JPS58147628A - 冷却ユニツトのガスリ−ク検査装置 - Google Patents
冷却ユニツトのガスリ−ク検査装置Info
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- JPS58147628A JPS58147628A JP3098382A JP3098382A JPS58147628A JP S58147628 A JPS58147628 A JP S58147628A JP 3098382 A JP3098382 A JP 3098382A JP 3098382 A JP3098382 A JP 3098382A JP S58147628 A JPS58147628 A JP S58147628A
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- JP
- Japan
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- gas
- cooling unit
- detection
- sealed chamber
- leak
- Prior art date
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
- G01M3/229—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
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- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術公費〕
本発明は冷却ユニットの冷媒流路中に冷媒ガスの漏れＩ
Ｉ所が参るか否かを検査するための冷却ユニッ）６ガス
リーク検査葺菖に関する。
Ｉ所が参るか否かを検査するための冷却ユニッ）６ガス
リーク検査葺菖に関する。
例えば冷蔵庫において、冷却ユニットに極めて微量の冷
媒ガスの漏れ（以下ガスリークと称する）があっても長
期使用中に冷却能力が著しく低下する。このガスリーク
が需要者の手元で発見され九ときはその修理が極めて困
難でありその経費も高い、また、冷蔵庫の需要者に対す
る保証期間も長くなっていることを考え合わせるとガス
リークに対してはきわめて高い信頼性が要求される。従
って製造段階でのガスリーク検査は極めて重要な検査項
目の一つである。
媒ガスの漏れ（以下ガスリークと称する）があっても長
期使用中に冷却能力が著しく低下する。このガスリーク
が需要者の手元で発見され九ときはその修理が極めて困
難でありその経費も高い、また、冷蔵庫の需要者に対す
る保証期間も長くなっていることを考え合わせるとガス
リークに対してはきわめて高い信頼性が要求される。従
って製造段階でのガスリーク検査は極めて重要な検査項
目の一つである。
現在性なわれているガスリーク検査方式には次のものが
ある。その第一は水中発泡法であり、これは冷却ユニッ
トでおる被検体を水中に浸漬し、ガスリークによる発泡
を肉眼で検出する方法である。これは検査が手軽である
反面、検出精度に個人差がＴｏり且つ見路しのおそれも
あって検出精度が低く信頼性に劣り、被検体に発錆を生
じさせることもある。
ある。その第一は水中発泡法であり、これは冷却ユニッ
トでおる被検体を水中に浸漬し、ガスリークによる発泡
を肉眼で検出する方法である。これは検査が手軽である
反面、検出精度に個人差がＴｏり且つ見路しのおそれも
あって検出精度が低く信頼性に劣り、被検体に発錆を生
じさせることもある。
第二として差圧検出法がＴｏシ、これにマスターとなる
良品と被検体とに同時に圧力金かけて一定時閲徒の圧力
差を検出しようとするものである。
良品と被検体とに同時に圧力金かけて一定時閲徒の圧力
差を検出しようとするものである。
この方法は齋くの点で水中発泡法に優っているが、検出
精度を上げたり、被検体の容量が大きくなると、検査に
長時間（−例として挙げるなら約９６０秒）を要し、生
産フィンでの被検体生産速度に対して極めておそく、同
じ速度の検査処理能力ｔ−得ようとするとその設備台数
が膨大になる。
精度を上げたり、被検体の容量が大きくなると、検査に
長時間（−例として挙げるなら約９６０秒）を要し、生
産フィンでの被検体生産速度に対して極めておそく、同
じ速度の検査処理能力ｔ−得ようとするとその設備台数
が膨大になる。
第三としてハロゲンリーク検出法がある。これは冷凍ナ
イフμの冷謀であるフロロカーボンガス（フロンガス）
のリークをハロゲンリーク検出器ｔＩＩ！指して検出す
る方法であシ、検出精度が極めて高いと云う長所を有す
る反面、ハロゲンリーク検出法！、はフロンガス以外の
ガス例えばトリグロロエチレン蒸気、爆車の煙、自動車
の排気ガス等に４感応するため、検査場所を高度に清浄
な環境に保九ねばならない。
イフμの冷謀であるフロロカーボンガス（フロンガス）
のリークをハロゲンリーク検出器ｔＩＩ！指して検出す
る方法であシ、検出精度が極めて高いと云う長所を有す
る反面、ハロゲンリーク検出法！、はフロンガス以外の
ガス例えばトリグロロエチレン蒸気、爆車の煙、自動車
の排気ガス等に４感応するため、検査場所を高度に清浄
な環境に保九ねばならない。
そこで近時、上述Ｑ１１々の問題音解決するものとして
、冷却ユニット内に検出ガスとしてヘリウムガスタンク
人した上で、蒙冷却ユ犀ツｙＹｃ密閉室る。ところがこ
のものでは、該密閉室でガスリークを検出する行程の前
に予め冷却サイクｙ内に検出ガスを封入する行程を別途
性なわなければならず、しかもガスリークの検出行程後
に密閉室形成器管外して冷却ユニット中から検出ガスを
別途回収する行程も行なわなければならず、各行程に要
する時間に加ＪＬ各行程間における冷却ユニットの移送
にも時間ＩＬし、生産速度の低下につながる不具合があ
った。
、冷却ユニット内に検出ガスとしてヘリウムガスタンク
人した上で、蒙冷却ユ犀ツｙＹｃ密閉室る。ところがこ
のものでは、該密閉室でガスリークを検出する行程の前
に予め冷却サイクｙ内に検出ガスを封入する行程を別途
性なわなければならず、しかもガスリークの検出行程後
に密閉室形成器管外して冷却ユニット中から検出ガスを
別途回収する行程も行なわなければならず、各行程に要
する時間に加ＪＬ各行程間における冷却ユニットの移送
にも時間ＩＬし、生産速度の低下につながる不具合があ
った。
検出ガスとしてヘリウムガス全屈いるものにおいて、ガ
スリークの検出に要する時間を短縮で亀、よって生産性
の向上を図り得る冷却ユニットのガスリーク検査装置を
提供するにある。
スリークの検出に要する時間を短縮で亀、よって生産性
の向上を図り得る冷却ユニットのガスリーク検査装置を
提供するにある。
本発明は、被検体としての冷却ユニットを密閉状態に包
囲する密閉室形成器に対し、冷却ユニットにヘリウムガ
スからなる検出ガスを封入・回収する封入−回収装置を
設けると共に、密閉室形成−内を減圧する減圧手段及び
該密閉室形成器内に含°まれる検出ガスを検出するガス
検出装置を設けて、ガス対人行程及びガス検出行程並び
にガス回収行程間における冷却ユニットの移送時間のロ
スをなくす様にし九ところに特徴を有する。
囲する密閉室形成器に対し、冷却ユニットにヘリウムガ
スからなる検出ガスを封入・回収する封入−回収装置を
設けると共に、密閉室形成−内を減圧する減圧手段及び
該密閉室形成器内に含°まれる検出ガスを検出するガス
検出装置を設けて、ガス対人行程及びガス検出行程並び
にガス回収行程間における冷却ユニットの移送時間のロ
スをなくす様にし九ところに特徴を有する。
以下本発明〇一実施例につき図面を参照して説明する。
まず賂１崗において、１は密閉室形成器であ夕、これ嬬
設置台２とこれの上方にｙリンダ３によｐｌ＋降される
様に設けられたべμジャ（Ｂｅ１１ Ｊａｒ） ４とか
ら構成されていて、べμジャ４を設置合量上面にＶ−μ
部材５を介して気密に当接することによｊｌｌ！Ｆ閉ｉ
１６閉形１６れる様になっている。１は被検体たる冷却
ユニットで、冷蔵庫の冷凍量用冷却器８及び冷蔵室用冷
却器９等からなる。１０は密閉室形成器１の設置台２に
設けられ大検出ガス封入・回収装置であり、これは次の
如く構成されている。１１は設置台２に取付けられたカ
プラーで、これに冷却ユニット７において設置台２から
気密に導出され九端部７＆が接続される様になっている
。そしてこのカプツー１１には二つの管路１２，１３が
導出されてお夛、一方の管路１２にはカプフー内排気ポ
ンプ１４が接続されている。又他方の管路１３は３つに
分岐されており、而して畷１の分岐管１３ｍには切換弁
１５及びヘリウムガスタンク１６を介シてヘリウムガス
ポンベ１７の吐出部が接続され、賂２の分岐管１３ｂに
は切換弁１８及びガス回収用ポンプ１９を介してヘリウ
ムガスタンク１６の回収部が接続され、１ｇ３の分岐管
１３０には切換弁２０を介して冷却直：！ｉツド内排気
用ポンプ２１が接続されている。尚２２は管路１３に設
けられた圧力針である。２３は前記密閉室形成器１に連
通して設けられ九リーク検出装置で、以下これについて
述べる。２４は上記密閉室形成器１から導出された管路
で、これは４つに分岐されており、＠１０分紋分岐管Ｂ
Ｋは減圧手段たる粗排気手段２５が接続され、賂２の分
岐管２４ｂにはガス検出手段たるプリテスト手段２６が
接続され、等３０分岐管２４Ｃには減圧手段友る本排気
手段２７が接続され、１１４の分紋管２４ｄにはガス検
出手段穴る本テスト手段２８が接続されている。而して
粗排気手段２５は切換弁２９及び粗排気ポンプ３ｏを順
に接続して構成され、プリテスト手段２６は切換弁３１
及びプリテストエゼクタボンデ３２並びにプリテストポ
ンプ３３を順に接続すると共にエゼクタポンプｓ２とプ
リテストポンプ３３との間におけゐ分紋管にヘリクふガ
スデテクタ５４ｔ−接続して構成されている。又、排気
手段２７は切換弁３５及ヒメカ二カμグースタポンプ３
６並びに本排気ボンデｓ７が順に接続されており、一方
本テスト手［２８ｍ切換５’Ｆ５８及び本テストエゼク
タポン７’３９＊びに本テストロ−タリーポンプ４０ｔ
−順に［４１！すると共ＫＩＥ本テストエゼクタポンプ
３９ト本テストロ−タリーポンプ４０との間における分
紋絡にヘリウムガスリークデテクタ４１を接続して構Ｊ
ＩＥＩＩれている。尚上記何れのポンプもガスリーク箇
所ｏ２めＯ稼動中は連続運転される。
設置台２とこれの上方にｙリンダ３によｐｌ＋降される
様に設けられたべμジャ（Ｂｅ１１ Ｊａｒ） ４とか
ら構成されていて、べμジャ４を設置合量上面にＶ−μ
部材５を介して気密に当接することによｊｌｌ！Ｆ閉ｉ
１６閉形１６れる様になっている。１は被検体たる冷却
ユニットで、冷蔵庫の冷凍量用冷却器８及び冷蔵室用冷
却器９等からなる。１０は密閉室形成器１の設置台２に
設けられ大検出ガス封入・回収装置であり、これは次の
如く構成されている。１１は設置台２に取付けられたカ
プラーで、これに冷却ユニット７において設置台２から
気密に導出され九端部７＆が接続される様になっている
。そしてこのカプツー１１には二つの管路１２，１３が
導出されてお夛、一方の管路１２にはカプフー内排気ポ
ンプ１４が接続されている。又他方の管路１３は３つに
分岐されており、而して畷１の分岐管１３ｍには切換弁
１５及びヘリウムガスタンク１６を介シてヘリウムガス
ポンベ１７の吐出部が接続され、賂２の分岐管１３ｂに
は切換弁１８及びガス回収用ポンプ１９を介してヘリウ
ムガスタンク１６の回収部が接続され、１ｇ３の分岐管
１３０には切換弁２０を介して冷却直：！ｉツド内排気
用ポンプ２１が接続されている。尚２２は管路１３に設
けられた圧力針である。２３は前記密閉室形成器１に連
通して設けられ九リーク検出装置で、以下これについて
述べる。２４は上記密閉室形成器１から導出された管路
で、これは４つに分岐されており、＠１０分紋分岐管Ｂ
Ｋは減圧手段たる粗排気手段２５が接続され、賂２の分
岐管２４ｂにはガス検出手段たるプリテスト手段２６が
接続され、等３０分岐管２４Ｃには減圧手段友る本排気
手段２７が接続され、１１４の分紋管２４ｄにはガス検
出手段穴る本テスト手段２８が接続されている。而して
粗排気手段２５は切換弁２９及び粗排気ポンプ３ｏを順
に接続して構成され、プリテスト手段２６は切換弁３１
及びプリテストエゼクタボンデ３２並びにプリテストポ
ンプ３３を順に接続すると共にエゼクタポンプｓ２とプ
リテストポンプ３３との間におけゐ分紋管にヘリクふガ
スデテクタ５４ｔ−接続して構成されている。又、排気
手段２７は切換弁３５及ヒメカ二カμグースタポンプ３
６並びに本排気ボンデｓ７が順に接続されており、一方
本テスト手［２８ｍ切換５’Ｆ５８及び本テストエゼク
タポン７’３９＊びに本テストロ−タリーポンプ４０ｔ
−順に［４１！すると共ＫＩＥ本テストエゼクタポンプ
３９ト本テストロ−タリーポンプ４０との間における分
紋絡にヘリウムガスリークデテクタ４１を接続して構Ｊ
ＩＥＩＩれている。尚上記何れのポンプもガスリーク箇
所ｏ２めＯ稼動中は連続運転される。
次に上記構成の作用について喀２図及び喀３ＷＪｘを併
用して説明する。まず、被検体たる冷却ユニット７を設
置台２に載置し、べμジャ５を降下させて密閉室６に冷
却ユニット７を収容した状ａを形成する。仁のとき冷却
ユニット７の端部７ａはカプラー１１に気密に接続する
。ここで１ｇ２図（ａ）はリーク検出装置２３０行程を
示し、第２図（ｂ）は密閉室６内の圧力変化を示し、第
３図（ａ）はガス封入・回収装置１０の行程を示し、喀
３図（ｂ）は冷却ユニット７内の圧力変化を示す。さて
、ガス封入・回収装置１０において切換弁２０ｔ−開き
冷却ユニット７内の排気を行ない、而して冷却ユニット
７内が大気圧Ｐ１ から所定の圧力ｐ２になるまで排気
されると、切換弁１５を開いて冷却ユニットＺ内にヘリ
ウムガスをその内部圧力が所定の圧力ｐ８になるまで供
給されて封入される。これと並行し、リーク検出装置２
３において粗排気手段２５の切換弁２９が開き密閉室６
内の粗排気（減圧）が行なわれる。而して密閉室６内が
大気圧Ｐ１から所定の圧力ｐ′象 にまで粗排気される
とこの粗排気行程が終了される。このときガフ＃入行程
は終了されていて、既に冷却ユニット７内は密閉室６内
より高圧力状態とされる（Ｐ２＜Ｐｇ）。次にリーク検
出装置２３においてプリテスト手段２６の切換弁３１が
開き密閉室６内の排出気体の一部をヘリウムガスデテク
タ５４に導き入れてそのヘリウムガスの量を測定（プリ
テスト）する。このプリテストでヘリウムガスの測定量
が所定値以下等そのガスが検出されなかつ友ときは直ち
に本排気手段２７０切換’Ｊｆ５５ｆ開いて密閉室６内
をその圧力がｐ’ｆｆｉから更にｐｌｓまで低下する様
に真空排気し、そして本テスト手段２８の切換弁３８を
開いて略ｐ′易の圧力を維持する様に真空排気を続けな
がら１１Ｉ出気体の一部をヘリウムガスデテクタ４１に
導龜入れて、こζでヘリウムガスの存在を検出（本テス
ト）する、この本テスト完了後、図示を省略しているが
大気連通弁を開いて密閉＊６ｔ−大気圧に復帰させると
共に、検出ガス封入・回収装置において切換弁１８を開
いてガス回収ポンプ１９により冷却ユニット７内のへν
ラムガスをヘリウムカスＩ・ンク１６内に回収する。而
してこの後ぺμジャ３を上昇させて次の冷却ユニット７
の検査に備える。
用して説明する。まず、被検体たる冷却ユニット７を設
置台２に載置し、べμジャ５を降下させて密閉室６に冷
却ユニット７を収容した状ａを形成する。仁のとき冷却
ユニット７の端部７ａはカプラー１１に気密に接続する
。ここで１ｇ２図（ａ）はリーク検出装置２３０行程を
示し、第２図（ｂ）は密閉室６内の圧力変化を示し、第
３図（ａ）はガス封入・回収装置１０の行程を示し、喀
３図（ｂ）は冷却ユニット７内の圧力変化を示す。さて
、ガス封入・回収装置１０において切換弁２０ｔ−開き
冷却ユニット７内の排気を行ない、而して冷却ユニット
７内が大気圧Ｐ１ から所定の圧力ｐ２になるまで排気
されると、切換弁１５を開いて冷却ユニットＺ内にヘリ
ウムガスをその内部圧力が所定の圧力ｐ８になるまで供
給されて封入される。これと並行し、リーク検出装置２
３において粗排気手段２５の切換弁２９が開き密閉室６
内の粗排気（減圧）が行なわれる。而して密閉室６内が
大気圧Ｐ１から所定の圧力ｐ′象 にまで粗排気される
とこの粗排気行程が終了される。このときガフ＃入行程
は終了されていて、既に冷却ユニット７内は密閉室６内
より高圧力状態とされる（Ｐ２＜Ｐｇ）。次にリーク検
出装置２３においてプリテスト手段２６の切換弁３１が
開き密閉室６内の排出気体の一部をヘリウムガスデテク
タ５４に導き入れてそのヘリウムガスの量を測定（プリ
テスト）する。このプリテストでヘリウムガスの測定量
が所定値以下等そのガスが検出されなかつ友ときは直ち
に本排気手段２７０切換’Ｊｆ５５ｆ開いて密閉室６内
をその圧力がｐ’ｆｆｉから更にｐｌｓまで低下する様
に真空排気し、そして本テスト手段２８の切換弁３８を
開いて略ｐ′易の圧力を維持する様に真空排気を続けな
がら１１Ｉ出気体の一部をヘリウムガスデテクタ４１に
導龜入れて、こζでヘリウムガスの存在を検出（本テス
ト）する、この本テスト完了後、図示を省略しているが
大気連通弁を開いて密閉＊６ｔ−大気圧に復帰させると
共に、検出ガス封入・回収装置において切換弁１８を開
いてガス回収ポンプ１９により冷却ユニット７内のへν
ラムガスをヘリウムカスＩ・ンク１６内に回収する。而
してこの後ぺμジャ３を上昇させて次の冷却ユニット７
の検査に備える。
さて冷却ユニット７にガスリーク箇所があつ友とすると
、そのガスリーク箇所が大きい損傷である場合は粗排気
手段２５による低い真空度でも密閉室６内にヘリウムガ
スが漏出するので、これがプリテスト手段２６にて検出
され、このときにはその表示を行なう一方、密閉室６内
が直ちに大気圧に復帰されると共に冷却ユニット７内の
ヘリウムガスが検出ガス封入・回収装置１０にて回収さ
れる。又、損傷が極めて軽微であるときには粗排気程度
の真空度では検出可能な量のヘリウムガスの漏れを期待
できないが、これは次の本排気の後の本テスト手段にて
検出される。
、そのガスリーク箇所が大きい損傷である場合は粗排気
手段２５による低い真空度でも密閉室６内にヘリウムガ
スが漏出するので、これがプリテスト手段２６にて検出
され、このときにはその表示を行なう一方、密閉室６内
が直ちに大気圧に復帰されると共に冷却ユニット７内の
ヘリウムガスが検出ガス封入・回収装置１０にて回収さ
れる。又、損傷が極めて軽微であるときには粗排気程度
の真空度では検出可能な量のヘリウムガスの漏れを期待
できないが、これは次の本排気の後の本テスト手段にて
検出される。
この様な本寮施例によれば、次の効果を得るこ １とが
できる。即ち、検出ガスたるヘリウムガスの封入及びヘ
リウムガスのリーク検出並びにヘリウムガスの回収を一
箇所にて行なう様にしたので、夫々の作業を別々の部所
で行なう従来とは異なり、冷却ユニット７の移送に時間
をとらず、しかも冷却ユニット７内の排気及びヘリウム
ガス封入は、リーク検出装置２３における粗排気と並行
して行なうことができるので、その分検査時間の短縮を
図９％る。又、本テスト終了後直ちにしかも密閉１１６
に冷却ユニット７１に収容したままで該ヘリウムガスの
回収を行なうことができるので、この回収ガスに大気が
混入する虞がない。さらに密閉室６内に冷却ユニツ）７
ｔ−収容し次状態でヘリウムガス封入後直ちにプリテス
ト（ガス検出）を行なうので、ガス検出感度の向上及び
安定化を図り得ゐ。
できる。即ち、検出ガスたるヘリウムガスの封入及びヘ
リウムガスのリーク検出並びにヘリウムガスの回収を一
箇所にて行なう様にしたので、夫々の作業を別々の部所
で行なう従来とは異なり、冷却ユニット７の移送に時間
をとらず、しかも冷却ユニット７内の排気及びヘリウム
ガス封入は、リーク検出装置２３における粗排気と並行
して行なうことができるので、その分検査時間の短縮を
図９％る。又、本テスト終了後直ちにしかも密閉１１６
に冷却ユニット７１に収容したままで該ヘリウムガスの
回収を行なうことができるので、この回収ガスに大気が
混入する虞がない。さらに密閉室６内に冷却ユニツ）７
ｔ−収容し次状態でヘリウムガス封入後直ちにプリテス
ト（ガス検出）を行なうので、ガス検出感度の向上及び
安定化を図り得ゐ。
ガスリーク検出に必要な五′２）の行程即ち検出ガス封
入及び検出ガスのリーク検出並びに検出ガス回収の会費
１１【一つに集中して行なうことができ、検査時間のＷ
ｉ縮化を図り得ると共に検査フィンの会場化もｌＩ＃ｌ
Ｉる。又、検出ガスの回収に大気が混入するとと會極力
防止し得て、回収したガスの再利用會可能ならしめ得、
さらにはガス検出感度の向上及び安定化を図り得る。
入及び検出ガスのリーク検出並びに検出ガス回収の会費
１１【一つに集中して行なうことができ、検査時間のＷ
ｉ縮化を図り得ると共に検査フィンの会場化もｌＩ＃ｌ
Ｉる。又、検出ガスの回収に大気が混入するとと會極力
防止し得て、回収したガスの再利用會可能ならしめ得、
さらにはガス検出感度の向上及び安定化を図り得る。
図面は本発明の一実施例を示し、１１１％１図はＶステ
ム全体の系統図、窮２図（＆）はリーク検出装置におけ
る行程図、同じく（ｂ）は密閉室内の圧力変化特性を示
す図、第５図（ａ）は検出ガス封入・回収装置における
行程図、同じ＜（ｂ）は冷−替有弘圧力変化特性を示す
図である。 図中、１は密閉室形成器、３はぺμジャ、６は密閉室、
７は冷却ユニット（被検体）、１０は検出ガス封入・回
収装置、２３はリーク検出装置、２５は粗排気手段（減
圧手段）、２６はプリテスト手段（ガス検出手段）、２
７は本排気手段（減圧手段）、２８は本テスト手段（ガ
ス検出手段）である。 出願人 東京芝浦電気株式会社 第 １ｒｙＪ ＠２図 第 ３ 閲
ム全体の系統図、窮２図（＆）はリーク検出装置におけ
る行程図、同じく（ｂ）は密閉室内の圧力変化特性を示
す図、第５図（ａ）は検出ガス封入・回収装置における
行程図、同じ＜（ｂ）は冷−替有弘圧力変化特性を示す
図である。 図中、１は密閉室形成器、３はぺμジャ、６は密閉室、
７は冷却ユニット（被検体）、１０は検出ガス封入・回
収装置、２３はリーク検出装置、２５は粗排気手段（減
圧手段）、２６はプリテスト手段（ガス検出手段）、２
７は本排気手段（減圧手段）、２８は本テスト手段（ガ
ス検出手段）である。 出願人 東京芝浦電気株式会社 第 １ｒｙＪ ＠２図 第 ３ 閲
Claims (1)
- ！、 被検体としての冷却ユニットを密閉状態に包囲す
る密閉１１ｓ成器と、この密閉ｗ１形成器内の前記冷却
ユニットに接続され該冷却ユニットにヘリウムガスから
なる検出ガスを封入し所定時に回収する検出ガス封入・
回収装置と、前記密閉室形成−内に連通して設けられ該
密閉室形成＃内を減圧する減圧手段及び該密閉案形成器
内に含まれる検出ガス管検出するガス検出子ｆｆを有す
るリーク検出装置と會具備して成る冷却ユニットのガス
リーク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3098382A JPS58147628A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | 冷却ユニツトのガスリ−ク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3098382A JPS58147628A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | 冷却ユニツトのガスリ−ク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58147628A true JPS58147628A (ja) | 1983-09-02 |
Family
ID=12318864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3098382A Pending JPS58147628A (ja) | 1982-02-26 | 1982-02-26 | 冷却ユニツトのガスリ−ク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58147628A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02122234A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-09 | Shimadzu Corp | リークテスト装置 |
| US6742384B2 (en) * | 2002-07-02 | 2004-06-01 | Carrier Corporation | Trace gas management system for leak detection operations |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5249997A (en) * | 1975-10-17 | 1977-04-21 | Titanium Tech Australia | Method of oxidizing titaniumm containing ore |
| JPS541685A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-08 | Ulvac Corp | Leak testing apparatus |
| JPS5616364A (en) * | 1979-07-20 | 1981-02-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Picture signal adding system for facsimile storage converting device |
| JPS56143940A (en) * | 1980-04-09 | 1981-11-10 | Shimadzu Corp | Leakage inspecting system |
-
1982
- 1982-02-26 JP JP3098382A patent/JPS58147628A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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