JP2014029917A - プローブカードへの基板当接方法 - Google Patents
プローブカードへの基板当接方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014029917A JP2014029917A JP2012169513A JP2012169513A JP2014029917A JP 2014029917 A JP2014029917 A JP 2014029917A JP 2012169513 A JP2012169513 A JP 2012169513A JP 2012169513 A JP2012169513 A JP 2012169513A JP 2014029917 A JP2014029917 A JP 2014029917A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- substrate
- wafer
- contact
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
Abstract
【解決手段】ウエハを、ウエハプレート37を介してチャック部材22に載置してプローブカード36と対向する位置まで搬送し、搬送したウエハをウエハプレート37とともに、昇降装置43を用いてプローブカード36に向かって移動させてウエハに設けられた半導体デバイスの複数の電極をプローブカード36に設けられた複数のプローブにそれぞれ当接させた後、ウエハをさらにプローブカード36に向かってオーバードライブさせ、その後、プローブカード36とウエハプレート37との間の空間を減圧して半導体デバイスの電極とプローブカード36のプローブとの当接状態を保持し、チャック部材22をウエハプレート37から切り離す。
【選択図】図10
Description
S 空間
21 搬出入機構
22 チャック部材
24 位置合わせ装置
31 検査部
32 ウエハ検査用インターフェース
36 プローブカード
37 ウエハプレート
38 Oリング
42 搬送機構
43 昇降装置(リフター)
45 距離検出センサ
50 ウエハ検査装置
Claims (8)
- 基板に形成された半導体デバイスの電気的特性を検査する基板検査装置のプローブカードに前記基板を当接するプローブカードへの基板当接方法において、
前記基板を、板状部材を介してチャック部材に載置して前記プローブカードと対向する位置まで搬送する搬送工程と、
前記搬送工程で搬送された基板を前記板状部材とともに、前記プローブカードに向かって移動させて前記基板に設けられた半導体デバイスの複数の電極を前記プローブカードに設けられた複数のプローブにそれぞれ当接させた後、前記基板を前記板状部材とともに、さらに前記プローブカードに向かって所定量移動させる当接工程と、
前記当接工程後の前記プローブカードと前記板状部材との間の空間を減圧して前記半導体デバイスの複数の電極と前記プローブカードの複数のプローブとの当接状態を保持する保持工程と、
前記保持工程後、前記チャック部材を前記板状部材から切り離す脱離工程と、
を有することを特徴とするプローブカードへの基板当接方法。 - 前記当接工程における所定量は、10〜150μmであることを特徴とする請求項1記載のプローブカードへの基板当接方法。
- 前記保持工程における前記空間の減圧圧力は、前記基板及び前記板状部材の自重と、前記半導体デバイスの複数の電極と前記プローブカードの複数のプローブとの当接反力との合計に耐えうる当接力が得られる圧力に調整されることを特徴とする請求項1又は2記載のプローブカードへの基板当接方法。
- 前記保持工程において、前記空間の圧力を段階的に減圧することを特徴とする請求項3記載のプローブカードへの基板当接方法。
- 前記板状部材の周囲には、該板状部材と前記プローブカードとの間の空間をシールするシール部材が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のプローブカードへの基板当接方法。
- 前記脱離工程後のチャック部材は、前記プローブカードとは別のプローブカードに対応する位置まで移動して前記基板とは別の基板に形成された半導体デバイスの電気的特性の検査に用いられることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のプローブカードへの基板当接方法。
- 前記保持工程において、前記チャック部材の上面と前記プローブカードの取り付け面又は前記チャック部材の上面と前記プローブカードの下面との間の距離を検出する距離検出センサの検出値に基づいて前記空間内の圧力を調整することを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載のプローブカードへの基板当接方法。
- 前記脱離工程後、前記空間を更に減圧して前記半導体デバイスの複数の電極と前記プローブカードの複数のプローブとの当接圧力を高くする減圧工程を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のプローブカードへの基板当接方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012169513A JP6031292B2 (ja) | 2012-07-31 | 2012-07-31 | プローブカードへの基板当接方法 |
PCT/JP2013/070125 WO2014021176A1 (ja) | 2012-07-31 | 2013-07-18 | プローブカードへの基板当接方法 |
US14/418,636 US9863977B2 (en) | 2012-07-31 | 2013-07-18 | Method of contacting substrate with probe card |
CN201380040633.9A CN104508812B (zh) | 2012-07-31 | 2013-07-18 | 将衬底与探针卡抵接的方法 |
KR1020157002740A KR101678898B1 (ko) | 2012-07-31 | 2013-07-18 | 프로브 카드에의 기판 접촉 방법 |
TW102126465A TWI593976B (zh) | 2012-07-31 | 2013-07-24 | Substrate contact method for probe card |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012169513A JP6031292B2 (ja) | 2012-07-31 | 2012-07-31 | プローブカードへの基板当接方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014029917A true JP2014029917A (ja) | 2014-02-13 |
JP6031292B2 JP6031292B2 (ja) | 2016-11-24 |
Family
ID=50027854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012169513A Active JP6031292B2 (ja) | 2012-07-31 | 2012-07-31 | プローブカードへの基板当接方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9863977B2 (ja) |
JP (1) | JP6031292B2 (ja) |
KR (1) | KR101678898B1 (ja) |
CN (1) | CN104508812B (ja) |
TW (1) | TWI593976B (ja) |
WO (1) | WO2014021176A1 (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016046285A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
JP2016058506A (ja) * | 2014-09-09 | 2016-04-21 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置における検査用圧力設定値決定方法 |
WO2017014060A1 (ja) * | 2015-07-23 | 2017-01-26 | 株式会社東京精密 | プローバ及びプローブコンタクト方法 |
JP2017073543A (ja) * | 2015-02-27 | 2017-04-13 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット |
JP2017123436A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社東京精密 | プローバ及びプローブコンタクト方法 |
JP2017123435A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社東京精密 | プローバ及びプローブコンタクト方法 |
JP2017126729A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-20 | 株式会社東京精密 | プローバ及びプローブコンタクト方法 |
KR20180082526A (ko) | 2015-12-17 | 2018-07-18 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 웨이퍼 검사 장치 및 그 메인터넌스 방법 |
WO2018235411A1 (ja) * | 2017-06-21 | 2018-12-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
JP2020047932A (ja) * | 2019-11-27 | 2020-03-26 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
US10605829B2 (en) | 2016-02-26 | 2020-03-31 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Transfer unit and prober |
JP2020096028A (ja) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置、及び、検査方法 |
JP2020113701A (ja) * | 2019-01-16 | 2020-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | チャックトップ、検査装置、およびチャックトップの回収方法 |
JP2022084772A (ja) * | 2017-12-12 | 2022-06-07 | 株式会社東京精密 | プローバ |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6515007B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2019-05-15 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査方法及びウエハ検査装置 |
CN105785260A (zh) * | 2016-05-25 | 2016-07-20 | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 | 防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法 |
JP6895772B2 (ja) * | 2017-03-07 | 2021-06-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置およびコンタクト方法 |
WO2020170201A1 (en) * | 2019-02-21 | 2020-08-27 | Vuereal Inc. | Probe structure for micro device inspection |
CN110187255B (zh) * | 2019-04-15 | 2021-10-15 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 一种建立探针测试程式时确定过驱动量的方法 |
CN111951880A (zh) * | 2019-05-16 | 2020-11-17 | 第一检测有限公司 | 检测设备 |
JP7274350B2 (ja) * | 2019-05-28 | 2023-05-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送システム、検査システム及び検査方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0774219A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-17 | Kurisutaru Device:Kk | プローブ基板およびその製造方法並びにプローブ装置 |
JP2009276215A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置及びコンタクト位置の補正方法 |
JP2009295686A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Micronics Japan Co Ltd | プロービング装置 |
WO2012026036A1 (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-01 | 株式会社アドバンテスト | 半導体ウェハの試験方法、半導体ウェハ搬送装置、及び半導体ウェハ試験装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3535728B2 (ja) * | 1998-02-23 | 2004-06-07 | 松下電器産業株式会社 | 半導体集積回路の検査装置 |
JP4548817B2 (ja) | 2002-10-18 | 2010-09-22 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JP4391744B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2009-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 移動式プローブカード搬送装置、プローブ装置及びプローブ装置へのプローブカードの搬送方法 |
JP4623095B2 (ja) * | 2004-06-17 | 2011-02-02 | 株式会社ニコン | 液浸リソグラフィレンズの流体圧力補正 |
JP2008224586A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Yokogawa Electric Corp | 検査装置 |
JP2008294292A (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバ、プローブ接触方法及びプログラム |
JP2011091262A (ja) * | 2009-10-23 | 2011-05-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバおよびプローブ検査方法 |
US8587331B2 (en) * | 2009-12-31 | 2013-11-19 | Tommie E. Berry | Test systems and methods for testing electronic devices |
JP2013251509A (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Tokyo Electron Ltd | 基板検査装置 |
US9354254B2 (en) * | 2013-03-14 | 2016-05-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Test-yield improvement devices for high-density probing techniques and method of implementing the same |
-
2012
- 2012-07-31 JP JP2012169513A patent/JP6031292B2/ja active Active
-
2013
- 2013-07-18 CN CN201380040633.9A patent/CN104508812B/zh active Active
- 2013-07-18 KR KR1020157002740A patent/KR101678898B1/ko active IP Right Grant
- 2013-07-18 US US14/418,636 patent/US9863977B2/en active Active
- 2013-07-18 WO PCT/JP2013/070125 patent/WO2014021176A1/ja active Application Filing
- 2013-07-24 TW TW102126465A patent/TWI593976B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0774219A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-17 | Kurisutaru Device:Kk | プローブ基板およびその製造方法並びにプローブ装置 |
JP2009276215A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置及びコンタクト位置の補正方法 |
JP2009295686A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Micronics Japan Co Ltd | プロービング装置 |
WO2012026036A1 (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-01 | 株式会社アドバンテスト | 半導体ウェハの試験方法、半導体ウェハ搬送装置、及び半導体ウェハ試験装置 |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI649570B (zh) * | 2014-08-20 | 2019-02-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | Wafer inspection device |
JP2016046285A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
JP2016058506A (ja) * | 2014-09-09 | 2016-04-21 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置における検査用圧力設定値決定方法 |
JP2017073543A (ja) * | 2015-02-27 | 2017-04-13 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット |
WO2017014060A1 (ja) * | 2015-07-23 | 2017-01-26 | 株式会社東京精密 | プローバ及びプローブコンタクト方法 |
JP7208559B2 (ja) | 2015-07-23 | 2023-01-19 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP2022009043A (ja) * | 2015-07-23 | 2022-01-14 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JPWO2017014060A1 (ja) * | 2015-07-23 | 2018-04-05 | 株式会社東京精密 | プローバ |
US10416228B2 (en) | 2015-07-23 | 2019-09-17 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Prober |
US11226366B2 (en) | 2015-12-17 | 2022-01-18 | Tokyo Electron Limited | Wafer inspection device and maintenance method for same |
KR20180082526A (ko) | 2015-12-17 | 2018-07-18 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 웨이퍼 검사 장치 및 그 메인터넌스 방법 |
JP2017126729A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-20 | 株式会社東京精密 | プローバ及びプローブコンタクト方法 |
JP2017123436A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社東京精密 | プローバ及びプローブコンタクト方法 |
JP2017123435A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 株式会社東京精密 | プローバ及びプローブコンタクト方法 |
US10605829B2 (en) | 2016-02-26 | 2020-03-31 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Transfer unit and prober |
KR102367037B1 (ko) | 2017-06-21 | 2022-02-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 검사 시스템 |
JPWO2018235411A1 (ja) * | 2017-06-21 | 2020-04-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
WO2018235411A1 (ja) * | 2017-06-21 | 2018-12-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
US11454664B2 (en) | 2017-06-21 | 2022-09-27 | Tokyo Electron Limited | Testing system |
KR20200018642A (ko) * | 2017-06-21 | 2020-02-19 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 검사 시스템 |
JP2022084772A (ja) * | 2017-12-12 | 2022-06-07 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP7277845B2 (ja) | 2017-12-12 | 2023-05-19 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP2020096028A (ja) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置、及び、検査方法 |
KR20200071672A (ko) | 2018-12-11 | 2020-06-19 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 검사 장치, 및 검사 방법 |
US11022644B2 (en) | 2018-12-11 | 2021-06-01 | Tokyo Electron Limited | Inspection apparatus and inspection method |
JP2020113701A (ja) * | 2019-01-16 | 2020-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | チャックトップ、検査装置、およびチャックトップの回収方法 |
JP7217636B2 (ja) | 2019-01-16 | 2023-02-03 | 東京エレクトロン株式会社 | チャックトップ、検査装置、およびチャックトップの回収方法 |
JP2020047932A (ja) * | 2019-11-27 | 2020-03-26 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104508812A (zh) | 2015-04-08 |
KR20150040286A (ko) | 2015-04-14 |
TWI593976B (zh) | 2017-08-01 |
KR101678898B1 (ko) | 2016-11-23 |
CN104508812B (zh) | 2017-03-08 |
US20150219687A1 (en) | 2015-08-06 |
US9863977B2 (en) | 2018-01-09 |
WO2014021176A1 (ja) | 2014-02-06 |
JP6031292B2 (ja) | 2016-11-24 |
TW201421043A (zh) | 2014-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6031292B2 (ja) | プローブカードへの基板当接方法 | |
JP5952645B2 (ja) | ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 | |
US9581641B2 (en) | Wafer inspection apparatus | |
JP5987967B2 (ja) | プロービング装置及びプローブコンタクト方法 | |
JP2013191737A (ja) | ウエハ検査装置 | |
KR101227812B1 (ko) | 발광 소자 검사 방법 | |
US20200158775A1 (en) | Inspection system | |
WO2018056022A1 (ja) | 基板検査方法及び基板検査装置 | |
JP2020106454A (ja) | 温度測定部材、検査装置及び温度測定方法 | |
TWI586975B (zh) | A substrate abutment device for the probe card, and a substrate inspection device provided with a substrate abutment device | |
US11933839B2 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
US11467208B2 (en) | Contact release method in inspection apparatus and inspection apparatus | |
KR102294790B1 (ko) | 검사 장치, 및 검사 방법 | |
KR102096567B1 (ko) | 반도체 소자 픽업 장치 | |
US11894256B2 (en) | Substrate holding mechanism, substrate mounting method, and substrate detaching method | |
KR20220010967A (ko) | 다이 본딩 방법 및 이를 수행하기 위한 다이 본딩 설비 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160607 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160809 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160921 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161018 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6031292 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |