JP4651668B2 - 超音波探傷方法と超音波探傷装置 - Google Patents
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Description
(実施の形態1)
図1A,図1Bは本発明の(実施の形態1)を示す。
検査対象収容容器本体12は媒体槽10とは別体に設けられた有底の箱体で、高分子膜1に対向して開口13が形成されている。図1Aでは検査対象収容容器本体12に検査対象部品6が実装された検査対象基板5が、検査対象部品6の実装面を上側にして収容されている。枠体14は検査対象収容容器本体12とで検査対象基板5を挟持している。
測定は、図1Aに示すように検査対象収容容器本体12に検査対象基板5と枠体14をセットした後に、枠体14の凹部15に媒体槽10の凸部16が係合するように媒体槽10を載置する。そして、減圧装置7aを運転して、枠体14と高分子膜1および検査対象基板5とで形成された測定環境空間17を減圧する。
また、検査対象基板5がセットされた枠体14と検査対象収容容器本体12の側に対して、媒体槽10を着脱自在に構成したにもかかわらず、互いに係合する凹部15と凸部16が形成されているため、両者間の位置合わせが正確である。
図2A,図2Bは本発明の(実施の形態2)を示す。
先の(実施の形態1)では、検査対象基板5は外周部で検査対象収容容器本体12と枠体14とで挟持されているだけであったが、この(実施の形態2)では、検査対象収容容器本体12に検査対象基板5の裏面側に当接するサポータ18が形成されている。さらに、サポータ18の先端で吸引口が開口している。その他は(実施の形態1)と同じである。
(実施の形態3)
図3A,図3Bは本発明の(実施の形態3)を示す。
図4A,図4Bは本発明の(実施の形態4)を示す。
上記の各実施の形態では、検査対象収容容器本体12と枠体14とは別体であったが、図4に示すように両者を一体に構成した検査対象収容容器24を構成しても実現できる。具体的には、図4Aに示すように検査対象収容容器24の内周部に段部25を形成し、段部25に検査対象基板5を載置して検査対象収容容器24の深さ方向の中間部に検査対象基板5をセットし、その後、図4Bに示したように検査対象収容容器24の凹部15に媒体槽10の凸部16が係合するように媒体槽10を載置する。そして、減圧装置7aを運転して、測定環境空間17を減圧して検査する。
上記の各実施の形態の超音波探傷方法では、高分子膜1を検査対象部品6にそのまま当接させたが、図7Aに示すように媒体槽10にセットされた高分子膜1を、アルコール26に浸漬して、図7Bに示すように高分子膜1の表面をアルコール26で濡らした後に、高分子膜1を検査対象部品6に押し当てることによって、検査対象部品6の表面の凹凸が原因の検査精度の低下を回避できる。
図7A,図7Bでは、媒体槽10には超音波伝達媒体2が既に注入されている状態で高分子膜1をアルコール26に浸漬したが、図7Cに示すように超音波伝達媒体2を注入する前の状態で高分子膜1をアルコール26に浸漬し、図7Dのように媒体槽10を持ち上げる、その後に超音波伝達媒体2を媒体槽10に注入しても同様の効果を期待できる。
2 超音波伝達媒体
5 検査対象基板
6 検査対象部品
7a 減圧装置
7b 減圧装置
8 超音波探触子
10 媒体槽
12 検査対象収容容器本体
14 枠体
15 凹部
16 凸部
17 測定環境空間
18 サポータ
19 吸引口
20 隔膜
Claims (4)
- 高分子膜を介して検査対象に超音波伝達媒体を接触させ、超音波探触子が前記超音波伝達媒体を介して前記検査対象を超音波検査する超音波探傷装置であって、
超音波伝達媒体を収容し開口部が高分子膜で密閉された媒体槽と、
前記媒体槽とは別体に設けられ、検査対象を収容すると共に媒体槽の前記高分子膜に対向して開口が形成された検査対象収容容器本体と、
前記検査対象収容容器本体と一体または連結され、前記高分子膜および検査対象とで測定環境空間を形成する枠体と、
前記高分子膜と検査対象および枠体とで形成された前記測定環境空間を減圧して前記高分子膜を検査対象に密着させる減圧手段と、
前記超音波伝達媒体と高分子膜を介して検査対象に超音波を発射する超音波探触子とを設け、かつ前記検査対象収容容器本体の内部を可撓性の隔膜によって加圧室と検査対象である電子回路基板の収容室とに区画した超音波探傷装置。 - 検査対象収容容器本体に、検査対象である電子回路基板の検査対象面とは反対側の面に当接して支持するサポートを形成した請求項1記載の超音波探傷装置。
- 高分子膜を介して検査対象に超音波伝達媒体を接触させ、超音波探触子が前記超音波伝達媒体を介して前記検査対象を超音波検査するに際し、
超音波伝達媒体を収容し開口部が高分子膜で密閉された媒体槽とは別体で、媒体槽の前記高分子膜に対向して開口が形成され、内部を可撓性の隔膜によって加圧室と検査対象である電子回路基板の収容室とに区画された検査対象収容容器本体の前記収容室に検査対象を収容し、
媒体槽と検査対象収容容器本体を相対移動させて検査対象収容容器本体の前記開口を媒体槽の前記高分子膜で覆うとともに、
前記高分子膜と検査対象および前記検査対象収容容器本体と一体または連結された枠体とで形成された空間を減圧して前記高分子膜を検査対象に密着させ、
検査対象収容容器本体の前記加圧室を加圧して前記隔膜によって前記検査対象を支持し、
超音波探触子から前記超音波伝達媒体と高分子膜を介して検査対象に超音波を発射して探傷検査する超音波探傷方法。 - 媒体槽と検査対象収容容器本体を相対移動させて検査対象収容容器本体の前記開口を媒体槽の前記高分子膜で覆うに際して、前記媒体槽に超音波伝達媒体を注入する前あるいは注入後に、前記高分子膜の表面をアルコールで濡らす請求項3記載の超音波探傷方法。
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