JPH09126940A - 洩れ検査装置 - Google Patents
洩れ検査装置Info
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- JPH09126940A JPH09126940A JP30507595A JP30507595A JPH09126940A JP H09126940 A JPH09126940 A JP H09126940A JP 30507595 A JP30507595 A JP 30507595A JP 30507595 A JP30507595 A JP 30507595A JP H09126940 A JPH09126940 A JP H09126940A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な設備で、微小容器の洩れ検査を正確に
行うことができる洩れ検査装置を提供する。 【解決手段】 第１電磁弁３２，４２を閉じた状態で、
モータ３４，４４駆動によりエアシリンダ３３，４３を
作動させ、マスタ側閉鎖系とワーク側閉鎖系の容量を設
定容量だけ変更する。その後で、差圧センサ６０で検出
された両閉鎖系間の圧力差情報に基づいて、大洩れの有
無を判断する。大洩れ有りと判定した場合には、そこで
検査を終了する。大洩れ無しと判定した場合には、次に
第２電磁弁３５，４５を閉じ、その後の圧力差情報に基
づいて、小洩れの有無を判断する。
行うことができる洩れ検査装置を提供する。 【解決手段】 第１電磁弁３２，４２を閉じた状態で、
モータ３４，４４駆動によりエアシリンダ３３，４３を
作動させ、マスタ側閉鎖系とワーク側閉鎖系の容量を設
定容量だけ変更する。その後で、差圧センサ６０で検出
された両閉鎖系間の圧力差情報に基づいて、大洩れの有
無を判断する。大洩れ有りと判定した場合には、そこで
検査を終了する。大洩れ無しと判定した場合には、次に
第２電磁弁３５，４５を閉じ、その後の圧力差情報に基
づいて、小洩れの有無を判断する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、洩れ検査装置に係
り、特に小容積の密封容器の洩れを検査する装置に関す
る。
り、特に小容積の密封容器の洩れを検査する装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】小容積の密封容器のための洩れ検査装置
としては、特開昭５７ー２１１０３２号公報に記載のも
のがある。この検査装置は、一定の空気圧を発生させる
空圧源と、この空圧源に３方電磁弁を介して接続された
二つのエア通路すなわちマスタ用、ワーク用エア通路
と、このマスタ用、ワーク用エア通路の下流側にそれぞ
れ設けられた一対の第１電磁弁と、これら第１電磁弁の
下流側にそれぞれ設けられた互いに等しい内容積を持つ
一対のタンクと、これらタンクの下流側にそれぞれ設け
られた一対の第２電磁弁とを備えている。上記マスタ
用、ワーク用エア通路の下流端には、洩れの有無を検査
すべきワークを収納するワークカプセルと、洩れのない
マスタ容器を収納するマスタカプセルがそれぞれ接続さ
れる。第２電磁弁の下流側のマスタ用，ワーク用のエア
通路の圧力差は、差圧センサで検出される。
としては、特開昭５７ー２１１０３２号公報に記載のも
のがある。この検査装置は、一定の空気圧を発生させる
空圧源と、この空圧源に３方電磁弁を介して接続された
二つのエア通路すなわちマスタ用、ワーク用エア通路
と、このマスタ用、ワーク用エア通路の下流側にそれぞ
れ設けられた一対の第１電磁弁と、これら第１電磁弁の
下流側にそれぞれ設けられた互いに等しい内容積を持つ
一対のタンクと、これらタンクの下流側にそれぞれ設け
られた一対の第２電磁弁とを備えている。上記マスタ
用、ワーク用エア通路の下流端には、洩れの有無を検査
すべきワークを収納するワークカプセルと、洩れのない
マスタ容器を収納するマスタカプセルがそれぞれ接続さ
れる。第２電磁弁の下流側のマスタ用，ワーク用のエア
通路の圧力差は、差圧センサで検出される。
【０００３】上記洩れ検査装置は以下のように作動して
いた。まず、マスタ容器収納状態のマスタカプセルと、
ワーク収納状態のワークカプセルを、マスタ用，ワーク
用エア通路にそれぞれ接続する。次に、一対の第１電磁
弁を開き一対の第２電磁弁を閉じた状態で、３方電磁弁
を介して、空圧源からの空圧をタンクに供給する。次
に、大洩れ検査のために、第１電磁弁を閉じ第２電磁弁
を開き、タンク内の空気圧をマスタカプセルおよびワー
クカプセルに供給する。この後で、マスタカプセルを含
む系とワークカプセルを含む系との圧力差を差圧センサ
により検出し、この圧力差が所定値を超えている場合に
は、ワークに大きな洩れがあると判断する。
いた。まず、マスタ容器収納状態のマスタカプセルと、
ワーク収納状態のワークカプセルを、マスタ用，ワーク
用エア通路にそれぞれ接続する。次に、一対の第１電磁
弁を開き一対の第２電磁弁を閉じた状態で、３方電磁弁
を介して、空圧源からの空圧をタンクに供給する。次
に、大洩れ検査のために、第１電磁弁を閉じ第２電磁弁
を開き、タンク内の空気圧をマスタカプセルおよびワー
クカプセルに供給する。この後で、マスタカプセルを含
む系とワークカプセルを含む系との圧力差を差圧センサ
により検出し、この圧力差が所定値を超えている場合に
は、ワークに大きな洩れがあると判断する。
【０００４】大洩れがない場合、上記圧力差は所定値を
超えない。そこで、次に小さい洩れを検査するために、
一対の第２電磁弁を閉じる。その後、差圧センサで検出
される圧力差が大きくなる場合はワークに小さい洩れが
あると判断し、圧力差が変わらない場合はワークに洩れ
なしと判断する。検査が終了すると、第１，第２電磁弁
を開き、３方電磁弁を介してマスタカプセルおよびワー
クカプセルを大気圧に戻す。
超えない。そこで、次に小さい洩れを検査するために、
一対の第２電磁弁を閉じる。その後、差圧センサで検出
される圧力差が大きくなる場合はワークに小さい洩れが
あると判断し、圧力差が変わらない場合はワークに洩れ
なしと判断する。検査が終了すると、第１，第２電磁弁
を開き、３方電磁弁を介してマスタカプセルおよびワー
クカプセルを大気圧に戻す。
【０００５】上記洩れ検査装置では、ワークに大きな洩
れがあるか否かを先に判断し、大洩れがない場合は小さ
な洩れがあるか否かを判断する。大洩れと判断した時に
は、長い時間を要する小洩れの判断を省略できるため、
洩れ検出のための総時間を短くすることができる利点が
ある。
れがあるか否かを先に判断し、大洩れがない場合は小さ
な洩れがあるか否かを判断する。大洩れと判断した時に
は、長い時間を要する小洩れの判断を省略できるため、
洩れ検出のための総時間を短くすることができる利点が
ある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記検査装置
は、タンクに空圧を供給するための空圧源を必要とし、
また、上記空圧供給と大気開放を切り換えるための電磁
３方弁を必要とし、設備コストが高かった。
は、タンクに空圧を供給するための空圧源を必要とし、
また、上記空圧供給と大気開放を切り換えるための電磁
３方弁を必要とし、設備コストが高かった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、洩れ
検査装置において、（イ）洩れの有無を検査すべきワー
クを収納するワークカプセルと、（ロ）洩れのないマス
タ容器を収納するマスタカプセルと、（ハ）一端が上記
マスタカプセル及び上記ワークカプセルがそれぞれ接続
される接続端となり、他端が大気に開放されているマス
タ用エア通路及びワーク用エア通路と、（ニ）上記マス
タ用，ワーク用のエア通路にそれぞれ設けられた一対の
第１電磁弁と、（ホ）上記マスタ用，ワーク用のエア通
路において、上記第１電磁弁より上記接続端側にそれぞ
れ設けられた一対の第２電磁弁と、（ヘ）上記マスタ
用，ワーク用のエア通路において、上記第１，第２電磁
弁の間に接続された一対のエアシリンダと、（ト）上記
第２電磁弁より接続端側のマスタ用，ワーク用エア通路
の圧力差を検出する差圧センサと、（チ）マスタ用及び
ワーク用エア通路が大気圧にあり、上記一対の第２電磁
弁が開き上記一対の第１電磁弁が閉じた状態で、上記一
対のエアシリンダを同時に作動させることにより、マス
タ用エア通路とマスタカプセルを含む閉鎖系及びワーク
用エア通路とワークカプセルを含む閉鎖系の容量を、そ
れぞれ初期容量から設定量だけ変更し、容量変更後の差
圧センサからの圧力差情報に基づいてワークに大きな洩
れがあるか否かを判断し、ワークに大きな洩れがあると
判断した場合には洩れ検査を終了し、ワークに大きな洩
れがないと判断した場合には、上記一対の第２電磁弁が
閉じた状態で、上記差圧センサからの圧力差情報に基づ
いて、ワークに小さい洩れがあるか否かを判断する洩れ
判断実行手段と、を備えたことを特徴とする。
検査装置において、（イ）洩れの有無を検査すべきワー
クを収納するワークカプセルと、（ロ）洩れのないマス
タ容器を収納するマスタカプセルと、（ハ）一端が上記
マスタカプセル及び上記ワークカプセルがそれぞれ接続
される接続端となり、他端が大気に開放されているマス
タ用エア通路及びワーク用エア通路と、（ニ）上記マス
タ用，ワーク用のエア通路にそれぞれ設けられた一対の
第１電磁弁と、（ホ）上記マスタ用，ワーク用のエア通
路において、上記第１電磁弁より上記接続端側にそれぞ
れ設けられた一対の第２電磁弁と、（ヘ）上記マスタ
用，ワーク用のエア通路において、上記第１，第２電磁
弁の間に接続された一対のエアシリンダと、（ト）上記
第２電磁弁より接続端側のマスタ用，ワーク用エア通路
の圧力差を検出する差圧センサと、（チ）マスタ用及び
ワーク用エア通路が大気圧にあり、上記一対の第２電磁
弁が開き上記一対の第１電磁弁が閉じた状態で、上記一
対のエアシリンダを同時に作動させることにより、マス
タ用エア通路とマスタカプセルを含む閉鎖系及びワーク
用エア通路とワークカプセルを含む閉鎖系の容量を、そ
れぞれ初期容量から設定量だけ変更し、容量変更後の差
圧センサからの圧力差情報に基づいてワークに大きな洩
れがあるか否かを判断し、ワークに大きな洩れがあると
判断した場合には洩れ検査を終了し、ワークに大きな洩
れがないと判断した場合には、上記一対の第２電磁弁が
閉じた状態で、上記差圧センサからの圧力差情報に基づ
いて、ワークに小さい洩れがあるか否かを判断する洩れ
判断実行手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の洩れ検査装置の一実施例
を図面に基づいて以下に説明する。図１に示すように、
共通通路２０の一端には２つの分岐したエア通路すなわ
ちマスタ用エア通路３０とワーク用エア通路４０が接続
されている。共通通路２０の他端は大気に開放されてい
る。マスタ用、ワーク用エア通路３０、４０の他端３０
ａ，４０ａ（接続端）には、洩れのないマスタ容器Ｓを
収納したマスタカプセル３１と洩れの有無を検査すべき
ワークＷを収納するワークカプセル４１がそれぞれ接続
されるようになっている。
を図面に基づいて以下に説明する。図１に示すように、
共通通路２０の一端には２つの分岐したエア通路すなわ
ちマスタ用エア通路３０とワーク用エア通路４０が接続
されている。共通通路２０の他端は大気に開放されてい
る。マスタ用、ワーク用エア通路３０、４０の他端３０
ａ，４０ａ（接続端）には、洩れのないマスタ容器Ｓを
収納したマスタカプセル３１と洩れの有無を検査すべき
ワークＷを収納するワークカプセル４１がそれぞれ接続
されるようになっている。
【０００９】マスタ用エア通路３０、ワーク用エア通路
４０にはそれぞれ第１電磁弁３２，４２が設けられてい
る。第１電磁弁３２，４２より上記接続端３０ａ，４０
ａ側のエア通路３０，４０には、それぞれエアシリンダ
３３，４３が接続されている。これらエアシリンダ３
３、４３は、モータ３４、４４により駆動され、後述す
るようにエア通路３０とマスタカプセル３１を含む閉鎖
系及びエア通路４０とワークカプセル４１を含む閉鎖系
の容量を、それぞれ初期容量から設定量だけ変更する。
上記エア通路３０，４０において、エアシリンダ３１，
４１との接続点より接続端３０ａ，４０ａ側には、第２
電磁弁３５，４５が設けられている。
４０にはそれぞれ第１電磁弁３２，４２が設けられてい
る。第１電磁弁３２，４２より上記接続端３０ａ，４０
ａ側のエア通路３０，４０には、それぞれエアシリンダ
３３，４３が接続されている。これらエアシリンダ３
３、４３は、モータ３４、４４により駆動され、後述す
るようにエア通路３０とマスタカプセル３１を含む閉鎖
系及びエア通路４０とワークカプセル４１を含む閉鎖系
の容量を、それぞれ初期容量から設定量だけ変更する。
上記エア通路３０，４０において、エアシリンダ３１，
４１との接続点より接続端３０ａ，４０ａ側には、第２
電磁弁３５，４５が設けられている。
【００１０】さらに、エア通路３０，４０において、第
２電磁弁３５，４５より接続端３０ａ，４０ａ側には、
圧力導入路５０を介して差圧センサ６０の二つのポート
６１ａ、６１ｂがそれぞれ接続されている。この差圧セ
ンサ６０は、内部にダイヤフラム６２を有し、上記二つ
のポート６１ａ、６１ｂからの圧力の差に応じたダイヤ
フラム６２の変形を電圧に変換して出力する。
２電磁弁３５，４５より接続端３０ａ，４０ａ側には、
圧力導入路５０を介して差圧センサ６０の二つのポート
６１ａ、６１ｂがそれぞれ接続されている。この差圧セ
ンサ６０は、内部にダイヤフラム６２を有し、上記二つ
のポート６１ａ、６１ｂからの圧力の差に応じたダイヤ
フラム６２の変形を電圧に変換して出力する。
【００１１】洩れ検査装置は、さらにマイクロコンピュ
ータ７０を備えている。このマイクロコンピュータ７０
は、電磁弁３１、３５、４１、４５、及びエアシリンダ
３３、４３のモータ３４、４４を制御する。この制御の
過程で上記差圧センサ６０からの圧力差に基づき洩れ判
断を行う。また、マイクロコンピュータ７０にはＣＲＴ
等の表示器８０が接続されており、この表示器８０に
は、差圧センサ６０からの圧力差情報や大気圧換算洩れ
量等の情報に加えて、上記洩れ判断結果が表示される。
なお、洩れ判断結果の表示としては、ランプの点灯でも
ブザーによる警報であってもよい。
ータ７０を備えている。このマイクロコンピュータ７０
は、電磁弁３１、３５、４１、４５、及びエアシリンダ
３３、４３のモータ３４、４４を制御する。この制御の
過程で上記差圧センサ６０からの圧力差に基づき洩れ判
断を行う。また、マイクロコンピュータ７０にはＣＲＴ
等の表示器８０が接続されており、この表示器８０に
は、差圧センサ６０からの圧力差情報や大気圧換算洩れ
量等の情報に加えて、上記洩れ判断結果が表示される。
なお、洩れ判断結果の表示としては、ランプの点灯でも
ブザーによる警報であってもよい。
【００１２】次に、マイクロコンピュータ７０で実行さ
れる洩れ検査のためのルーチンを図２のフローチャート
に基づいて以下に詳しく説明する。予めマスタ容器Ｓを
収納したマスタカプセル３１とワークＷを収納したワー
クカプセル４１を、エア通路３０，４０に接続してお
く。スタートボタン（図示しない）がオン操作される
と、このルーチンは開始される。
れる洩れ検査のためのルーチンを図２のフローチャート
に基づいて以下に詳しく説明する。予めマスタ容器Ｓを
収納したマスタカプセル３１とワークＷを収納したワー
クカプセル４１を、エア通路３０，４０に接続してお
く。スタートボタン（図示しない）がオン操作される
と、このルーチンは開始される。
【００１３】ステップ１０１では、常開の第１電磁弁３
５、４５を閉じる。これにより、マスタ容器Ｓ及びマス
タ用エア通路３０を含む系と、ワークＷ及びワーク用エ
ア通路４０を含む系は、閉鎖系となる。次にステップ１
０２で、モータ３４、４４を設定時間駆動してエアシリ
ンダ３３、４３を作動させ、マスタ用エア通路３０とマ
スタカプセル３１を含む閉鎖系およびワーク用エア通路
４０とワークカプセル４１を含む閉鎖系の容量をそれぞ
れ設定量だけ増加させる。これにより、テスト圧Ｐ（負
圧）がこれら閉鎖系に印加される。なお、ワークＷの検
査容量に応じて上記設定量を変更したい場合は、上記モ
ータ３４、４４の駆動時間を変更すればよい。これによ
り、印加する負圧をワークＷの洩れ量に対して適切な水
準に容易に調節できる。
５、４５を閉じる。これにより、マスタ容器Ｓ及びマス
タ用エア通路３０を含む系と、ワークＷ及びワーク用エ
ア通路４０を含む系は、閉鎖系となる。次にステップ１
０２で、モータ３４、４４を設定時間駆動してエアシリ
ンダ３３、４３を作動させ、マスタ用エア通路３０とマ
スタカプセル３１を含む閉鎖系およびワーク用エア通路
４０とワークカプセル４１を含む閉鎖系の容量をそれぞ
れ設定量だけ増加させる。これにより、テスト圧Ｐ（負
圧）がこれら閉鎖系に印加される。なお、ワークＷの検
査容量に応じて上記設定量を変更したい場合は、上記モ
ータ３４、４４の駆動時間を変更すればよい。これによ
り、印加する負圧をワークＷの洩れ量に対して適切な水
準に容易に調節できる。
【００１４】次のステップ１０３で差圧センサ６０によ
り、上記マスタ側閉鎖系とワーク側閉鎖系との間の圧力
差ΔＰを検出する。次にステップ１０４でこの検出され
た圧力差ΔＰが所定値αを超えたか否かを判断する。ワ
ークＷに大きな割れや貫通孔等がある場合にはステップ
１０４で肯定判断し、ステップ１０５で「大洩れ」と表
示器８０に表示する。次のステップ１０６で第１電磁弁
３２、４２を開にし、ステップ１０７でエアシリンダ３
３，４３を元の位置に復帰させて、このルーチンを終了
する。
り、上記マスタ側閉鎖系とワーク側閉鎖系との間の圧力
差ΔＰを検出する。次にステップ１０４でこの検出され
た圧力差ΔＰが所定値αを超えたか否かを判断する。ワ
ークＷに大きな割れや貫通孔等がある場合にはステップ
１０４で肯定判断し、ステップ１０５で「大洩れ」と表
示器８０に表示する。次のステップ１０６で第１電磁弁
３２、４２を開にし、ステップ１０７でエアシリンダ３
３，４３を元の位置に復帰させて、このルーチンを終了
する。
【００１５】上記ステップ１０４で否定判断した場合に
は、ステップ１０８に進み、ここで常開の第２電磁弁３
５、４５を閉じる。これにより、マスタ容器Ｓおよびワ
ークＷをそれぞれ含む閉鎖系の容量が小さくなり、ワー
クＷでの洩れ量に対して圧力差の変動が大きくなる。ま
た、エアシリンダ３３、４３が微小移動しても、閉鎖系
の容量が変動せず、圧力差に影響を与えない。その結
果、正確な微小洩れ検査ができる。
は、ステップ１０８に進み、ここで常開の第２電磁弁３
５、４５を閉じる。これにより、マスタ容器Ｓおよびワ
ークＷをそれぞれ含む閉鎖系の容量が小さくなり、ワー
クＷでの洩れ量に対して圧力差の変動が大きくなる。ま
た、エアシリンダ３３、４３が微小移動しても、閉鎖系
の容量が変動せず、圧力差に影響を与えない。その結
果、正確な微小洩れ検査ができる。
【００１６】次のステップ１０９で第２電磁弁３５、４
５を閉じてからの経過時間を計測するためのタイマＴを
スタートさせる。ステップ１１０で、この経過時間Ｔが
所定時間Ｔ0を超えたか否かを判断する。経過時間Ｔが
所定時間Ｔ0を超えたと判断されるまで、ステップ１１
０で待機する。
５を閉じてからの経過時間を計測するためのタイマＴを
スタートさせる。ステップ１１０で、この経過時間Ｔが
所定時間Ｔ0を超えたか否かを判断する。経過時間Ｔが
所定時間Ｔ0を超えたと判断されるまで、ステップ１１
０で待機する。
【００１７】上記経過時間Ｔが所定時間Ｔ0を超えたと
判断した場合、ステップ１１０を抜け出して、ステップ
１１１に進み、ここで圧力差ΔＰを検出する。次のステ
ップ１１２で、検出された圧力差ΔＰが所定値βを超え
ているか否かを判断する。ワークＷに小さい貫通孔等が
あるとそこから空気が侵入し圧力差ΔＰは所定値βより
大きくなるので、ステップ１１２で肯定判断し、ステッ
プ１１３に進み、ここで表示器８０に「小洩れ」を表示
する。ワークＷに小さい貫通孔等がない場合にはそこか
ら空気は侵入せず、圧力差ΔＰは所定値βより大きくな
らないので、ステップ１１２で否定判断し、ステップ１
１４で「洩れなし」を表示する。次のステップ１１５で
第２電磁弁３５、４５を開にし、次のステップ１１６で
第１電磁弁３２、４２を開にする。さらに、ステップ１
１７でモータ３４、４４を駆動してエアシリンダ３３、
４３を元の状態に復帰させ、このルーチンを終了する。
判断した場合、ステップ１１０を抜け出して、ステップ
１１１に進み、ここで圧力差ΔＰを検出する。次のステ
ップ１１２で、検出された圧力差ΔＰが所定値βを超え
ているか否かを判断する。ワークＷに小さい貫通孔等が
あるとそこから空気が侵入し圧力差ΔＰは所定値βより
大きくなるので、ステップ１１２で肯定判断し、ステッ
プ１１３に進み、ここで表示器８０に「小洩れ」を表示
する。ワークＷに小さい貫通孔等がない場合にはそこか
ら空気は侵入せず、圧力差ΔＰは所定値βより大きくな
らないので、ステップ１１２で否定判断し、ステップ１
１４で「洩れなし」を表示する。次のステップ１１５で
第２電磁弁３５、４５を開にし、次のステップ１１６で
第１電磁弁３２、４２を開にする。さらに、ステップ１
１７でモータ３４、４４を駆動してエアシリンダ３３、
４３を元の状態に復帰させ、このルーチンを終了する。
【００１８】なお、本実施例では、モータ３４、４４を
駆動して設定量だけエアシリンダ３３、４３の容積を増
加させたが、逆に設定量だけ容量を減少させてもよい。
この場合、上記閉鎖系には正圧が印加される。また、上
記フローチャートのステップ１０４、１１２では、圧力
差ΔＰを直接所定値α、βと比較して洩れを判断した
が、圧力差ΔＰから大気圧換算洩れ量ＶLを計算し、こ
のＶLが所定値を超えるか否かにより洩れを判断しても
よい。なお、大気圧換算洩れ量は次式により計算され
る。 ＶL＝ΔＰ（Ｖ＋２ＰＫ）／Ｐ0 但し、Ｖはワークを含む閉鎖系の体積、Ｐはテスト圧、
Ｋは差圧センサ６０により決定されるセンサ係数、Ｐ0
は大気圧である。
駆動して設定量だけエアシリンダ３３、４３の容積を増
加させたが、逆に設定量だけ容量を減少させてもよい。
この場合、上記閉鎖系には正圧が印加される。また、上
記フローチャートのステップ１０４、１１２では、圧力
差ΔＰを直接所定値α、βと比較して洩れを判断した
が、圧力差ΔＰから大気圧換算洩れ量ＶLを計算し、こ
のＶLが所定値を超えるか否かにより洩れを判断しても
よい。なお、大気圧換算洩れ量は次式により計算され
る。 ＶL＝ΔＰ（Ｖ＋２ＰＫ）／Ｐ0 但し、Ｖはワークを含む閉鎖系の体積、Ｐはテスト圧、
Ｋは差圧センサ６０により決定されるセンサ係数、Ｐ0
は大気圧である。
【００１９】
【発明の効果】請求項１の洩れ検査装置は、エアシリン
ダを用いることにより、空圧源や、空圧供給と大気開放
の切換えを行うための３方弁を必要とせず、設備コスト
を安価にすることができ、また設備の保守点検も容易で
ある。さらに、最初にワークに大きな洩れがあるか否か
を判断し、大洩れがないと判断された時だけ小さな洩れ
があるか否かを判断しているので、検査時間を短くする
ことができる。
ダを用いることにより、空圧源や、空圧供給と大気開放
の切換えを行うための３方弁を必要とせず、設備コスト
を安価にすることができ、また設備の保守点検も容易で
ある。さらに、最初にワークに大きな洩れがあるか否か
を判断し、大洩れがないと判断された時だけ小さな洩れ
があるか否かを判断しているので、検査時間を短くする
ことができる。
【図１】本発明の実施の一形態の概略構成を示す図であ
る。
る。
【図２】図１のマイクロコンピュータで実行される洩れ
検査のためのルーチンを示すフローチャートである。
検査のためのルーチンを示すフローチャートである。
３０ マスタ用エア通路 ３１ マスタカプセル ３２ 第１電磁弁 ３３ エアシリンダ ３４ モータ ３５ 第２電磁弁 ４０ ワーク用エア通路 ４１ ワークカプセル ４２ 第１電磁弁 ４３ エアシリンダ ４４ モータ ４５ 第２電磁弁 ６０ 差圧センサ ７０ マイクロコンピュータ（洩れ判断実行手段）
Claims (1)
- 【請求項１】（イ）洩れの有無を検査すべきワークを収
納するワークカプセルと、（ロ）洩れのないマスタ容器
を収納するマスタカプセルと、（ハ）一端が上記マスタ
カプセル及び上記ワークカプセルがそれぞれ接続される
接続端となり、他端が大気に開放されているマスタ用エ
ア通路及びワーク用エア通路と、（ニ）上記マスタ用，
ワーク用のエア通路にそれぞれ設けられた一対の第１電
磁弁と、（ホ）上記マスタ用，ワーク用のエア通路にお
いて、上記第１電磁弁より上記接続端側にそれぞれ設け
られた一対の第２電磁弁と、（ヘ）上記マスタ用，ワー
ク用のエア通路において、上記第１，第２電磁弁の間に
接続された一対のエアシリンダと、（ト）上記第２電磁
弁より接続端側のマスタ用，ワーク用エア通路の圧力差
を検出する差圧センサと、（チ）マスタ用及びワーク用
エア通路が大気圧にあり、上記一対の第２電磁弁が開き
上記一対の第１電磁弁が閉じた状態で、上記一対のエア
シリンダを同時に作動させることにより、マスタ用エア
通路とマスタカプセルを含む閉鎖系及びワーク用エア通
路とワークカプセルを含む閉鎖系の容量を、それぞれ初
期容量から設定量だけ変更し、容量変更後の差圧センサ
からの圧力差情報に基づいてワークに大きな洩れがある
か否かを判断し、ワークに大きな洩れがあると判断した
場合には洩れ検査を終了し、ワークに大きな洩れがない
と判断した場合には、上記一対の第２電磁弁が閉じた状
態で、上記差圧センサからの圧力差情報に基づいて、ワ
ークに小さい洩れがあるか否かを判断する洩れ判断実行
手段と、を備えたことを特徴とする洩れ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30507595A JPH09126940A (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | 洩れ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30507595A JPH09126940A (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | 洩れ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09126940A true JPH09126940A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=17940820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30507595A Pending JPH09126940A (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | 洩れ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09126940A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10232179A (ja) * | 1996-12-20 | 1998-09-02 | Cosmo Keiki:Kk | 微小部品の洩れ検査方法及びこの検査方法を用いた洩れ検査装置 |
| CN103868664A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-06-18 | 杭州诺航科技有限公司 | 一种电机密封性检测设备 |
-
1995
- 1995-10-30 JP JP30507595A patent/JPH09126940A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10232179A (ja) * | 1996-12-20 | 1998-09-02 | Cosmo Keiki:Kk | 微小部品の洩れ検査方法及びこの検査方法を用いた洩れ検査装置 |
| CN103868664A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-06-18 | 杭州诺航科技有限公司 | 一种电机密封性检测设备 |
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