JP4588788B2 - 検査装置、および検査方法 - Google Patents
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Description
【0001】
本発明は、検査装置、および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
水晶振動子などの圧電素子が気密封止されている電子部品は、例えば圧電素子を封止しているパッケージの気密性が良好でない場合、つまりリークが生じている場合、その圧電素子の電気的特性に影響が生じて信頼性が低下する。このため一般的に圧電素子を気密封止して電子部品を作製した後、気密性の検査、いわゆるリーク検査を行う。
【0003】
リーク検査の方法としては、例えば、バブルリークテスト方式、差圧式エアーリークテスト方式、圧力変化によるインピーダンス測定方式など各種検査方法が知られている。
【0004】
バブルリークテスト方式の測定方法は、例えば、被検査対象の圧電素子が気密封止された圧電素子用パッケージを、ヒーター等により約120℃に加熱したフッ素系不活性液中に浸漬して、そのパッケージ内部を膨張させて、パッケージ内部の漏れ(リーク)箇所からの気泡を目視検査する方法である。
【0005】
差圧式エアーリークテスト方式の測定方法は、密閉されたカプセルの中に、被検査対象の圧電素子用パッケージを入れて、一定の圧縮空気を封入し、漏れ(リーク)による圧力変動をマスターパッケージ、詳細にはリークのない基準用パッケージと比較して、その圧力差を差圧センサにて計測することで、圧電素子用パッケージの気密検査を行う(例えば、特許文献1,2参照)。
【0006】
圧力変化によるインピーダンス測定方法は、被検査対象の圧電素子用パッケージを、大気雰囲気中と真空雰囲気中にて測定し、その際の圧力差によって変化するインピーダンスの変化量からリークの良否を検出する(例えば、特許文献3参照)。
【0007】
【特許文献1】
特開2000−121486号公報
【特許文献2】
特公平7−104224号公報
特許文献3:特開平11−51802号公報
発明の開示
発明が解決しようとする課題
[0008]
しかし、上記バブルリークテスト方式の検査方法では、被検査対象の圧電素子用パッケージをフッ素系不活性液中に浸漬して検査するので、比較的長い検査時間を要する、気泡の目視検査は信頼性が低い、などの問題点がある。
[0009]
また、例えば特許文献1,2に記載された差圧式エアリークテスト方式の検査方法では、圧電素子用パッケージサイズが小さくなると、パッケージ容量も小さくなるため、リークの有無による圧力差を正確に計測することができない、チャンバーの容積やチャンバー自体のリークが検査に大きく影響する、等の問題がある。
[0010]
また、例えば特許文献3に記載された測定方法では、測定時に真空状態を作るための真空排気装置を用意する必要がある。また、この方法では、規定の真空度に達するまでに時間を要するので検査時間が比較的長い、真空装置が比較的大型であり比較的広い設置スペースを要する、等の問題点がある。
[0011]
また、比較的大量の被検査対象の圧電素子用パッケージを高効率、短時間で検査可能な検査装置が望まれている。
[0012]
本発明は、このような問題に対処することを課題の一例とするものである。すなわち、小型の圧電素子用パッケージを正確に気密検査すること、検査時間を一般的な検査装置よりも短縮すること、検査装置を比較的小型にすること、比較的大量の被検査対象の圧電素子用パッケージを短時間で検査すること、等が本発明の目的である。
課題を解決するための手段
【0013】
本発明では、上述した課題を解決することを目的の一つとしている。
請求項1に記載の発明は、圧電素子が封止された電子部品の気密性を検査する検査装置であって、一つ又は複数の前記電子部品を収容して保持する保持部と、前記保持部を気密に密閉して加圧室を生じさせる開閉自在な蓋部と、前記保持部に形成され加圧装置からの気体を前記加圧室へ流入させる通気路とを有する加圧部と、前記蓋部に設けられ、外部の測定装置に電気的に接続される一端部と、前記蓋部が前記保持部を密閉すると前記保持部に保持された前記電子部品の電極部に電気的に接続する他端部とを有する電気端子と、前記保持部に前記前記電子部品が収容され前記蓋部によって前記保持部が気密に密閉された状態において前記電気端子の一端部に接続されるとともに、前記加圧室が大気圧に設定された時と前記加圧装置からの気体の流入によって前記加圧室が加圧された時との、前記電子部品内に封止された前記圧電素子のインピーダンスを測定する前記測定部と、前記大気圧に設定された時に測定されたインピーダンスと前記加圧された時に測定されたインピーダンスとの差分を算出し、前記差分と所定の設定値とを比較して前記電子部品の気密性を判別する判別部とを有する。
【図面の簡単な説明】
[0015]
[図1]本発明の第1実施形態に係る検査装置を説明するための全体構成図である。
[図2]図1に示した検査装置1の全体の斜視図である。
[図3]本発明に係る被検査対象の圧電素子用パッケージ2を説明するための図である。(A)は圧電素子用パッケージ2のカバー23を透過した平面図であり、(B)は(A)に示した圧電素子用パッケージ2のA−A線に沿った断面図である。
[図4]図1に示したインデックステーブル13に形成された保持部131を説明するための上面図である。
[図5]図1に示した保持部131および蓋部141を説明するための図である。
[図6]他の実施形態に係る保持部131を説明するための上面図である。
[図7]他の実施形態に係る保持部131および蓋部141を説明するための図である。
[図8]図1に示した検査装置1の全体の動作を説明するためのフローチャートである。
[図9]図1に示した検査装置1の加圧リーク検査処理に係る動作を説明するためのフローチャートである。
[図10]加圧時の圧電素子のCI値の変化量を示す図である。
[図11]加圧時に圧電素子用パッケージにリークが生じた場合とリークがない場合のCI値の変化量Rを示す図である。
[図12]リークが生じる圧電素子用パッケージを0.1MPa〜0.5MPaに加圧した場合のCI値の変化量の時間変化を示す図である。
[図13]複数の圧電素子用パッケージ2について従来の真空測定法によるCI値の変化量を示す図である。
[図14]図13に示した複数の圧電素子用パッケージ2について本発明に係る0.2MPaの加圧リーク測定法によるCI値の変化量を示す図である。
【図15】本発明の第2実施形態に係る検査装置1Aを説明するための全体構成図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【0016】
本発明の一実施形態に係る発明は、圧電素子が気密に封止された電子部品の気密検査を行う検査装置であって、開閉自在な加圧室内に電子部品が設置された状態で該電子部品の周囲を加圧する加圧部と、加圧部に設置された電子部品のインピーダンスを測定する測定部と、測定部によって測定された非加圧時と加圧時のインピーダンスから変化量を算出し、その変化量を設定値と比較して、電子部品の気密性が不良であることを判別する判別部とを有する。
【0017】
上記構成の検査装置では、加圧部により開閉自在な加圧室内に電子部品が設置された状態でその電子部品の周囲を加圧し、測定部により、加圧部に設置された電子部品のインピーダンスを測定し、判別部が測定部によって測定された非加圧時と加圧時のインピーダンスから変化量を算出し、その変化量を設定値と比較して、電子部品の気密性が不良であることを判別する。
例えば判別部は、測定部によって測定された非加圧時、具体的には大気圧(1気圧)時のインピーダンスの測定値と、電子部品を加圧した時のインピーダンスの測定値からインピーダンスの変化量を算出して、加圧時間内にそのインピーダンス変化量が設定値以上の場合にリークしているとして気密性が不良と判別し、そのインピーダンス変化量が設定値より小さい場合に、リークがなく基準となる気密性が確保されているとして、気密性が良であると判別する。
【0018】
以下、本発明の一実施形態に係る検査装置を図面を参照しながら説明する。
【0019】
[第1実施形態]
図1は本発明の第1実施形態に係る検査装置を説明するための全体構成図である。図1は検査装置1の上面図である。図2は図1に示した検査装置1の全体の斜視図である。
【0020】
検査装置1は、被検査対象として、例えば圧電素子が気密に封止された電子部品の気密検査を行う。本実施形態に係る電子部品は、例えば表面実装型電子部品であり、詳細には圧電素子を気密に封止した圧電素子用パッケージ2である。例えば、水晶振動子などの圧電素子が気密封止された圧電素子用パッケージ2は、パッケージ内部の圧力によって、圧電素子のインピーダンスが変化する電気特性を有する。本実施形態に係る検査装置1は、圧電素子を気密封止した圧電素子用パッケージを加圧して圧電素子のインピーダンスを測定し、非加圧時と加圧時のインピーダンスが変化した圧電素子用パッケージを気密性が不良であると判別する。
【0021】
本実施形態に係る検査装置1は、例えば図1,図2に示すように、整列供給部11、搬送供給部12、インデックステーブル13、加圧リーク検査部14、搬送部15(ピックアンドプレース部15A)、収容部16、および制御部17を有する。制御部17は、各構成要素にデータ線又は光ファイバ等の信号路により接続され、各構成要素を統括的に制御する。
例えば、整列供給部11、搬送供給部12、インデックステーブル13、加圧リーク検査部14、搬送部15、および収容部16等が台座10上に載置されている。
【0022】
整列供給部11及び搬送供給部12は本発明に係る移載部の一実施形態に相当する。インデックステーブル13は本発明に係るインデックステーブルの一実施形態に相当する。加圧リーク検査部14は本発明に係る加圧リーク検査部の一実施形態に相当する。搬送部15は本発明に係る搬送部の一実施形態に相当する。制御部17は本発明に係る制御部の一実施形態に相当する。
【0023】
整列供給部11は、例えば被検査対象の電子部品である複数の圧電素子用パッケージ2を収容し、圧電素子用パッケージ2の表裏などを判別して整列させる。整列供給部11は、例えば図1,2に示すように台座10上に載置されたパーツフィーダ部111を有する。パーツフィーダ部111は、例えばボウルフィーダー(収容部)111A、およびリニアフィーダー111Bを有する。ボウルフィーダー(収容部)111Aは、例えば複数の圧電素子用パッケージ2を収容し、駆動機構により圧電素子用パッケージ2の表裏や極性を判別した後に整列させ、その圧電素子用パッケージ2をリニアフィーダー111Bに出力する。リニアフィーダー111Bは、ボウルフィーダー(収容部)111Aにより整列された圧電素子用パッケージ2をリニアフィーダ111B端部まで搬送する。
【0024】
図3は、本発明に係る被検査対象の圧電素子用パッケージ2を説明するための図である。詳細には、図3(A)は圧電素子用パッケージ2のカバー23を透過した平面図であり、図3(B)は図3(A)に示した圧電素子用パッケージ2のA−A線に沿った断面図である。
【0025】
圧電素子用パッケージ2は、例えば図3(A),(B)に示すように、圧電素子21、導電性接着剤213、ケース内部電極214、ケース22、ケースカバー23、ろう材24、および外部電極25を有する。ケース22とケースカバー23とにより封止された封止空間26は、例えば真空状態に規定されている。または封止空間26には不活性ガス27が封止されていてもよい。この封止空間26の不活性ガス27の気圧は、例えば大気圧など、規定圧力に設定されている。このパッケージ内の圧力は、圧電素子用パッケージ2の特性に応じて適宜設定される。
【0026】
本実施形態に係る圧電素子21としては、例えば、水晶振動子などの圧電振動子デバイスを採用することができる。また、本実施形態に係る圧電素子21は、パッケージ内部の圧力変化に応じてインピーダンスが変化する特性を有する。
【0027】
圧電素子21は、例えば図3(A),(B)に示すように、水晶片210、および励振電極211,212を有する。この水晶片210の両面には、図3(A),(B)に示すように、励振電極211,212が成膜されており、励振電極211,212の端部は、導電性接着剤213によってケース内部電極214に支持固定されている。また、各励振電極211,212は、導電性接着剤213とケース内部電極214を介して外部電極25に電気的に接続されている。また、水晶片210は、両端部又は一端部が導電性接着剤213によって、ケース22の支持台22Aに支持されており、詳細には振動を抑圧しないように支持されている。
圧電素子21は、上記形態に限られるものではなく、各種形状、特性、機能等を備えていてもよい。
【0028】
ケース22は、例えばセラミック、樹脂などの各種材料により形成され、図3(A),(B)に示すように、支持台22Aが形成され、支持台22A上に圧電素子21が備えられている。
【0029】
ケースカバー23は、例えば金属、セラミックス、ガラス、樹脂などの各種材料により略板状に形成されており、ろう材(接着剤)24を介してケース22に気密に接着封止される。
【0030】
ろう材(接着剤)24は、ケース22とケースカバー23間に設けられている。また、ろう材24は、例えばAg−CuやAu−Snなどの合金、半田、ガラスなどの各種ろう材を採用することができる。ろう材24は上記形態に限られるものではなく、パラレルシーム溶接などのようにNiをろう材として気密封止してもよい。
【0031】
外部電極25は、例えば圧電素子用パッケージ2の少なくとも底部、側部のいずれかに形成されており、上記励振電極211,212に電気的に接続されている。
【0032】
上記構成の圧電素子用パッケージ2内の圧電素子21は、例えばリーク(漏れ)によりパッケージ内部の圧力が変化した場合、その圧力変化により圧電素子21のインピーダンスが変化する。
【0033】
図1,2に示すように、搬送供給部12は、例えば制御部17の制御により、インデックステーブル13上に形成された保持部(ワークホルダ)131に圧電素子用パッケージ2を移載する。詳細には、搬送供給部12は、ピックアンドプレース部12Aを有する。ピックアンドプレース部12Aは、例えば圧電素子用パッケージ2を吸着及び脱着自在な複数のヘッド12Bを備え、そのヘッド12BがXZ軸方向に沿って移動自在な搬送ロボットである。本実施形態に係るピックアンドプレース部12Aは、8連ヘッド12Bを有し、ヘッド12Bそれぞれにはバキュームセンサが備えられている。
上記構成のピックアンドプレース部12Aは、上記ヘッド12Bにより、パーツフィーダ部111のリニアフィーダー111Bから、圧電素子用パッケージ2を吸着し、そのヘッド12Bをインデックステーブル13に備えられている保持部131上に移動させて圧電素子用パッケージ2を脱着させて、保持部131に圧電素子用パッケージ2を移載する。
【0034】
インデックステーブル13は、例えば円形状に形成されており、上面側に保持部131を有する。この保持部131は、加圧室140の一部を構成するとともに一つ又は複数の圧電素子用パッケージ2を収容して保持することができる。本実施形態に係るインデックステーブル13は、図1,2に示すように、複数の保持部131が、周方向に沿って等間隔に形成されている。具体的には、図1,2に示すように、4つの保持部131がインデックステーブル13上に周方向に沿って配置されている。また、インデックステーブル13は、周方向に沿って回転自在に形成されている。例えばインデックステーブル13には、駆動モータや回転機構を備えた回転駆動部135が形成されている。制御部17は、回転駆動部135を駆動制御することより規定のタイミングでインデックステーブル13を周方向に沿って回転させる。
[0035]
また、図1に示すように、インデックステーブル13の周囲には周方向に沿って、搬送供給部(移載部)12、加圧リーク検査部14、搬送部15が順に規定間隔に配置されている。
[0036]
本実施形態に係るインデックステーブル13は、例えば周方向に沿って規定間隔で、ワーク(電子部品)投入ステージ、加圧リーク検査ステージ、良品・不良品分類ステージ、空確認ステージと順に回転移動する。
[0037]
図4は、図1に示したインデックステーブル13に形成された保持部131を説明するための上面図である。図5は、図1に示した保持部131および蓋部141を説明するための図である。図6は、他の実施形態に係る保持部131を説明するための上面図である。図7は他の実施形態に係る保持部131および蓋部141を説明するための図である。
[0038]
保持部131は、図4,5に示すように、ワーク保持ポケット132と、ワーク保持ポケット132の周辺部に備えられたパッキン133とを有する。
ワーク保持ポケット132は、例えば矩形状かつ凹形状に形成され、その内部に圧電素子用パッケージ2を収容することによって、位置決めが可能である。本実施形態に係る保持部131は、複数のワーク保持ポケット132、例えば図4に示すように8個のワーク保持ポケット132が直列に規定間隔で形成されている。保持部131は、上記形態に限られるものではなく、例えば2列、3列以上の複数列にワーク保持ポケット132が形成されていてもよい。
[0039]
蓋部141は、図5に示すように、加圧室140の一部を構成するとともにインデックステーブル13に形成された保持部131を気密に密閉可能である。つまり、加圧室140は、保持部131と蓋部141により形成される密閉空間に相当する。例えば、図1,図5に示すように、蓋部141には、蓋部141を規定方向、例えば上下方向に移動駆動する駆動部149が設けられている。制御部17は、駆動部149を制御して、蓋部141により保持部131を密閉することができる。
また、保持部131は、例えば図6,7に示すように、比較的大きな凹部内に、複数のワークポケット132が形成されている形態であってもよい。
[0040]
また、一端部142Aが測定部145に接続され、他端部142Bが保持部131により保持された圧電素子用パッケージ2の電極部25に電気的に接続可能な端子部142が、保持部131及び蓋部141の一方に形成されている。本実施形態に係る端子部142は、例えば図5に示すように、蓋部141においてワーク保持ポケット132に対応する位置に形成されている。
[0041]
また、加圧装置146から加圧室140内に規定圧力の気体を流入可能な通気路が、加圧室140の一部を構成する保持部131又は蓋部141に形成されている。本実施形態では、例えば図5に示すように、通気路134が、矩形状の保持部131の内部に、保持部131の一端部側から他端部に向かって長手方向に沿って形成されている。また、図5に示すように、通気路134とワーク保持ポケット132の間には、貫通孔1341が形成されている。通気路134は、上述した形態に限られるものではない。例えば、通気路134の流入口134Aは、加圧装置146からの規定圧力の気体が流入可能であれば形成位置や形状などを適宜設定してもよく、例えば保持部131の底面部、側面部、上面部など適宜設定してもよい。また、通気路134に連通するとともに、インデックステーブル13を上下方向に貫通する通気孔を設けてもよい。つまり、加圧装置146からの規定圧力の気体が、その通気孔および通気路を介して加圧室140内に流入する形態であってもよい。
[0042]
また、上述したように、加圧室140は、上記構成の保持部131を蓋部141により気密に密閉した状態に相当する。つまり、加圧室140は開閉自在に形成されている。
そして、圧電素子用パッケージ2が収容された加圧室140に、加圧装置146から、通気路134及び貫通孔部1341を介して不活性ガスなどの気体を流入して加圧することができる。加圧装置146と加圧室140は、加圧部1401に相当する。
[0043]
加圧測定時には、保持部131を蓋部141により気密に密閉した状態で、圧電素子用パッケージ2の周囲を加圧して、圧電素子用パッケージ2内の圧電素子21のインピーダンスが測定される。非加圧測定時には、保持部131に蓋部141を取り付け、気体を流入しない状態、すなわち、加圧していない大気圧の状態となる。
【0044】
加圧リーク検査部14は、保持部131を気密に密閉可能な蓋部141、端子部142、測定部145(クリスタルインピーダンス:CI値測定部)、及び加圧装置146を有する。上述した構成については説明を省略する。
【0045】
測定部145は、圧電素子用パッケージ2の圧電素子21のインピーダンスを測定する。例えば、圧電素子用パッケージ2の圧電素子21として水晶振動子を採用した場合には、測定部145は、水晶振動子のクリスタルインピーダンスを測定する。また、本実施形態に係る測定部145は、加圧部に設置された圧電素子用パッケージ2のインピーダンスを測定する。
また、測定部145は、例えば発振回路により、周波数10MHz〜40MHzの低周波、周波数40MHz〜60MHzの高周波などの発振信号を圧電素子用パッケージ2の圧電素子21に印加し、圧電素子21を発振させて、圧電素子21のインピーダンスを測定する。
【0046】
そして、測定部145は、測定結果を示す信号を制御部17に出力する。制御部17は、測定部145から出力された信号に基づいて、測定部145によって測定された非加圧時と加圧時のインピーダンスから変化量を算出し、その変化量を設定値と比較して、圧電素子用パッケージ2の気密性が不良であることを判別する。この制御部17の機能は判別部171に相当する。つまり、判別部171は、測定部145によって測定された非加圧時と加圧時のインピーダンスから変化量を算出し、その変化量を設定値と比較して、電子部品の気密性が不良であることを判別する。
測定部145は、上述した形態に限られるものではなく、例えば他の測定方法により圧電素子のインピーダンス、周波数特性、など各種特性を測定してもよい。
【0047】
加圧装置146は、規定圧力の圧縮空気、圧縮窒素(N2 )などの不活性気体を供給する装置である。圧力源としては、例えば製造現場に配管されている圧縮空気、圧縮窒素、又は圧縮された、不活性気体が蓄えられたタンク、ポンプ等を採用することができる。また、制御部17の制御により、加圧室140内に圧電素子用パッケージ2が設置された状態で、圧電素子用パッケージ2の周囲を加圧する。
【0048】
搬送部15は、例えばインデックステーブル13に形成された保持部131から圧電素子用パッケージ2を取り出して、判別部171の判別結果に応じた位置に圧電素子用パッケージ2を搬送する。
【0049】
図1,2に示すように、搬送部15は、ピックアンドプレース部15Aを有する。ピックアンドプレース部15Aは、例えば圧電素子用パッケージ2を吸着及び脱着自在な複数のヘッドを備え、そのヘッドがXZ軸方向に沿って移動自在な搬送ロボットである。本実施形態に係るピックアンドプレース部15Aは、8連ヘッドを有し、ヘッドそれぞれにはバキュームセンサが備えられている。
上記構成のピックアンドプレース部15Aは、上記ヘッドにより、保持部131上の圧電素子用パッケージ2を吸着し、そのヘッドを収容部16上に移動させて圧電素子用パッケージ2を脱着させて、判別部171の判別結果に応じた位置に圧電素子用パッケージ2を搬送する。
【0050】
収容部16は、図1に示すように、圧電素子用パッケージ2を収容する収容ボックス161を有する。この収容ボックス161は、規定方向、例えばY軸方向に沿って移動可能な移動装置上に配置され、例えば制御部17の制御により、規定方向に移動可能である。
本実施形態に係る収容ボックス161は、例えば複数のボックスを備え、詳細には図1に示すように良品ボックス161A、およびNG(不良品)ボックス161Bを有する。良品ボックス161AおよびNGボックス161Bは予め規定された位置に配置されている。また、この形態に限られるものではなく、例えば、制御部17の制御により、良品ボックス161AおよびNGボックス161Bが移動して規定位置に配置される形態であってもよい。
【0051】
良品ボックス161Aには、例えば、加圧リーク検査によりリークが検出されずに、良品であると判別された圧電素子用パッケージ2が収容される。また、良品ボックス161Aには、例えば加圧リーク検査以外の他の検査にも合格して良品であると判別された圧電素子用パッケージ2が収容されてもよい。
NGボックス161Bには、例えば、加圧リーク検査によりリークが検出されて不良品であると判別された圧電素子用パッケージ2が収容される。また、NGボックス161Bには、例えば他の検査により不良品であると判別された圧電素子用パッケージ2が収容されてもよい。
【0052】
例えば、制御部17により、ピックアンドプレース部15Aを制御して、判別部171の判別結果に応じて保持部131上の良品の圧電素子用パッケージ2を吸着して、そのヘッドを良品ボックス161A上に移動させて圧電素子用パッケージ2を脱着させて、良品ボックス161A内に収容し、判別部171の判別結果に応じて保持部131上の不良品の圧電素子用パッケージ2を吸着して、そのヘッドをNG(不良品)ボックス161B上に移動させて圧電素子用パッケージ2を脱着させて、NGボックス161B内に収容する。
【0053】
制御部17は、例えば検査装置全体を統括的に制御する。詳細には、例えば制御部17は、メモリ等に記憶されているプログラム172を実行することにより、本発明に係る機能、例えば判別部や各種制御機能を実現する。また、制御部17は、例えばキーボードやマウス等の入力装置、メモリ、表示装置、出力装置、CPU(Central Processing Unit)、ハードディスクドライブ(HDD)、外部記憶装置などを有するコンピュータを利用することにより、本発明に係る機能を実現してもよい。
【0054】
また、制御部17は、測定部145によって測定された非加圧時と加圧時のインピーダンスから変化量を算出し、その変化量を設定値と比較して、圧電素子用パッケージ2の気密性が不良であることを判別することで、判別部171の機能を実現する。
判別部171は、上記形態に限られるものではなく、例えばインピーダンス変化量の時間変化量(傾き)に基づいて、その圧電素子用パッケージ2の気密性が不良であることを判別してもよい。つまり、判別部171は、インピーダンス変化量の時間変化量(傾き)が、設定値以上の場合に気密性が不良であると判別し、設定値より小さい場合に気密性が良好であると判別する。
【0055】
また、制御部17は、インデックステーブル13を規定のタイミングで周方向に沿って回転制御するとともに、少なくともインデックステーブルの周方向に沿って規定間隔に配置された、移載部(整列供給部11、搬送供給部12)、加圧リーク検査部14、搬送部15を並列処理させる。
制御部17の詳細な機能、および動作等については後述する。
【0056】
図8は、図1に示した検査装置1の全体の動作を説明するためのフローチャートである。図8を参照しながら検査装置1の動作を説明する。検査装置1の制御部17は、電子部品としての圧電素子用パッケージ2をインデックステーブル13の保持部131に移載する処理、加圧リーク検査処理、加圧リーク検査の処理結果に基づいた分類処理、等を並列処理するが、この形態に限られるものではない。
【0057】
図3(A),(B)に示すように、ケース22内に圧電素子21を載置した状態で、ケースカバー23によりろう材24を介して気密に封止して圧電素子用パッケージ2を作製する。次に、この圧電素子用パッケージ2を検査装置1により検査を行う。
【0058】
ステップS1において、検査装置1の制御部17は、先ず図1,2に示すように、被検査対象の圧電素子用パッケージ2がパーツフィーダ部111のボウルフィーダー(収容部)111Aにセットされた状態で、パーツフィーダ部111を制御して、駆動機構により圧電素子用パッケージ2の表裏や極性を判別した後に整列させ、その圧電素子用パッケージ2をリニアフィーダー111Bに整列させる。
次に、制御部17は、搬送供給部12を制御して、ピックアンドプレース部12Aにより、パーツフィーダ部111からインデックステーブル13に備えられている保持部131上に圧電素子用パッケージ2を移載する処理を行う。詳細には、ピックアンドプレース部12Aは、図4に示すように、保持部131に形成された複数のワーク保持ポケット132それぞれに、圧電素子用パッケージ2を載置する。この際、ピックアンドプレース部12Aは、例えば圧電素子用パッケージ2の外部電極25が上側となるように載置する。
【0059】
ステップS3において、制御部17は、回転駆動部135を制御して、インデックステーブル13を規定のタイミングで周方向に沿って回転させる。詳細には、制御部17は、図1に示すように、インデックステーブル13の保持部131を、移載位置から加圧リーク検査部14の配置位置まで回転させる。本実施形態ではインデックステーブル13が90度回転移動する。
【0060】
次に、制御部17は、駆動部149を制御して蓋部141を下方向に移動させ、保持部131を蓋部141により気密に密閉させる。
制御部17は、加圧室140にて圧電素子用パッケージ2の加圧リーク測定を行い、測定結果に基づいて圧電素子用パッケージ2の気密性を判別する。詳細については後述する。
【0061】
ステップS5において、制御部17は、加圧リーク測定後、例えば駆動部149を制御して、蓋部141を上方向に移動させる。次に、制御部17は、回転駆動部135を制御して、インデックステーブル13を規定のタイミングで周方向に沿って回転させる。詳細には、制御部17は、図1に示すように、インデックステーブル13の保持部131を、加圧リーク測定位置から、搬送部15のピックアンドプレース部15Aの配置位置まで回転させる。本実施形態ではインデックステーブル13が90度回転させる。
【0062】
次に、制御部17は、図1,2に示すように、搬送部15のピックアンドプレース部15Aを制御して、保持部131上の圧電素子用パッケージ2を取り出し、判別部171の判別結果に応じた位置に収容部16を圧電素子用パッケージ2を搬送する。例えば制御部17は、ピックアンドプレース部15Aを制御して、良品であると判別された圧電素子用パッケージ2を良品ボックス161Aに移載し、不良品であると判別された圧電素子用パッケージ2をNGボックス161Bに移載する。
【0063】
次に、ステップS7において、制御部17は、回転駆動部135を制御して、インデックステーブル13を規定のタイミングで周方向に沿って規定角度だけ回転させる。詳細には、制御部17は、インデックステーブル13を90度回転させる。その際、制御部17は、例えば撮像部(不図示)により保持部131を撮像し、撮像結果に基づいて、保持部131のワーク保持ポケット132内から圧電素子用パッケージ2が取り除かれて空きとなっているか否かを判別する。また、制御部17は、例えば保持部131のワーク保持ポケット132に圧電素子用パッケージ2が残っていると判別した場合、例えば加圧装置146を駆動して圧縮気体によりワーク保持ポケット132から圧電素子用パッケージ2を排除する処理、などの規定処理を行う。
次に、制御部17は、回転駆動部135を制御して、インデックステーブル13を規定のタイミングで周方向に沿って規定角度だけ回転させて、ステップS1の処理に戻る。
【0064】
つまり、上述したように、制御部17は、インデックステーブル13を規定のタイミングで周方向に沿って回転制御するとともに、少なくともインデックステーブル13の周方向に沿って規定間隔に配置された、移載部(搬送供給部12)、加圧リーク検査部14、および搬送部15を並列処理させる。
【0065】
図9は、図1に示した検査装置1の加圧リーク検査処理に係る動作を説明するためのフローチャートである。図9を参照しながら、検査装置1の動作を説明する。
ステップS11において、開閉自在な加圧室140に、圧電素子用パッケージ2を設置する。詳細には、上述したように制御部17は、ピックアンドプレース部12Aによりインデックステーブル13に備えられている保持部131上に圧電素子用パッケージ2を移載する処理を行う。この際、ピックアンドプレース部12Aは、例えば圧電素子用パッケージ2の外部電極25が上側となるように載置する。
【0066】
ステップS13において、制御部17は、駆動部149を駆動して蓋部141により保持部131を密閉する。つまり、上述したように加圧室140に圧電素子用パッケージ2が設置される。また、この非加圧状態で、制御部17は、圧電素子用パッケージ2の電極部25に電気的に接続された端子部142を介して、圧電素子21のインピーダンス(クリスタルインピーダンス:CI値)を測定部145により測定し、測定部145による測定結果をメモリなどに記憶する。また、この非加圧時(大気圧(1気圧))のCI値を本発明に係る基準値としてもよい。
【0067】
ステップS15において、制御部17は、加圧室内140に圧電素子用パッケージ2が設置された状態で、圧電素子用パッケージ2の周囲を加圧する処理を行う。詳細には、制御部17は、加圧装置146を駆動して通気路134を介して加圧室140内に規定圧力の不活性ガスなどの気体を印加することで、圧電素子用パッケージ2の周囲を加圧する。
【0068】
ステップS17において、制御部17は、上記圧電素子用パッケージ2の周囲を加圧した状態で、圧電素子用パッケージ2の電極部25に電気的に接続された端子部142を介して、圧電素子21のインピーダンス(CI値)を測定部145により測定し、測定部145による測定結果をメモリなどに記憶する。
【0069】
ステップS19において、制御部17は、測定された非加圧時と加圧時のインピーダンスから変化量を算出し、その変化量を設定値と比較して、圧電素子用パッケージ2の気密性が不良であるか否かを判別する。
【0070】
図10は、加圧時の圧電素子のCI値の変化量を示す図である。横軸は圧力P(単位:kPa)を示し、縦軸はCI値の変化量(単位:Ω)を示す。CI値の基準値は例えば大気圧(1気圧)でのCI値に相当する。図11は、加圧時に圧電素子用パッケージにリークが生じた場合とリークがない場合のCI値の変化量Rを示す図である。横軸が加圧時間T(単位:秒)を示し、縦軸がCI値の変化量R(単位:Ω)を示す図である。
【0071】
図12は、リークが生じる圧電素子用パッケージを0.1MPa〜0.5MPaに加圧した場合のCI値の変化量の時間変化を示す図である。縦軸はリーク時のCI値の変化量R(単位:Ω)であり、横軸は加圧時間T(単位:秒)である。なお、図10〜12に採用している圧電素子は、周波数が26.0MHzの水晶振動子である。
【0072】
圧電素子21は、例えば図10に示すように、圧電素子用パッケージ2に加わる圧力の大きさに応じて、CI値の変化量が大きくなるという特性を有する。
【0073】
本実施形態に係る圧電素子用パッケージ2の特性としては、例えば図11に示すように、圧電素子用パッケージ2にリークが生じている場合、非加圧時と比べて、加圧リーク測定時の圧電素子用パッケージ2の内部の圧力が大きくなるので、非加圧時の圧電素子21のCI値と比較して加圧時の圧電素子21のCI値が変化し、CI値の変化量が比較的大きくなる。一方、リークが生じていない場合、圧電素子用パッケージ2内の気密が保持されているので、非加圧時と比べて加圧時の圧電素子用パッケージ2内の圧力は変化しない、又は圧力変化量が比較的小さいために、圧電素子21のCI値の変化量Rがゼロ、又は、CI値の変化量Rが比較的小さく規定値よりも小さい値となる。
【0074】
詳細には、圧電素子用パッケージ2の特性としては、図11に示すように、加圧時に圧電素子用パッケージ2にリークが生じている場合、大気圧時のCI値と加圧時のCI値との変化量Rが設定値(例えば2Ω)以上となり、例えばCI値の変化量RNG(0.2MPa加圧時)が約10Ωとなる。一方、リークが生じていない場合、圧電素子用パッケージ2内の気密が保持されているので、非加圧時と比べて加圧時の圧電素子用パッケージ2内の圧力は変化しない、又は圧力変化量が比較的小さいために、圧電素子21のCI値の変化量RGがゼロ、又はCI値の変化量RGが比較的小さく設定値よりも小さい値となる。
【0075】
詳細には、判別部171は、図11に示すように、測定部145によって測定された非加圧時と加圧時のインピーダンス変化量Rを算出して、その変化量Rを、予め規定させた設定値Rthと比較して(ステップS19)、その比較の結果に応じて、例えばインピーダンス変化量Rが設定値Rthより小さい場合にリークがなく(ステップS21)、圧電素子用パッケージ(電子部品)2の気密性が良好であり、圧電素子用パッケージ2が良品であると判別し(ステップS23)、その良品と判別された圧電素子用パッケージ2を分類して、収容部16に収容する(ステップS25)。
【0076】
制御部17は、その判別部171の結果に応じて分類を行い、詳細には良品と判別された圧電素子用パッケージ2を収容部16の良品ボックス161Aに収容する処理を行う(ステップS25)。
【0077】
一方、ステップS19において、判別部171は、図11に示すように、測定部145によって測定された非加圧時と加圧時のインピーダンス変化量Rを算出して、その変化量Rを、予め規定させた設定値Rthと比較した結果、例えばインピーダンス変化量Rが設定値Rth以上の場合にリークがあり(ステップS27)、圧電素子用パッケージ(電子部品)2の気密性が不良であると判別し(ステップS29)する。制御部17は、判別部171の結果に応じて分類を行い、詳細には不良品と判別された圧電素子用パッケージ2を収容部16の不良品ボックス161Bに収容する処理を行う(ステップS25)。
【0078】
また、制御部17は、上述したように、測定部によって測定された非加圧時と加圧時のインピーダンスから変化量Rを算出し、その変化量を設定値と比較して、圧電素子用パッケージ2の気密性の不良であることを判別するので、図11に示すように、圧電素子21は加圧によるインピーダンスの変化速度が比較的速いため、例えば設定値Rthを2Ωとすると、約1〜3秒以下で気密性の良否を判別することができる。
【0079】
図12に示すように、加圧圧力が大きいほど、圧電素子用パッケージ2のリーク時のCI値の変動量が大きくなるとともに、気密性の良否を判別する時間が短くなる。詳細は、図12に示すように、加圧時間が5秒のときに、圧力0.1MPaの場合にCI値変動量Rが2Ω、圧力0.2MPaの場合に5Ω、圧力0.3MPaの場合に8.72Ω、圧力0.4MPaの場合に13.5Ω、圧力0.5MPaの場合に19.5Ωとなる。つまり、加圧圧力が大きいほどCI値の変動量が大きくなるので、高精度に圧電素子用パッケージ2の不良を判別することができる。また加圧圧力が大きいほど短時間で高精度に圧電素子用パッケージ2の不良を判別することができる。
【0080】
圧電素子用パッケージ2に加える圧力としては、例えば0.2MPa〜0.5MPaの値が好ましい。この0.2MPa〜0.5MPaの圧力は、圧電素子用パッケージ2の製造現場にて一般的に配管されている圧縮空気や圧縮窒素、又は圧力タンクや加圧装置などを利用することにより、容易に準備することができる。また、上述したように圧力0.2〜0.5MPaの圧縮空気や設定時間に設定した場合であっても高精度に、圧電素子用パッケージ2の気密性の良否を判別することができる。
また、加圧圧力は、上述した実施形態に限られるものではなく、例えば0.5MPa以上の圧力であってもよい。この際には、比較的高圧用の加圧装置、ボンベ、加圧リーク検査部14の構造を用意することで、本発明を容易に実施することができる。
【0081】
[従来の真空測定法と本発明に係る加圧リーク測定法の比較]
本願発明者は、本発明に係る効果を確認するために、複数の圧電素子用パッケージ2について従来の真空測定法と本発明に係る加圧リーク測定法により、CI値の変化量を測定して比較を行った。
【0082】
図13は、複数の圧電素子用パッケージ2について従来の真空測定法によるCI値の変化量を示す図である。詳細には図13は、縦軸はCI値の変化量R(単位:Ω)を示し、横軸は真空排気時間(単位:秒)を示す。図14は、図13に示した複数の圧電素子用パッケージ2について本発明に係る0.2MPaの加圧リーク測定法によるCI値の変化量を示す図である。縦軸はCI値の変化量R(単位:Ω)を示し、横軸は真空排気時間(単位:秒)を示す。図13,14において、例えば5つの圧電素子用パッケージ2それぞれの測定値を、実線、破線、2点鎖線などの線種により区別して示す。なお、図13,14に採用している圧電素子は、周波数が26.0MHzの水晶振動子である。
【0083】
図13に示すように、一般的な減圧によるインピーダンス測定方法では、規定の真空度に到達するまでに時間を要するので検査時間が比較的長い。例えば、インピーダンスの変化量Rの設定値Rthを±2Ωにした場合、すなわちインピーダンスの変化量が±2Ω以上を不良とする場合、5つの全ての圧電素子用パッケージ2を良否判別するのに10秒以上必要となる。一方、本発明に係る検査装置1では、図14に示すように、約3秒以下で5つの全ての圧電素子用パッケージ2を良否判別することができる(グロスリークの場合)。図14に示したイピーダンス測定法では、加圧圧力が0.2MPaの測定であり、加圧圧力を増すことによって、より短時間で良否判別が可能となる。
【0084】
詳細には、図13,14に示すように、リーク量が大きい圧電素子用パッケージ2ほど、短時間にCI値の変動量Rが大きく、リーク量が小さい圧電素子用パッケージ2ほどCI値の変動量Rが小さいので検査時間が長くなる。そして図13,14に示すように、本発明に係る加圧リーク測定法では、図13,14に示すように、リーク量が比較的大きな圧電素子用パッケージ2、リーク量が比較的小さい圧電素子用パッケージ2ともに、従来の真空測定法と比べて短時間に気密性の良否を判別することができる。
【0085】
[第2実施形態]
図15は、本発明の第2実施形態に係る検査装置1Aを説明するための全体構成図である。詳細には図15は検査装置1Aの上面図である。第1実施形態と同様な構成、動作、効果などについては説明を省略する。
【0086】
本実施形態に係る検査装置1Aは、図15に示すように、整列供給部11、搬送供給部12、インデックステーブル13、第1検査部50、第1検査測定部51、加圧リーク検査部14、第2検査部60、第2検査測定部61、搬送部15(ピックアンドプレース部15A)、収容部16、および制御部17を有する。例えば、整列供給部11、搬送供給部12、インデックステーブル13、第1検査部50、加圧リーク検査部14、第2検査部60、搬送部15、および収容部16等が台座10上に載置されている。
【0087】
第1検査部50,第1検査測定部51は、圧電素子用パッケージ2(電子部品)の特性のうちインピーダンス以外のいずれかの特性を検査する。第2検査部60,第2検査測定部61は、圧電素子用パッケージ2(電子部品)の特性のインピーダンス以外のいずれかの特性を検査する。
例えば、第1検査部50,第1検査測定部51、および第2検査部60,第2検査測定部62は、検査部の一実施形態に相当する。
【0088】
制御部17は、インデックステーブル13の周方向に沿って規定間隔に配置された、移載部12、検査部50、加圧リーク検査部14、搬送部15を並列処理させる。より詳細には、本実施形態に係る制御部17は、インデックステーブル13の周方向に沿って規定間隔に配置された移載部12、検査部50、加圧リーク検査部14、検査部60、搬送部15を並列処理させる。
【0089】
また、例えば、第1検査部50,第1検査測定部51は、圧電素子用パッケージ2の特性のうちインピーダンス以外のいずれかの特性を検査する。例えば、第1検査部50,第1検査測定部51は、圧電素子21の低ドライブ特性や周波数特性を検査する。さらに、加圧リーク検査部14、測定部15はインピーダンスと周波数特定を同時に測定してもよい。また、第2検査部60,第2検査部測定部61は、圧電素子21の例えばキャパシタンス等の他の特性を測定する。
【0090】
例えば、第1検査部50は、圧電振動子の低ドライブ特性や周波数特性を検査するために、一端部が第1検査用測定部51に接続され、他端部が保持部131により保持された圧電素子用パッケージ2の電極部25に電気的に接続可能な端子部を備える。第1検査測定部51は、その端子部を介して接続された圧電素子用パッケージ2の低ドライブ特性や周波数特性を測定し、測定結果を示す信号を制御部17に出力する。
【0091】
また、第2検査部60は、圧電振動子の他の特性、例えばキャパシタンスを検査するために、一端部が第2検査用測定部61に接続され、他端部が保持部131により保持された圧電素子用パッケージ2の電極部25に電気的に接続可能な端子部を備える。第2検査測定部61は、その端子部を介して接続された圧電素子用パッケージ2の他の特性、例えばキャパシタンスを測定し、測定結果を示す信号を制御部17に出力する。
【0092】
上記構成の検査装置1Aは、例えば、搬送供給部12により圧電素子用パッケージ2をインデックステーブル13の保持部131上に移載した後、第1検査部50,第1検査測定部51により低ドライブ特性や周波数特性を検査し、その後、加圧リーク検査部14により加圧リーク検査を行い、その後、第2検査部60,第2検査測定部61により圧電素子用パッケージ2の他の特性、例えばキャパシタンスを測定した後、搬送部15により、収容部16に収容する。
制御部17は、上記各種機能部を並列処理するとともに、所定のタイミングでインデックステーブル13を規定角度で周方向に回転させる処理を行う。
【0093】
なお、本発明は上述した実施形態に限られるものではない。上記実施形態を組み合わせてもよい。また、上記実施形態に係る圧電素子用パッケージ2は、上述した実施形態に限られるものではない。例えば、水晶振動子などの圧電素子を気密封止した電子部品であってもよい。
また、検査装置1は、円形状のインデックステーブル13を利用して行ったが、この形態に限られるものではない。
[0094]
以上説明したように、本発明に係る検査装置1は、圧電素子が気密に封止された電子部品(圧電素子用パッケージ)2の気密検査を行う検査装置であり、開閉自在な加圧室140内に圧電素子用パッケージ2が設置された状態で、その圧電素子用パッケージ2の周囲を加圧する加圧部1401(加圧室140,加圧装置146)と、加圧部(加圧室140,加圧装置146)に設置された圧電素子用パッケージ2のインピーダンスを測定する測定部145と、測定部145によって測定された非加圧時と加圧時のインピーダンスから変化量を算出し、その変化量を設定値と比較して、電子部品の気密性が不良であることを判別する判別部171とを有するので、検査時間を一般的な検査装置よりも短縮することができる。
また、従来の検査装置と比べて真空装置を設ける必要がないので検査装置1を比較的小型にすることができる。
また、小型の圧電素子用パッケージを正確に気密検査することができる。
[0095]
また、検査装置1は、加圧室140の一部を構成するとともに一つ又は複数の圧電素子用パッケージ2を収容して保持可能な保持部131と、加圧室140の一部を構成するとともに保持部131を気密に密閉可能な蓋部141と、蓋部141及び保持部131の一方に形成されるとともに、一端部が測定部145に接続され、他端部が保持部131により保持された圧電素子用パッケージ2の電極部25に電気的に接続可能な端子部142と、蓋部141及び保持部131の一方又は両方に形成されるとともに、加圧室140内に規定圧力の気体を流入可能な通気路134とを有するので、つまり簡単な構成で、本発明に係る開閉自在な加圧室140を構成することができる。また、簡単な構成で加圧室140内の圧電素子用パッケージ2を加圧することができる。
[0096]
また、測定部145は、保持部131及び蓋部141により密閉された加圧室140に圧電素子用パッケージ2が設置されるとともに、規定圧力の気体が通気路134を介して加圧室140内に印加された圧電素子用パッケージ2(電子部品)の周囲が加圧された状態で、圧電素子用パッケージ2の電極部25に電気的に接続された端子部142を介してインピーダンスを測定するので、簡単に加圧室140内の圧電素子21のインピーダンスを測定することができ、簡単に圧電素子用パッケージ2の気密性の良否を判別することができる。
【0097】
また、検査装置1は、周方向に沿って複数の保持部131が規定間隔に設けられ、周方向に沿って回転自在なインデックステーブル13と、そのインデックステーブル13に形成された保持部131に圧電素子用パッケージ2を移載する移載部12と、蓋部141を含み、加圧部1401に設置された圧電素子用パッケージ2のインピーダンスを測定する加圧リーク検査部14と、インデックステーブル13に形成された保持部131から圧電素子用パッケージ2を取り出して、判別部171の判別結果に応じた位置に搬送する搬送部15と、インデックステーブル13を規定のタイミングで周方向に沿って回転制御するとともに、少なくともインデックステーブル13の周方向に沿って規定間隔に配置された、移載部12、加圧リーク検査部14、および搬送部15を並列処理させる制御部17とを有するので、比較的大量の被検査対象の圧電素子用パッケージ2を短時間で検査することができる。
【0098】
また、本発明に係る加圧リーク検査部14は、保持部131に保持された複数の圧電素子用パッケージ2を並列に検査することで、比較的大量の圧電素子用パッケージ2を短時間に処理することができる。
【0099】
また、圧電素子用パッケー2の特性のうちインピーダンス以外のいずれかの特性、例えば圧電素子21の圧電素子の低ドライブ特性や周波数特性を検査する検査部50,60を有し、制御部17は、少なくともインデックステーブル13の周方向に沿って規定間隔に配置された、移載部12、検査部50、加圧リーク検査部14、搬送部15を並列処理させることで、加圧リーク検査以外の圧電素子用パッケージ2の特性を並列的に検査することができる。
【0100】
また、加圧部1401による圧力として、例えば0.2MPa〜0.5MPaを用いることで、簡単にかつ高精度に圧電素子用パッケージ2の気密性の良否を判別することができる。また、圧電素子用パッケージ2の製造現場にて一般的に配管されている圧縮空気や圧縮窒素、又は圧力タンクや加圧装置などを利用することにより、この圧力を容易に準備することができる。
Claims (8)
- 圧電素子が封止された電子部品の気密性を検査する検査装置であって、
一つ又は複数の前記電子部品を収容して保持する保持部と、前記保持部を気密に密閉して加圧室を生じさせる開閉自在な蓋部と、前記保持部に形成され加圧装置からの気体を前記加圧室へ流入させる通気路とを有する加圧部と、
前記蓋部に設けられ、外部の測定装置に電気的に接続される一端部と、前記蓋部が前記保持部を密閉すると前記保持部に保持された前記電子部品の電極部に電気的に接続する他端部とを有する電気端子と、
前記保持部に前記前記電子部品が収容され前記蓋部によって前記保持部が気密に密閉された状態において前記電気端子の一端部に接続されるとともに、前記加圧室が大気圧に設定された時と前記加圧装置からの気体の流入によって前記加圧室が加圧された時との、前記電子部品内に封止された前記圧電素子のインピーダンスを測定する前記測定部と、
前記大気圧に設定された時に測定されたインピーダンスと前記加圧された時に測定されたインピーダンスとの差分を算出し、前記差分と所定の設定値とを比較して前記電子部品の気密性を判別する判別部と、
を有することを特徴とする検査装置。 - 周方向に沿って前記保持部が規定間隔に設けられ、前記周方向に沿って回転自在なインデックステーブルを有すること、
を特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記インデックステーブルに形成された前記保持部に前記電子部品を移載する移載部と、
前記蓋部を含み、前記加圧部に設置された前記電子部品のインピーダンスを測定する加圧リーク検査部と、
前記インデックステーブルに形成された前記保持部から前記電子部品を取り出して、前記判別部の判別結果に応じた位置に搬送する搬送部と、
前記インデックステーブルを規定のタイミングで周方向に沿って回転制御するとともに、少なくとも前記インデックステーブルの周方向に沿って規定間隔に配置された、前記移載部、前記加圧リーク検査部、および前記搬送部を並列処理させる制御部と、
を有することを特徴とする請求項2に記載の検査装置。 - 前記加圧リーク検査部は、前記保持部の複数の前記電子部品を並列に検査すること、
を特徴とする請求項2に記載の検査装置。 - 前記電子部品の特性のうちインピーダンス以外のいずれかの特性を検査する検査部を有し、
前記制御部は、少なくとも前記インデックステーブルの周方向に沿って規定間隔に配置された、前記移載部、前記検査部、前記加圧リーク検査部、および前記搬送部を並列処理させること、
を特徴とする請求項3に記載の検査装置。 - 前記検査部は、前記圧電振動子の低ドライブ特性又は周波数特性を検査すること、
を特徴とする請求項5に記載の検査装置。 - 前記圧電素子は水晶振動子を含み、
前記測定部は、前記水晶振動子のクリスタルインピーダンスを測定すること、
を特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記加圧部による圧力は、0.2MPa〜0.5MPaであること、
を特徴とする請求項1に記載の検査装置。
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