JPS61246644A - ガス導入方式により容器の漏れ箇所を探知する方法 - Google Patents
ガス導入方式により容器の漏れ箇所を探知する方法Info
- Publication number
- JPS61246644A JPS61246644A JP8794085A JP8794085A JPS61246644A JP S61246644 A JPS61246644 A JP S61246644A JP 8794085 A JP8794085 A JP 8794085A JP 8794085 A JP8794085 A JP 8794085A JP S61246644 A JPS61246644 A JP S61246644A
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- JP
- Japan
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- gas
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、減圧又は加圧容器にできた微小な漏れを、ガ
ス導入方式によって、探知する方法に関るものに生じた
微小な漏れを簡単な機構で正確に探知する方法に関する
ものである。
ス導入方式によって、探知する方法に関るものに生じた
微小な漏れを簡単な機構で正確に探知する方法に関する
ものである。
従来の技術
容器の微小な漏れ探知には、従来、プローブ（ｐｒｏｂ
ｅ）ガス法が通常用いられていた。この方法は、漏れの
ある容器の内部を真空に引いた状態で、容器周囲のガス
忙ごく微量にしか含まれていない成分から成るガスをプ
ローブガスとして容器に吹きつけ、容器内に漏入して来
たそのガス成分を検知することにより漏れ箇所を探す方
法である。
ｅ）ガス法が通常用いられていた。この方法は、漏れの
ある容器の内部を真空に引いた状態で、容器周囲のガス
忙ごく微量にしか含まれていない成分から成るガスをプ
ローブガスとして容器に吹きつけ、容器内に漏入して来
たそのガス成分を検知することにより漏れ箇所を探す方
法である。
発明が解決しようとする問題点
前記の従来の方法では、容器が二重構造であったり、容
器の周囲に障害物が存在していたりして、プローブガス
を容器周囲に吹き付けられない場合には、適用できない
という問題点があった。
器の周囲に障害物が存在していたりして、プローブガス
を容器周囲に吹き付けられない場合には、適用できない
という問題点があった。
問題点を解決するための手段
本発明は、容器に対してプローブガスを吹キ付けること
なしに容器の漏れ箇所を探す方法である。
なしに容器の漏れ箇所を探す方法である。
すなわち、本発明は、漏れが存在する容器内を排気して
減圧状態に保持し、容器周囲にあるガスを漏れ箇所を通
して容器内に漏入させながら、排気を停止すると同時に
この漏入ガスとは異なる種類のガスを容器内に導入した
後に導入ガス中に含まれる漏入ガスの濃度勾配を測定す
ることによって容器の漏れ箇所を探知する方法である。
減圧状態に保持し、容器周囲にあるガスを漏れ箇所を通
して容器内に漏入させながら、排気を停止すると同時に
この漏入ガスとは異なる種類のガスを容器内に導入した
後に導入ガス中に含まれる漏入ガスの濃度勾配を測定す
ることによって容器の漏れ箇所を探知する方法である。
作 用
この方法による漏れ探しの手順を以下に示す。
まず、漏れのある容器の内部を分子流条件（気体分子の
平均自由行程が容器の最大長さの２倍以上である条件）
が成立する圧力以下まで排気する。
平均自由行程が容器の最大長さの２倍以上である条件）
が成立する圧力以下まで排気する。
その結果容器の内側と外側に圧力差が生じ、容器周囲の
ガスが漏れ箇所を通して内部に漏入してくる状態が作り
出される。次に、排気を停止すると同時にこの漏入ガス
と異なる種類のガスを容器内に導入する。この導入ガス
の導入圧は外からの漏れを著しく減少させることなくか
つ粘性流条件（気体分子の平均自由行程が容器の最小長
さの１００分の１以下である条件）を満足させる圧力と
する。導入ガスを容器内でかかる圧力に保って静止させ
た状態にしておくと、容器内に漏れてきた漏入ガスが導
入ガスによって拡散を制限され、漏れ箇所の近傍に徐々
に滞留し始める。このような状態でしばらく放置した後
、滞留した漏入ガスの濃度を各所で測定してその濃度勾
配を得て漏れ箇所を同定する。
ガスが漏れ箇所を通して内部に漏入してくる状態が作り
出される。次に、排気を停止すると同時にこの漏入ガス
と異なる種類のガスを容器内に導入する。この導入ガス
の導入圧は外からの漏れを著しく減少させることなくか
つ粘性流条件（気体分子の平均自由行程が容器の最小長
さの１００分の１以下である条件）を満足させる圧力と
する。導入ガスを容器内でかかる圧力に保って静止させ
た状態にしておくと、容器内に漏れてきた漏入ガスが導
入ガスによって拡散を制限され、漏れ箇所の近傍に徐々
に滞留し始める。このような状態でしばらく放置した後
、滞留した漏入ガスの濃度を各所で測定してその濃度勾
配を得て漏れ箇所を同定する。
実施例
この方法によって、漏れｔ ３ Ｘ １０”−４Ｔｏｒ
ｒ−Ｖｓの漏れを実際に探した実施例を第１図を用いて
説明する。まず、漏れ箇所１のある容器４の内部をＴＯ
ｒｒ以下にした。次に、この場合における漏入ガスが空
気であったので、導入ガスとしてヘリウムを選択し、こ
れを導入管５より弁６を通して２００Ｔｏｒｒの圧力ま
で容器１内に導入した。
ｒ−Ｖｓの漏れを実際に探した実施例を第１図を用いて
説明する。まず、漏れ箇所１のある容器４の内部をＴＯ
ｒｒ以下にした。次に、この場合における漏入ガスが空
気であったので、導入ガスとしてヘリウムを選択し、こ
れを導入管５より弁６を通して２００Ｔｏｒｒの圧力ま
で容器１内に導入した。
この圧力下では、容器内へ流入する漏入ガスである空気
の減少量は７％以下でありかつ導入ガスであるヘリウム
は前記粘性流条件を満たしている。
の減少量は７％以下でありかつ導入ガスであるヘリウム
は前記粘性流条件を満たしている。
ヘリウムを導入後、３０分間放置してから空気の主成分
である窒素の容器内における濃度分布な測定した。測定
は容器内のヘリウムをサンプリングして、その中忙含ま
れる窒素量を、容器外に設置され、弁１０を介して排気
装置１１に連結された質量分析計９で分析することによ
って行った。ヘリウムのサンプリングは質量分析計に接
続された細管２で行った。また、サンプリング場所の移
動は、容器に取付けられ、駆動源によって駆動されルマ
ニフレータ６で細管を操作することによって行った。測
定結果を第２図に示すが、漏れ箇所からの距離に反比例
して窒素の濃度が減少していることがわかる。従って、
最も濃度の高い所を探すことによって漏れ箇所を同定す
ることができた。
である窒素の容器内における濃度分布な測定した。測定
は容器内のヘリウムをサンプリングして、その中忙含ま
れる窒素量を、容器外に設置され、弁１０を介して排気
装置１１に連結された質量分析計９で分析することによ
って行った。ヘリウムのサンプリングは質量分析計に接
続された細管２で行った。また、サンプリング場所の移
動は、容器に取付けられ、駆動源によって駆動されルマ
ニフレータ６で細管を操作することによって行った。測
定結果を第２図に示すが、漏れ箇所からの距離に反比例
して窒素の濃度が減少していることがわかる。従って、
最も濃度の高い所を探すことによって漏れ箇所を同定す
ることができた。
発明の効果
漏れ箇所のある容器が二重構造であったり、容器の周囲
に障害物があったりして、漏れ探知ガスを容器の外部か
ら吹き付けられないような複雑な構造の容器の漏れを探
知する場合においても、本発明によれば、真空引きした
容器内に漏入ガスとは種類の異ったガスを導入して、そ
の導入ガス中の漏入ガスの濃度を測定することにより、
容器の漏れ箇所を容易に探知できるという効果が生ずる
。
に障害物があったりして、漏れ探知ガスを容器の外部か
ら吹き付けられないような複雑な構造の容器の漏れを探
知する場合においても、本発明によれば、真空引きした
容器内に漏入ガスとは種類の異ったガスを導入して、そ
の導入ガス中の漏入ガスの濃度を測定することにより、
容器の漏れ箇所を容易に探知できるという効果が生ずる
。
第１図は、容器に生じた漏れ箇所を探知するための方法
を説明するための図であり、また第２図は、この方法に
よって測定したヘリウムガス導入後における容器内の窒
素の濃度分布を示すものである。
を説明するための図であり、また第２図は、この方法に
よって測定したヘリウムガス導入後における容器内の窒
素の濃度分布を示すものである。
Claims (1)
- 漏れ箇所が存在する容器内を排気して減圧状態に保持す
ることにより容器周囲にあるガスを漏れ箇所を通して容
器内に漏入させながら、排気を停止すると同時にこの漏
入ガスとは異なる種類のガスを容器内に導入した後に、
導入ガス中に含まれる漏入ガスの濃度勾配を測定するこ
とを特徴とするガス導入方式により容器の漏れ箇所を探
知する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8794085A JPS61246644A (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | ガス導入方式により容器の漏れ箇所を探知する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8794085A JPS61246644A (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | ガス導入方式により容器の漏れ箇所を探知する方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61246644A true JPS61246644A (ja) | 1986-11-01 |
Family
ID=13928895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8794085A Pending JPS61246644A (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | ガス導入方式により容器の漏れ箇所を探知する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61246644A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0530566A1 (de) * | 1991-09-02 | 1993-03-10 | GRUNDIG E.M.V. Elektro-Mechanische Versuchsanstalt Max Grundig holländ. Stiftung & Co. KG. | Verfahren und Anordnung zur Durchführung von Lecktests bei Abgastestgeräten |
| JP2010507080A (ja) * | 2006-10-19 | 2010-03-04 | アムロナ・アーゲー | 閉鎖された空間の気密性の度合を測定する方法 |
-
1985
- 1985-04-24 JP JP8794085A patent/JPS61246644A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0530566A1 (de) * | 1991-09-02 | 1993-03-10 | GRUNDIG E.M.V. Elektro-Mechanische Versuchsanstalt Max Grundig holländ. Stiftung & Co. KG. | Verfahren und Anordnung zur Durchführung von Lecktests bei Abgastestgeräten |
| JP2010507080A (ja) * | 2006-10-19 | 2010-03-04 | アムロナ・アーゲー | 閉鎖された空間の気密性の度合を測定する方法 |
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