JPH11353030A - マスフローコントローラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 集積形流体制御装置の小型化と軽量化及びデ
ッドスペースの最小化を計るために、横方向長さが短か
くデッドスペースを極小とすると共に合理的なメンテナ
ンスが行えるようにしたマスフローコントローラとす
る。 【解決手段】 このマスフローコントローラは、流量セ
ンサ２を設けたセンサブロック４０と流量制御弁５０を
設けたバルブブロック６０とから構成されており、セン
サブロック４０の下面には流入接続部３１を、一方のバ
ルブブロック６０の下面には流出接続部３６をそれぞれ
設け、センサブロック４０とバルブブロック６０とを着
脱自在に連結することによって、流体の流入と流出とが
直接下面から行われるようにした。よって、本体の横方
向長さとデッドスペースが小さく、かつメンテナンスの
し易いマスフローコントローラとなった。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置に使用されるプロセスガス等を流量制御するマスフ
ローコントローラに関し、特にフィルター、レギュレー
タ、圧力計、遮断弁及びマスフローコントローラ等の各
種流体制御機器を一体的に接続してユニットとなし、さ
らにこのユニット同士を接続して一体的にまとめた集積
形の流体制御装置に適したマスフローコントローラに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、マスフローコントローラは図１０
に示すように、微量流体（以下ガスを例にとって説明す
る。）の質量流量を検出する流量センサ２と、アクチュ
エータを備えた流量制御弁７と、これらを制御する制御
回路３（詳細は図示せず）とから主に構成されている。
流入口継手７１から流入したガスは、流入流路７２を経
てバイパス流路７３とセンサ流路２０に分岐して流れ、
再び合流７４して流量制御弁の弁座７７に到達し、この
流量制御弁７で流量制御された後、流出流路７５を介し
て流出口継手７６から導出されるようになっている。

【０００３】ここでセンサ流路２０は、およそ内径０．
５ｍｍ程度のステンレス製パイプを略Ｕ字状に形成した
もので、その上流側と下流側にはそれぞれ感熱コイル２
１、２２が巻回されており、さらに他の抵抗体と組み合
わせてブリッジ回路を構成している。感熱コイル２１、
２２はガス温度より高い一定温度に加熱されており、上
流側の感熱コイル２１は、ガスが流れることによって熱
が奪われて温度が下がり、他方の下流側コイル２２は上
流側で温まったガスが流れるために逆に温度が上がり温
度勾配が生じる。このような熱移動はブリッジ回路の不
平衡電圧として検出され、この電位差は質量流量に比例
することから熱式質量流量センサとして機能するもので
ある。

【０００４】そして、質量流量センサ２からの流量信号
は、増幅回路によって増幅された後、比較制御回路へ入
力され、ここで予め設定された設定流量信号と比較され
て、その差分を無くすようなバルブ駆動電圧がアクチュ
エータに入力され、その結果、流量制御弁の開度を調節
してガス流量を制御することができる。これらの制御は
制御回路部３によって行われている。また、制御流量が
数10μｍ程度の小さなストローク内で制御されることか
ら、小さな変位で大きな推力を発生する積層型圧電素子
体７９がアクチュエータとして用いられることが多い。

【０００５】ところで、最近ではこのようなマスフロー
コントローラを含む各種流体制御機器を連ねた集積形の
流体制御装置が用いられることが多くなってきた。例え
ば、特開平５−１７２２６５号公報に開示された図８に
示すものがある。この例では、プロセスガスａ、ｂ、ｃ
を流す集積ユニットＡ、Ｂ、Ｃとパージガスｄを流す集
積ユニットＤの計４ラインが一体的に集積され、最終的
には流出口Ｅに導出されるようになっている。例えば集
積ユニットＡは、フィルター９１を経て流入したプロセ
スガスａは、遮断弁９２と９３を介してマスフローコン
トローラ９４内に流入し、ここで流量制御される。その
後マスフローコントローラ９４から流出したガスは、遮
断弁９５と９６を介してマニホールド９７ａに形成され
た縦方向の流路に導かれて流出口Ｅから反応炉に供給さ
れるようになっている。

【０００６】他のラインＢ〜Ｄも同様の集積ユニットと
して構成されている。このように各集積ユニット毎に、
フィルター、遮断弁、マスフローコントローラ、遮断
弁、というような各種の流体制御機器を、まず横方向に
流通ラインを形成するように接続して一つのユニットと
なし、さらに、このユニットを縦方向に流通ラインを形
成するように接続して集積化している。この中で、隣同
士の流体制御機器の流路を接続するのが横流路ブロック
９８ａ、９８ｂ、９８ｃ（この従来技術では台座又はケ
ーシングと称している。）であり、各ユニット間の流路
を接続するのが縦流路ブロック９７ａ、９７ｂ（この従
来技術ではマニホールドと称している。）である。

【０００７】ここで、従来、マスフローコントローラと
横流路ブロックを接続するには、図９に示す構造がとら
れていた（特開平８−３２６９４３号参照）。すなわ
ち、マスフローコントローラ８５の入口側と出口側のそ
れぞれに流路を下向きに変換する接続ブロック８８、８
８を取付け、さらにブロック８８、８８に対して流路を
横向きに変換する接続ブロック８２、８２を取付けてい
た。そして、この接続ブロック８２と横流路ブロック８
０、８１のＬ字流路８３、８４、８９がそれぞれ一致す
るように横方向に通したボルト（図示せず）によって連
結していた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このように従来、マス
フローコントローラと横流路ブロックとの接続に際し、
断面四角形の接続ブロック８２、８８を必要としてい
た。従って、それだけユニットが横方向に長くなるし、
また重たくなる。集積形流体制御装置が用いられるシリ
ンダーキャビネットでは、キャビネットの中により多く
の配管系を集めて収容するので、ともかく数ｃｍでも小
さく、また数Ｋｇでも軽いことが望まれている。このこ
とから従来のものでは、大きくて重いという問題があっ
た。

【０００９】また、横流路ブロックにしても接続ブロッ
クにしてもその流路は、機械加工で形成するので出来る
だけ短く簡素なものが望ましい。しかし接続ブロック８
２、８８ともＬ字形流路で長く鉤状に折れ曲がっている
ので、加工がし難いばかりか流過抵抗とデッドスペース
が大きく、さらにブロック同士の位置合わせが面倒であ
るという問題がある。

【００１０】さらに、従来のマスフローコントローラで
はバイパス流路（具体的にはバイパスホルダ）は、図１
０の場合流入側継手７１を取り除いた開口から、また図
９の場合は接続ブロック８８を取り除いた開口から挿入
し装着するようになっていた。従って、メンテナンスを
考えると、バイパスだけを取り替えたい、また流量制御
弁だけを取り替えたいという部品交換だけのメンテナン
スであっても、従来の集積ユニットでは接続ブロック付
のマスフローコントローラを取り外し、これを工場に持
ち帰った後部品を取り替えるか、またはその場でマスフ
ローコントローラごと新品に取り替えるという手間とコ
ストがかかることを行わなければならなかった。

【００１１】以上のような問題は、既製のマスフローコ
ントローラを用いてユニット化をしようとしたことから
生じていると言える。そこで、本発明は、集積形流体制
御装置の小型化と軽量化及びデッドスペースの最小化を
計るために、横方向長さが短かくデッドスペースを極小
とすると共に合理的なメンテナンスが行えるようにした
マスフローコントローラを提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、流体の流入流
路と、この流入流路の下流に設けたバイパス流路および
センサ流路と、このバイパス流路およびセンサ流路の下
流に設けた流量制御弁と、この流量制御弁の下流に設け
た流出流路と、前記センサ流路の流量を検出する流量セ
ンサと、この流量センサの信号により前記流量制御弁を
制御する制御回路部と、を有するマスフローコントロー
ラにおいて、前記マスフローコントローラは、前記流量
センサを設けたセンサブロックと前記流量制御弁を設け
たバルブブロックを着脱自在に連結してなり、前記セン
サブロックの下面には前記流入流路に繋がる流入接続部
を設け、他方前記バルブブロックの下面には前記流出流
路に繋がる流出接続部を設けたマスフローコントローラ
である。

【００１３】このようにマスフローコントローラを、流
量センサ機能を備えたセンサブロックと、流量制御機能
を備えたバルブブロックとに分けて構成したことによ
り、先ずバイパス流路を両ブロックの間から装着するこ
とが可能となり、従来の接続ブロックが不要になる。さ
らにこれに共なって流入接続部をセンサブロックの下面
に、同様に流出接続部をバルブブロックの下面にそれぞ
れ配置できる。よって、集積ユニットとしたとき接続ブ
ロックがない分横方向長さが短くなるし、マスフローコ
ントローラの下面に横流路ブロックを直接取り付けるこ
とが出来る。同時に流路が短くなりデッドスペースは極
小化され、ガス置換性が良好となる。尚、本発明におい
てブロックの下面とは、流量センサあるいは流量制御弁
の取付け面に対向する面を指している。

【００１４】また、本発明のマスフローコントローラで
は、センサブロックの開口側面とバルブブロックの開口
側面との間に跨ってバイパス流路を構成するものであ
る。また、流量制御弁は、バルブブロックの上部に装着
した弁座に直接接離する金属ダイアフラム式のものであ
ることが望ましい。

【００１５】通常、バイパス流路を構成するパイプはセ
ンサパイプと同じものを束ねて使用し、その長さは層流
状態を作り出すために所定長さが必要である。この点で
両ブロックの間に跨ってバイパス流路を構成するので、
従来と同じバイパス流路（バイパスホルダ）を用いてか
つ両ブロックの中にコンパクトに収めることが出来る。
さらに、バイパス流路を取り替えたい場合や弁座を掃除
したいというメンテナンスの面では、バルブブロックの
みをユニットから取り外して容易に行うことができる。
また、金属ダイアフラム式のバルブであれば縦方向の寸
法が小さく収まるし、弁座のシール面と金属ダイアフラ
ムの装着面（バルブブロックの上面）をほぼ同一面とし
て、シール面のラップ仕上げを精度良く同時に行うこと
が出来る。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施例を示すマス
フローコントローラの縦断面図である。図２は図１の上
面図である。図３は本発明のマスフローコントローラを
用いた集積形流体制御装置の一例を示す上面図である。
図４は、図３の集積ユニットＢを抜き出した部分断面図
である。図５は、この集積配管の流れを示すブロック図
である。図６は、本発明のマスフローコントローラの場
合（イ）と従来のマスフローコントローラの場合（ロ）
との比較例である。図７は、他の実施例を示す集積ユニ
ットの一部正面図である。尚、従来と同一部品について
は同一符号を付してその説明は省略する。

【００１７】図１のマスフローコントローラ３０は、流
量センサ２を上面に取付け、バイパスホルダ４１を内蔵
し、下面端部に流入接続部３１を形成したセンサブロッ
ク４０と、流量制御弁５０を上面に取付け、上部に弁座
５１を装着し、下面端部に流出接続部３６を形成したバ
ルブブロック６０と、制御回路部３とから構成されてい
る。このセンサブロック４０とバルブブロック６０は、
両ブロックの開口側面４２、６１との間にメタルシール
部材３８を介し、横方向の四隅に設けた植込みボルト
（図示せず）によって連結するようになっている。この
ときセンサパイプ２０と同じパイプを所定数束ねたバイ
パスホルダ４１を開口４２から挿入して、センサブロッ
ク４０とバルブブロック６０に跨ってバイパス流路３３
を収容するように構成している。また、流入接続部３１
と流出接続部３６の各接続口には他のシール部材が装着
できるようになっており、他流路部材とボルト６７ａ〜
６７ｄ（図２参照）を用いて接続できるようになってい
る。

【００１８】従って、その流路をたどると、センサブロ
ック４０の下面流入接続部３１から流入した流体は、流
入流路３２を経てバイパス流路３３とセンサ流路２０に
分岐して流れ、弁座５１の下部付近３４で合流して上方
の弁座５１に向かって流れ、流量制御弁５０の金属ダイ
アフラム５２によって流量制御された後、流出流路３５
を下方に向かって流れ、バルブブロック６０の下面にあ
る流出接続部３６から導出されるのである。このように
本発明のマスフローコントローラの接続口は、ブロック
の下面に形成されており下方から流入した流体は一旦横
方向に流れて流量制御された後、再び下方へ流出するよ
うになっている。よって、センサブロック４０とバルブ
ブロック６０と共にデッドスペースを極小とし横方向長
さを短くコンパクトに抑えることができている。また流
路長も短くなっている。

【００１９】次ぎに、本実施例の流量制御弁５０につい
て説明を加える。先ず、この流量制御弁の弁座５１は、
バルブブロック５０の上部でそのシール面がバルブブロ
ックの上面３７と一致するようにかしめ手段により取り
付けられている。そして、金属ダイアフラム５２は、中
央が平坦状でその外側に半円形の弾性変形部を備えてお
り、例えば重量％でＮｉ１３〜１８％、Ｃｒ１８〜２３
％、Ｍｏ５〜９％、Ｃｏ３８〜４４％、残部Ｆｅおよび
不純物からなる高弾性金属材料で耐食性と耐久性が高
く、自己復元力を有するＣｏ基合金やＮｉ−Ｃｏ合金製
の薄板としている。この金属ダイアフラム５２は、メタ
ルＯリングを介してバルブブロック６０の上面３７に載
置され、上記弁座５１のシール面に対して直接接離して
流量制御が行えるようになっている。このような金属ダ
イアフラムを用いたバルブであると、高さ方向のスペー
スが必要でなくコンパクトとなる。また、弁座シール面
をブロック（少なくともバルブブロック）の上面と一致
させたことによって、弁座５１をバルブブロック６０に
装着した後、ブロック上面３７のラップ研磨と共に当該
シール面も仕上げることが出来るので効率的であるし、
流量制御弁としての精度が向上する。

【００２０】次ぎに、金属ダイアフラム５２は、ダイア
フラム押さえ５３によりその周縁部が挟着され、その上
にハウジング５４が乗せられてブリッジ部材５５を介し
てボルト６５ａ〜６５ｄでバルブブロック６０に固定さ
れている。一方、金属ダイアフラム５２の平坦部上面に
はダイアフラムスペーサ５６があり、さらにこの上には
弁棒５７が硬球５８の調芯作用を保持して結合してい
る。弁棒５７の内部には弁棒を横方向に貫通してブリッ
ジ部材５５がボルト６４によってハウジングに固定して
あり、ブリッジの上には圧電アクチュエータ６２が、下
にはばね部材５９がそれぞれ配置されている。圧電アク
チュエータ６２は、ステンレス等の金属製、望ましくは
熱膨張係数が極めて小さい金属材料からなるケース内に
積層型圧電素子体を密封したもので、その上部はキャッ
プ６３によって弁棒５７に対し軸芯を合わせた状態で螺
合し組み付けられている。

【００２１】以上によって、弁棒５７はブリッジ部材５
５を挟んで圧電アクチュエータ６２とばね部材５９がバ
ランスした状態となっており、通常は、ばね５９によっ
て弁棒５７を押し下げ金属ダイアフラム５２を弁座５１
に押し付けた閉弁状態となっている。そして、通電によ
って圧電アクチュエータ６２が伸張すると、その伸張力
はブリッジ部材５５によって反転し、ばね力に抗して弁
棒５７を上方に押し上げる力として作用する。すると金
属ダイアフラム５２は自己の復元力によって移動して流
量制御が行える。このようなノーマリークローズ型のマ
スフローコントローラである。尚、これはブリッジ部材
やばね部材を適宜変更してノーマリーオープン型のマス
フローコントローラに構成しても良いことは無論であ
る。

【００２２】上記した流量制御弁５０は、別途組み立て
てバルブブロック６０の上面にボルト６５ａ〜６５ｄで
取り付けるようになっているし、またセンサ２も別途組
み立ててセンサブロック４０の上面にボルト６６で取り
付けることが可能になっている。さらに言えばバイパス
流路３３もセンサブロック４０も弁座付きバルブブロッ
ク６０も別途製造して組み立てができるユニットとなし
ている。この点で製造管理が合理化されるという利点も
ある。

【００２３】さて次ぎに、本発明のマスフローコントロ
ーラを集積形流体制御装置に用いた実施例について図３
〜図６を参照して説明する。この例は半導体製造装置に
用いられるプロセスガスａ、ｂ、ｃを、夫々集積ユニッ
トＡ、Ｂ，Ｃを介してプロセスガスａ’ｂ’ｃ’として
各排出口１０ａ〜１０ｃより反応炉に供給し、一方パー
ジガスｄを集積ユニットＤから縦流路ブロックを介して
各ユニットＡ、Ｂ及びＣに供給して各流通ラインのパー
ジ処理が行えるようにした集積形流体制御装置１であ
る。各集積ユニットは、図４に示す集積ユニットＢを例
にとると、入口側より流入継手２Ｂ、手動開閉弁３Ｂ、
フィルター４Ｂ、レギュレータ５Ｂ、圧力計６Ｂ、空圧
遮断弁７Ｂ、マスフローコントローラ８Ｂ、空圧遮断弁
９Ｂ及び流出継手１０Ｂから構成されている。そして、
手動開閉弁３Ｂの流出流路とフィルター４Ｂの流入流路
（機器側の流出入流路は図示せず。以下同様。）を繋ぐ
のが横流路ブロック１２Ｂであり、フィルター４Ｂの流
出流路とレギュレータ５Ｂの流入流路を繋ぐのが横流路
ブロック１３Ｂである。以下、同様にレギュレータ５Ｂ
と圧力計６Ｂとは横流路ブロック１４Ｂ、圧力計６Ｂと
空圧遮断弁７Ｂとは横流路ブロック１５Ｂ、空圧遮断弁
７Ｂとマスフローコントローラ８Ｂとは横流路ブロック
１６Ｂ、マスフローコントローラ８Ｂと空圧遮断弁９Ｂ
とは横流路ブロック１７Ｂによって横一列に接続されて
いる。また、他の集積ユニットＡ、Ｃ、Ｄも同様に流出
入流路は、横流路ブロック１２〜１７を介して横方向に
接続している。

【００２４】他方、パージガスの集積ユニットＤの空圧
遮断弁７Ｄの流出流路と集積ユニットＣの空圧遮断弁７
Ｃの流入流路と集積ユニットＢの空圧遮断弁７Ｂの流入
流路及び集積ユニットＡの空圧遮断弁７Ａの流入流路と
をそれぞれ通じるために縦流路ブロック１９（１９Ａ、
１９Ｂ、１９Ｄ）を設けて各ユニットを接続し、モジュ
ール化している。ここで、マスフローコントローラ８
（８Ａ、８Ｂ、８Ｃ）は上記したマスフローコントロー
ラ３０を使用しており、センサブロック４０の流入接続
口３１に直接横流路ブロック１６を、またバルブブロッ
ク６０の流出接続口３６に直接横流路ブロック１７をボ
ルト６７ａ〜６７ｄを用いて接続できている。よって、
図６（ロ）に示す従来の接続ブロックがあった場合の占
有長さをＷとすれば、本発明の（イ）は約０．６Ｗと４
０％の小型化が計られ、その分集積ユニットの横方向長
さも短くなっている。また、部材同士の取付けは横流路
ブロックの上に乗せてボルトで締め付けるだけなので精
密な位置合わせ作業を必要としない。

【００２５】また、本実施例の横流路ブロック１２〜１
７と縦流路ブロック１９は、余肉を削った断面凸形状の
ブロック体となし、特に横流路ブロッ１５、１６と縦流
路ブロック１９が重なるところでは凸形状の上下を違え
て横方向に重ねて組み合わせるようにしている。このよ
うな形状と積み重ねにしたことにより長方体ブロックを
用いた従来の集積形流体制御装置に比べ約３０％の軽量
化と１５％の横方向長さの小型化が計られた。さらに、
横流路ブロックの流路は図示のように略Ｖ字形にしたの
で、加工が楽であるし、流路長が短く汚染される可能性
のあるデットスペースが小さくなった。尚、ユニットの
両端の横流路ブロック１１、１８も隅を削った形状とな
し、上記縦横流路ブロックと組合せ可能とすると共に軽
量化を計っている。

【００２６】次ぎに、本発明の他の実施例について説明
する。上記実施例は、接続ブロックを無くし横流路ブロ
ックにマスフローコントローラを直接接続できるように
してコンパクト化をはかったものであった。しかし、場
合によってはコンパクト化ではなくて共有化を目的とす
る集積ユニットもある。例えば、集積ユニットの横方向
長さが既に標準化されていて変更できない場合等であ
る。このような場合は、図７に示すような変換ブロック
４５を設けて対応することが出来る。変換ブロック４５
は、従来の接続ブロック相当を含む長さＷとなってお
り、従って、既存の集積ユニットの全長を一定に保つこ
とができる。

【００２７】変換ブロック４５のブロック上面には、上
記マスフローコントローラ３０の流入接続部３１及び流
出接続部３６にそれぞれ繋がる流出入接続部を有し、左
右に流入流路と流出流路が横方向に取り出されて遮断弁
７、９に接続できるようになっている。変換ブロックの
他の例としては、従来の、例えば図１０にあるような流
入口継手および流出口継手を左右に備えたブロックとす
ることができる。以上の変換ブロックを用いた実施例に
よれば、集積ユニットに使われる各種流体制御機器の予
備品を共通化して使用できる。また、既存のシリンダー
キャビネットやシステムの変更をしなくてもよいという
効果がある。

【００２８】

【発明の効果】以上のように本発明のマスフローコント
ローラは、センサブロックとバルブブロックとを別体で
構成したことから、バイパス流路を両ブロックの間に跨
って装着できると共に各ブロックの下面に流入と流出の
接続部を設けることができた。これによって、マスフロ
ーコントローラ本体の横方向長さとデッドスペースが極
小となった。さらに、このマスフローコントローラを用
いて集積形流体制御装置を構成した場合、マスフローコ
ントローラへの流体の流入と流出が直接ブロックの下部
から行えるので従来の接続ブロックを必要としない。よ
って、集積ユニットの小型化と軽量化ができる。また流
路長も最小化されるためガス置換性が良好でパーティク
ルの吸着を抑えてクリーンな配管となる。また、メンテ
ナンスはどちらかのブロックを選択的に取り外して行う
こともできるので、合理的かつ経済的なメンテナンスが
行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例を示すマスフローコントロ
ーラの縦断面図である。

【図２】 図１の上面図である。

【図３】 本発明のマスフローコントローラを用いた集
積形流体制御装置の一例を示す上面図である。

【図４】 図３の集積ユニットＢを取り出した一部断面
正面図である。

【図５】 図３の集積形流体制御装置の流れを示すブロ
ック線図である。

【図６】 本発明のマスフローコントローラ（イ）と従
来のマスフローコントローラ（ロ）との比較例である。

【図７】 本発明のマスフローコントローラを用いた集
積形流体制御装置の他の実施例を示す一部の正面図であ
る。

【図８】 従来の集積形流体制御装置の例を示す外観斜
視図である。

【図９】 従来のマスフローコントローラと横流路ブロ
ックの接続例を示す一部断面図である。

【図１０】 従来のマスフローコントローラの一例を示
す縦断面図である。

【符号の説明】

１：集積形流体制御装置 ２（Ａ〜Ｄ）：流入継手 ３（Ａ〜
Ｄ）：手動開閉弁 ４（Ａ〜Ｄ）：フィルター ５（Ａ〜
Ｄ）：レギュレータ ６（Ａ〜Ｄ）：圧力計 ７（Ａ〜
Ｄ）：空圧遮断弁 ８（Ａ〜Ｃ）：マスフローコントローラ ９（Ａ〜
Ｃ）：空圧遮断弁 １０（Ａ〜Ｃ）：流出継手 １１（Ａ〜Ｄ）：流入流路ブロック １８（Ａ〜
Ｃ）：流出横流路ブロック １２、１３、１４、１５、１６（Ａ〜Ｄ）、１７（Ａ〜
Ｃ）：横流路ブロック １９（Ａ、Ｂ、Ｄ）：縦流路ブロック ２０：センサ流路 ２１：上流側感熱コイル ２２：下
流側感熱コイル ３０：マスフローコントローラ ３１：流入接続部 ３２：流
入流路 ３３：バイパス流路 ３４：合
流流路 ３５：流出流路 ３６：流
出接続部 ３７：バルブブロックの上面 ３８：シ
ール部材 ４０：センサブロック ４１：バ
イパスホルダ ４２：センサブロックの開口側面 ５０：流量制御弁 ５１：弁
座 ５２：金属ダイアフラム ５３：ダ
イアフラム押さえ ５４：ハウジング ５５：ブ
リッジ部材 ５６：ダイアフラムスペーサ ５７：弁
棒 ５８：硬球 ５９：ば
ね部材 ６０：バルブブロック ６１：バ
ルブブロックの開口側面 ６２：圧電アクチェエータ ６３：キ
ャップ ６４、６５、６６：組み付け用ボルト ６７：部
材接続用ボルト ６８：軸受け ６９：ば
ね受け部材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体の流入流路と、この流入流路の下流
   に設けたバイパス流路およびセンサ流路と、このバイパ
   ス流路およびセンサ流路の下流に設けた流量制御弁と、
   この流量制御弁の下流に設けた流出流路と、前記センサ
   流路の流量を検出する流量センサと、この流量センサの
   信号により前記流量制御弁を制御する制御回路部と、を
   有するマスフローコントローラにおいて、 前記マスフローコントローラは、前記流量センサを設け
   たセンサブロックと前記流量制御弁を設けたバルブブロ
   ックとを着脱自在に連結してなり、前記センサブロック
   の下面には前記流入流路に繋がる流入接続部を設け、前
   記バルブブロックの下面には前記流出流路に繋がる流出
   接続部を設けたことを特徴とするマスフローコントロー
   ラ。
2. 【請求項２】 前記センサブロックの開口側面と前記バ
   ルブブロックの開口側面との間に跨って前記バイパス流
   路が形成されていることを特徴とする請求項１記載のマ
   スフローコントローラ。
3. 【請求項３】 前記流量制御弁は、前記バルブブロック
   の上部に装着した弁座に直接接離する金属ダイアフラム
   を用いたものであることを特徴とする請求項１又は２記
   載のマスフローコントローラ。