 내부의 가스를 분석하는 음극선관의 가스 분석방법에 있어서, 어댑터에 공간부에 음극선관 네크부의 단부와 전자총을 지지하며 배기관을 구비된 스템부를 소정의 간격으로 유지되도록 설치하고, 상기 스템부의 배기관과 연통된 제1배기수단에 의해 음극선관 및 어댑터의 공간부를 소정의 진공압으로 배기한 후 배기관을 밀봉하고, 상기 음극선관의 제작공정에 따른 시뮬레이션을 행하여 가스를 발생시키고, 상기 어댑터의 공간부와 가스감지수단이 설치된 가스 분석관에 연결된 제2배기수단에 의해 상기 음극선관을 소정의 진공도로 유지하면서 상기 가스감지수단에 의해 가스를 감지하여 분석하는 것을 그 특징으로 한다.

상기 가스분석 방법을 실시하기에 적합한 본 발명 음극선관의 가스분석장치는 소정의 공간부와 상기 공간부의 상부 가장자리에 음극선관의 네크부를 밀봉된 상태로 지지하는 네크지지부와 상기 공간부의 바닥면에 전자총의 스템부 배기관을 지지하는 배기관지지부를 구비한 어댑터와, 상기 어댑터를 감싸므로써 상기 배기관과 연통되며 제1배기수단이 설치된 챔버와, 상기 공간부와 연통되며 가스감지수단이 설치된 가스분석관과, 상기 가스분석관에 연결된 제2배기수단을 구비하여 된 것을 그 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

본 고안에 따른 음극선관의 가스분석장치(1)는 제2도에 나타내 보인 바와 같이 어댑터(2)에 소정의 공간부(2a)를 형성하고 그 상부 가장자리에는 상기 공간부(2a)에 삽입된 음극선관(T)의 네크부(N)을 지지함과 동시에 밀봉할 수 있는 네크지지부(2b)를 마련한다. 그리고 상기 공간부(2a)의 바닥면에는 전자총을, 지지하는 스템부(S)의 배기관(B)을 지지함과 동시에 밀봉할 수 있도록 전봉오븐(2ca)이 구비된 배기관지지부(2c)를 형성한다. 그리고 상기 어댑터(2)는 이를 하부에서 감싸며 제1배기수단이 설치된 챔버(3)와 결합되어 있다. 여기에서 상기 배기관(B)은 상기 챔버(3) 내부에 소정길이로 돌출될 수 있도록 한다. 그리고 상기 제1배기수단은 진공펌프(4)를 설치함이 바람직하다. 그리고 상기 어댑터(2)에는 상기 공간부(2a)와 연통되며 가스감지수단과 제2배기수단이 설치된 가스분석관(5)을 설치한다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 음극선관의 가스분석장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저 상기 어댑터(2) 공간부(2a)의 바닥면에 설치된 배기관 지지부(2c)에 전자총을 지지하는 스템부(S)의 배기관(B)을 삽입하여 전자총을 장착한다. 이때에 상기 배기관(B)은 챔버(3)와 연통되도록 한다. 그리고 상기 공간부(2a) 상부에 설치된 네크지지부(2b)에는 전자총이 장착되지 않은 음극선관의 네크부(N)을 삽입하여 상기 전자총의 스템부(S)와 소정의 간격으로 유지되도록 한다. 이 상태에서 상기 챔버(3)에서 설치된 제1배기수단 즉 펌프(4)을 가동하여 상기 챔버(3)와 음극선관(T)을 소정의 진공압으로 유지되도록 하고 상기 배기관(B)을 밀봉(tip-off)한다. 그리고 상기 음극선관(T)에 각 제작공정의 시뮬레이션에 따른 게터 플레싱(getter flashing) 또는 에이징(aging)을 행한다. 그리고 상기 어댑터(2)의 공간부(2a)와 연통되는 가스분석관(5)에 설치된 제2배기수단에 의해 음극선관(1)의 발생가스를 배기함과 동시에 상기 가스분석관(5)에 설치된 가스감지수단에 의해 상기 가스를 감지하여 분석한다.

이와 같이 본 발명은 음극선관을 파괴하지 않고 음극선관의 제작공정에서 발생하는 가스를 각 공정 별로 용이하게 분석할 수 있으며 특히 음극선관과 챔버내부의 압력차를 극소화하여 음극선관에 유입되는 가스의 누설을 지연시키면서 시뮬레이션을 행하여 이때에 발생되는 가스를 분석하게 되므로 누설가스에 의한 편차를 최대한 줄일 수 있다. 또한 음극선관의 네크부에 전자총을 봉입하지 않은 상태에서 가스를 분석할 수 있으므로 음극선관의 규격에 관계없이 시험할 수 있어 음극선관의 품질향상 및 신뢰성 향상에 기여할 수 있는 이점이 있다.

Claims (2)

1. 음극선관 내부의 가스를 분석하는 음극선관의 가스분석방법에 있어서, 어댑터의 공간부에 음극선관 네크부의 단부와 전자총을 지지하며 배기관이 구비된 스템부를 소정의 간격으로 유지되도록 설치하고, 상기 스템부의 배기관과 연통된 제1배기수단에 의해 음극선과 및 공간부를 소정의 진공압으로 배기한 후 상기 배기관을 밀봉하며, 상기 음극선관의 제작공정에 따른 시뮬레이션을 행하여 가스를 발생시키고, 상기 어댑터의 공간부와 가스감지수단이 설치된 가스분석관에 의해 연결된 제2배기수단에 의해 상기 음극선관을 소정의 진공도로 유지하면서 상기 가스감지수단에 의해 가스를 감지하여 분석하는 것을 특징으로 하는 음극선관의 가스분석방법.
2. 음극선관의 가스분석장치에 있어서, 소정의 공간부(2a)와 상기 공간부(2a)의 상부 가장자리에 음극선관(T)의 네크부(N)를 밀봉된 상태로 지지하는 네크지지부(2b)와 상기 공간부(2a)의 바닥면에 전자총의 스템부(S) 및 배기관(B)을 지지하는 배기관지지부(2c)를 구비한 어댑터(2)와, 상기 어댑터(2)를 감쌈으로써 상기 배기관(B)과 연통되며 제1배기수단이 설치된 챔버(3)와, 상기 공간부(2a)와 연통되며 가스감지수단이 설치된 가스분석관(5)과, 상기 가스분석관(5)에 연결된 제2배기수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 음극선관의 가스분석장치.

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