JP6180209B2 - 漏洩検知装置 - Google Patents
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- 真空ポンプが接続されるテストチャンバと、テストチャンバから真空ポンプに通じる排気管に開閉弁を介して接続される質量分析管とを備え、テストチャンバ内に試験体を設置し、試験体にトレーサガスを導入し、質量分析管によりトレーサガスの当該試験体からの漏洩を検知する漏洩検知装置において、
テストチャンバ内に設置される試験体に着脱自在に直結される切換弁を更に備え、切換弁は、試験体内とテストチャンバ内とを連通する排気通路と、試験体内にトレーサガスを導入する導入通路とを少なくとも有し、
前記テストチャンバに試験体を移送し得る検知準備位置と、試験体に対し前記切換弁の脱着が行われる搬送準備位置との間で試験体を搬送する搬送手段と、
検知準備位置からテストチャンバ内の検知位置に試験体を移送すると共に、テストチャンバを密閉する移送手段と、
検知位置にて試験体内にトレーサガスを供給するガス供給手段とを備え、
搬送手段及び移送手段により試験体を搬送し、真空ポンプにより密閉状態のテストチャンバを所定圧力まで真空引きしながら、切換弁の排気通路を介して試験体内部を真空引きし、テストチャンバが所定圧力に到達すると、切換弁を切り換えてガス供給手段により導入通路を介してトレーサガスを試験体内に導入することを特徴とする漏洩検知装置。 - 前記テストチャンバの下面が開口しているものとし、前記搬送手段は回転駆動自在な回転テーブルであり、
前記移送手段は、前記回転テーブルの上面にその周方向に所定間隔で配置された、試験体を支持する少なくとも2つの支持板と、前記回転テーブルを貫通して支持板を持ち上げ、支持板のうち試験体の周囲に位置する部分をテストチャンバの下面に当接させる駆動手段とを有し、
前記支持板がテストチャンバを密閉することを特徴とする請求項1記載の漏洩検知装置。 - 前記質量分析管は、試験体が配置されるテストチャンバから真空ポンプに通じる排気管内に挿設され、
前記排気管内の流線方向に対して開口する開口部を備えたガイド管と開閉弁を介して接続されたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の漏洩検知装置。
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