CN105785260A - 防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法 - Google Patents

防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法 Download PDF

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王玉龙
牛勇
岳小兵
王锦
汤雪飞
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    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature

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Abstract

本发明提出了一种防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法，在电子吸盘侧壁上均匀设置多个距离传感器，用于检测电子吸盘和探针卡之间的距离，若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，则发送信号至探针台，所述探针台停止移动所述电子吸盘，并恢复所述电子吸盘至安全距离，从而避免两者发生碰撞，造成探针的弯曲或损伤。

Description

防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法
技术领域
本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法。
背景技术
在集成电路在晶圆测试时，探针台和探针卡是必不可少的一部分，探针台用于装载和移动晶圆，并固定探针卡的位置；探针卡用于连接测试机和晶圆上的芯片。
探针卡的探针排列十分细密，一旦受到外力的影响就可能造成探针的弯曲和损坏，无法再进行测试。通常，在晶圆测试前，需要设置一系列的参数，当电子吸盘(chuck)的Z轴高度设置出现问题时，很容易引起探针撞到电子吸盘上造成探针和电子吸盘的损坏，而当探针卡上的保护罩没有拿掉直接放入探针台时，也会造成保护罩撞到电子吸盘上引起探针和电子吸盘的损坏。
发明内容
本发明的目的在于提供一种防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法，能够避免避免误操作导致的电子吸盘和探针碰撞引起损坏。
为了实现上述目的，本发明提出了一种防止晶圆测试探针台撞针的装置，包括：电子吸盘和位于所述电子吸盘上的多个距离传感器，所述距离传感器均匀分布在所述电子吸盘的侧壁上。
进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置中，所述电子吸盘为圆盘形。
进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置中，所述距离传感器为4个。
进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置中，4个所述距离传感器分别位于所述电子吸盘的0°/90°/180°/270°位置处。
进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置中，所述电子吸盘上设有多个吸力孔和顶针孔，所述吸力孔和顶针孔均匀分布在所述电子吸盘上。
在本发明中还提出了一种防止晶圆测试探针台撞针的方法，采用如上文所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，包括步骤：
设置所述距离传感器的安全距离；
若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，则发送信号至探针台，所述探针台停止移动所述电子吸盘，并恢复所述电子吸盘至安全距离；
若需要进行测试时，则将安全距离设置为扎针时最小的距离或者关闭距离预警。
进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的方法中，所述安全距离大于探针卡保护盖的厚度。
进一步的，在所述的防止晶圆测试探针台撞针的方法中，若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，发送信号至探针台后，所述探针台发出报警。
与现有技术相比，本发明的有益效果主要体现在：在电子吸盘侧壁上均匀设置多个距离传感器，用于检测电子吸盘和探针卡之间的距离，若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，则发送信号至探针台，所述探针台停止移动所述电子吸盘，并恢复所述电子吸盘至安全距离，从而避免两者发生碰撞，造成探针的弯曲或损伤。
附图说明
图1为本发明一实施例中电子吸盘的俯视图；
图2为本发明一实施例中电子吸盘的侧视图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
本发明是为了解决集成电路在晶圆测试时探针台的电子吸盘和探针卡相撞造成损坏的问题。在电子吸盘周围安装多个距离传感器后，可以实时监控电子吸盘水平到探针卡的板卡距离，一旦超过预警的距离，探针台可以及时报警并停止电子吸盘的移动，然后将电子吸盘移回到之前的位置。后续可以人为检查是探针台的参数设置异常还是探针卡上的保护罩没有拿掉等导致的报警，及时解决一些误操作导致的生产事故，即保护了探针台和针卡，又避免了探针台和针卡损坏后维修的经济损失，保证了晶圆测试厂生产测试的效率。
具体的，请参考图1和图2，在本实施例中，提出了一种防止晶圆测试探针台撞针的装置，包括：电子吸盘10和位于所述电子吸盘10上的多个距离传感器20，所述距离传感器20均匀分布在所述电子吸盘10的侧壁上。
在本实施例中，所述电子吸盘10为圆盘形，所述距离传感器20的个数为4个，4个所述距离传感器20分别位于所述电子吸盘10的0°/90°/180°/270°位置处，保证不管从哪个位置移动到探针卡下方，都能保证第一时间发出距离报警。
此外，所述电子吸盘10上设有多个吸力孔11和顶针孔12，所述吸力孔11和顶针孔12均匀分布在所述电子吸盘10上。所述顶针孔12用来将电子吸盘10上的晶圆顶起，然后通过机械臂将晶圆取走；所述吸力孔11用来吸住放在电子吸盘10上的晶圆，避免晶圆从电子吸盘10上掉落。
此外，在本实施例中，还提出了一种防止晶圆测试探针台撞针的方法，采用如上文所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，包括步骤：
S100：设置所述距离传感器的安全距离；
S200：若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，则发送信号至探针台，所述探针台停止移动所述电子吸盘，并恢复所述电子吸盘至安全距离；
S300：若需要进行测试时，则将安全距离设置为扎针时最小的距离或者关闭距离预警。
所述安全距离大于探针卡保护盖的厚度。若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，发送信号至探针台后，所述探针台发出报警。
具体的，由于需要测量探针台的电子吸盘10到探针卡的距离，然而，该距离较短，所以需要选择高精度响应时间短的距离传感器来检测距离，距离设定需要考虑到探针卡保护盖的厚度，以可能碰撞的最大距离设定，一旦检测到两者的距离等于或小于探针台预先设置的距离值，立即发送一个信号给探针台，使探针台立即停止移动电子吸盘10，并恢复到安全的距离值，当后期进行对针和测试时，再将设定值改成一个扎针时最小的距离或者直接关闭距离预警，完成生产测试任务。
综上，在本发明实施例提供的防止晶圆测试探针台撞针的装置及方法中，在电子吸盘侧壁上均匀设置多个距离传感器，用于检测电子吸盘和探针卡之间的距离，若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，则发送信号至探针台，所述探针台停止移动所述电子吸盘，并恢复所述电子吸盘至安全距离，从而避免两者发生碰撞，造成探针的弯曲或损伤。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，包括：电子吸盘和位于所述电子吸盘上的多个距离传感器，所述距离传感器均匀分布在所述电子吸盘的侧壁上。
2.如权利要求1所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，所述电子吸盘为圆盘形。
3.如权利要求2所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，所述距离传感器为4个。
4.如权利要求3所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，4个所述距离传感器分别位于所述电子吸盘的0°/90°/180°/270°位置处。
5.如权利要求1所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，所述电子吸盘上设有多个吸力孔和顶针孔，所述吸力孔和顶针孔均匀分布在所述电子吸盘上。
6.一种防止晶圆测试探针台撞针的方法，采用如权利要求1至5中任一项所述的防止晶圆测试探针台撞针的装置，其特征在于，包括步骤：
设置所述距离传感器的安全距离；
若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，则发送信号至探针台，所述探针台停止移动所述电子吸盘，并恢复所述电子吸盘至安全距离；
若需要进行测试时，则将安全距离设置为扎针时最小的距离或者关闭距离预警。
7.如权利要求6所述的防止晶圆测试探针台撞针的方法，其特征在于，所述安全距离大于探针卡保护盖的厚度。
8.如权利要求6所述的防止晶圆测试探针台撞针的方法，其特征在于，若检测到探针卡和电子吸盘之间的距离小于所述安全距离时，发送信号至探针台后，所述探针台发出报警。
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