JP4623095B2 - 液浸リソグラフィレンズの流体圧力補正 - Google Patents
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Claims (25)
- ウェハを支持するように構成されたウェハテーブルと、
終端光学素子を有し、前記終端光学素子からギャップを隔てて置かれた前記ウェハ上に像を投影するように構成された光学アセンブリと、
前記終端光学素子と前記ウェハとの間の前記ギャップに液浸流体を供給するように構成された液浸素子と、
前記液浸流体の圧力変動に起因して前記光学アセンブリの前記終端光学素子にかかる力を補正して、前記終端光学素子の位置ずれを最小限にするように構成された流体補正系と、を備え、
前記流体補正系は、前記終端光学素子を前記光学アセンブリにマウントするために使われるレンズマウントと前記光学アセンブリとの間に位置し、前記ギャップの前記液浸流体に流路を介して流体的に連結されたチャンバを含み、前記チャンバを拡張または収縮させて前記終端光学素子にかかる力を補正する装置。 - 前記チャンバは、前記液浸流体によって前記レンズマウント、及び前記終端光学素子の双方、又はいずれか一方に働く第1の力に対抗させて、前記レンズマウントに第2の力を働かせることにより、前記終端光学素子の位置ずれを受動的に補正するように構成される請求項1に記載の装置。
- 前記第2の力は、前記第1の力とほぼ同じ大きさで向きが反対である請求項2に記載の装置。
- 前記レンズマウントは、前記液浸流体と接するように構成された第1の面と、前記チャンバと接するように構成された第2の面とを有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記流体補正系はさらに、前記チャンバと流体連結されたパージデバイスを含む請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記チャンバは、垂直方向に伸縮するが、水平方向には殆んど伸縮しないように構成される請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記チャンバは、受動圧力デバイスである請求項1〜6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記受動圧力デバイスは、ベローズ、ピストン、及びダイヤフラムのうちの1つを含む請求項7に記載の装置。
- ウェハを支持するように構成されたウェハテーブルと、
終端光学素子を有し、前記終端光学素子からギャップを隔てて置かれた前記ウェハ上に像を投影するように構成された光学アセンブリと、
前記終端光学素子と前記ウェハとの間の前記ギャップに液浸流体を供給するように構成された液浸素子と、
前記液浸流体の圧力変動に起因して前記光学アセンブリの前記終端光学素子にかかる力を補正して、前記終端光学素子の位置ずれを最小限にするように構成された流体補正系と、を備え、
前記流体補正系が、
前記ギャップにおける前記液浸流体の圧力を測定する圧力センサと、
前記液浸流体によって前記レンズマウント、及び前記終端光学素子の双方、又はいずれか一方に働く第1の力に対抗させて、第2の力を前記レンズマウント上に生成して前記終端光学素子の位置ずれを防ぐように構成された、少なくとも1つのアクチュエータを含む装置。 - 前記アクチュエータは、前記レンズマウントと前記光学アセンブリとの間で機械的に連結される請求項9に記載の装置。
- 前記流体補正系は、
前記第1の力を計算し、かつ前記計算された第1の力に相応する制御信号を生成するように構成された制御系と、
前記アクチュエータは、前記制御信号に反応し、かつ前記計算された第1の力と同じ大きさであるが向きが反対の前記第2の力を前記レンズマウント上に生成する請求項9又は10に記載の装置。 - 前記圧力センサは、前記測定した圧力に相応する圧力信号を前記制御系に対して供給する請求項10又は11に記載の装置。
- 前記制御系と連結され、前記レンズマウントの位置を測定するように構成された位置センサをさらに含む、請求項11又は12に記載の装置。
- 前記アクチュエータは、前記レンズマウントの内部にある請求項9〜13のいずれか一項に記載の装置。
- 前記アクチュエータは、VCM、EIコア、圧電スタック、磁気アクチュエータ、又は圧力アクチュエータのうちの1つのタイプの力アクチュエータである請求項9〜14のいずれか一項に記載の装置。
- ウェハを支持するように構成されたウェハテーブルと、
終端光学素子とレンズマウントを有し、前記終端光学素子からからギャップを隔てて置かれたウェハ上に像を投影するように構成された光学アセンブリと、
前記終端光学素子と前記ウェハとの間の前記ギャップに液浸流体を供給するように構成され、気体の流れをもたらすように構成された1つ以上の気体ノズルを有する液浸素子と、
前記ギャップにおける前記液浸流体の圧力を測定するように構成された圧力センサと、
前記圧力センサと連結され、前記1つ以上の気体ノズルからの気体の流れの速度を制御するように構成された気体制御系とを備える装置。 - 前記気体ノズルからの気体の流れは、前記液浸流体を前記ギャップの中に実質的に収めるために使われる請求項16に記載の装置。
- 前記気体ノズルからの気体の流れは、前記液浸素子を支持するために使われる気体ベアリングを生じるために使われる請求項16又は17に記載の装置。
- 前記気体制御系はさらに、前記気体ノズルから出る気体の速度を制御することにより、前記液浸素子と前記ウェハとの間のギャップを調節するように構成される請求項16〜18のいずれか一項に記載の装置。
- 前記ノズルは、前記ギャップの周縁に沿って設けられている請求項16〜19のいずれか一項記載の装置。
- 請求項1〜20のいずれか一項に記載の装置を使って、ウェハを露光することと、
前記露光された前記ウェハを現像することと、
を含む半導体デバイス製造方法。 - ウェハテーブルにウェハを支持することと、
光学アセンブリの終端光学素子からギャップを隔てて置かれた前記ウェハ上に像を投影することと、
前記終端光学素子と前記ウェハとの間の前記ギャップに、液浸素子のダクトから液浸流体を供給することと、
前記ギャップにおける前記液浸流体の圧力を測定することと、
前記圧力の情報を使って、前記液浸素子の気体ノズルからの気体の流れの速度を制御することと、を含む液浸リソグラフィにおける流体圧力補正方法。 - 前記気体ノズルからの気体の流れは、前記液浸流体を前記ギャップの中に実質的に収めるために使われる請求項22に記載の方法。
- 前記気体ノズルからの気体の流れは、前記液浸素子を支持するために使われる気体ベアリングを生じるために使われる請求項22又は23に記載の方法。
- 前記気体ノズルから出る気体の速度を制御することにより、前記液浸素子と前記ウェハとの間のギャップが調節される請求項22〜24のいずれか一項に記載の方法。
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US7944628B2 (en) * | 2005-03-09 | 2011-05-17 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical element unit |
WO2006133800A1 (en) | 2005-06-14 | 2006-12-21 | Carl Zeiss Smt Ag | Lithography projection objective, and a method for correcting image defects of the same |
JP2009508327A (ja) * | 2005-09-13 | 2009-02-26 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 光学撮像特性設定方法および投影露光装置 |
US7649612B2 (en) * | 2006-01-27 | 2010-01-19 | Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. | Phase shifting photolithography system |
US9477158B2 (en) * | 2006-04-14 | 2016-10-25 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US8027023B2 (en) | 2006-05-19 | 2011-09-27 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical imaging device and method for reducing dynamic fluctuations in pressure difference |
DE102006023876A1 (de) * | 2006-05-19 | 2007-11-22 | Carl Zeiss Smt Ag | Optische Abbildungseinrichtung |
US11136667B2 (en) * | 2007-01-08 | 2021-10-05 | Eastman Kodak Company | Deposition system and method using a delivery head separated from a substrate by gas pressure |
EP2381310B1 (en) | 2010-04-22 | 2015-05-06 | ASML Netherlands BV | Fluid handling structure and lithographic apparatus |
EP2699967B1 (en) | 2011-04-22 | 2023-09-13 | ASML Netherlands B.V. | Position determination in a lithography system using a substrate having a partially reflective position mark |
TW201248336A (en) | 2011-04-22 | 2012-12-01 | Mapper Lithography Ip Bv | Lithography system for processing a target, such as a wafer, and a method for operating a lithography system for processing a target, such as a wafer |
US9383662B2 (en) * | 2011-05-13 | 2016-07-05 | Mapper Lithography Ip B.V. | Lithography system for processing at least a part of a target |
JP5993649B2 (ja) * | 2012-07-31 | 2016-09-14 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカードへの基板当接装置、基板当接装置を備えた基板検査装置、及びプローブカードへの基板当接方法 |
JP6031292B2 (ja) * | 2012-07-31 | 2016-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカードへの基板当接方法 |
WO2017084870A1 (en) * | 2015-11-20 | 2017-05-26 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic Apparatus and Method |
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Family Cites Families (35)
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---|---|---|---|---|
JPS5919912A (ja) | 1982-07-26 | 1984-02-01 | Hitachi Ltd | 液浸距離保持装置 |
DE3340079A1 (de) * | 1983-11-05 | 1985-05-15 | Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim | Speicherzellenverbindung |
DD224448A1 (de) * | 1984-03-01 | 1985-07-03 | Zeiss Jena Veb Carl | Einrichtung zur fotolithografischen strukturuebertragung |
JPS6265326A (ja) * | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
JPS63157419A (ja) | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Toshiba Corp | 微細パタ−ン転写装置 |
US5523193A (en) | 1988-05-31 | 1996-06-04 | Texas Instruments Incorporated | Method and apparatus for patterning and imaging member |
US5296891A (en) | 1990-05-02 | 1994-03-22 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Illumination device |
JP2753930B2 (ja) * | 1992-11-27 | 1998-05-20 | キヤノン株式会社 | 液浸式投影露光装置 |
DE69711929T2 (de) | 1997-01-29 | 2002-09-05 | Micronic Laser Systems Ab Taeb | Verfahren und gerät zur erzeugung eines musters auf einem mit fotoresist beschichteten substrat mittels fokusiertem laserstrahl |
SE509062C2 (sv) | 1997-02-28 | 1998-11-30 | Micronic Laser Systems Ab | Dataomvandlingsmetod för en laserskrivare med flera strålar för mycket komplexa mikrokolitografiska mönster |
WO2002091078A1 (en) * | 2001-05-07 | 2002-11-14 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods and apparatus employing an index matching medium |
EP2495613B1 (en) * | 2002-11-12 | 2013-07-31 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
CN100470367C (zh) * | 2002-11-12 | 2009-03-18 | Asml荷兰有限公司 | 光刻装置和器件制造方法 |
SG131766A1 (en) | 2002-11-18 | 2007-05-28 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
CN101872135B (zh) | 2002-12-10 | 2013-07-31 | 株式会社尼康 | 曝光设备和器件制造法 |
CN105700301B (zh) * | 2003-04-10 | 2018-05-25 | 株式会社尼康 | 包括用于沉浸光刻装置的真空清除的环境系统 |
TWI295414B (en) | 2003-05-13 | 2008-04-01 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
KR101419663B1 (ko) | 2003-06-19 | 2014-07-15 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조방법 |
US6867844B2 (en) * | 2003-06-19 | 2005-03-15 | Asml Holding N.V. | Immersion photolithography system and method using microchannel nozzles |
EP1494074A1 (en) | 2003-06-30 | 2005-01-05 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
WO2005006417A1 (ja) | 2003-07-09 | 2005-01-20 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP4844123B2 (ja) | 2003-07-09 | 2011-12-28 | 株式会社ニコン | 露光装置、及びデバイス製造方法 |
EP1503244A1 (en) | 2003-07-28 | 2005-02-02 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic projection apparatus and device manufacturing method |
KR101238114B1 (ko) | 2003-09-03 | 2013-02-27 | 가부시키가이샤 니콘 | 액침 리소그래피용 유체를 제공하기 위한 장치 및 방법 |
EP1524557A1 (en) | 2003-10-15 | 2005-04-20 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7411653B2 (en) * | 2003-10-28 | 2008-08-12 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
EP3376523A1 (en) | 2004-01-05 | 2018-09-19 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and device producing method |
KR101441777B1 (ko) | 2004-03-25 | 2014-09-22 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 |
US7524084B2 (en) * | 2004-03-30 | 2009-04-28 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Illuminating device, and projection type video display |
US7295283B2 (en) | 2004-04-02 | 2007-11-13 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7486381B2 (en) | 2004-05-21 | 2009-02-03 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP4623095B2 (ja) * | 2004-06-17 | 2011-02-02 | 株式会社ニコン | 液浸リソグラフィレンズの流体圧力補正 |
WO2006007111A2 (en) | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Nikon Corporation | A dynamic fluid control system for immersion lithography |
US7180571B2 (en) | 2004-12-08 | 2007-02-20 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic projection apparatus and actuator |
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