WO2019181853A1

WO2019181853A1 - 三方弁装置のリークの有無を検査する検査装置及び検査方法

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Publication number: WO2019181853A1
Application number: PCT/JP2019/011182
Authority: WO
Inventors: 広高池上
Original assignee: 伸和コントロールズ株式会社
Priority date: 2018-03-19
Filing date: 2019-03-18
Publication date: 2019-09-26
Also published as: US20210025778A1; US11293830B2; JP2019163951A; KR20200130857A; TW201940812A; JP7209992B2; CN111868494A

Abstract

本発明は、第１開口及び第２開口が封止用パーツによって封止された状態の三方弁装置を支持する検査台と、検査台を貫通して設けられ三方弁装置が検査台に支持された状態で第３開口と気密に連通する連通孔と、三方弁装置を覆って連通孔を除く密閉空間を形成する包囲体と、連通孔及び第３開口を介して三方弁装置内にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給路と、密閉空間内へのヘリウムガスのリークの有無を判定するリークテスタ装置と、ヘリウムガスを第３開口及び連通孔を介して吸引排出するためのヘリウムガス吸引排出路と、を備えた検査装置である。ヘリウムガス吸引排出路は、圧縮空気路の一部と連通孔とを連通して、圧縮空気の流れを吸引力として利用して三方弁装置内のヘリウムガスを圧縮空気路へと引き込む。

Description

三方弁装置のリークの有無を検査する検査装置及び検査方法

　本発明は、三方弁装置のリークの有無を検査する検査装置に関している。また、本発明は、三方弁装置のリークの有無を検査する検査方法に関している。

　各種の三方弁装置が、多くの用途において利用されている。例えば、本件出願人による特許第６１０４４４３号公報には、二種類の流体の混合比を精度良く制御することが可能な流量制御用三方弁が開示されている。

　図１１は、当該流量制御用三方弁の外観斜視図であり、図１２は、当該流量制御用三方弁の縦断面図であり、図１３は、当該流量制御用三方弁の分解斜視図である。

　流量制御用三方弁１は、図１１に示すように、下部に配置されたバルブ部２と、上部に配置されたアクチュエータ部３と、バルブ部２とアクチュエータ部３との間に配置されたシール部４及びカップリング部５と、から構成されている。

　バルブ部２は、図１２及び図１３に示すように、ＳＵＳ等の金属により略直方体状に形成されたバルブ本体６を備えている。

　バルブ本体６の左側面に、第１流体（例えば低温側流体）が流入する第１開口７と、円柱形状の弁座８に連通した断面矩形状の第１弁口９と、がそれぞれ開口されている。

　更に、バルブ本体６の左側面には、第１流体（例えば低温側流体）を流入させる配管を接続するための第１フランジ部材１０が、４本の六角穴付きボルト１１により取り付けられている。第１フランジ部材１０は、バルブ本体６と同様に、ＳＵＳ等の金属により形成されている。

　第１フランジ部材１０は、バルブ本体６の側面形状と同一の形状である矩形状に形成されたフランジ部１２と、フランジ部１２の内側面に薄肉の円筒形状に突設された挿入部１３と、フランジ部１２の外側面に厚肉の円筒形状に突設された配管接続部１４と、を有している。

　バルブ本体６の第１開口７の外側内周端には、第１フランジ部材１０のフランジ部１２との間にＯリング１５を装着するための面取り１６が施されている。

　一方、バルブ本体６の右側面に、第２流体（例えば高温側流体）が流入する第２開口１７と、円柱形状の弁座８に連通した断面矩形状の第２弁口１８と、がそれぞれ開口されている。

　更に、バルブ本体６の右側面には、第２流体（例えば高温側流体）を流入させる配管を接続するための第２フランジ部材１９が、４本の六角穴付きボルト２０により取り付けられている。第２フランジ部材１９は、第１のフランジ部材１０と同様に、ＳＵＳ等の金属により形成されている。

　第２フランジ部材１９は、バルブ本体６の側面形状と同一の形状である矩形状に形成されたフランジ部２１と、フランジ部２１の内側面に薄肉の円筒形状に突設された挿入部２２と、フランジ部２１の外側面に厚肉の略円筒形状に突設された配管接続部２３と、を有している。

　バルブ本体６の第２開口１７の外側内周端には、第２フランジ部材１９のフランジ部２１との間にＯリング２４を装着するための面取り２５が施されている。

　また、バルブ本体６の下端面に、第１流体（例えば低温側流体）と第２流体（例えば高温側流体）とが混合された第３流体（例えば温度制御流体）が流出する第３開口２６が開口されている。

　更に、バルブ本体６の下端面には、第３流体（例えば温度制御流体）を流出させる配管を接続するための第３フランジ部材２７が、４本の六角穴付きボルト２８により取り付けられている。第３フランジ部材２７は、第１及び第２フランジ部材１０，１９と同様に、ＳＵＳ等の金属により形成されている。

　第３フランジ部材２７は、バルブ本体６の下端面形状より小さい平面視矩形状に形成されたフランジ部２９と、フランジ部２９の上端面に薄肉の円筒形状に突設された挿入部３０と、フランジ部２９の下端面に厚肉の略円筒形状に突設された配管接続部３１と、を有している。

　バルブ本体６の第３開口２６の下端内周端には、第３フランジ部材２７のフランジ部２９との間にＯリング３２を装着するための面取り３３が施されている。

　そして、バルブ本体６の中央に、後述する弁軸３４の外形に対応して円柱形状に形成された弁座８が設けられている。弁軸３４も、ＳＵＳ等の金属により形成されている。

　図１４は、弁軸３４の斜視図である。図１４に示すように、弁軸３４の外形は略円柱形状に形成されている。弁軸３４は、大別して、弁体として機能する弁体部３５と、当該弁体部３５の上下にそれぞれ設けられて弁軸３４を回転自在に支持する上軸支部３６及び下軸支部３７と、上軸支部３６の上部に設けられたシール部３８と、シール部３８の上部にテーパ部３９を介して設けられたカップリング部４０と、を一体的に有している。上軸支部３６及び下軸支部３７は、弁体部３５の外径より小さい同一の直径を有するように設定された円筒形状に形成されている。

　下軸支部３７は、図１２に示すように、バルブ本体６に設けられた弁座８の下端部において、ベアリング４１を介して回転自在に支持されている。弁座８の下端部には、ベアリング４１を支持する環状の支持部４２が内周へ向けて突出するよう設けられている。

　ベアリング４１、支持部４２及び第３フランジ部材２７の挿入部３０は、同一の内径に設定されている。これにより、弁体部３５の内部を通過した第３流体は、抵抗を殆ど受けることなく、第３フランジ部材２７の接続部３１から流出するようになっている。

　一方、上軸支部３６には、スラストワッシャー４３が装着されており、弁軸３４が後述するシール筐体５３に押圧されることで発生する負荷が低減されている。

　シール部４は、図１２に示すように、弁軸３４を液密状態に密封するように機能する。シール部４は、弁軸３４を挿通する挿通孔５２を有する円筒形状に形成されたシール筐体５３を有している。シール筐体５３も、ＳＵＳ等の金属により形成されている。

　シール筐体５３は、バルブ本体６の上端面に設けられた円柱形状の凹部５４に、シール剤を塗布した状態で挿入固定されるか、あるいは、螺着等を利用して、バルブ本体６に密封された状態で装着される。

　シール筐体５３の内周面に、弁軸３４を密封する２つのＯリング５５、５６が上下に配置されている。シール部材５５、５６としては、例えば、耐熱性、耐油性、耐候性に優れた水素化されたアクリロニトリル・ブタジエンゴム（Ｈ－ＮＢＲ）製のＯリングが用いられる。シール筐体５３は、バルブ本体６の凹部５４において、平行ピン５７によって位置合わせされて装着されている。

　カップリング部５は、シール部４が内蔵されたバルブ本体６とアクチュエータ部３との間に配置されている。カップリング部５は、弁軸３４と当該弁軸３４を回転させるアクチュエータ部３の回転軸５８とを連結するように機能する。カップリング部５は、シール部４とアクチュエータ部３の間に配置されたスペーサ部材５９と、スペーサ部材５９の上部に固定されたアダプタプレート６０と、スペーサ部材５９及びアダプタプレート６０の内部空間６１に収容されて弁軸３４と回転軸５８とを連結するカップリング部材６２と、から構成されている。

　先行技術文献としては、前述の特許第６１０４４４３号公報が挙げられる。

　前述した流量制御用三方弁１は、第１開口７、第２開口１７及び第３開口２６を有しており、三方弁装置の一例である。そして、流量制御用三方弁１は、各要素部材を液密に接続するために、各開口に対応して３つのＯリング１５、２４、３２が設けられており、また、弁軸３４の密封のため２つのＯリング５５、５６が設けられている。

　これらのＯリング１５、２４、３２、５５、５６が十分な機能を維持できなければ、流量制御用三方弁１は、いわゆるリークを発生させることになる。

　また、Ｏリング１５、２４、３２、５５、５６以外にも、各要素部材に何らかの欠陥（過度な寸法誤差を含む）が存在している場合、流量制御用三方弁１がリークを発生させるおそれがある。

　本件出願人は、三方弁装置の製造業者であるが、以上のような背景の下で、製造後の三方弁装置のリークの有無を全数検査している。

　具体的には、三方弁装置のリークの有無を検査するため、三方弁装置の２つの開口を封止し、残りの１つの開口から三方弁装置内へヘリウムガスを供給し、三方弁装置からヘリウムガスのリークが生じているか否かを検査している。

　より詳しくは、三方弁装置を包囲体で覆って未封止の１つの開口を除く密閉空間を形成し、当該包囲体内のガスを吸引し、吸引したガスの中にヘリウムガスが含まれているか否かをテスタ（例えば、ＭＳＥ－２４００：島津製作所製）で検査している。

　ここで、１つの三方弁装置を検査した後、当該三方弁装置の内部には、供給されたヘリウムガスが残存している。ヘリウムガスの毒性は高くないが、検査作業環境に拡散することは好ましくないため、この残存したヘリウムガスを適切に排出することが必要である。更に、検査の迅速化を図るためには、この排出が迅速に実施されることが必要である。

　しかしながら、従来においては、この残存したヘリウムガスを適切且つ迅速に排出する装置が開発されていなかった。

　本発明は、以上の知見に基づいて創案されたものである。本発明の目的は、三方弁装置のリークの有無を検査する検査装置及び検査方法であって、検査後に三方弁装置内に残存するヘリウムガスを適切且つ迅速に排出することができる検査装置及び検査方法を提供することである。

　本発明は、第１開口、第２開口及び第３開口を有する三方弁装置のリークの有無を検査する検査装置であって、前記第１開口及び前記第２開口の各々を気密に封止するための封止用パーツと、前記第１開口及び前記第２開口が前記封止用パーツによって封止された状態の前記三方弁装置を支持する検査台と、前記検査台を貫通して設けられ、前記三方弁装置が前記検査台に支持された状態で前記第３開口と気密に連通する連通部と、前記三方弁装置が前記検査台に支持された状態で、前記三方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する包囲体と、前記包囲体によって前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記第３開口を介して前記三方弁装置内にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給路と、前記三方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定するリークテスタ装置と、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記三方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記第３開口及び前記連通部を介して吸引排出するためのヘリウムガス吸引排出路と、を備え、前記ヘリウムガス吸引排出路は、少なくとも前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後において、圧縮空気が通流される圧縮空気路と、前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記三方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込むガス引き込み路と、を有していることを特徴とする検査装置である。

　本発明によれば、圧縮空気の流れを吸引力として利用して三方弁装置内のヘリウムガスを圧縮空気路へと引き込むことにより、当該ヘリウムガスを適切且つ迅速に排出することができる。

　好ましくは、前記包囲体は、前記密閉空間を形成する位置と、前記密閉空間を開放する位置と、の間で移動可能である。

　この場合、包囲体を移動することによって、三方弁装置に対する密閉空間の形成状態（リーク判定時）と開放状態（三方弁装置の取り付け及び取り出し時）とを、容易に切り替えることができる。

　また、前記ヘリウムガス供給路には、前記連通部及び前記第３開口を介しての前記三方弁装置内への前記ヘリウムガスの供給の開始／停止を制御するヘリウムガス供給制御弁が設けられており、前記圧縮空気路には、当該圧縮空気路における前記圧縮空気の通流の開始／停止を制御する圧縮空気通流制御弁が設けられており、前記ガス引き込み路には、前記圧縮空気路の一部と前記連通部との連通の開始／停止（遮断）を制御するガス引き込み制御弁が設けられていることが好ましい。

　この場合、各制御弁を制御することによって、三方弁装置内へのヘリウムガスの供給の開始／停止、圧縮空気路における圧縮空気の通流の開始／停止、及び、三方弁装置内のヘリウムガスの圧縮空気路への引き込みの開始／停止、を容易に制御することができる。

　また、更にこの場合、包囲体の移動と、ヘリウムガス供給制御弁の動作と、圧縮空気通流制御弁の動作と、ガス引き込み制御弁の動作と、が制御装置によって自動的に制御されることが好ましい。

　これによれば、三方弁装置のリークの有無の検査を、半自動的ないし自動的に実施することが容易となる。

　また、本発明は、第１開口、第２開口及び第３開口を有する三方弁装置のリークの有無を検査する検査方法であって、前記第１開口及び前記第２開口の各々を気密に封止する工程と、前記第３開口を検査台の連通部と気密に連通させながら、前記第１開口及び前記第２開口が封止された前記三方弁装置を当該検査台によって支持する工程と、前記三方弁装置が前記検査台に支持された状態で、包囲体によって前記三方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する工程と、前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記第３開口を介して前記三方弁装置内にヘリウムガスを供給する工程と、前記三方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定する工程と、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記三方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記第３開口及び前記連通部を介して吸引排出する工程と、を備え、前記ヘリウムガスを吸引排出する工程は、圧縮空気路に圧縮空気を通流させる工程と、前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記三方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込む工程と、を有していることを特徴とする検査方法である。

　本発明方法は、前記ヘリウムガスを吸引排出する工程の後、前記包囲体が移動して前記密閉空間を開放する工程を更に備えることが好ましい。

　これによれば、三方弁装置に対する密閉空間の形成状態（リーク判定時）と開放状態（三方弁装置の取り付け及び取り出し時）とを、容易に切り替えることができる。

　また、前記ヘリウムガスを供給する工程は、前記連通部及び前記第３開口を介しての前記三方弁装置内への前記ヘリウムガスの供給を開始するようにヘリウムガス供給制御弁を制御する工程を有しており、前記圧縮空気を通流させる工程は、当該圧縮空気路における前記圧縮空気の通流を開始するように圧縮空気通流制御弁を制御する工程を有しており、前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込む工程は、前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通するようにガス引き込み制御弁を制御する工程を有していることが好ましい。

　この場合、各制御弁を制御することによって、三方弁装置内へのヘリウムガスの供給の開始、圧縮空気路における圧縮空気の通流の開始、及び、三方弁装置内のヘリウムガスの圧縮空気路への引き込みの開始、を容易に制御することができる。

　なお、本発明の原理は、四方弁以上の多方弁装置の検査に対しても有効である。すなわち、本発明は、少なくとも２つの開口と更なる第３開口とを有する多方弁装置のリークの有無を検査する検査装置であって、前記少なくとも２つの開口の各々を気密に封止するための封止用パーツと、前記少なくとも２つの開口が前記封止用パーツによって封止された状態の前記多方弁装置を支持する検査台と、前記検査台を貫通して設けられ、前記多方弁装置が前記検査台に支持された状態で前記第３開口と気密に連通する連通部と、前記多方方弁装置が前記検査台に支持された状態で、前記多方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する包囲体と、前記包囲体によって前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記第３開口を介して前記多方弁装置内にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給路と、前記多方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定するリークテスタ装置と、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記多方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記第３開口及び前記連通部を介して吸引排出するためのヘリウムガス吸引排出路と、を備え、前記ヘリウムガス吸引排出路は、少なくとも前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後において、圧縮空気が通流される圧縮空気路と、前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記多方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込むガス引き込み路と、を有していることを特徴とする検査装置である。

　あるいは、本発明は、少なくとも２つの開口と更なる第３開口とを有する多方弁装置のリークの有無を検査する検査方法であって、前記少なくとも２つの開口の各々を気密に封止する工程と、前記第３開口を検査台の連通部と気密に連通させながら、前記少なくとも２つの開口が封止された前記多方弁装置を当該検査台によって支持する工程と、前記多方弁装置が前記検査台に支持された状態で、包囲体によって前記多方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する工程と、前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記第３開口を介して前記多方弁装置内にヘリウムガスを供給する工程と、前記多方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定する工程と、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記多方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記第３開口及び前記連通部を介して吸引排出する工程と、を備え、前記ヘリウムガスを吸引排出する工程は、圧縮空気路に圧縮空気を通流させる工程と、前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記多方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込む工程と、を有していることを特徴とする検査方法である。

　更に、本発明の原理は、二方弁装置の検査に対しても有効である。すなわち、本発明は、２つの開口を有する二方弁装置のリークの有無を検査する検査装置であって、前記２つの開口のうちの一方の開口を気密に封止するための封止用パーツと、前記一方の開口が前記封止用パーツによって封止された状態の前記二方弁装置を支持する検査台と、前記検査台を貫通して設けられ、前記二方弁装置が前記検査台に支持された状態で前記２つの開口のうちの他方の開口と気密に連通する連通部と、前記二方弁装置が前記検査台に支持された状態で、前記二方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する包囲体と、前記包囲体によって前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記他方の開口を介して前記三方弁装置内にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給路と、前記二方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定するリークテスタ装置と、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記二方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記他方の開口及び前記連通部を介して吸引排出するためのヘリウムガス吸引排出路と、を備え、前記ヘリウムガス吸引排出路は、少なくとも前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後において、圧縮空気が通流される圧縮空気路と、前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記二方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込むガス引き込み路と、を有していることを特徴とする検査装置である。

　あるいは、本発明は、２つの開口を有する二方弁装置のリークの有無を検査する検査方法であって、前記２つの開口のうちの一方の開口を気密に封止する工程と、前記２つの開口のうちの他方の開口を検査台の連通部と気密に連通させながら、前記一方の開口が封止された前記二方弁装置を当該検査台によって支持する工程と、前記二方弁装置が前記検査台に支持された状態で、包囲体によって前記二方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する工程と、前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記他方の開口を介して前記二方弁装置内にヘリウムガスを供給する工程と、前記二方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定する工程と、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記二方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記他方の開口及び前記連通部を介して吸引排出する工程と、を備え、前記ヘリウムガスを吸引排出する工程は、圧縮空気路に圧縮空気を通流させる工程と、前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記二方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込む工程と、を有していることを特徴とする検査方法である。

本発明の一実施形態に係る検査装置の概略図である。図１の検査装置の検査台近傍の拡大概略図である。図１の検査装置における、三方弁装置内へのヘリウムガス供給時の概略図である。図１の検査装置における、密閉空間の真空引き時の概略図である。図１の検査装置における、三方弁装置内から密閉空間へのリーク判定時の概略図である。図１の検査装置における、密閉空間の大気圧復帰時の概略図である。図１の検査装置における、圧縮空気路の圧縮空気通流時の概略図である。図１の検査装置における、三方弁装置内から圧縮空気路へのヘリウムガス吸引排出時の概略図である。図１の検査装置における、三方弁装置内の大気圧復帰時の概略図である。本発明の他の実施形態に係る検査装置の検査台近傍の拡大概略図である。三方弁装置の一例である流量制御用三方弁の概略斜視図である（特許第６１０４４４３号公報の図１に対応する）。図１１の流量制御用三方弁の縦断面図である（特許第６１０４４４３号公報の図３に対応する）。図１１の流量制御用三方弁の分解斜視図である（特許第６１０４４４３号公報の図４に対応する）。図１１乃至図１３の流量制御用三方弁における弁軸の斜視図である（特許第６１０４４４３号公報の図６（ａ）に対応する）。

　以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。　

　図１は、本発明の一実施形態に係る検査装置１００の概略図である。当該検査装置１００は、三方弁装置１のリークの有無を検査する検査装置である。

　図１に示すように、本実施形態に係る検査装置１００は、三方弁装置１が載置される略水平な上面を有する検査台１１０を備えている。検査台１１０の中央領域に、当該検査台１１０を鉛直方向に貫通する２つの連通孔３１０、６１０（それぞれが連通部の一部を構成する。もっとも、検査台１１０内で１つに融合（連通）されていてもよい。）が設けられており、検査台１１０の周辺領域に、当該検査台１１０を鉛直方向に貫通する１つの検査孔４１０が設けられている。

　図２は、検査台１１０の近傍の拡大概略図である。図２の検査台１１０には、検査対象の三方弁装置１として、前述した流量制御用三方弁が載置されている。図２に示すように、三方弁装置１が検査台１１０に載置（支持）された状態において、流量制御用三方弁１の第３開口２６が、Ｏリング１１６を介して、連通孔３１０、６１０と気密に連通するようになっている（Ｏリング１１６の内側に連通孔３１０、６１０が設けられている）。Ｏリング１１６は、例えば、載置台１１０の上面に形成されたシール溝１１５に収容されている。

　一方、三方弁装置１の第１開口７及び第２開口１７の各々には、これらを気密に封止するための封止用パーツ２０１、２０２が、例えばＯリングを介して、気密に接続されている。封止用パーツ２０１、２０２は、例えば矩形の平板状であって、例えば不図示のボルトを用いて、第１フランジ部材１０及び第２フランジ部材１９に固定されている。

　三方弁装置１が検査台１１０に載置（支持）された状態を固定するために、本実施形態の載置台１１０の上面には、２本の柱部材１１１、１１２が立設されている。そして、各柱部材１１１、１１２の上部において、当該柱部材１１１、１１２に対して回動可能な保持アーム１１３、１１４が設けられている。これにより、Ｏリング１１６を圧縮した状態で当該保持アーム１１３、１１４を図２の位置に回動することで、三方弁装置１のバルブ部２の上面（具体的には第１フランジ部材１０及び第２フランジ部材１９の各上面）が下向きに押さえ付けられ、三方弁装置１が検査台１１０上に固定されるようになっている。

　続いて、本実施形態の検査装置１００は、図２のように三方弁装置１が検査台１１０に支持され且つ第１開口７及び第２開口１７が封止用パーツ２０１、２０２によって封止された状態で、三方弁装置１を覆って連通孔３１０、６１０を除く密閉空間を形成する包囲体４００を備えている。

　図１に示すように、本実施形態の包囲体４００は、三方弁装置１の上方及び側方を覆うと共に、検査台１１０の上面と気密に当接することによって（公知の任意のシール機構が採用され得る）、連通孔３１０、６１０を除く密閉空間を形成するようになっている。

　また、本実施形態の包囲体４００は、エアシリンダ４０７によって上下移動可能となっており、当該エアシリンダ４０７は、例えばコンピュータからなる制御装置４０８によって制御されるようになっている。これにより、検査台１１０の上面と気密に当接して密閉空間を形成する状態と、検査台１１０の上面から離れて密閉空間を開放する状態と、を容易に自在に切り替えられるようになっている。

　続いて、本実施形態の検査装置１００は、図１に示すように、包囲体４００によって密閉空間が形成された状態で、一方の連通孔３１０（連通部の一部）及び第３開口２６を介して三方弁装置１内にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給路３０２を備えている。

　ヘリウムガス供給路３０２は、ヘリウムガス供給源３０１から始まり、レギュレータ３０３及びヘリウムガス供給制御弁３０４を介して、連通孔３１０に気密に接続されている。ヘリウムガス供給制御弁３０４も、制御装置４０８によって制御されるようになっている。

　また、本実施形態の検査装置１００は、図１に示すように、三方弁装置１内にヘリウムガスが供給された後、密閉空間内への当該ヘリウムガスのリークの有無を判定するリークテスタ装置４０１（例えば、ＭＳＥ－２４００：島津製作所製）を備えている。リークテスタ装置４０１も、制御装置４０８によって制御されるようになっている。

　本実施形態では、リークテスタ装置４０１と検査孔４１０とが、リーク検査路４０２によって気密に接続されている。リークテスタ装置４０１は、内部に真空ポンプ４０５を有しており、検査孔４１０を介して密閉空間内を真空引きできるようになっている（例えば３Ｐａ未満まで減圧できるようになっている）。そして、リークテスタ装置４０１は、真空引きされた密閉空間に向けて三方弁装置１からヘリウムガスがリークするか否かを検出できるようになっている（例えば、６０秒間に亘ってのヘリウムガスの検出量が５×１０^-7Ｐａ・ｍ³ ／ｓｅｃ以下であればリーク無しと判定し、当該値を超えていればリーク有りと判定する）。更に、リークテスタ装置４０１は、真空ポンプ４０５を用いて密閉空間内を真空引きして三方弁装置１のリークの有無を判定した後、リーク検査路４０２を大気に開放することによって密閉空間内を大気圧復帰させることもできるようになっている。

　また、本実施形態の検査装置１００は、図１に示すように、三方弁装置１から密閉空間内へのヘリウムガスのリークの有無を判定した後、三方弁装置１内に供給されたヘリウムガスを第３開口２６及び他方の連通孔６１０（連通部の一部）を介して吸引排出するためのヘリウムガス吸引排出路５０２、６０２を備えている。

　本実施形態のヘリウムガス吸引排出路５０２、６０２は、圧縮空気が通流される圧縮空気路５０２と、圧縮空気路５０２の途中に設けられたイジェクタ５０５と連通孔６１０とを気密に連通するガス引き込み路６０２と、を有している。

　圧縮空気路５０２は、圧縮空気供給源５０１から始まり、レギュレータ５０３及び圧縮空気通流制御弁５０４を介してイジェクタ５０５に至り、当該イジェクタ５０５においてガス引き込み路６０２と合流した後、不図示の大気開放路へと延びている。

　本実施形態においては、圧縮空気路５０２における圧縮空気の通流は、制御装置４０８による圧縮空気通流制御弁５０４の制御によって、少なくとも三方弁装置１から密閉空間内へのヘリウムガスのリークの有無が判定された後において、実施されるようになっている。

　また、本実施形態においては、圧縮空気路５０２のイジェクタ５０５と連通孔６１０との連通の開始／停止が、ガス引き込み制御弁６０４によって制御されるようになっている。ガス引き込み制御弁６０４も、制御装置４０８によって制御されるようになっている。そして、圧縮空気路５０２のイジェクタ５０５と連通孔６１０とが連通することにより、圧縮空気の流れが吸引力として作用して、三方弁装置１内のヘリウムガスが圧縮空気路５０２へと引き込まれるようになっている。

　次に、本実施形態の検査装置１００を用いた検査方法の一例について説明する。

　まず、検査対象の三方弁装置１の第１開口７及び第２開口１７の各々に、例えばＯリングを介して、封止用パーツ２０１、２０２が気密に接続される。封止用パーツ２０１、２０２は、例えば不図示のボルトを用いて、第１フランジ部材１０及び第２フランジ部材１９に固定される。

　一方、初期状態の包囲体４００は、検査台１１０の上面から離れて密閉空間を開放した状態となっている。そして、封止用パーツ２０１、２０２によって第１開口７及び第２開口１７が封止された三方弁装置１が、第３開口２６が下向きとなる姿勢で、且つ、当該第３開口２６がＯリング１１６の内側に収まるように位置決めされながら、検査台１１０上に載置される。

　更に、Ｏリング１１６を圧縮した状態で保持アーム１１３、１１４を図２の位置に回動することで、三方弁装置１のバルブ部２の上面（具体的には第１フランジ部材１０及び第２フランジ部材１９の各上面）が下向きに押さえ付けられ、三方弁装置１が検査台１１０上に固定される。

　ここまでの各作業（工程）は、検査作業者の手作業で実施される。

　続いて、例えば検査作業者の検査開始入力に基づいて、制御装置４０８がエアシリンダ４０７を制御して、包囲体４００が下降する。そして、図１に示すように、本実施形態の包囲体４００は、三方弁装置１の上方及び側方を覆うと共に、検査台１１０の上面と気密に当接することによって、連通孔３１０、６１０を除く密閉空間を形成する。この状態で、包囲体４００の下降は停止する。

　続いて、制御装置４０８がヘリウムガス供給制御弁３０４を制御して、連通孔３１０及び第３開口２６を介しての三方弁装置１内へのヘリウムガスの供給を開始する。この状態が図３に図示されている。これにより、三方弁装置１内において第３開口２６と連通している領域にヘリウムガスが行き渡る。なお、レギュレータ３０３の作用により、ヘリウムガスの供給圧は例えば０．４５ＭＰａに調整される。

　ヘリウムガスの供給は、例えば所定の時間だけ実施される。すなわち、当該所定の時間の経過後、制御装置４０８がヘリウムガス供給制御弁３０４を制御して、連通孔３１０及び第３開口２６を介しての三方弁装置１内へのヘリウムガスの供給を停止する。

　続いて、制御装置４０８がリークテスタ装置４０１を制御して、検査孔４１０を介しての密閉空間内の真空引きを開始する。この状態が図４に図示されている。これにより、密閉空間内は、例えば３Ｐａ未満にまで減圧される。

　そして、このような減圧条件下で、三方弁装置１のリークの有無が判定される。具体的には、リークテスタ装置４０１が真空引き後の密閉空間からのヘリウムガスを検出して、例えば６０秒間に亘ってのヘリウムガスの検出量が５×１０^-7Ｐａ・ｍ³ ／ｓｅｃ以下であればリーク無しと判定し、当該値を超えていればリーク有りと判定する。この状態が図５に図示されている。

　リークの有無の判定後、リークテスタ装置４０１は、リーク検査路４０２を大気に開放することによって、密閉空間内を大気圧復帰させる。この状態が図６に図示されている。その後、制御装置４０８がリークテスタ装置４０１を制御して、リークテスタ装置４０１の作動を停止させる。

　密閉空間内を大気圧復帰させた後、あるいは、密閉空間内を大気圧復帰させる工程と平行して、制御装置４０８が圧縮空気通流制御弁５０４を制御して、圧縮空気路５０２における圧縮空気の通流を開始する。この状態が図６に図示されている。レギュレータ５０３の作用により、圧縮空気の供給圧は例えば０．５５ＭＰａに調整される。

　続いて、制御装置４０８がガス引き込み制御弁６０４を制御して、圧縮空気路５０２のイジェクタ５０５と連通孔６１０とを連通させる。これにより、圧縮空気の流れが吸引力として作用して、三方弁装置１内のヘリウムガスがイジェクタ５０５を介して圧縮空気路５０２へと引き込まれる。この状態が図８に図示されている。

　ヘリウムガスの吸引排出は、例えば所定の時間だけ実施される。すなわち、当該所定の時間の経過後、制御装置４０８が圧縮空気通流弁５０４を制御して、圧縮空気の通流を停止する。これにより、圧縮空気供給路５０２に接続された不図示の大気開放路から圧縮空気路５０２へと大気が逆流し、当該大気はガス引き込み路６０２及び連通孔６１０を介して三方弁装置１内に至って、三方弁装置１内を大気圧に復帰させる。この状態が図９に図示されている。

　その後、制御装置４０８がエアシリンダ４０７を制御して、包囲体４００が上昇する。そして、再び検査作業者の手作業で、検査終了後の三方弁装置１が検査台１１０から取り外され、次の検査対象の三方弁装置が検査台１１０に取り付けられる。そして、制御装置４０８による包囲体４００の下降以後の自動工程が繰り返される。

　以上の通り、本実施形態によれば、圧縮空気の流れを吸引力として利用して三方弁装置１内に残存するヘリウムガスを圧縮空気路５０２へと引き込むことにより、当該ヘリウムガスを適切且つ迅速に排出することができる。

　また、本実施形態によれば、包囲体４００が、エアシリンダ４０７によって、密閉空間を形成する位置と密閉空間を開放する位置との間で移動可能である。これにより、三方弁装置１に対する密閉空間の形成状態（リーク判定時）と開放状態（三方弁装置１の取り付け及び取り出し時）とを、容易に切り替えることができる。

　また、本実施形態によれば、ヘリウムガス供給制御弁３０４、圧縮空気通流制御弁５０４及びガス引き込み制御弁６０４を適宜に制御することによって、三方弁装置１内へのヘリウムガスの供給の開始／停止、圧縮空気路５０２における圧縮空気の通流の開始／停止、及び、三方弁装置１内のヘリウムガスの圧縮空気路５０２への引き込みの開始／停止、を容易に自在に制御することができる。

　また、本実施形態によれば、包囲体４００の移動と、ヘリウムガス供給制御弁３０４の動作と、圧縮空気通流制御弁５０４の動作と、ガス引き込み制御弁６０４の動作と、が制御装置４０８によって自動的に制御されるため、三方弁装置１のリークの有無の検査を半自動的に実施することができる。

　なお、検査台１１０に対する三方弁装置１の固定方法は、前記実施形態のように回動する保持アーム１１３、１１４を用いる態様に限定されないで、任意の公知の構成（仕組み）が採用され得る。

　また、連通孔３１０、６１０及び検査孔４１０は、検査台１１０内を鉛直方向に延びているが、そのような態様に限定されないで、それぞれ検査台１１０の下面において開口する代わりに、検査台１１０の側面において開口していてもよい。

　更に、本発明においては、検査台による三方弁装置１の支持姿勢自体も、前記実施形態に限定されない。例えば、第３開口２６が横向きとなる姿勢で、鉛直方向に延在する当接面に設けられたＯリングの内側に収まるように位置決めされながら、三方弁装置１が検査台に固定されてもよい。この場合、第３開口２６と連通するための連通孔３１０、６１０も、当該鉛直方向に延在する当接面において開口される。

　また、本発明の原理は、四方弁以上の多方弁装置の検査に対しても有効である。その場合、検査対象の多方弁装置の第３開口２６を除いた全ての開口の各々に、例えばＯリングを介して、封止用パーツが気密に接続される。

　多方弁装置に対する検査装置のその他の構成、及び、当該検査装置の使用方法（検査方法）は、前述の実施形態（三方弁装置に対する検査装置）と実質的に同じであるから、それらの詳細な説明は省略する。

　更に、本発明の原理は、二方弁装置の検査に対しても有効である。この場合の実施形態の検査台近傍の拡大概略図を、図１０に示す。図１０に示すように、検査対象の二方弁装置７０１の一方の開口７０７に、例えばＯリングを介して、封止用パーツ８０１が気密に接続される。

　そして、封止用パーツ８０１によって一方の開口７０７が封止された二方弁装置７０１が、他方の開口７１７が下向きとなる姿勢で、且つ、当該他方の開口７１７がＯリング１１６の内側に収まるように位置決めされながら、検査台１１０上に載置される。

　更に、Ｏリング１１６を圧縮した状態で、柱部材９１１、９１２に対して回動可能な保持アーム９１３、９１４を図１０の位置に回動することで、例えば封止用パーツ８０１の上面を介して二方弁装置７０１が下向きに押さえ付けられ、二方弁装置７０１が検査台１１０上に固定される。なお、図１０において、７０３は、二方弁装置７０１のアクチュエータ部である。

　二方弁装置に対する検査装置のその他の構成、及び、当該検査装置の使用方法（検査方法）は、前述の実施形態（三方弁装置に対する検査装置）と実質的に同じであるから、それらの詳細な説明は省略する。

１　　　三方弁装置（流量制御用三方弁）
２　　　バルブ部
３　　　アクチュエータ部
４　　　シール部
５　　　カップリング部
６　　　バルブ本体
７　　　第１開口
８　　　弁座
９　　　第１弁口
１０　　第１フランジ部材
１１　　六角穴付きボルト
１２　　フランジ部
１３　　挿入部
１４　　配管接続部
１５　　Ｏリング
１６　　面取り
１７　　第２開口
１８　　第２弁口
１９　　第２フランジ部材
２０　　六角穴付きボルト
２１　　フランジ部
２２　　挿入部
２３　　配管接続部
２６　　第３開口
２７　　第３フランジ部材
２８　　六角穴付きボルト
２９　　フランジ部
３０　　挿入部
３１　　配管接続部
３２　　Ｏリング
３３　　面取り
３４　　弁軸
３５　　弁体部
３６　　上軸支部
３７　　下軸支部
３８　　シール部
３９　　テーパ部
４０　　カップリング部
４１　　ベアリング
４２　　支持部
４３　　スラストワッシャー
５２　　挿通孔
５３　　シール筐体
５４　　凹部
５５　　Ｏリング
５６　　Ｏリング
５７　　平行ピン
５８　　回転軸
５９　　スペーサ
６０　　アダプタプレート
６１　　内部空間
６２　　カップリング部材
１００　三方弁装置のリークの有無を検査する検査装置
１１０　検査台
１１１　柱部材
１１２　柱部材
１１３　保持アーム
１１４　保持アーム
１１５　シール溝
１１６　Ｏリング
２０１　封止用パーツ
２０２　封止用パーツ
３０１　ヘリウムガス供給源
３０２　ヘリウムガス供給路
３０３　レギュレータ
３０４　ヘリウムガス供給制御弁
３１０　連通孔（ヘリウムガス供給用）
４００　包囲体
４０１　リークテスタ装置
４０２　検査路
４０５　真空ポンプ
４０７　エアシリンダ装置
４０８　制御装置
４１０　検査孔
５０１　圧縮空気源
５０２　圧縮空気路
５０３　レギュレータ
５０４　圧縮空気通流制御弁
５０５　イジェクタ
６０２　ガス引き込み路
６０４　ガス引き込み制御弁
６１０　連通孔（ヘリウムガス排出用）
７０１　二方弁装置（流量制御用二方弁）
７０３　アクチュエータ部
７０７　一方の開口
７１７　他方の開口（第３開口に相当）
８０１　封止用パーツ
９１１　柱部材
９１２　柱部材
９１３　保持アーム
９１４　保持アーム

Claims

　第１開口、第２開口及び第３開口を有する三方弁装置のリークの有無を検査する検査装置であって、
　前記第１開口及び前記第２開口の各々を気密に封止するための封止用パーツと、
　前記第１開口及び前記第２開口が前記封止用パーツによって封止された状態の前記三方弁装置を支持する検査台と、
　前記検査台を貫通して設けられ、前記三方弁装置が前記検査台に支持された状態で前記第３開口と気密に連通する連通部と、
　前記三方弁装置が前記検査台に支持された状態で、前記三方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する包囲体と、
　前記包囲体によって前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記第３開口を介して前記三方弁装置内にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給路と、
　前記三方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定するリークテスタ装置と、
　前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記三方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記第３開口及び前記連通部を介して吸引排出するためのヘリウムガス吸引排出路と、
を備え、
　前記ヘリウムガス吸引排出路は、
　少なくとも前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後において、圧縮空気が通流される圧縮空気路と、
　前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記三方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込むガス引き込み路と、
を有している
ことを特徴とする検査装置。
　前記包囲体は、前記密閉空間を形成する位置と、前記密閉空間を開放する位置と、の間で移動可能である
ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
　前記ヘリウムガス供給路には、前記連通部及び前記第３開口を介しての前記三方弁装置内への前記ヘリウムガスの供給の開始／停止を制御するヘリウムガス供給制御弁が設けられており、
　前記圧縮空気路には、当該圧縮空気路における前記圧縮空気の通流の開始／停止を制御する圧縮空気通流制御弁が設けられており、
　前記ガス引き込み路には、前記圧縮空気路の一部と前記連通部との連通の開始／停止を制御するガス引き込み制御弁が設けられている
ことを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
　前記包囲体の移動と、前記ヘリウムガス供給制御弁の動作と、前記圧縮空気通流制御弁の動作と、前記ガス引き込み制御弁の動作と、が制御装置によって自動的に制御される
ことを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
　第１開口、第２開口及び第３開口を有する三方弁装置のリークの有無を検査する検査方法であって、
　前記第１開口及び前記第２開口の各々を気密に封止する工程と、
　前記第３開口を検査台の連通部と気密に連通させながら、前記第１開口及び前記第２開口が封止された前記三方弁装置を当該検査台によって支持する工程と、
　前記三方弁装置が前記検査台に支持された状態で、包囲体によって前記三方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する工程と、
　前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記第３開口を介して前記三方弁装置内にヘリウムガスを供給する工程と、
　前記三方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定する工程と、
　前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記三方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記第３開口及び前記連通部を介して吸引排出する工程と、
を備え、
　前記ヘリウムガスを吸引排出する工程は、
　圧縮空気路に圧縮空気を通流させる工程と、
　前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記三方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込む工程と、
を有している
ことを特徴とする検査方法。
　前記ヘリウムガスを吸引排出する工程の後、前記包囲体が移動して前記密閉空間を開放する工程
を更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の検査方法。
　前記ヘリウムガスを供給する工程は、前記連通部及び前記第３開口を介しての前記三方弁装置内への前記ヘリウムガスの供給を開始するようにヘリウムガス供給制御弁を制御する工程を有しており、
　前記圧縮空気を通流させる工程は、当該圧縮空気路における前記圧縮空気の通流を開始するように圧縮空気通流制御弁を制御する工程を有しており、
　前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込む工程は、前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通するようにガス引き込み制御弁を制御する工程を有している
ことを特徴とする請求項６に記載の検査方法。
　前記包囲体の移動と、前記ヘリウムガス供給制御弁の制御と、前記圧縮空気通流制御弁の制御と、前記ガス引き込み制御弁の制御と、が制御装置によって自動的に制御される
ことを特徴とする請求項７に記載の検査方法。
　少なくとも２つの開口と更なる第３開口とを有する多方弁装置のリークの有無を検査する検査装置であって、
　前記少なくとも２つの開口の各々を気密に封止するための封止用パーツと、
　前記少なくとも２つの開口が前記封止用パーツによって封止された状態の前記多方弁装置を支持する検査台と、
　前記検査台を貫通して設けられ、前記多方弁装置が前記検査台に支持された状態で前記第３開口と気密に連通する連通部と、
　前記多方方弁装置が前記検査台に支持された状態で、前記多方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する包囲体と、
　前記包囲体によって前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記第３開口を介して前記多方弁装置内にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給路と、
　前記多方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定するリークテスタ装置と、
　前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記多方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記第３開口及び前記連通部を介して吸引排出するためのヘリウムガス吸引排出路と、
を備え、
　前記ヘリウムガス吸引排出路は、
　少なくとも前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後において、圧縮空気が通流される圧縮空気路と、
　前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記多方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込むガス引き込み路と、
を有している
ことを特徴とする検査装置。
　少なくとも２つの開口と更なる第３開口とを有する多方弁装置のリークの有無を検査する検査方法であって、
　前記少なくとも２つの開口の各々を気密に封止する工程と、
　前記第３開口を検査台の連通部と気密に連通させながら、前記少なくとも２つの開口が封止された前記多方弁装置を当該検査台によって支持する工程と、
　前記多方弁装置が前記検査台に支持された状態で、包囲体によって前記多方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する工程と、
　前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記第３開口を介して前記多方弁装置内にヘリウムガスを供給する工程と、
　前記多方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定する工程と、
　前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記多方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記第３開口及び前記連通部を介して吸引排出する工程と、
を備え、
　前記ヘリウムガスを吸引排出する工程は、
　圧縮空気路に圧縮空気を通流させる工程と、
　前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記多方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込む工程と、
を有している
ことを特徴とする検査方法。
　２つの開口を有する二方弁装置のリークの有無を検査する検査装置であって、
　前記２つの開口のうちの一方の開口を気密に封止するための封止用パーツと、
　前記一方の開口が前記封止用パーツによって封止された状態の前記二方弁装置を支持する検査台と、
　前記検査台を貫通して設けられ、前記二方弁装置が前記検査台に支持された状態で前記２つの開口のうちの他方の開口と気密に連通する連通部と、
　前記二方弁装置が前記検査台に支持された状態で、前記二方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する包囲体と、
　前記包囲体によって前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記他方の開口を介して前記三方弁装置内にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給路と、
　前記二方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定するリークテスタ装置と、
　前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記二方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記他方の開口及び前記連通部を介して吸引排出するためのヘリウムガス吸引排出路と、
を備え、
　前記ヘリウムガス吸引排出路は、
　少なくとも前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後において、圧縮空気が通流される圧縮空気路と、
　前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記二方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込むガス引き込み路と、
を有している
ことを特徴とする検査装置。
　２つの開口を有する二方弁装置のリークの有無を検査する検査方法であって、
　前記２つの開口のうちの一方の開口を気密に封止する工程と、
　前記２つの開口のうちの他方の開口を検査台の連通部と気密に連通させながら、前記一方の開口が封止された前記二方弁装置を当該検査台によって支持する工程と、
　前記二方弁装置が前記検査台に支持された状態で、包囲体によって前記二方弁装置を覆って前記連通部を除く密閉空間を形成する工程と、
　前記密閉空間が形成された状態で、前記連通部及び前記他方の開口を介して前記二方弁装置内にヘリウムガスを供給する工程と、
　前記二方弁装置内に前記ヘリウムガスが供給された後、前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無を判定する工程と、
　前記密閉空間内への前記ヘリウムガスのリークの有無が判定された後、前記二方弁装置内に供給された前記ヘリウムガスを前記他方の開口及び前記連通部を介して吸引排出する工程と、
を備え、
　前記ヘリウムガスを吸引排出する工程は、
　圧縮空気路に圧縮空気を通流させる工程と、
　前記圧縮空気路の一部と前記連通部とを連通し、前記圧縮空気の流れを吸引力として利用して前記二方弁装置内の前記ヘリウムガスを前記圧縮空気路へと引き込む工程と、
を有している
ことを特徴とする検査方法。