KR102202074B1 - 프로브 카드를 이용한 웨이퍼 테스트 시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼 테스트 시스템은 다수의 테스트 장치들 및 하나의 얼라인 서버를 포함한다. 상기 테스트 장치들은 다수 웨이퍼들로부터 제조되는 반도체 칩들의 전기적인 성능을 테스트하기 위한 프로브 카드가 장착되는 카드 장착부, 상기 웨이퍼들 각각이 상기 프로브 카드와 마주하도록 놓여지는 웨이퍼 스테이지, 상기 카드 장착부 및 상기 웨이퍼 스테이지 중 적어도 하나와 연결되며 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼를 얼라인시키는 얼라인부, 및 상기 프로브 카드를 상기 웨이퍼들 각각에 접속시켜 테스트하는 테스트부를 각각 포함한다. 상기 얼라인 서버는 상기 테스트 장치들과 병렬 구조로 연결되며, 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼들 각각을 얼라인시키기 위한 얼라인 데이터가 저장된다.

Description

프로브 카드를 이용한 웨이퍼 테스트 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR TESTING A WAFER USING PROBE CARD}
본 발명은 프로브 카드를 이용한 웨이퍼 테스트 시스템 및 방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 프로브 카드와 웨이퍼의 얼라인을 확인한 상태에서 상기 웨이퍼를 테스트하는 시스템 및 이의 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼로부터 반도체 칩들을 제조하는 공정 중에는 상기 반도체 칩들의 전기적인 기능의 이상 여부를 검사하는 공정이 포함되어 있다. 구체적으로, 상기 검사 공정에서는 상기 웨이퍼 상에 형성된 반도체 칩들에 프로브 카드의 니들을 탐침시킨 상태에서 상기 프로브 카드를 통해 상기 반도체 칩들에 검사 신호를 입력한 다음, 상기 반도체 칩들로부터 출력되는 신호를 모니터링하여 상기 반도체 칩들의 전기적인 기능의 이상 여부를 테스트한다.
이때, 상기 테스트 공정에서 상기 반도체 칩들의 테스트를 정확하게 하기 위해서는 상기 프로브 카드의 니들이 상기 웨이퍼의 반도체 칩들에 정확하게 탐침될 수 있도록 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼를 얼라인하는 공정이 무엇보다 중요하다.
이에, 상기 얼라인 공정에서는 상기 프로브 카드를 상기의 테스트를 위한 설비에 장착한 상태에서 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼를 카메라로 촬영한 이미지를 통해 그 얼라인 상태를 확인한다. 여기서, 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼의 얼라인은 상기 프로브 카드의 타입에 따라 구분하여 저장된 얼라인 데이터를 이용하여 진행되고 있다.
그러나, 상기에서와 같이 상기 프로브 카드의 타입에 따라 구분된 얼라인 데이터를 이용할 경우에는 상기 프로브 카드의 타입이 동일할 경우에도 장시간 사용에 따라 상기 니들의 위치 또는 모양에 일부 편차가 발생될 수 있으므로, 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼가 서로 정확하게 얼라인되지 못해 상기 테스트 설비가 순간 정지되는 심각한 문제점이 발생될 수 있다.
대한민국 특허공개 제10-2003-0021900호 (공개일: 2003.03.15, 프로브 카드 정렬 툴을 구비하는 웨이퍼 검사 장치) 대한민국 특허공개 제10-2011-0002216호 (공개일: 2011.01.07, 반도체 소자 및 반도체 소자의 프로브 핀 정렬 검사 방법)
본 발명의 목적은 정확한 얼라인 데이터를 이용하여 프로브 카드와 웨이퍼를 얼라인시켜서 테스트할 수 있는 웨이퍼 테스트 시스템을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 웨이퍼 테스트 시스템을 이용한 테스트 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 웨이퍼 테스트 시스템은 다수의 테스트 장치들 및 하나의 얼라인 서버를 포함한다.
상기 테스트 장치들은 다수 웨이퍼들로부터 제조되는 반도체 칩들의 전기적인 성능을 테스트하기 위한 프로브 카드가 장착되는 카드 장착부, 상기 웨이퍼들 각각이 상기 프로브 카드와 마주하도록 놓여지는 웨이퍼 스테이지, 상기 카드 장착부 및 상기 웨이퍼 스테이지 중 적어도 하나와 연결되며 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼를 얼라인시키는 얼라인부, 및 상기 프로브 카드를 상기 웨이퍼들 각각에 접속시켜 테스트하는 테스트부를 각각 포함한다. 상기 얼라인 서버는 상기 테스트 장치들과 병렬 구조로 연결되며, 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼들 각각을 얼라인시키기 위한 얼라인 데이터가 저장된다.
일 실시예에 따른 상기 얼라인부는 상기 웨이퍼들 각각과 상기 프로브 카드가 정상적으로 얼라인된 제2 얼라인 데이터가 저장되는 데이터 저장부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 웨이퍼 테스트 장치는 상기 테스트 장치들과 연결되며 상기 웨이퍼들 중 동일 로트(lot)에 대하여 첫 번째 웨이퍼와 상기 프로브 카드가 정상적으로 얼라인된 제3 얼라인 데이터가 저장되는 제2 얼라인 서버를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 웨이퍼 테스트 장치는 상기 테스트 장치들과 연결되며 상기 웨이퍼들 중 전체 첫 번째 웨이퍼와 상기 프로브 카드가 얼라인된 제4 얼라인 데이터가 저장되는 원본 데이터 서버를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 웨이퍼 테스트 방법은 다수의 테스트 장치들 어느 하나에서 웨이퍼 스테이지 놓여지는 다수의 웨이퍼들 각각과 카드 장착부에 상기 웨이퍼 마주하도록 장착된 프로브 카드의 얼라인을 확인하는 단계 및 상기 확인한 결과 상기 웨이퍼들 중 어느 하나와 상기 프로브 카드가 정상적으로 얼라인되었을 경우 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼를 접촉시켜 상기 웨이퍼로부터 제조되는 반도체 칩들의 전기적인 성능을 테스트하면서 상기 정상적으로 얼라인된 얼라인 데이터를 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼를 얼라인시키는 얼라인부와 연결된 얼라인 서버에 업데이트하는 단계를 포함한다. 여기서, 상기 얼라인 서버에는 상기 테스트 장치들 각각에서 상기 어느 하나의 웨이퍼와 상기 프로브 카드가 정상적으로 얼라인된 얼라인 데이터가 모두 업데이트될 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 확인한 결과 상기 웨이퍼와 상기 프로브 카드가 정상적으로 얼라인되었을 경우에는 상기 얼라인 데이터를 상기 얼라인부에 포함된 데이터 저장부에 저장할 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 웨이퍼 테스트 방법은 상기 웨이퍼들 각각과 상기 프로브 카드의 얼라인을 확인하는 단계 이후에, 상기 확인한 결과 상기 웨이퍼 중 다른 하나와 상기 프로브 카드의 얼라인이 불량할 경우에는 상기 데이터 저장부에 저장된 얼라인 데이터를 통해 상기 다른 하나의 웨이퍼와 상기 프로브 카드의 얼라인을 조정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 웨이퍼 테스트 방법은 상기 다른 하나의 웨이퍼와 상기 프로브 카드의 얼라인을 조정하는 단계 이후에, 상기 다른 하나의 웨이퍼와 상기 프로브 카드의 얼라인을 다시 확인하는 단계 및 상기 다시 확인한 결과 상기 다른 하나의 웨이퍼와 상기 프로브 카드의 얼라인이 불량할 경우에는 상기 얼라인 서버에 업데이트된 얼라인 데이터를 통해 상기 다른 하나의 웨이퍼와 상기 프로브 카드의 얼라인을 조정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
이러한 프로브 카드를 이용한 웨이퍼 테스트 시스템 및 방법에 따르면, 하나의 얼라인 서버에 다수의 테스트 장치들로부터 프로브 카드와 웨이퍼가 정상적으로 얼라인되었을 때의 얼라인 데이터를 연속적으로 업데이트한 상태에서, 어느 한 테스트 장치의 테스트 공정 중에 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼의 얼라인이 불량일 경우 상기의 얼라인 서버로부터 가장 최근에 업데이트된 얼라인 데이터를 이용하여 이들을 얼라인시킬 수 있다.
이에 따라, 상기 프로브 카드의 장시간 사용에 따라 그 니들의 위치 또는 모양에 일부 편차가 발생되어도 이를 감안한 가장 최근의 얼라인 데이터를 이용함으로써, 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 얼라인시킬 수 있다.
따라서, 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼의 얼라인이 최종적으로 불량 처리됨에 따른 상기 웨이퍼 테스트 시스템의 순간 정지를 방지함으로써, 상기 웨이퍼를 테스트하는 공정의 생산성 향상과 이에 따른 제조 비용 절감 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 테스트 시스템을 개념적으로 나타낸 블록도이다.
도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 테스트 시스템의 테스트 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 웨이퍼 테스트 시스템을 이용하여 웨이퍼를 테스트하는 방법을 단계적으로 나타낸 순서도이다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 테스트 시스템을 개념적으로 나타낸 블록도이며, 도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 테스트 시스템의 테스트 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 테스트 시스템(1000)은 다수의 테스트 장치(100)들 및 하나의 얼라인 서버(200)를 포함한다.
상기 테스트 장치(100)들 각각은 프로브 카드(10)를 이용하여 다수 웨이퍼(20)들로부터 제조되는 반도체 칩(미도시)들의 전기적인 성능을 테스트한다. 구체적으로, 상기 프로브 카드(10)의 니들(15)을 상기 웨이퍼(20)들 각각의 패드(25)에 전기적으로 접속시킨 상태에서 상기 패드(25)에 상기 프로브 카드(10)로부터 검사 신호를 입력한 다음, 상기 웨이퍼(20)로부터 제조되는 반도체 칩들에서 출력되는 신호를 모니터링하여 상기 반도체 칩들의 전기적인 성능의 이상 여부를 검사한다. 이를 위하여, 상기 테스트 장치(100)들 각각은 카드 장착부(110), 웨이퍼 스테이지(120), 얼라인부(130) 및 테스트부(140)를 포함한다.
상기 카드 장착부(110)에는 상기 프로브 카드(10)가 장착된다. 구체적으로, 상기 카드 장착부(110)에는 상기 니들(15)이 하부 방향으로 노출되도록 상기 프로브 카드(10)가 장착될 수 있다. 이러한 카드 장착부(110)는 상기 장착된 프로브 카드(10)가 교체될 수 있도록 분리 가능한 구조를 가질 수 있다.
상기 웨이퍼 스테이지(120)에는 상기 웨이퍼(20)가 상기 프로브 카드(10)와 마주하도록 놓여진다. 구체적으로, 상기 웨이퍼 스테이지(120)에는 상기 패드(25)가 상부 방향으로 노출되도록 상기 웨이퍼(20)가 놓여질 수 있다. 이러한 웨이퍼 스테이지(120)는 상기 놓여진 웨이퍼(20)를 고정할 수 있도록 고정 척 구조를 가질 수 있다.
상기 얼라인부(130)는 상기 카드 장착부(110) 및 상기 웨이퍼 스테이지(120) 중 적어도 하나와 연결되어 상기 프로브 카드(10)의 니들(15)이 상기 웨이퍼(20)의 패드(25)에 정확하게 접속할 수 있도록 이들을 얼라인시킨다. 구체적으로, 상기 얼라인부(130)는 상기 프로브 카드(10)의 상부에서 상기 니들(15)과 상기 패드(25)의 이미지를 카메라로 촬영한 다음, 상기 이미지를 분석하여 상기 카드 장착부(110) 또는 상기 웨이퍼 스테이지(120)를 평면을 따라 이동시키면서 얼라인시킨다.
상기 테스트부(140)는 상기 카드 장착부(110) 및 상기 웨이퍼 스테이지(120) 중 적어도 하나와 연결되어 상기 얼라인부(130)에 의해서 얼라인된 프로브 카드(10)의 니들(15)을 상기 웨이퍼(20)의 패드(25)에 전기적으로 접속시켜 상기 웨이퍼(20)로부터 제조되는 반도체 칩들의 전기적인 성능을 테스트한다. 이에, 상기 테스트부(140)는 상기 카드 장착부(110) 또는 상기 웨이퍼 스테이지(120)를 상하 수직축을 따라 서로 마주보는 방향으로 구동시킬 수 있다.
상기 얼라인 서버(200)는 상기 테스트 장치(100)들과 병렬 구조로 모두 연결된다. 구체적으로, 상기 얼라인 서버(200)는 상기 테스트 장치(100)들 각각의 얼라인부(130)와 연결되어 상기 얼라인부(130)에 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)들 각각을 얼라인시키기 위한 얼라인 데이터가 저장된다. 이때, 상기 얼라인 서버(200)에 저장된 얼라인 데이터는 상기 테스트 장치(100)들 각각으로부터 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)가 성공적으로 접속하였을 때의 얼라인 정보에 의해서 연속적으로 모두 업데이트된다. 다시 말해, 상기 얼라인 서버(200)에 저장된 얼라인 데이터는 실질적으로 가장 최근에 상기 테스트 장치(100)들로부터 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)가 정상적으로 얼라인된 정보이다.
이와 같이, 상기 하나의 얼라인 서버(200)에 상기 다수의 테스트 장치(100)들로부터 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)가 정상적으로 얼라인되었을 때의 상기 얼라인 데이터를 연속적으로 업데이트한 상태에서, 어느 한 테스트 장치(100)의 테스트 공정 중에 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)의 얼라인이 불량일 경우 상기의 얼라인 서버(200)로부터 가장 최근에 업데이트된 얼라인 데이터를 이용하여 이들을 얼라인시킬 수 있다.
이에 따라, 상기 프로브 카드(10)의 장시간 사용에 따라 그 니들(15)의 위치 또는 모양에 일부 편차가 발생되어도 이를 감안한 가장 최근의 얼라인 데이터를 이용함으로써, 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)를 정확하고 안정적으로 얼라인시킬 수 있다.
따라서, 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)의 얼라인이 최종적으로 불량 처리됨에 따른 상기 웨이퍼 테스트 시스템(1000)의 순간 정지를 방지함으로써, 상기 웨이퍼(20)를 테스트하는 공정의 생산성 향상과 이에 따른 제조 비용 절감 효과를 기대할 수 있다.
한편, 상기 테스트 장치(100)들 각각의 얼라인부(130)는 자체적으로 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼 스테이지(120)가 정상적으로 얼라인될 때의 그 얼라인 데이터를 저장하는 데이터 저장부(132)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 웨이퍼 테스트 시스템(1000)은 상기 테스트 장치(100)들과 병렬 구조로 연결되어 상기 웨이퍼(20)들 중 동일 로트(lot)에 대하여 첫 번째 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)가 정상적으로 얼라인될 때의 그 얼라인 데이터가 저장되는 제2 얼라인 서버(300)를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 얼라인 서버(300)는 상기 제1 얼라인 서버(200)를 통해서 상기 테스트 장치(100)들과 병렬 구조로 연결될 수 있다. 또한, 상기 웨이퍼 테스트 시스템(1000)은 상기 제2 얼라인 서버(300)와 마찬가지로, 상기 테스트 장치(100)들과 병렬 구조로 연결되어 상기 웨이퍼(20)들 전체 중 첫 번째 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)가 얼라인될 때의 얼라인 데이터가 저장되는 원본 데이터 서버(400)를 더 포함할 수 있다. 이와 같이, 상기 제1 얼라인 서버(200) 외에 추가적으로 다양한 얼라인 데이터를 저장하는 상기 데이터 저장부(132), 상기 제2 얼라인 서버(300) 및 상기 원본 데이터 서버(400)를 포함하는 구성은 이하의 도 3을 참조한 설명에서와 같이 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)를 보다 정확하고 안정적으로 얼라인시키기 위한 것으로, 이하의 설명을 통해 이해하고자 한다.
도 3은 도 1에 도시된 웨이퍼 테스트 시스템을 이용하여 웨이퍼를 테스트하는 방법을 단계적으로 나타낸 순서도이다.
도 3을 추가적으로 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 웨이퍼(20)를 테스트하기 위해, 우선 테스트하고자 하는 웨이퍼(20)를 상기 카드 장착부(110)에 장착된 프로브 카드(10)와 마주하도록 상기 웨이퍼 스테이지(120)에 놓은 다음, 상기 테스트 장치(100)의 얼라인부(130)를 통해서 상기 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)를 얼라인시킨다(S100).
이어서, 상기 프로브 카드(10)의 상부에서 상기 프로브 카드(10)의 니들(15)과 상기 웨이퍼(20)의 패드(25)의 얼라인 상태를 확인한다(S200). 구체적으로, 상기 프로브 카드(10)의 상부에서 상기 프로브 카드(10)의 니들(15)과 상기 웨이퍼(20)의 패드(25) 이미지를 촬영하여 이를 통해 그 얼라인 상태를 확인한다.
이어서, 상기 S300 단계에서 확인한 결과, 그 얼라인 상태가 정상으로 판단되면 상기 프로브 카드(10)의 니들(15)을 상기 웨이퍼(20)의 패드(25)에 접속시켜 상기 웨이퍼(20)로부터 제조되는 반도체 칩들의 전기적인 성능을 테스트한다(S300).
하지만, 상기 S300 단계에서 확인한 결과, 그 얼라인 상태가 불량으로 판단되면 상기 얼라인부(130)의 데이터 저장부(132)에 저장된 얼라인 데이터를 이용하여 상기 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)의 얼라인을 조정한다(S210).
이후, 상기 S200 단계에서와 같이 다시한번 상기 프로브 카드(10)의 니들(15)과 상기 웨이퍼(20)의 패드(25)의 얼라인 상태를 확인한다(S20). 이에, 상기 다시한번 확인한 결과 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)의 얼라인 상태가 정상으로 판단되면 상기 S300 단계에 따른 테스트 공정을 진행하고, 다시 불량이 발생될 경우에는 상기 얼라인 서버(200)에 업데이트된 가장 최근의 얼라인 데이터를 이용하여 상기 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)의 얼라인을 다시 조정한다(S230).
그 이후, 상기 S200 단계에서와 같이 또 다시한번 상기 프로브 카드(10)의 니들(15)과 상기 웨이퍼(20)의 패드(25)의 얼라인 상태를 확인한다(S240). 이에, 상기 또 다시한번 확인한 결과 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)의 얼라인 상태가 정상으로 판단되면 상기 S300 단계에 따른 테스트 공정을 진행하고, 또 다시 불량이 발생될 경우에는 상기 제2 얼라인 서버(300)에 저장된 상기 웨이퍼(20)들 중 동일 로트(lot)에 대하여 첫 번째 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)가 정상적으로 얼라인될 때의 얼라인 데이터를 이용하여 상기 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)의 얼라인을 또 다시 조정한다(S250).
또 그 이후, 상기 S200 단계에서와 같이 또 다시한번 상기 프로브 카드(10)의 니들(15)과 상기 웨이퍼(20)의 패드(25)의 얼라인 상태를 확인한다(S260). 이에, 상기 또 다시한번 확인한 결과 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)의 얼라인 상태가 정상으로 판단되면 상기 S300 단계에 따른 테스트 공정을 진행하고, 또 다시 불량이 발생될 경우에는 상기 원본 데이터 서버(400)에 저장된 상기 웨이퍼(20)들 전체 중 첫 번째 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)가 얼라인될 때의 얼라인 데이터를 이용하여 상기 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)의 얼라인을 또 다시 조정한다(S270).
이렇게, 상기 얼라인부(130)의 데이터 저장부(132)에 저장된 얼라인 데이터를 이용하여 1회 자동 조정(S210)하고, 상기 얼라인 서버(200)에 업데이트되어 저장된 가장 최근의 정상적인 얼라인 데이터를 이용하여 2회 자동 조정(S230)하고, 상기 제2 얼라인 서버(300)에 저장된 동일 로트(lot)에서 첫 번째 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)가 얼라인된 얼라인 데이터를 이용하여 3회 자동 조정하고, 상기 원본 데이터 서버(400)에 저장된 상기 웨이퍼(20)들 전체 중 첫 번째 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)가 얼라인된 얼라인 데이터를 이용하여 4회 자동 조정함으로써, 상기 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)를 공정적인 정지 없이 연속적인 테스트 공정을 수행할 수 있다.
이후, 상기의 4회 자동 조정(S270)을 진행한 다음, 또 다시한번 상기 S200 단계에서와 같이 상기 프로브 카드(10)의 니들(15)과 상기 웨이퍼(20)의 패드(25)의 얼라인 상태를 확인한다(S280). 이에, 상기 또 다시한번 확인한 결과 상기 프로브 카드(10)와 상기 웨이퍼(20)의 얼라인 상태가 정상으로 판단되면 상기 S300 단계에 따른 테스트 공정을 진행하고, 또 다시 불량이 발생될 경우에는 상기 웨이퍼 테스트 시스템(1000)의 테스트 공정을 중지하고, 사용자가 직접 상기 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)를 그 상부에서 촬영한 이미지를 이용하여 수동으로 얼라인시킨(S290) 다음, 상기 S300 단계에 따른 테스트 공정을 진행한다. 이때, 상기 S290 단계에서 상기 웨이퍼(20)와 상기 프로브 카드(10)를 수동으로 얼라인시켜 얻은 얼라인 정보를 통해 상기 원본 데이터 서버(400)를 업데이트하고, 다른 상기 얼라인 서버(200) 및 상기 얼라인부(130)에도 이를 업데이트 형태로 저장할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 프로브 카드 20 : 웨이퍼
100 : 테스트 장치 110 : 카드 장착부
120 : 웨이퍼 스테이지 130 : 얼라인부
132 : 데이터 저장부 140 : 테스트부
200 : 얼라인 서버 300 : 제2 얼라인 서버
400 : 원본 데이터 서버 1000 : 웨이퍼 테스트 시스템

Claims (8)

  1. 다수 웨이퍼들로부터 제조되는 반도체 칩들의 전기적인 성능을 테스트하기 위한 프로브 카드가 장착되는 카드 장착부, 상기 웨이퍼들 각각이 상기 프로브 카드와 마주하도록 놓여지는 웨이퍼 스테이지, 상기 카드 장착부 및 상기 웨이퍼 스테이지 중 적어도 하나와 연결되며 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼들 각각을 얼라인시키는 얼라인부, 및 상기 프로브 카드를 상기 웨이퍼들 각각에 접속시켜 테스트하는 테스트부를 각각 포함하는 다수의 테스트 장치들; 및
    상기 테스트 장치들과 병렬 구조로 연결되며, 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼들 각각을 얼라인시키기 위한 얼라인 데이터가 저장된 하나의 얼라인 서버를 포함하며,
    상기 테스트 장치들 각각에서 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼들 각각의 얼라인이 성공되는 경우 해당 얼라인 데이터들이 상기 얼라인 서버에 업데이트되고,
    상기 테스트 장치들 중 어느 하나에서 상기 프로브 카드와 웨이퍼 사이의 얼라인이 불량인 경우 상기 얼라인 서버에 업데이트된 상기 얼라인 데이터들 중에서 가장 최근에 업데이트된 얼라인 데이터를 이용하여 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼 사이의 얼라인을 조정하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 이용한 웨이퍼 테스트 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 얼라인부는 상기 웨이퍼들 각각과 상기 프로브 카드가 정상적으로 얼라인된 제2 얼라인 데이터가 저장되는 데이터 저장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 이용한 웨이퍼 테스트 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 테스트 장치들과 연결되며, 상기 웨이퍼들 중 동일 로트(lot)에 대하여 첫 번째 웨이퍼와 상기 프로브 카드가 정상적으로 얼라인된 제3 얼라인 데이터가 저장되는 제2 얼라인 서버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 이용한 웨이퍼 테스트 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 테스트 장치들과 연결되며, 상기 웨이퍼들 전체 중 첫 번째 웨이퍼와 상기 프로브 카드가 얼라인된 제4 얼라인 데이터가 저장되는 원본 데이터 서버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 이용한 웨이퍼 테스트 시스템.
  5. 다수의 테스트 장치들 어느 하나에서 웨이퍼 스테이지 상에 놓여지는 웨이퍼와 카드 장착부에 상기 웨이퍼와 마주하도록 장착된 프로브 카드의 얼라인을 확인하는 단계; 및
    상기 확인한 결과, 상기 웨이퍼와 상기 프로브 카드가 정상적으로 얼라인되었을 경우 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼를 접촉시켜 상기 웨이퍼로부터 제조되는 반도체 칩들의 전기적인 성능을 테스트하면서 상기 정상적으로 얼라인된 얼라인 데이터를 상기 프로브 카드와 상기 웨이퍼를 얼라인시키는 얼라인부와 연결된 얼라인 서버에 업데이트하는 단계를 포함하며,
    상기 얼라인 서버에는 상기 테스트 장치들 각각에서 웨이퍼와 프로브 카드가 정상적으로 얼라인된 얼라인 데이터들이 모두 업데이트되고,
    상기 확인한 결과, 상기 웨이퍼와 상기 프로브 카드 사이의 얼라인이 불량한 경우 상기 업데이트된 얼라인 데이터들 중에서 가장 최근에 업데이트된 얼라인 데이터를 이용하여 상기 웨이퍼와 상기 프로브 카드 사이의 얼라인을 조정하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 이용한 웨이퍼 테스트 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 확인한 결과, 상기 웨이퍼와 상기 프로브 카드가 정상적으로 얼라인되었을 경우에는 상기 얼라인 데이터를 상기 얼라인부에 포함된 데이터 저장부에 저장하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드를 이용한 웨이퍼 테스트 방법.
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