JP2014010119A - 気密性検査装置及び検査対象物の気密性を検査する方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造ラインに組み込むことができ且つ検査対象物の気密性を検査できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】検査対象物を外部から閉塞された状態で格納する格納部５と、格納部を閉塞した際に検査対象物と共に格納部の内部に残留する残留ガスを収容して、残留ガスに含まれ得る、検査対象物から漏出した漏出物を検出する検出部６と、格納部から検出部に残留ガスを吸引する吸引部とを備え、格納部は、検査対象物を格納する格納容器５０と、格納容器の内部に検査対象物を格納するために格納容器に開けられた開口５１と、一検査ごとに検査対象物を開口から格納容器の内部に格納して該格納容器を閉塞する閉塞部５２とを備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、検査対象物から該検査対象物に封入されている内容物が漏出していることを検知することにより、検査対象物の気密性を検査する気密性検査装置及び検査対象物の気密性を検査する方法に関する。

従来から、リチウムイオン電池の製造工程において、その気密性が充分に保たれていることを確認する気密性検査が実施されている。通常、リチウムイオン電池は、有機電解液などの電解質が密封された密封容器を備えている。ピンホールなどの不良がこの密封容器にあると、密封容器の気密性は不足する。そして、この密封容器の内部に封入された電解液が漏れ出す可能性が高まる。

特許文献１には、この気密性検査を実施するための気密性検査装置が開示されている。この気密性検査装置は、電池を内部に収容可能な密閉容器と、該密閉容器に接続される真空排気管とを備える。検査対象物が密閉容器に収容され、真空排気管が密閉容器の内部のガスを排気し、その排気されたガスを検査することにより、その検査対象物の気密性が検査される。

この検査対象物が製造ライン方式により自動で生産される場合、気密性検査もこの製造ラインに組み込まれて自動で実施されることが望ましい。しかし、特許文献１に記載された気密性検査装置では、製造ライン方式に対応していない。

特開２００１−２３６９８６号公報

本発明は、かかる事情に鑑み、製造ラインに組み込むことができ且つ自動で検査対象物を検査できる気密性検査装置及び検査対象物の気密性を検査する方法を提供することを課題とする。

本発明に係る気密性検査装置は、ガス雰囲気中で気密性検査の対象となる検査対象物を外部から閉塞された状態で格納する格納部と、格納部を閉塞した際に検査対象物と共に該格納部の内部に残留する残留ガスを収容して、該残留ガスに含まれ得る、検査対象物から漏出した漏出物を検出する検出部と、該格納部から検出部に残留ガスを一検査ごとに繰り返し吸引する吸引部とを備える気密性検査装置であって、格納部は、検査対象物を格納する格納容器と、該格納容器の内部に検査対象物を格納するために格納容器に開けられた開口と、一検査ごとに検査対象物を開口から格納容器の内部に格納して該格納容器を閉塞する閉塞部とを備えることを特徴とする。

かかる構成によれば、格納部は、検査対象物の気密性検査を行うに当たり格納容器の開口を閉塞部によって閉塞する際、同時に、製造ラインから受け取った検査対象物を格納容器の開口から閉塞部によって格納することができる。そして、格納容器の内部の残留ガスが吸引部によって検出部に吸引され、検出部が自動で漏出物を検出し、検査対象物の気密性が検査される。

本発明によれば、開口は、検査対象物が格納容器の下側から格納容器の内部に格納されるように格納容器の下部に設けられ、閉塞部は、格納容器の下側に配置され、開口に向かって上昇することが好ましい。

かかる構成によれば、格納部は、格納容器の下側から閉塞部を上昇させることによって格納容器の開口を閉塞する。格納部は、同時に、検査対象物を格納容器の開口から閉塞部によって格納容器に格納することができる。

本発明によれば、検査対象物を保持して閉塞部に搬送する搬送部を備え、閉塞部は、検査対象物との間に隙間が開くように検査対象物を支持する１又は複数の支持部を備えることが好ましい。

かかる構成によれば、搬送部は、検査対象物を保持して閉塞部まで搬送し、検査対象物を閉塞部の支持部に設置する。その際、検査対象物と閉塞部との間に隙間を開けた状態で支持部に設置することができ、搬送部によるどのような検査対象物の保持の形態にも対応できる。

本発明によれば、閉塞部は、開口が閉塞された状態にする閉塞位置と、開口が閉塞された状態を解除する閉塞解除位置とに位置変更可能に設けられ、搬送部は、閉塞部が閉塞解除位置にあるときに、検査対象物を受け取る受取位置と検査対象物を閉塞部に設置する設置位置との間を移動する第１の搬送部と、閉塞部が閉塞解除位置にあるときに、検査対象物を閉塞部から取り外す取外位置と検査対象物を引き渡す引渡位置との間を移動する第２の搬送部と、第１の搬送部が受取位置にあるときに第２の搬送部が取外位置にあり、第１の搬送部が設置位置にあるときに第２の搬送部が引渡位置にあるように第１の搬送部及び第２の搬送部を保持する保持部とを備えることが好ましい。

かかる構成によれば、先の検査で検査し終えた検査対象物を閉塞部から取り外す工程と、続けて検査を行う検査対象物を閉塞部に設置する工程とを同時に行うことができ、格納容器に検査対象物を搬出入する時間を短縮することができる。

本発明に係る検査対象物の気密性を検査する方法は、前述の気密性検査装置を用いて、検査対象物から該検査対象物に封入されている内容物が漏出していることを検知することにより、該検査対象物の気密性を検査する方法であって、格納部に検査対象物が設置され、開口を閉塞部によって閉塞することと、ガス検知部によって残留ガスに含まれ得る漏出物を検知することにより、検査対象物の気密性を検査することとを備えることを特徴とする。

かかる構成によれば、格納部は、検査対象物の気密性検査を行うに当たり格納容器の開口を閉塞部によって閉塞する際、同時に、製造ラインから受け取った検査対象物を格納容器の開口から閉塞部によって格納することができる。そして、格納容器の内部の残留ガスが吸引部によって検出部に吸引され、検出部が漏出物を検出し、検査対象物の気密性が検査される。

以上の如く、本発明に係る気密性検査装置及び検査対象物の気密性を検査する方法によれば、製造ラインに組み込むことができ且つ自動で検査対象物を検査できるという優れた効果を奏する。

図１は、本発明の一実施形態に係る気密性検査装置の全体斜視図である。 図２は、同実施形態に係る気密性検査装置（ケースを外した状態。以下同じ）の平面図である。 図３は、同実施形態に係る気密性検査装置の側面図である。 図４は、同実施形態に係る気密性検査装置における図２のＡ−Ａ線で切断した断面図である。 図５は、同実施形態に係る気密性検査装置における図４のａ部の拡大断面図である。 図６は、同実施形態に係る気密性検査装置における図２のＢ−Ｂ線で切断した断面図である。 図７は、同実施形態に係る気密性検査装置における図３のＣ−Ｃ線で切断した断面図である。 図８は、同実施形態に係る気密性検査装置における図３のＤ−Ｄ線で切断した断面図である。 図９は、同実施形態に係る気密性検査装置における図３のＥ−Ｅ線で切断した断面図である。 図１０は、同実施形態に係る気密性検査装置の制御ブロック図を示す。 図１１は、同実施形態に係る気密性検査装置のタイミングチャートを示す。 図１２は、同実施形態に係る気密性検査装置のガスフロー図を示す。 図１３は、同実施形態に係る気密性検査装置のフローチャートを示す。 図１４は、同実施形態に係る気密性検査装置の検査工程のフローチャートを示す。 図１５は、同実施形態に係る気密性検査装置の電池の搬出入の工程図を示す。 図１６は、同実施形態に係る気密性検査装置の電池の搬出入の工程図を示す。 図１７は、同実施形態に係る気密性検査装置の電池の搬出入の工程図を示す。 図１８は、同実施形態に係る気密性検査装置の電池の搬出入の工程図を示す。 図１９は、同実施形態に係る気密性検査装置の電池の搬出入の工程図を示す。

本発明の一実施形態に係る気密性検査装置について、図面を参照しつつ説明する。まず、同実施形態に係る気密性検査装置の構成について説明する。

同実施形態に係る気密性検査装置１は、検査対象物に封入された内容物の漏出を検知することによりその検査対象物の気密性を検査する検査装置である。本実施形態では、検査対象物をリチウムイオン電池とする例を説明する。リチウムイオン電池には、正極や負極などと共に、希硫酸などの水溶液やアルコール系の有機電解液などの電解液（電解質）が密封容器に封入される。この密封容器にピンホールや亀裂などの不良箇所があると、この電解液がこの不良箇所から漏出する。そこで、この気密性検査装置は、この密封容器の不良箇所から電解液をガス状にして漏出させ、この電解液が検出されるか否かによって密封容器の気密性の良否を判断する。なお、このガス状の電解液は、本発明の「漏出物」に相当する。

気密性検査装置１は、図１に示すように、リチウムイオン電池（以下、単に「電池」と略する）Ｂを搬送する搬送装置（コンベア）Ｃの搬送ライン上に設けられる。具体的には、気密性検査装置１は、検査前の電池Ｂを搬送する第１のコンベアＣ１と、気密性検査装置１で検査し終えた電池Ｂを出荷場所に搬送する第２のコンベアＣ２との間に位置する。第１のコンベアＣ１は、ローラコンベアである。第２のコンベアＣ２は、ベルトコンベアである。

気密性検査装置１は、図２〜図９に示すように、気密性検査を実施する検査装置本体２と、該検査装置本体２に電池Ｂを搬出入する搬出入装置３と、検査装置本体２と搬出入装置３とを一体に格納する筐体４（図１参照）とを備える。

検査装置本体２は、図３に示すように、ガス雰囲気中で電池Ｂを外部から閉塞された状態で格納する格納部５と、該格納部５を閉塞した際に電池Ｂと共に格納部５の内部に残留する残留ガスを収容して、該残留ガスに含まれ得るガス化した電解液を検出する検出部６と、格納部５から検出部６に残留ガスを一検査ごとに繰り返し吸引する吸引部７（図１参照）と、気密性検査を行うべく各部を制御する検査制御部８（図１０参照）とを備える。

格納部５は、図３〜図６及び図８に示すように、電池Ｂを格納する格納容器５０と、該格納容器５０の内部に電池Ｂを格納するために格納容器５０に開けられた開口５１と、一検査ごとに電池Ｂを開口５１から格納容器５０の内部に格納して該格納容器５０を閉塞する閉塞部５２と、開口５１を閉塞した際に格納容器５０の内部に残留される残留ガスを格納容器５０から検出部６に吸引するための吸引口５３と、格納容器５０の内部に電池Ｂが格納された際に該電池Ｂの上面が押し付けられる押付部材５４と、減圧された格納容器５０を大気開放する大気開放弁５５と、格納容器５０の内部の圧力を計測する圧力計５６とを備える。

格納容器５０は、その内部に電池Ｂを格納可能な空間を有する。格納容器５０は、外部と隔絶可能な密閉構造を有する。そのため、格納容器５０の残留ガスを外部に吸引すると、その内部は、減圧雰囲気又は真空となる。

開口５１は、電池Ｂが格納容器５０の下側から搬入されるように格納容器５０の下部に設けられる。具体的には、開口５１は、格納容器５０の下面（底面）全面に開けられている。

閉塞部５２は、図４及び５に示すように、開口５１を塞ぐ板状の蓋５２ａと、該蓋５２ａを上下方向に支持する支持部５２ｂと、蓋５２ａを上下方向に案内する案内部５２ｃと、支持部５２ｂを介して、蓋５２ａを上下方向に駆動する駆動部５２ｄとを備える。

蓋５２ａは、格納容器５０の下端部に押し当てて開口５１を閉塞させる蓋本体５２ｅと、電池Ｂとの間に隙間が開くように電池Ｂを支持する１又は複数の支持部５２ｆとを備える。蓋５２ａと格納容器５０との接合面には、更に密封装置が設けられてもよい。

支持部５２ｂは、閉塞部５２の下面の略中央部に設けられる。支持部５２ｂは、蓋本体５２ｅを支持する軸部５２ｇと、該軸部５２ｇを蓋本体５２ｅに連結する連結部５２ｈとを備える。軸部５２ｇは、駆動部５２ｄに接続されて軸芯方向に可動する。連結部５２ｈは、軸部５２ｇの先端に結合される軸端部５２ｉと、該軸端部５２ｉを当接させる当接面５２ｊと、軸端部５２ｉを覆う被覆部５２ｋとを備える。

軸端部５２ｉは、当接面５２ｊを１点で接触させるために先端側を球面形状に形成されている。軸端部５２ｉの基端側は、凸形状に形成されている。その凸部の先端には、軸部５２ｇの先端が連結される。当接面５２ｊは、略平面状に形成されている。被覆部５２ｋは、軸端部５２ｉの基端及び側面との間に隙間が開くように軸端部５２ｉを被覆する。また、被覆部５２ｋと軸端部５２ｉの基端側の凸部との間にも隙間が設けられている。被覆部５２ｋは、閉塞部５２側に固定され、閉塞部５２と共に可動する。そして、被覆部５２ｋのこれらの隙間は、閉塞部５２が傾斜する際に軸端部５２ｉに対して被覆部５２ｋが移動する範囲を制限する。被覆部５２ｋと軸端部５２ｉの基端及び側部が接触するまで、被覆部５２ｋは、軸端部５２ｉに対して移動することを許容されており、つまり、蓋本体５２ｅは、軸端部５２ｉに対して傾斜することを許容されている。

案内部５２ｃは、支持部５２ｂが軸部５２ｇに対して閉塞部５２を傾斜可能に設けられているため、閉塞部５２が所定範囲の角度を超えて傾いた状態で上下動しないように蓋５２ａの水平方向の所定範囲で移動を規制し、上下方向の移動を許容する。

駆動部５２ｄは、計装用空気でピストンを往復動させるエアシリンダであり、そのピストンの往復方向にロッドを移動させる。そのロッドの先端には、軸部５２ｇが接続される。なお、駆動部５２ｄには、エアシリンダ以外にも油圧シリンダや電動シリンダなどが採用されてもよい。

なお、閉塞部５２の位置には、図１５〜図１９に示すように、開口５１が閉塞された状態にする閉塞位置ＬＡ１と、開口５１が閉塞された状態を解除する閉塞解除位置ＬＡ２とがある。閉塞解除位置ＬＡ２は、電池Ｂを蓋５２ａに受け渡す位置でもある。具体的には、閉塞解除位置ＬＡ２には、電池Ｂを蓋５２ａに受け渡す受渡位置ＬＡ２１と、電池Ｂを受け渡す際に搬出入装置３との干渉を避けるために蓋５２ａを退避させる退避位置ＬＡ２２とがある。

吸引口５３は、図４に示すように、格納容器５０の内部の残留ガスを格納容器５０から検出部６に吸引するために設けられる。吸引口５３は、格納容器５０の上下方向に貫通する孔である。この吸引口５３の形状は、格納容器５０の内側が広く、外側が狭くなるように、円錐状に形成されている。

押付部材５４は、電池Ｂの上面に当接し得る当接板５４ａと、該当接板５４ａを支持する支持部５４ｂと、該支持部５４ｂを内部に挿入する方向に後退させて電池Ｂと当接板５４ａとの接触時の衝撃を緩和する緩衝部５４ｃとを備える。押付部材５４は、電池Ｂを格納容器５０の内部に格納された際、電池Ｂが変形している場合、その電池Ｂの上面に接触してその変形を矯正し、電池Ｂから漏出物が漏出されるのを促進する役割がある。

大気開放弁５５は、格納容器５０の内部の圧力を大気圧に戻すために設けられる。大気開放弁５５は、格納容器５０から電池Ｂを搬出する際に、閉塞部５２を格納容器５０から離間させやすくするために設けられる。

圧力計５６は、格納容器５０の内部の圧力を計測しており、計測された結果は、検査制御部８にデジタル出力又はアナログ出力される。

検出部６は、図４，図６及び図７に示すように、残留ガスに含まれ得る漏出物を検出する複数の検出器６０，…と、格納容器５０と該複数の検出器６０，…とを接続する配管６１（図１２参照）とを備える。

複数の検出器６０，…は、１つの格納部５に対して複数設けられている。複数の検出器６０，…は、本実施形態では、３つ設けられている。複数の検出器６０，…は、格納容器５０の内部の残留ガスを一時的に収容するガス収容器６２と、残留ガスの流量を調整する流量調整部６３と、残留ガスに含まれる漏出物を検出するガス検知部６４と、ガス収容器６２を大気開放する大気開放弁６５とをそれぞれに備える。

各ガス収容器６２は、円筒形状の収容器本体６２ａと、格納容器５０と収容器本体６２ａとを連通させるための複数の連通口６２ｂ，…と、格納容器５０の内部のガスを吸引するための吸引口６２ｃと、複数の連通口６２ｂ，…に格納容器５０からの配管を接続する接続部６２ｄとを備える。

収容器本体６２ａは、内部に格納容器５０から複数の連通口６２ｂ，…を通過した残留ガスを一時的に貯留する空間を備える。収容器本体６２ａが収容可能なガス容量は、１回の気密性検査で必要な容量以上である。

複数の連通口６２ｂは、本実施形態では、１つの収容器本体６２ａにつき２箇所設けられている。複数の連通口６２ｂのうち一方の連通口（以下、「第１の連通口」と称する）６２ｂ１には、流量調整部６３が取り付けられる。複数の連通口６１のうち他方の連通口（以下、「第２の連通口」と称する）６２ｂ２には、ガス検知部６４が取り付けられる。第２の連通口６２ｂ２には、更に、該第２の連通口６２ｂ２を通過するガス流量を減らすために、１又は複数の貫通孔を有する蓋６２ｂ３が設けられる。

吸引口６２ｃは、格納容器５０の内部の残留ガスを格納容器５０から吸引するために設けられている。

接続部６２ｄは、複数の連通口６２ｂ，…をすべて覆う略円筒形に形成されている。格納容器５０から吸引されてきたガスは、この接続部６２ｄで複数の連通口６２ｂ，…に分配される。

流量調整部６３は、第１の連通口６２ｂ１を閉じて該第１の連通口６２ｂ１を通過する残留ガスを遮断することにより、ガス収容器６２に流入するガスの流量を調整する。具体的には、流量調整部６３は、ガス遮断弁である。以下、符号６３は、ガス遮断弁に対しても同一の符号を付す。

ガス検知部６４は、漏出物である有機溶媒（ガス化した電解液）を検知可能な半導体方式のガスセンサである。ガス検知部６４は、本実施形態では、酸化スズ半導体ガスセンサを用いた例を説明する。この半導体方式のガスセンサは、金属酸化物半導体素子の表面に漏出物が付着することにより電気伝導度が変化することを利用して、その電気伝導度を計測することにより、漏出物の有無を検知する。このガスセンサは、更には、その漏出物の漏出量を検知する。ガス検知部６４は、図７に示すように、ガスを排気する排気口６４ａを２箇所備える。排気口６４ａは、吸引方向に対して直交する方向に設けられる。その一方の排気口６４ａは、吸引口６２ｃに対向して設けられ、他方の排気口６４ａは、その一方の排気口６４ａと反対側に設けられる。

配管６１は、図１２に示すように、格納部５から吸引する残留ガスに含まれる漏出物を検出する検出器６０を選択する第１の検出器選択ユニット６６及び第２の検出器選択ユニット６７と、ガス収容器６２を大気開放するための大気開放ユニット６８とを備える。

第１の検出器選択ユニット６６は、図３及び図１２に示すように、格納部５と複数のガス収容器６２，…との間をつなぐ配管６６ａと、該配管６６ａ上の複数のガス収容器６２，…側のそれぞれに設けられる収容検出器選択電磁弁６６ｂ，…とを備える。各ガス収容器６２，…が格納部５に対して均等に配置されており、配管６６ａも複数のガス収容器６２，…のそれぞれと格納部５との間の距離が略均等となるような配管経路が採用されている。

第２の検出器選択ユニット６７は、図３，図７及び図１２に示すように、吸引部７と複数のガス収容器６２，…との間をつなぐ配管６７ａと、該配管６７ａ上の複数のガス収容器６２，…側のそれぞれに設けられる吸引検出器選択電磁弁６７ｂ，…とを備える。各ガス収容器６２，…が格納部５に対して均等に配置されており、配管６７ａも複数のガス収容器６２，…のそれぞれと吸引部７との間の距離が略均等となるような配管経路が採用されている。

大気開放ユニット６８は、図１２に示すように、複数のガス収容器６２，…を大気開放させる配管６８ａと、該配管６８ａ上の複数のガス収容器６２，…側のそれぞれに設けられる開放検出器選択電磁弁６８ｂ，…とを備える。

吸引部７は、図１及び図１２に示すように、格納容器５０の残留ガスを吸引する真空ポンプなどの吸引装置７０と、各ガス収容器６２の吸引口６２ｃから残留ガスを吸引装置７０に誘導する主配管７１と、該主配管７１の途中に設けられ、主配管７１を流れる残留ガスをバイパスするバイパス配管７２と、吸引装置７０に吸引される残留ガスのルートを切り換える流路切換弁７３と、バイパス配管７２に設けられ、通過する残留ガスの流量を調整可能な流量調整弁７４とを備える。

検査制御部８は、図１０に示すように、電池Ｂを格納容器５０に格納するために閉塞部５２を開閉制御する開閉制御部８０と、複数の検出器６０，…のうち検査で使用する検出器６０を選択する検出器選択部８１と、該検出器選択部８１で選択された検出器６０を制御する検出器制御部８２と、気密性検査の結果等を報知する検査結果報知部８３とを備える。なお、これらの構成は、各制御を可能とする制御プログラムを記憶する不揮発性のメモリであるＲＯＭと、各装置からの入出力信号などを記憶する揮発性のメモリであるＲＡＭと、各種演算処理を行う演算部とにより実現される。

開閉制御部８０は、閉塞部５２の駆動部５２ｄを制御して、閉塞部５２の位置を閉塞位置ＬＡ１と閉塞解除位置ＬＡ２（受渡位置ＬＡ２１，退避位置ＬＡ２２）との間の位置制御を行う。

検出器選択部８１は、検出器６０のガス検知部６４の検知感度の復旧状態より検査可能な状態にある検出器６０を選択する。更に、検出器選択部８１は、配管６１の各ユニットを制御して、複数の検出器６０，…のうち検査で使用する検出器６０に配管経路を切り換える。

検出器制御部８２は、格納容器５０の内部のガス圧力を制御する圧力検査制御部８２ａと、格納容器５０の内部の状態を監視する状態監視部８２ｂと、ガス検知部６４のセンサ出力電圧により電池Ｂの気密性を判定する気密性判定部８２ｃとを備える。

検査結果報知部８３は、格納容器５０の内部のガス圧力を表示する圧力表示計８３ａと、気密性判定部８２ｃによる電池Ｂの気密性の判定結果を報知する判定表示部８３ｂとを備える。

搬出入装置３は、図２〜図４，図６〜図９に示すように、第１のコンベアＣ１から検査前の電池Ｂを受け取る受取部１００と、検査後の電池Ｂを第２のコンベアＣ２に引き渡す引渡部１０１と、受取部１００にある電池Ｂを検査装置本体２に搬送し、且つ検査装置本体２にある電池Ｂを引渡部１０１に搬送する搬送部１０２と、搬送装置Ｃと検査装置本体２との間の電池Ｂの受け渡しを制御し、電池Ｂを検査装置本体２に搬出入する搬出入制御部１０３（図１０参照）とを備える。

受取部１００は、図６に示すように、第１のコンベアＣ１から搬送されてくる電池Ｂを載置する載置台１００ａと、該載置台１００ａを昇降させる昇降機構１００ｂとを備える。載置台１００ａは、電池Ｂを所定位置まで誘導するために所定間隔空けて設けられる複数のローラ１００ｃ，…と、該複数のローラ１００ｃ，…を軸支して保持するフレーム１００ｄとを備える。昇降機構１００ｂは、載置台１００ａを上下動させる軸部１００ｅと、載置台１００ａを軸支する支持部１００ｆと、載置台１００ａを軸部１００ｅの軸芯方向に案内する案内部１００ｇと、軸部１００ｅを軸芯方向に駆動する駆動部１００ｈとを備える。

引渡部１０１も図６に示すように、受取部１００と同様の構成を備える。

搬送部１０２は、図３，図９及び図１５〜図１９に示すように、蓋５２ａが閉塞解除位置ＬＡ２にあるときに、電池Ｂを受取部１００から受け取る受取位置ＬＢ１と電池Ｂを蓋５２ａに設置する設置位置ＬＢ２との間を水平方向に移動して電池Ｂを蓋５２ａに設置する設置用搬送部１０２ａと、蓋５２ａが閉塞解除位置ＬＡ２にあるときに、電池Ｂを蓋５２ａから取り外す取外位置ＬＢ３と電池Ｂを引渡部１０１に引き渡す引渡位置ＬＢ４との間を水平方向に移動して蓋５２ａに設置されている電池Ｂを蓋５２ａから取り外す取外用搬送部１０２ｂと、設置用搬送部１０２ａが受取位置ＬＢ１にあるときに取外用搬送部１０２ｂが取外位置ＬＢ３にあり、設置用搬送部１０２ａが設置位置ＬＢ２にあるときに取外用搬送部１０２ｂが引渡位置ＬＢ４にあるように設置用搬送部１０２ａ及び取外用搬送部１０２ｂを保持する保持部１０２ｃとを備える。なお、本実施形態においては、設置位置ＬＢ２と取外位置ＬＢ３とは同じ位置である。

設置用搬送部１０２ａは、受取部１００の複数のローラ１００ｃ，…間の隙間に挿入可能な複数の突出部１０２ｄ１，…を有する一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄと、該一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄを互いに複数の突出部１０２ｄ１，…の先端を対向させて離接する方向にチャック１０２ｄ，１０２ｄを駆動する駆動部１０２ｅ（図１０参照）と、チャック１０２ｄ，１０２ｄを互いに離接させる方向に案内する案内部１０２ｆとをそれぞれ１対備える。

取外用搬送部１０２ｂも設置用搬送部１０２ａと同様の構成を備える。

保持部１０２ｃは、一対の設置用搬送部１０２ａ及び一対の取外用搬送部１０２ｂの一方をそれぞれ搭載する一対のベース１０２ｇ，１０２ｇと、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄが互いに離接する方向に対して直交する方向にする該一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄとの間を一定に保たれるように一対のベース１０２ｇのそれぞれを駆動する一対の駆動部１０２ｈ，１０２ｈとを備える。

搬出入制御部１０３は、図１０に示すように、第１のコンベアＣ１から検査前の電池Ｂを受け取るために受取部１００を制御する受取制御部１０３ａと、検査後の電池Ｂを第２のコンベアＣ２に引き渡すために引渡部１０１を制御する引渡制御部１０３ｂと、受取部１００にある電池Ｂを検査装置本体２に搬送し、且つ検査装置本体２にある電池Ｂを引渡部１０１に搬送するために搬送部１０２を制御する搬送制御部１０３ｃとを備える。なお、これらの構成は、各制御を可能とする制御プログラムを記憶する不揮発性のメモリであるＲＯＭと、各装置からの入出力信号などを記憶する揮発性のメモリであるＲＡＭと、各種演算処理を行う演算部とにより実現される。

筐体４は、図１に示すように、検査装置本体２の格納部５及び検出部６と搬出入装置３とを覆うカバー４１と、これらの載せる架台４２とを備える。

次に、本実施形態に係る気密性検査装置１を用いた電池Ｂの気密性を検査する方法について、図１３及び図１４を参照しつつ詳細に説明する。まず、気密性検査の工程は、図１３に示すように、主に第１のコンベアＣ１から電池Ｂを受け取り、気密性検査装置１に搬入する搬入工程Ｓ１と、電池Ｂの気密性を検査する検査工程Ｓ２と、検査が完了した電池Ｂを気密性検査装置１から搬出し、第２のコンベアＣ２に引き渡して搬出する搬出工程Ｓ３とからなる。

まず、搬入工程Ｓ１について、主に、図１３及び図１５〜図１９を参酌しつつ説明する。気密性検査を実施する電池Ｂは、第１のコンベアＣ１の上流側から気密性検査装置１に向かって搬送される。その検査前の電池Ｂを受取部１００が第１のコンベアＣ１から受け取る（Ｓ１０１，図９及び図１５参照）。具体的には、受取制御部１０３ａが複数のローラ１００ｃ，…を駆動させて、電池Ｂを第１のコンベアＣ１から載置台１００ａの上に移動させる。電池Ｂが載置台１００ａの上の適当な位置に到達すると、受取制御部１０３ａは、複数のローラ１００ｃ，…を停止させる。

次に、搬送制御部１０３ｃが載置台１００ａの上にある電池Ｂを検査装置本体２の閉塞部５２に搬送させる（Ｓ１０２，図９及び図１６〜図１９参照）。具体的には、搬送制御部１０３ｃは、設置用搬送部１０２ａが受取位置ＬＢ１に位置するようにベース１０２ｇを移動させる。設置用搬送部１０２ａが受取位置ＬＢ１に到達すると、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄの間に電池Ｂが位置するように配置される。そこで、搬送制御部１０３ｃは、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄを互いに接近する方向に移動させ、受取部１００の複数のローラ１００ｃ，…間の隙間に挿入させる。一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄは、その突出部１０２ｄ１，…の上面が電池Ｂの下面に面するように配置されている（図１６参照）。受取制御部１０３ａは、駆動部１００ｈを駆動させて載置台１００ａを下降させ、電池Ｂの下面を支えていたローラ１００ｃ，…を一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄより更に下降させることにより、電池Ｂを一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄに移す（図１７参照）。その後、搬送制御部１０３ｃは、設置用搬送部１０２ａが設置位置ＬＢ２に位置するようにベース１０２ｇを移動させる（図１８参照）。電池Ｂが蓋５２ａの上方に位置すると、開閉制御部８０は、蓋５２ａを受渡位置ＬＡ２１まで上昇させ、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄの複数の突出部１０２ｄ１，…の間の隙間から支持部５２ｆを通過させ、電池Ｂの下面を押し上げる。電池Ｂの下面が一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄから離間する（図１９参照）と、搬送制御部１０３ｃは、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄを互いに離間する方向に移動させる。

次に、開閉制御部８０は、電池Ｂを格納容器５０に格納して、開口５１を閉塞する（Ｓ１０３，図１６〜図１９参照）。具体的には、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄが完全に蓋５２ａの上面から退避すると、開閉制御部８０は、蓋５２ａを閉塞位置ＬＡ１まで上昇させ、格納容器５０の内部に電池Ｂを格納し、開口５１を蓋５２ａで閉塞させる（図１５参照）。一方、電池Ｂを蓋５２ａに設置し終えた設置用搬送部１０２ａは、搬送制御部１０３ｃによって、次の電池Ｂを受け取るために再び受取位置ＬＢ１に戻る。同時に、取外用搬送部１０２ｂは、検査し終えた電池Ｂを蓋５２ａから取り外すために、取外位置ＬＢ３まで移動する。

次に、検査工程Ｓ２について、図１４を参酌しつつ説明する。気密性検査は、電池Ｂから電解液が漏出可能な条件にすべく、格納容器５０を所定の圧力まで減圧する減圧段階と、格納容器５０の残留ガスから電解液を検知するガス検知部６４のセンサ出力信号から電池Ｂの気密性の良否を判定する判定段階とに分けて実施される。

気密性検査の減圧段階では、まず、検出器選択部８１が複数の検出器６０，…の中から検査に使用する検出器６０を選択する（Ｓ２０１）。具体的な検出器６０の選択方法について、検出器選択部８１は、複数の電池Ｂを検査する気密性検査を連続して行う際に、先の検査で使用した検出器６０とは別の検出器６０であって、ガス検知部６４の検知感度が復旧している状態にある検出器６０を選択する。本実施形態における検出器選択部８１は、図１１に示すように、検査に使用する３つの検出器６０，…を順番に使用するように設定している。各検出器６０，…が使用された後、ガス検知部６４の検知感度が復旧するのに約２１秒かかるため、最低３つの検出器６０，…があれば、検査は、ガス検知部６４の検知感度が復旧するのを待つこと無く、連続して繰り返し実施することができる。

また、具体的な３つの検出器６０，…の切換方法について、検出器選択部８１は、図１２に示すように、選択された検出器６０側の収容検出器選択電磁弁６６ｂ及び吸引検出器選択電磁弁６７ｂを「開」にして、残りの収容検出器選択電磁弁６６ｂ，…及び吸引検出器選択電磁弁６７ｂ，…を「閉」にすることにより切り換える。大気開放ユニット６８の開放検出器選択電磁弁６８ｂ，…は、ガス検知部６４の検知感度の復旧中にある検出器６０を除き、「閉」のままとなっている。

圧力検査制御部８２ａは、ガス遮断弁６３を制御して、格納部５の残留ガスが主に第１の連通口６２ｂ１からガス収容器６２に収容されるように調整する。つまり、圧力検査制御部８２ａは、ガス遮断弁６３を「開」にする（Ｓ２０２）。また、圧力検査制御部８２ａは、流路切換弁７３を主配管７１側に流れるように切り換える。つまり、圧力検査制御部８２ａは、流路切換弁７３を「開」にする。（Ｓ２０３）。その後、圧力検査制御部８２ａは、吸引装置７０を駆動させる（Ｓ２０４）。吸引装置７０は、ガス収容器６２を介して格納容器５０の残留ガスを吸引する。このようにして、格納部５は、減圧され始める。状態監視部８２ｂでは、格納容器５０及びガス収容器６２の内部のガス圧力を格納部５の圧力計５６から入力される計測信号に基づき監視している。そして、状態監視部８２ｂは、そのガス圧力を計測した計測信号を圧力検査制御部８２ａ及び検査結果報知部８３に出力している。

圧力検査制御部８２ａが状態監視部８２ｂから入力された圧力信号に基づき格納部５の圧力が所定圧力に達したと判定する（Ｓ２０５でＹＥＳ）と、気密性検査は、電池Ｂから電解液が漏出可能な条件となったため、検知段階に移行する。なお、ここでいう所定圧力とは、電池Ｂから電解液を漏出させるために必要な圧力である。以下、この圧力を「判定開始圧力」と称する。本実施形態では、この判定開始圧力は、２０［ｋＰａ］／１５０［Ｔｏｒｒ］とする。検知段階では、圧力検査制御部８２ａは、残留ガスがバイパス配管７２を経由して吸引されるように流路切換弁７３を「閉」にする（Ｓ２０６）。圧力検査制御部８２ａは、更に、ガス遮断弁６３を「閉」にする（Ｓ２０７）。その後、ガス検知部６４のある第２の連通口６２ｂ２に残留ガスが通過し、残留ガスに含まれ得る電解液の検出が行われる。

気密性判定部８２ｃでは、ガス検知部６４のセンサ出力信号の入力を受け付けているが、判定開始圧力に達した約７秒後から、ピンホール等があれば、センサ出力電圧（信号）が上昇し始める。気密性判定部８２ｃは、格納部５内のガス圧力が判定開始圧力に達してから所定の時間が経過したとき（Ｓ２０８でＹＥＳ）のガス検知部６４のセンサ出力電圧が所定の電圧以下であるか否かでその漏出物の気密性の良否を判定する（Ｓ２０９）。

なお、ここでいう所定の時間とは、ガス検知部６４が気密性の判定においてその気密性の良否を判別可能な閾値まで電解液を漏出させるのに必要な時間である。この所定の時間は、以下、「漏出検知時間」と称する。また、ここでいう所定の電圧とは、判定開始圧力から漏出検知時間に達したときのその気密性の良否を判別可能な閾値となるセンサ出力電圧である。この所定の電圧は、以下、「気密性判定電圧」と称する。この気密性判定電圧は、電池Ｂに形成されたピンホールの規模（大きさ）によって、電圧値が異なっている。

気密性判定部８２ｃは、センサ出力電圧がこの気密性判定電圧以下であった場合、気密性に異常はなく、気密性が保たれていると判定する（Ｓ２０９でＹＥＳ，Ｓ２１０）。一方、気密性判定部８２ｃは、センサ出力電圧がこの気密性判定電圧を超えた場合、気密性に異常があり、気密性が充分に保たれていないと判定する（Ｓ２０９でＮＯ，Ｓ２１１）。気密性判定部８２ｃは、これらの判定結果（判定結果信号）を検査結果報知部８３に出力する（Ｓ２１２）。検査結果報知部８３では、判定表示部８３ｂでその結果を報知する。

つまり、吸引部７を吸引させることにより、格納部５の内部のガスがガス収容器６２に吸引される。このとき、電池Ｂから漏出した電解液は、残留ガスと共にガス収容器６２に吸引され、ガス検知部６４に誘導される。ガス検知部６４では、その残留ガスに含まれ得る電解液の有無を検知する。そのため、気密性検査装置１は、短時間で電池Ｂの気密性を検査することができる。

なお、検出部６は、検出器６０，…を複数備えるため、検知部６４ａのセンサ出力（電圧）が検査初期の電圧に戻ったものから順次使用することができる。よって、常にセンサ感度が安定化した検出器６０，…を使用することができる。また、１つの電池Ｂを検査するのにかかる検査時間は、複数の検出器６０，…を組み合わせることにより、センサ感度が安定化するまでの復旧時間が無視することができるようになり、他の製造工程から決定される製造ラインの速度に合わせて検査時間を容易に短縮することができる。

最後に、搬出工程について、図９，図１３及び図１５〜図１９に戻って説明する。判定結果が出て、気密性検査が完了すると、開閉制御部８０が格納容器５０を開放して、電池Ｂを搬出する（Ｓ３０１）。具体的には、まず、圧力検査制御部８２ａが大気開放弁５５および使用されている検出器６０の開放検出器選択電磁弁６８ｂを開放して、格納容器５０を大気開放し、格納容器５０の内部を大気圧に戻す。

格納容器５０の圧力が大気圧まで戻ると、開閉制御部８０は、蓋５２ａを閉塞解除位置ＬＡ２まで下降させ、格納容器５０から電池Ｂを搬出する（図１６参照）。具体的には、開閉制御部８０は、蓋５２ａを受渡位置ＬＡ２１まで下降させる。次に、搬送制御部１０３ｃが取外用搬送部１０２ｂの一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄを互いに接近する方向に移動させる。一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄが電池Ｂの下方に到達すると、開閉制御部８０は、蓋５２ａを退避位置ＬＡ２２まで下降させ、電池Ｂの下面を支えていた支持部５２ｆを一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄの突出部１０２ｄ１，…の間の隙間を通過させつつ下降させて、電池Ｂの下面の支えを支持部５２ｆから一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄに移す（図１７参照）。その後、搬送制御部１０３ｃは、取外用搬送部１０２ｂが引渡位置ＬＢ４に位置するようにベース１０２ｇを移動させる（図１８参照）。

取外用搬送部１０２ｂが引渡位置ＬＢ４に到達すると、引渡制御部１０３ｂは、駆動部１００ｈを駆動させて載置台１００ａを上昇させ、複数のローラ１００ｃ，…を一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄのそれぞれの突出部１０２ｄ１，…の間の隙間を通過させる。複数のローラ１００ｃ，…が電池Ｂの下面を押し上げて、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄから電池Ｂが引渡部１０１に移動する（図１９参照）。引渡部１０１は、駆動部１００ｈを制御して、複数のローラ１００ｃ，…を駆動させ、第２のコンベアＣ２に電池Ｂを移動させる。

このようにして、格納部５は、電池Ｂの気密性検査を行うに当たり格納容器５０の開口５１を閉塞部５２によって閉塞する際、同時に、製造ラインから受け取った電池Ｂを格納容器５０の開口５１から閉塞部５２によって格納することができる。そして、格納部５の内部の残留ガスが吸引部７によって検出部６に吸引され、検出部６が電解液を検出し、電池Ｂの気密性が検査される。

また、格納部５は、格納容器５０の下側から閉塞部５２を上下動することによって開口５１を閉塞する。格納部５は、同時に、電池Ｂを開口５１から閉塞部５２によって格納容器５０に格納することができる。

また、搬送部１０２は、電池Ｂを保持して閉塞部５２まで搬送し、電池Ｂを閉塞部５２の支持部５２ｆに設置する。その際、電池Ｂと蓋５２ａとの間に隙間を開けた状態で支持部５２ｆに設置することができ、搬送部１０２によるどのような電池Ｂの保持の形態にも対応できる。つまり、電池Ｂの保持の形態が電池Ｂを載置することによる場合であれば、搬送部１０２は、電池Ｂと蓋５２ａとの間の隙間を利用して、支持部５２ｆに載置された電池Ｂの下面から引き抜くことができるようになる。なお、電池Ｂの保持の形態が電池Ｂの側面を把持することによる場合であっても、搬送部１０２は、側面の全面を把持して搬送することができるようになる。電池Ｂの保持の形態が電池Ｂの上下面を把持することによる場合であっても、搬送部１０２は、電池Ｂを把持したまま、電池Ｂを支持部５２ｆに載置し、引く抜くことができるようになる。

また、搬送部１０２が設置用搬送部１０２ａと取外用搬送部１０２ｂとを独立して備えているため、先の検査で検査し終えた電池Ｂを蓋５２ａから取り外す工程と、続けて検査を行う電池Ｂを蓋５２ａに設置する工程とを同時に行うことができ、格納容器５０に電池Ｂを搬出入する時間を短縮することができる。

なお、本発明に係る気密性検査装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。

上記実施形態に係る気密性検査装置１は、リチウムイオン電池Ｂに適用する例を説明したが、この用途に限定されるものではない。例えば、本発明に係る気密性検査装置は、リチウムイオン電池以外のニッケル水素電池などのように、放電後に再充電して繰り返し使用可能な二次電池（いわゆる、充電池）や、アルカリ乾電池やマンガン乾電池のような一次電池などの電池に対しても適用することができる。また、これらの電池と同じように密封構造の容器を有する検査対象物にも適用することができる。例えば、電解コンデンサも陽極電極と、陰極電極と、当該両電極間に浸透される電解液とを有している検査対象物にも適用することができる。

上記実施形態に係る気密性検査装置１は、ガス検知部６４が酸化スズ半導体ガスセンサである例を説明したが、これに限定されるものではない。ガス検知部は、本発明の気密性検査装置が検査する検査対象物に合わせて漏出物を選択し、この漏出物の検知に適したセンサであれば、どのようなセンサであってもよい。なお、上記実施形態で開示したガス検知部の特性は、一例である。ガス検知部の特性は、漏出物に合わせて選択したセンサの特性に合わせて適宜、センサの特性を確認し、センサごとに適した制御が行われなくてはならないことは言うまでもない。

上記実施形態に係る気密性検査装置１は、吸引装置７０の吸引能力を一定のまま、流量調整弁７４によって格納容器５０の内部のガスを吸引する流量を調整する例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、吸引装置は、その吸引能力を調整又は多段切換してガスの流量を調整可能な真空ポンプであってもよい。

上記実施形態に係る気密性検査装置１は、閉塞部５２の支持部５２ｆが電池Ｂの下面を支持する例を説明したが、これに限定されるものではない。支持部は、閉塞部上で適当な位置に位置決めするために、電池Ｂの側面に当接して電池Ｂを所望の姿勢に案内する傾斜面若しくは段部を備えていてもよい。また、支持部は、電池Ｂに位置決めのための凹部又は貫通孔が設けられている場合であれば、その凹部又は貫通孔に挿入可能なピンを備えることにより電池Ｂを位置決めしてもよい。

上記実施形態に係る気密性検査装置１は、搬送部１０２のチャック１０２ｄ，…に電池Ｂを載置して水平方向に移動させる例を説明したが、これに限定されるものではない。搬送部１０２のチャック１０２ｄ，…は、その突出部１０２ｄ１，…に段部を設けて、電池Ｂの水平方向の位置決めできるようにしてもよい。この段部は、チャック１０２ｄが搬送方向に対して直交する方向及び並行する方向に位置決めできるようにすることが好ましい。

上記実施形態に係る気密性検査装置１は、検出器６０，…が３つあり、各等間隔となるように正三角形状に配置されているが、これに限定されるものではない。例えば、検出部は４つあり、正方形状に配置されていてもよい。このように配置することにより、どの検出部を使用しても、吸引条件を同一にすることができる。

１…気密性検査装置、２…検査装置本体、３…搬出入装置、４…筐体、５…格納部、６…検出部、７…吸引部、８…検査制御部、４１…カバー、４２…架台、５０…格納容器、５１…開口、５２…閉塞部、５２ａ…蓋、５２ｂ…支持部、５２ｃ…案内部、５２ｄ…駆動部、５２ｅ…蓋本体、５２ｆ…支持部、５２ｇ…軸部、５２ｈ…連結部、５２ｉ…軸端部、５２ｊ…当接面、５２ｋ…被覆部、５３…吸引口、５４…押付部材、５４ａ…当接板、５４ｂ…支持部、５４ｃ…緩衝部、５５…大気開放弁、５６…圧力計、６０…検出器、６１…配管、６２…ガス収容器、６２ａ…収容器本体、６２ｂ…連通口、６２ｂ１…第１の連通口、６２ｂ２…第２の連通口、６２ｂ３…蓋、６２ｃ…吸引口、６２ｄ…接続部、６３…流量調整部（ガス遮断弁）、６４…ガス検知部、６４ａ…排気口、６５…大気開放弁、６６…第１の検出器選択ユニット、６６ａ…配管、６６ｂ…収容検出器選択電磁弁、６７…第２の検出器選択ユニット、６７ａ…配管、６７ｂ…吸引検出器選択電磁弁、６８…大気開放ユニット、６８ａ…配管、６８ｂ…開放検出器選択電磁弁、７０…吸引装置、７１…主配管、７２…バイパス配管、７３…流路切換弁、７４…流量調整弁、８０…開閉制御部、８１…検出器選択部、８２…検出器制御部、８２ａ…圧力検査制御部、８２ｂ…状態監視部、８２ｃ…気密性判定部、８３…検査結果報知部、８３ａ…圧力表示計、８３ｂ…判定表示部、１００…受取部、１００ａ…載置台、１００ｂ…昇降機構、１００ｃ…ローラ、１００ｄ…フレーム、１００ｅ…軸部、１００ｆ…支持部、１００ｇ…案内部、１００ｈ…駆動部、１０１…引渡部、１０２…搬送部、１０２ａ…設置用搬送部、１０２ｂ…取外用搬送部、１０２ｃ…保持部、１０２ｄ…チャック、１０２ｄ１…突出部、１０２ｅ…駆動部、１０２ｆ…案内部、１０２ｇ…ベース、１０２ｈ…駆動部、１０３…搬出入制御部、１０３ａ…受取制御部、１０３ｂ…引渡制御部、１０３ｃ…搬送制御部、Ｂ…リチウムイオン電池（電池）、Ｃ…搬送装置、Ｃ１…第１のコンベア、Ｃ２…第２のコンベア、ＬＡ１…閉塞位置、ＬＡ２…閉塞解除位置、ＬＡ２１…受渡位置、ＬＡ２２…退避位置、ＬＢ１…受取位置、ＬＢ２…設置位置、ＬＢ３…取外位置、ＬＢ４…引渡位置

Claims (5)

1. ガス雰囲気中で気密性検査の対象となる検査対象物を外部から閉塞された状態で格納する格納部と、
   前記格納部を閉塞した際に前記検査対象物と共に該格納部の内部に残留する残留ガスを収容して、該残留ガスに含まれ得る、前記検査対象物から漏出した漏出物を検出する検出部と、
   該格納部から前記検出部に前記残留ガスを一検査ごとに繰り返し吸引する吸引部と
   を備える気密性検査装置であって、
   前記格納部は、
   前記検査対象物を格納する格納容器と、
   該格納容器の内部に前記検査対象物を格納するために前記格納容器に開けられた開口と、
   一検査ごとに前記検査対象物を前記開口から前記格納容器の内部に格納して該格納容器を閉塞する閉塞部と
   を備えることを特徴とする気密性検査装置。
2. 前記開口は、前記検査対象物が前記格納容器の下側から前記格納容器の内部に格納されるように前記格納容器の下部に設けられ、
   前記閉塞部は、前記格納容器の下側に配置され、前記開口に向かって上昇する請求項１に記載の気密性検査装置。
3. 前記検査対象物を保持して前記閉塞部に搬送する搬送部を備え、
   前記閉塞部は、前記検査対象物との間に隙間が開くように前記検査対象物を支持する１又は複数の支持部を備える請求項１又は請求項２に記載の気密性検査装置。
4. 前記閉塞部は、前記開口が閉塞された状態にする閉塞位置と、前記開口が閉塞された状態を解除する閉塞解除位置とに位置変更可能に設けられ、
   前記搬送部は、
   前記閉塞部が前記閉塞解除位置にあるときに、前記検査対象物を受け取る受取位置と前記検査対象物を前記閉塞部に設置する設置位置との間を移動する第１の搬送部と、
   前記閉塞部が前記閉塞解除位置にあるときに、前記検査対象物を前記閉塞部から取り外す取外位置と前記検査対象物を引き渡す引渡位置との間を移動する第２の搬送部と、
   前記第１の搬送部が受取位置にあるときに前記第２の搬送部が取外位置にあり、前記第１の搬送部が設置位置にあるときに前記第２の搬送部が引渡位置にあるように前記第１の搬送部及び前記第２の搬送部を保持する保持部とを備える請求項３に記載の気密性検査装置。
5. 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の気密性検査装置を用いて、前記検査対象物から該検査対象物に封入されている内容物が漏出していることを検知することにより、該検査対象物の気密性を検査する方法であって、
   前記格納部に前記検査対象物が設置され、前記開口を前記閉塞部によって閉塞することと、
   前記ガス検知部によって前記残留ガスに含まれ得る前記漏出物を検知することにより、前記検査対象物の気密性を検査することと
   を備えることを特徴とする検査対象物の気密性を検査する方法。

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