KR950014862A - 가스누출 검사장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

밀봉도를 테스트하는 장치(10)은 트레이서 유체를 내장한 밀봉 시험제품(12)를 수납하는 테스트챔버 (24), 저장기챔버(44), 및 시험제품(12)로부터 누출된 트레이서 유체의 존재여부를 탐지하는 분석기구(20)을 포함한다. 저장기챔버(44)와 분석기구(20)사이에 연결된 도관(58)내의 저장기밸브(64)는 분석기구(27)에 의해 저장기챔버(44)내에 진공이 창출되도록 하는 개방위치를 갖는다. 폐쇄할때, 저장기밸브(64)는 저장기챔버(44)와 분석기구(20)사이의 유체연통을 차단하여 저장기챔버(44)내에 진공을 격리시킨다. 테스트챔버(24)와 저장기챔버(44)사이에 연결된 도관(38)내의 밸브(48)는 테스트챔버와 저장기챔버 사이의 유체연통을 차단하는 폐쇄위치를 갖는다. 이는 저장기챔버(44)내에 진공이 창출되는 동안 테스트 챔버(24)내의 압력이 변화되는 것을 방지한다. 밸브(48)은, 배기된 저장기챔버(44)내의 격리 진공을 테스트 챔버(24)내의 시험제품(12)에 제공하여 시험제품(12)의 누출경로를 통해 트레이서 유체가 견인될 수 있도록 하는 개방위치를 갖는다. 누출된 트렝시 유테를 포함한 테스트챔버의 내용물들은 이후 분석기구에 운송된다.

Description

가스누출 검사장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (18)

  1. 트레이서 유체를 내장한 시험 제품의 밀봉도를 검사하는 장치에 있어서, 시험제품을 수납하는 테스트챔버; 트레이서 유체의 존재여부를 탐지하며, 상기 저장기탬버내에 진공을 창출하는 수단을 구비하는 분석기구; 상기 저장기 챔버와 상기 분석기구 사이에 연결된 제1도관, 상기 제1도관내에 위치하며, 상기 저장기 챔버와 상기 분석 기구 사이의 유체연통을 형성하고 상기 저장기 챔버내에 진공을 창출하는 개방위치 및 상기 저장기챔버내에 진공이 창출된 이후 상기 분석기구로부터 상기 저장기챔버를 격리시키는 폐쇄위치를 갖는 제1밸브, 상기 테스트챔버와 상기 저장기 챔버 사이의 연결된 제2도관; 및 상기 제2도관내에 위치하며, 상기 저장기챔버 내에 진공이 창출되는 동안 상기 테스트챔버내의 압력변화를 방지하기 위해 상기 테스트 챔버와 상기 저장기챔버 사이의 유체연통을 차단하는 폐쇄위치 및 상기 배기된 저장기챔버로부터 상기 테스트챔버내의 시험제품에 진공을 부가하여 상기 시험제품내의 누출경로를 통해 트레이서 유체를 견인시키는 개방위치를 갖는 제2밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가스 분석기구는 트레이서 유체를 탐지하도록 눈금이 헝성된 질량 분광계이며, 그 트레이서 가스 유체는 아르곤 또는 헬륨을 포함한 가스인것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 테스트챔버는 테스트 콘테이너에 의해 형성되고, 상기 테스트 콘테이너는 스테인레스강 합금, 알루미늄 합금, 및 유리로 구성된 군으로부터 선택되는 제료로 제조되는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 저장기챔버는 저장기 콘테이너에 의해 형성되고, 상기 저장기 콘테이너는 스테인레스강 합금, 알루미늄합금, 및 유리로 구성된 군으로부터 선택되는 재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1및 제2밸브가 약 10-11Torr의 진공을 밀봉할 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 테스트챔버와 상기 분석기구 사이에 연결된 제3의 한정도관 및 상기 제3의 한정도관 내에 있는 모세관 밸브를 추가로 구비하며, 상기 모세관 밸브는 상기 테스트챔버내의 유체 내용물을 상기 분석기구로 운송하는 개방위치 및 상기 제3의 한정도관을 통한 상기 테스트챔버와 상기 분석기구사이의 유체연통을 차단하는 폐쇄위치를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제3의 한정도관은 한정적인 횡단면 유동구역을 가지며 진공을 창출하는 상기수단은, 트레이서 유체를 적어도 약 45cc/min의 유동률로 상기 제3의 한정도관을 통해 유동하게 하고 상기 분석기구의 압력을 200millitorr이하에서 유지시킬 수 있는 용량을 갖는 것은 특징으로 하는 장치.
  8. 1항에 있어서, 상기 저장기챔버와 상기 분석기구 사이에 연결된 제3의 한정도관 및 상기 제3의 한정도관내에 있는 모세관 밸브를 추가로 구비하며, 상기 모세관 밸브는 상기 저장기챔버의 내용물을 상기 분석기구로 운송시키는 개방위치 및 상기 제3의 한정도관을 통한 상기 저장기챔버와 상기 분석기 구 사이의 유체연통을 차단하는 폐쇄위치를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제3의 한정도관은 한정적인 횡단면 유동구역을 가지며, 진공을 창출하는 상기 수단은, 트레이서 유체를 적어도 약 4scc/min의 유동률로 상기 제3의 한정도관을 통해 유동하게 하고, 상기 분석기구의 압력을 200mi111orr이하에서 유지시키는 용량을 갖는것을 특징으로 하는 장치.
  10. 트레이서 유체를 내장한 시험제품의 밀봉도를 검사하는 방법에 있어서, 시시험제품을 위해 제1탬버내에 시험제품을 밀봉시키는 단계; 제2챔버내에 진공이 창출되는 동안 시험제품이 압력변화를 받지 않도록, 제1챔버로부터 밀봉된 제2챔버내에 밀봉을 창출시키는 단계; 제2챔버내에 진공을 유지하고 그 진공을 제2챔버내에 격리시키기 위해 제2챔버를 밀봉하는 단계, 제2챔버내의 격리진공을 제1챔버내의 시험제품에 제공하여 시험제품내의 누출통로를 통해 트레이서 유체가 견인될 수 있도록, 제1챔버와 제2챔버 사이의 유체연통을 형성시키는 단계; 시험제품으로부터 견인된 트레이서 유체를 분석기구를 향해 유동시키는 단계; 및 트레이서 유체의 존재여부를 측정하기 위해서 유체유동을 분석하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 진공을 창출하는 단계는 제2챔버와 분석기구 사이에 연결된 도관내의 제1밸브를 개방하고 분석기구에 의해 제2챔버를 배기시키는 과정을 포함하며; 상기 제2챔버를 밀봉시키는 단계는 배기된 제2챔버와 분석기구 사이에 연결된 도관내의 제1밸브를 폐쇄하여 제2챔버를 격리시키는 과정을 포함하며; 상기 제1챔버와 제2챔버 사이의 유체연통을 형성시키는 단계는 제1챔버와 제2챔버
    사이에 연결된 도관내의 제2밸브를 개방하여 시험제품내의 누출경로를 통해 트레이서 유체가 제2챔버내로 견인되도록 하는 과정을 포함하고; 상기 방법은 진공이 시험제품에 제공된 이후 제1챔버와 제2챔버 사이에 연결된 도관내의 제2밸브를 폐쇄하여 제2챔버로부터 제1챔버를 격리시키는 과정을 포함하며; 상기 시험제품에서 견인된 트레이서 유테를 분석기구를 향해 유동시키는 단계는 누출된 트레이서 유체를 포함한 제2챔버의 내용물을 분석기구에 운송시키기 위해 제2챔버와 분석기구 사이에 연결된 도관의 제1밸브를 개방시키는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 제1챔버내에 시험제품을 밀봉시키는 단계는 헬륨 또는 아르곤을 내장한 에어백 팽창기를 제1챔버내에 밀봉시키는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제10항에 있어서, 상기 트레이서 유체의 존재를 측정하기 위해 유체유동을 분석하는 단계는 트레이서 유체를 질량 분광계 방향으로 조절하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제10항에 있어서, 상기 제2챔버내에 진공을 창출시키는 단계는 5내지 500millitorr의 압력으로 제2챔버를 배기시키는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제10항에 있어서, 상기 제1챔버내의 시험제품에 진공을 제공하는 단계는, 제1챔버와 배기된 제2챔버 사이에 연결된 도관의 밸브를 개방하여 약 8Torr 내지 43Torr의 압력을 제1챔버내에 형성시키는과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제10항에 있어서, 상기 진공을 창출시키는 단계는 제2챔버와 분석기구 사이에 연결된 제1도관내의 제1밸브를 개방시키는 과정 및 분석기구에 의해 제2챔버를 배기시키는 과정을 포함하며; 상기 제2챔버를 밀봉하는 단계는 배기된 제2챔버와 분석기구 사이에 연결된 도관내의 제1밸브를 폐쇄하여 분석기구로부터 제2챔버를 격리시키는 과정을 포함하고; 상기 제1챔버와 제2챔버 사이의 유체연통을 형성시키는 단계는 제1챔버와 제2챔버 사이에 연결된 도관내의 제2밸브를 개방하여 시험제품내의 누출경로를 통해 트레이서 유체를 제2챔버로 견인시키는 과정을 포함하며 , 상기 방법은, 진공이 시험제품에 제공된 이후 제2챔버로부터 제1챔버를 격리시킬 수 있도록 제1챔버와 제2챔버 사이에 연결된 제2밸브를 폐쇄하는 단계를 포함하며; 상기 시험제품으로부터 견인된 트레이서 유체를 분석기구를 향해 유동시키는 단계는 제2챔버와 분석기구 사이에 연결된 제2도관내의 제3밸브를 개방시켜 누출된 트레이서 유체 를 포함한 제2챔버내의 내용물을 분석기구에 운송시키는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제10항에 있어서, 상기 진공을 창출시키는 단계는 제2챔버와 분석기구 사이에 연결된 도관내의 제1밸브를 개방하는 과정 및 분석기구에 의해 제2챔버를 배기하는 과정을 포함하며; 상기 제2챔버를
    밀봉하는 단계는 배기된 제2챔버와 분석기구 사이에 연결된 도관내의 제1밸브를 폐쇄하여 분석기구로부터 제2챔버를 격리시키는 과정을 포함하고; 상기 제1챔버와 제2챔버 사이의 유체연통을 형성시 는 단계는 제1챔버와 제2챔버 사이에 연결된 도관내의 제2밸브를 개방하여 트레이서 유체를 시험제품내의 누출경로를 통해 격리진공내로 견인시키는 과정을 포함하며, 상기 방법은 진공이 시험제품이 제공된이후 제2챔버로부터 제1챔버를 격리시킬 수 있도록 제1챔버와 제2챔버 사이에 연결된 도관내의 제2밸브를 폐쇄하는 과정을 포함하고; 상기 시험제품으로부터 견인된 트레이서 유체를 분석기구를 향해 유동시키는 단계는 제1챔버와 분석기구 사이에 연결된 도관 내의 제3밸브를 개방하여 누출된 트레이서 유체를 포함한 제1챔버의 내용물을 분석기구에 운송하는 과정을 포함하는 것을 륵징으로 하는 방법.
  18. 제10항에 있어서, 격리 진공이 장기간의 주기동안 시험제품에 제공되며, 시험제품으로부터 견인된 트레이서 유체를 분석기구를 향해 유동시키는 단계는 상기 장기간의 주기 이후에 실시되는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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