KR19980063650A - 유체 제어 장치 - Google Patents

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KR19980063650A
KR19980063650A KR1019970064988A KR19970064988A KR19980063650A KR 19980063650 A KR19980063650 A KR 19980063650A KR 1019970064988 A KR1019970064988 A KR 1019970064988A KR 19970064988 A KR19970064988 A KR 19970064988A KR 19980063650 A KR19980063650 A KR 19980063650A
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flow regulator
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나카자와마사히코
츠카다가즈오
야마지미치오
다나카히사시
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마오야마 히사노리
니뽄아에라가부시키가이샤
오가와 슈헤이
가부시키가이샤후지킨
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Abstract

질량 유량 조정기의 돌출부에 접속되는 접속 부재에 접속 부재를 좌우 양측에서부터 사이에 끼우는 것처럼 문형 금속 이음구가 설치되어 있다. 문형 금속 이음구에, 밀봉부의 바로 위에서 질량 유량 조정기의 돌출부를 접속 부재에 압압하는 압압체가 설치된다.

Description

유체 제어 장치
본 발명은 유량을 조정하는 질량 유량 조정기(mass flow controller)나 압력을 조정하는 압력 조정기 등의 조정기와 개폐 밸브 등이 조합되어 구성되는 유체 제어 장치에 관한 것이다.
유량 또는 압력을 조정하는 조정기와, 조정기의 하단부 전후 양면에 설치된 조정기 돌출부와, 조정기 돌출부의 하면에 접속된 접속 부재를 구비하고 있으며, 조정기 돌출부에 설치된 하면에 개구를 갖는 역L 형 통로와 접속 부재에 설치된 표면에 개구를 갖는 L 형 통로가 연통하도록, 조정기 돌출부와 접속 부재가 밀봉부를 매개로 착탈 자유롭게 접속되어 있는 유체 제어 장치는 종래부터 공지되어 있는 것이다(특개평 6-241400호 공보 참조).
이러한 종류의 유체 제어 장치에서는 조정기의 보수나 점검을 위하여 조정기를 일단 분리하고 다시 설치하는 작업을 빈번히 할 필요가 있다. 따라서, 유체 제어 장치를 알루미늄 패널상에 설치하여, 조정기를 단독으로 윗쪽으로 집어낼 수 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 그래서, 상기 종래의 유체 제어 장치에서는, 2개의 볼트를 조정기의 돌출부를 관통시켜 접속 부재의 나사 구멍에 돌려 넣음으로써 조정기를 접속 부재에 설치하였다.
상기 종래의 유체 제어 장치에서는, 2개의 볼트는 밀봉부를 사이에 끼우는 대칭 위치로 배치되어 있지만, 밀봉을 확실하게 하기 위해서는 2개의 볼트를 교대로 조금씩 밸런스를 고려하면서 조여 갈 필요가 있어 이 작업이 번거로울 뿐만 아니라 어렵다고 하는 문제가 있었다. 또한, 유체 제어 장치를 설치하는 패널이 수직인 경우, 접속 부재에 형성된 나사 구멍에 볼트를 맞추기 어려워, 이 작업을 할 때 밀봉부를 손상시켜 밀봉성이 악화된다고 하는 문제나, 조정기를 분리할 때에 볼트가 낙하하여 분실된다고 하는 문제도 있었다.
더욱이, 조정기가 질량 유량 조정기인 경우, 질량 유량 조정기는, 이것에 유입되어 오는 유체가 층류(層流)인 것을 전제로 유량을 조정하도록 되어 있는 것임에도 불구하고, 유체가 질량 유량 조정기에 유입되기 전에 역L 형의 통로와 L 형의 통로를 통과함으로 인하여 난류가 발생하기 때문에, 질량 유량 조정기의 유량 조정 정밀도가 떨어진다고 하는 문제도 있었다.
본 발명의 목적은 조정기의 설치·분리 작업이 용이한 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 다른 목적은 조정기와 접속 부재를 결합할 때에 사용되는 부재가 분실될 염려가 없는 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 밀봉성이 향상된 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 다른 목적은 조정기가 질량 유량 조정기인 경우에, 그 유량 조정의 정밀도가 떨어지지 않는 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따른 유체 제어 장치는 유량 또는 압력을 조정하는 조정기와, 조정기의 하단부 전후 양면에 설치된 조정기 돌출부와, 조정기 돌출부의 하면에 접속된 접속 부재를 구비하고 있으며, 조정기 돌출부와 접속 부재가 밀봉부를 매개로 착탈 자유롭게 접속되어 있는 유체 제어 장치에 있어서, 접속 부재에 조정기 돌출부 및 접속 부재를 좌우 양측에서부터 사이에 끼우는 좌우 측벽을 갖는 문형 금속 이음구(門型金具)가 설치되고, 문형 금속 이음구에 조정기 돌출부를 밀봉부의 바로 위에서 접속 부재에 압압하는 압압체가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 명세서에 있어서, 상하는 도 1의 상하를 말하고, 또한 동 도면의 오른쪽을 전, 왼쪽을 후라고 하며, 좌우는 전방을 향하고 있는 것으로 한다. 이 상하는 편의적인 것으로, 상하가 역으로 되거나, 횡으로 될 수도 있다. 조정기란 질량 유량 조정기, 압력 조정기 등의 유량 또는 압력을 조정하는 기기를 의미하여, 접속 부재란 이 조정기에 접속되는 개폐 밸브, 조정 밸브, 역지 밸브, 필터, 유로가 형성된 블록 등의 단기능 부재를 의미한다.
본 발명의 유체 제어 장치에 의하면, 압압체는 조정기 돌출부를 밀봉부의 바로 위에서 접속 부재에 압압하기 때문에, 밀봉부를 사이에 끼우는 대칭 위치로 2개의 볼트에 의해 조여져 갈 때와 같은 체결 밸런스를 고려하지 않아도 좋다. 따라서, 조정기의 설치 작업이 용이하게 된다.
압압체는 예컨대, 문형 금속 이음구의 정상벽에 설치된 관통 암나사부에 체결되어 있는 수나사부와, 수나사부의 상단에 연속해 있는 스패너 끼워맞춤용 머리부와, 수나사부의 하단에 연속해 있는 단원주(短圓柱)형 볼록부로 이루어진다. 이와 같이 하면, 압압체는 밀봉부의 윗쪽에 1개 배치될 뿐이므로, 밀봉부를 사이에 끼우는 대칭 위치로 각각 볼트를 배치하는 종래의 것에 비하여, 수나사부를 굵게 할 수 있으며, 그 결과, 피치가 거친 나사를 사용할 수 있기 때문에 토오크 관리가 아니라 회전수 관리로도 적정한 체결 관리를 할 수 있다.
또한, 압압체는 하단면이 조정기 돌출부의 상면에 당접되는 바닥이 있는 통형의 암나사 부재와, 암나사 부재에 돌려 넣어져 있는 수나사 부재를 구비하고 있으며, 수나사 부재는 문형 금속 이음구의 정상벽에 형성된 관통공에 상하로 자유롭게 움직일 수 있도록 삽입 관통되어 있는 축부와, 축부의 상단부에 형성되고 또한 하면이 문형 금속 이음구의 정상벽 상면에 당접하고 있는 스패너 끼워맞춤용 머리부를 구비하고 있어도 무방하다. 이와 같이 하면, 머리부 하면이 문형 금속 이음구의 정상벽 상면에 당접하고 있기 때문에, 수나사 부재를 암나사 부재에 돌려 넣음으로써 암나사 부재가 윗쪽으로 이동하고, 수나사 부재를 암나사 부재로부터 돌려 빼냄으로써 암나사 부재가 아래쪽으로 이동한다. 이 때 암나사부는 회전하지 않고서 상하 방향으로 이동하기 때문에, 암나사 부재의 하단면과 조정기의 돌출부 상면간의 마찰 영향이 없어져서, 체결 토오크 값이 안정된다.
접속 부재를 좌우로 관통하는 관통공이 형성되고, 이 관통공에 회전이 자유롭게 삽입 관통된 축의 좌우 단부가 문형 금속 이음구의 좌우 측벽 하단부에 고정되어 있으며, 문형 금속 이음구가 조정기의 착탈에 방해되지 않는 위치까지 회전 운동할 수 있게 되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 조정기를 분리할 때에 문형 금속 이음구를 회전 운동시켜 분리하는데 방해되지 않도록 할 수 있으며, 더구나, 분리할 때 문형 금속 이음구가 접속 부재로부터 누락되는 것이 방지된다. 따라서, 조정기의 분리 작업이 용이하게 된다.
또한, 접속 부재를 좌우로 관통하고 또한 전후 방향으로 신장하는 안내홈이 형성되고, 이 안내홈에 전후 이동이 자유롭게 끼워 넣어진 축의 좌우 단부가 문형 금속 이음구의 좌우 측벽 하단부에 고정되어 있어, 문형 금속 이음구가 조정기의 착탈에 방해되지 않는 위치까지 전후 이동을 할 수 있도록 되어 있어도 좋다. 이와 같이 하면, 조정기를 분리할 때에 문형 금속 이음구를 전후 이동시켜 분리하는데 방해되지 않도록 할 수 있을 뿐만 아니라, 분리할 때 문형 금속 이음구가 접속 부재로부터 누락되는 것이 방지된다. 따라서, 조정기의 분리 작업이 용이하게 된다.
조정기에 상하로 신장하는 위치 결정 핀 끼워맞춤 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 그리고, 조정기가 설치되는 패널에 위치 결정 핀을 세워 설치해 두고, 이 핀에 핀 끼워맞춤 홈을 끼워 맞춘다. 이로써, 조정기의 전후·좌우로의 움직임이 억제되기 때문에, 밀봉부가 어긋나거나 한쪽만 조여지거나 하는 것이 방지된다. 더구나, 조정기를 수직 패널에 설치하는 경우에는 조정기가 자중(自重)에 의해 낙하하는 것이 방지되기 때문에, 설치 작업이 보다 한층더 용이하게 된다.
조정기 돌출부의 하면이 조정기로부터 멀어짐에 따라서 윗쪽으로 경사지며, 이에 따라서 접속 부재의 접촉면도 경사지는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 조정기 돌출부의 상면에서 압압체에 의해 힘이 가해졌을 때, 조정기 돌출부의 하면은 접속 부재의 접속면을 따라 약간 활주하면서 접속 부재의 접속면에 강하게 압압됨으로써, 밀봉부의 면압(面壓)이 상승하여 밀봉성이 향상된다.
또한, 조정기가 질량 유량 조정기인 경우에, 조정기 돌출부에 형성된 통로와 접속 부재에 형성된 통로가 접속되는 단면에서의 교차각이 둔각으로 되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 질량 유량 조정기에 유입되어 오는 유체가 난류로 되기 어렵기 때문에, 층류인 것을 전제로 유량을 조정하도록 되어 있는 질량 유량 조정기의 유량 조정 정밀도가 떨어지지 않는다.
본 발명의 실시예를 이하 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시예를 나타내는 종단면도.
도 2는 도 1의 주요부 확대도.
도 3은 도 2의 3-3선 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시예를 나타내는 종단면도.
도 5는 본 발명에 의한 유체 제어 장치의 제3 실시예를 나타내는 종단면도.
도 6은 도 5의 주요부 확대도.
도 7은 도 6의 7-7선 단면도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 제1 유체 유입부
2 : 제l 개폐 밸브
3 : 제2 개폐 밸브
4 : 통로 블록
5 : 질량 유량 조정기
6 : 제3 개폐 밸브
7 : 유체 유출부
8 : 제2 유체 유입부
도 1은 반도체 제조 장치에 설치되는 유체 제어 장치의 제1 실시예를 나타내고 있으며, 뒤에서부터 차례로, 제1 유체 유입부(1), 제l 개폐 밸브(2), 제2 개폐 밸브(3), 통로 블록(4), 질량 유량 조정기(조정기)(5), 제3 개폐 밸브(6) 및 유체 유출부(7)를 구비하고 있다. 제2 개폐 밸브(3)의 아래쪽에는 제2 유체 유입부(8)가 설치되어 있다. 전후로 이웃하는 각 부재(1,2,3,4,5,6,7)끼리 및 제2 개폐 밸브(3)와 제2 유체 유입부(8)는 공통 구성으로 된 밀봉부(구성의 상세는 도시하지 않음)(18)를 개재하여 접속되고 있다.
제1 유체 유입부(1)에 유입된 유체는 제1 개폐 밸브(2), 제2 개폐 밸브(3), 통로 블록(4)안에 설치되어 있는 연통로(41), 질량 유량 조정기(5), 제3 개폐 밸브(6) 및 유체 유출부(7)를 지나서 배출된다. 또한, 제2 유체 유입부(8)에 유입된 유체는 제2 개폐 밸브(3), 통로 블록(4)안에 설치되어 있는 연통로(連通路)(41), 질량 유량 조정기(5), 제3 개폐 밸브(6) 및 유체 유출부(7)를 지나서 배출된다.
질량 유량 조정기(5)의 하단부 후면에 블록형의 후방 돌출부(9)가 설치되고, 질량 유량 조정기(5)의 하단부 전면에 블록형의 전방 돌출부(10)가 설치되어 있다. 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9)는 통로 블록(4)의 전단부에, 또한, 질량 유량 조정기(5)의 전방 돌출부(10)는 제3 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(16) 후단부에 각각 결합 부재(11)에 의해 착탈 자유롭게 부착되어 있다.
결합 부재(11)는 통로 블록(4)의 전단부 또는 제3 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(16) 후단부에 설치된 좌우로 신장하는 관통공(19)에 회전 자유롭게 삽입 관통되어 있는 회전축(20)과, 이 회전축(20)에 설치된 문형 금속 이음구와, 밀봉부(18)의 바로 위에서 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9, 10)를 통로 블록(4) 또는 제3 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(16)에 압압하는 압압체(22)로 이루어지는 것으로, 상세한 것은 후술한다.
후방 돌출부(9)의 하면(9a)은 약45°앞부분이 처진 경사면으로 되어 있다. 그리고, 후방 돌출부(9)에는 질량 유량 조정기(5)안을 뒤에서부터 앞으로 흐르는 질량 유량 조정기 본체내 유로(43)로 통하고 있는 유입로(42)가 설치되어 있다. 유입로(42)는 후방 돌출부(9)의 하면(9a)에 직각인 방향보다는 경사 각도가 완만하게 되어 있다. 이로써, 유입로(42)는 질량 유량 조정기 본체내 유로(43)와 이루는 각은 150°정도의 둔각으로 된다.
전방 돌출부(10)의 하면(10a)은 약45°앞부분이 올라간 경사면으로 되어 있다. 그리고, 전방 돌출부(10)에는 질량 유량 조정기 본체내 유로(43)로 통하고 있는 유출로(44)가 설치된다. 유출로(44)는 전방 돌출부(10)의 하면(10a)에 대략 직각인 방향으로 신장하고 있다. 이로써, 유출로(44)와 질량 유량 조정기 본체내 유로(43)와 이루는 각은 l35°정도의 둔각으로 된다.
제2 개폐 밸브(3)와 질량 유량 조정기(5) 사이에 설치되어 있는 통로 블록(4)은 제2 개폐 밸브(3)의 밸브 본체(3a)에 설치되어 있는 유출로(40)와 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9)에 설치되어 있는 유입로(42)를 연통하기 위한 연통로(41)가 설치되어 있는 것이며, 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9)에 접속되는 통로 블록(4)의 전단부 상면(4a)은 후방 돌출부(9)의 약 45°앞부분이 처진 하면(9a)에 대응하여 이것과 동일하게 앞부분이 처진 경사면으로 되어 있다.
통로 블록(4)의 연통로(41)는 제2 개폐 밸브(3)의 유출로(40)로 통하고 있는 상류부(41a)와, 질량 유량 조정기(5)의 유입로(42)로 통하고 있는 하류부(41b)로 이루어진다. 상류부(41a)는 약간 앞부분이 처지고, 하류부(41b)는 약간 앞부분이 올라가도록 되어 있어, 상류부(41a)와 하류부(41b)가 이루는 각은 150°정도의 둔각으로 되어 있다. 또한, 하류부(41b)는 통로 블록(4)의 전단부 상면(4a)에 직각인 방향보다는 경사 각도가 완만하게 되어 있다. 이로써, 연통로 하류부(41b)와질량 유량 조정기(5)의 유입로(42)가 이루는 각은 165°정도의 둔각으로 된다.
제2 개폐 밸브(3)의 밸브 본체(3a) 전후 길이는 제l 개폐 밸브(2)의 밸브 본체(2a) 전후 길이와 같고, 제3 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(16) 전후 길이는 제1 개폐 밸브(2)의 밸브 본체(2a) 전후 길이의 약 2배로 되어 있다. 제3 개폐 밸브(6)의 액츄에이터 부분(6a)은 밸브 본체(16)의 전반부(前半部)에 설치되어 있다. 질량 유량 조정기(5)의 전방 돌출부(10)에 접속되는 제3 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(16) 후단부 상면(16a)은 질량 유량 조정기(5)의 전방 돌출부(10)의 약 45°앞부분이 올라간 하면(10a)에 대응하여 이것과 동일하게 앞부분이 올라간 경사면으로 되어 있다. 제3 개폐 밸브(6)의 유입로(45)는 질량 유량 조정기(5)의 전방 돌출부(10)의 유출로(44) 전단에서 앞부분이 처지게 신장하는 상류부(45a)와, 상류부(45a)의 전단에서 바로 위로 신장하는 하류부(45b)로 이루어진다. 상류부(45a)는 제3 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(16) 후단부 상면(16a)에 직각인 방향보다는 경사 각도가 완만하게 되어 있다. 이로써, 제3 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(16)의 유입로 상류부(45a)와 질량 유량 조정기(5)의 유출로(44)가 이루는 각은 150°정도의 둔각으로 된다. 또한, 제3 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(16)의 유입로 상류부(45a)와 하류부(45b)가 이루는 각은 75°정도의 예각으로 되어 있다.
이 유체 제어 장치에 의하면, 제2 개폐 밸브(3)의 유출로(40)로 나온 유체는 통로 블록(4)의 연통로 상류부(41a), 이것과 둔각을 이루는 연통로 하류부(41b), 이것과 둔각을 이루는 질량 유량 조정기(5) 후방 돌출부(9)의 유입로(42)를 지나서, 이 유입로(42)와 둔각을 이루는 질량 유량 조정기 본체내 유로(43)에 들어가며, 더욱이, 질량 유량 조정기 본체내 유로(43)와 둔각을 이루는 전방 돌출부(10)의 유출로(44)를 지나서, 이것과 둔각을 이루는 제3 개폐 밸브(6)의 유입로 상류부(45a)에 도달하게 된다. 즉, 질량 유량 조정기(5)의 전후에서는 모든 통로(41a, 41b,42,43,44,45a)끼리가 이루는 각이 둔각으로 되어 있으며, 이로써, 질량 유량 조정기 본체내 유로(43)를 흐르는 유체가 층류로 된다. 따라서, 종래의 유체 제어 장치에 있어서의 문제, 즉, 질량 유량 조정기에 유입되기 전에 역L 형의 통로와 L 형의 통로를 통과함으로써, 난류가 발생하여 질량 유량 조정기의 유량 조정 정밀도가 떨어진다고 하는 문제가 해소된다.
이어서, 도 2도 및 도 3을 참조하여, 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9)와 통로 블록(4)을 결합하고 있는 결합 부재(11)에 관해서 상세히 설명한다. 또한, 도 3은 도 1을 확대한 도 2의 3-3선 단면도로서, 도 3의 좌우가 이 명세서에서의 좌우와 일치하고 있다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 문형 금속 이음구(21)는 좌우 측벽(21a) 및 정상벽(21b)으로 이루어진다. 좌우 측벽(21a)의 하부끼리의 간격은 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9) 및 통로 블록(4)의 좌우 폭과 같게 되어 있으며, 그 상부는 측벽(21a) 간격이 좁게 되도록 경사져 있다. 정상벽(21b)에는 그 상면에서 아래쪽으로 신장하는 원형 단면의 관통공(28)과, 이것의 하단에 연속하고 있으며 또한 관통공(28)의 단면적보다도 큰 단면적을 갖는 아래쪽을 향하여 개방된 사각형 단면의 오목부(29)가 형성되어 있다. 후술하는 바와 같이, 관통공(28)은 압압체 수나사 부재(23)의 안내용으로 되고, 오목부(29)는 압압체 암나사 부재(24)의 안내용으로 되어 있다.
좌우 측벽(21a)의 하단부에는 관통공(30)이 각각 형성되어 있으며, 각 관통공(30)에는 회전축(20)의 좌우 단부가 끼워넣어져 고정되고 있다. 이로써, 문형 금속 이음구(21)는 좌우로 신장하는 회전축(20)의 축선을 중심으로 하여 회전운동할 수 있도록 이루어지며, 더욱이, 결합 부재(11)의 낙하가 저지되고 있다. 또한, 문형 금속 이음구(21)를 회전운동시켜, 결합 부재(11)의 낙하를 저지하는 구성은 이것에 한정되는 것이 아니라, 회전축(20) 대신에, 좌우 측벽(21a)의 관통공(30)에 좌우 외측에서 플랜지가 형성된 핀을 느슨하게 삽입 관통시킴과 동시에, 그 선단부를 통로 블록(4)의 관통공(19)에 강제적으로 끼워넣어도 좋다.
압압체(22)는 바닥이 있는 통형 암나사 부재(24)와, 암나사 부재(24)에 돌려 넣어져 있는 수나사 부재(23)로 이루어진다.
암나사 부재(24)는 단면이 거의 원형인 통체의 내주면에 암나사부를 마련한 것으로, 그 외주면에는 서로 평행한 좌우 한쌍의 평탄면(24a)이 형성되어 있다. 이들 평탄면(24a)끼리의 간격은, 문형 금속 이음구(21)의 정상벽(21b) 아래쪽에 마련된 압압체 암나사 부재 안내용 오목부(29)의 좌우 폭과 거의 동일하게 되어 있다. 암나사 부재(24)는 그 상단부가 압압체 암나사 부재 오목부(29)에 활주 자유롭게 그리고 회전이 불가능하게 끼워 넣어져 있어, 수나사 부재(23)의 회전에 동반하여 하단면이 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9, 10) 상면에 접속 또는 분리되 도록 이루어져 있다. 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9, 10) 상면에는 암나사 부재(24)의 수직 단면 원호형인 선단면을 받치는 수직 단면 원호형이며 또한 좌우로 신장하는 질량 유량 조정기 설치시 압압체 위치 결정 오목부(39)가 형성되어 있다.
수나사 부재(23)는 문형 금속 이음구(21)의 정상벽(21b)에 형성된 압압체 수나사 부재 안내용 관통공(28)에 상하 자유자재로 삽입 관통되어 있는 축부(25)와, 축부(25)의 상단부에 마련되며 또한 하면이 문형 금속 이음구(21)의 정상벽(21b) 상면에 당접하고 있는 스패너 끼워맞춤용 머리부(26)와, 축부(25)의 하단에 연속하고 있으며 또한 축부(25)보다도 약간 직경이 큰 수나사부(27)로 이루어진다. 머리부(26)는 단면이 정육각형으로 되어 있고, 머리부(26)에 형성된 아래쪽을 향하는 오목부(26a)에, 정상벽(21b)보다도 윗쪽으로 돌출한 축부(25)의 상단부가 끼워 넣어져, 스프링 핀(31)에 의해 머리부(26)와 축부(25)가 결합되어 있다. 축부(25)의 하단부에는 수나사부(27)의 상단과 문형 금속 이음구(21)의 정상벽(21b) 하단 사이에 개재되어 있는 칼라(32)가 끼워져 덮여 있다. 또한, 머리부(26)의 단면은 사각형이라도 좋고, 또한 원형으로서, 머리부 상면에 스패너 끼워맞춤용 오목부가 형성되어 있어도 좋다.
이 결합 부재(11)에 의하면, 수나사 부재(23)의 머리부(26) 하면이 문형 금속 이음구(21)의 정상벽(21b) 상면에 당접하고 있기 때문에, 수나사 부재(23)를 암나사 부재(24)에 돌려 넣어감에 따라서 암나사 부재(24)가 윗쪽으로 이동하고, 수나사 부재(23)를 암나사 부재(24)로부터 돌려 빼내감에 따라서 암나사 부재(24)가 아래쪽으로 이동한다. 이 때, 암나사 부재(24)의 운동은 회전하지 않고서 상하로 이동할 뿐이기 때문에, 암나사 부재(24)의 하단면과 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9, 10) 상면간의 마찰 영향이 없어져 체결 토오크가 안정된다. 또한, 수나사 부재(23) 및 암나사 부재(24)는 오른나사인가 왼나사인가는 문제가 되지 않지만, 수나사 부재(23)를 오른쪽으로 회전시켰을 때에 조여지도록 하기 위해서는 양 나사 부재(23,24)를 왼나사로 하면 좋다.
또한, 도 1에서부터 도 3에 나타낸 상태에서, 암나사 부재(24)를 윗쪽으로 이동시켜 질량 유량 조정기(5)로부터 멀어지는 방향으로 쓰러뜨리면, 질량 유량 조정기(5)를 윗쪽으로 집어낼 수 있다. 또한, 질량 유량 조정기(5)를 설치할 때에는, 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9) 및 통로 블록(4)이 좌우 측벽(21a)의 하부에 의해 좌우 양측으로부터 사이에 끼워짐으로써, 좌우의 위치 결정이 행하여지기 때문에, 유체 제어 장치를 설치하는 패널이 수직인 경우라도, 위치 결정이나 볼트와 나사 구멍의 이맞물림 등에 시간을 허비할 필요가 없어, 작업성이 향상함과 동시에 작업할 때에 밀봉부를 손상시켜 밀봉성이 악화한다고 하는 문제도 방지된다.
도 4는 반도체 제조 장치에 설치되는 유체 제어 장치의 제2 실시예를 나타내고 있으며, 뒤에서부터 차례로 제1 유체 유입부(1), 제1 개폐 밸브(2), 제2 개폐 밸브(3), 제4 개폐 밸브(12), 질량 유량 조정기(5), 제3 개폐 밸브(6) 및 유체 유출부(7)를 구비하고 있다. 제2 개폐 밸브(3)의 아래쪽에는 제2 유체 유입부(8)가 설치되어 있다. 또한, 제4 개폐 밸브(12) 및 제3 개폐 밸브(6)의 아래쪽에는 각각 통로 블록(13,14)이 설치되고, 이들 통로 블록(13,14)끼리는 튜브(15)로 접속되어 있다.
제1 유체 유입부(1), 제1 개폐 밸브(2), 제2 개폐 밸브(3), 질량 유량 조정기(5) 및 유체 유출부(7)는 제1 실시예와 동일한 것이 사용되고 있다. 제3 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(16)에는 통로 블록(14)으로 통하는 통로가 부가되어 있다.
제4 개폐 밸브(12)는 블록형의 밸브 본체(17)를 구비하고 있다. 밸브 본체(17)의 전후 길이는 제1 개폐 밸브(2)의 밸브 본체(2a) 전후 길이의 약 2배로 되어 있으며, 액츄에이터 부분(12a)은 밸브 본체(17)의 후반부에 설치되어 있다. 제4 개폐 밸브(12)의 밸브 본체(17) 전단부 상면(17a)은 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9)의 약 45°앞부분이 처진 하면(9a)에 대응하여 이것과 동일하게 앞부분이 처진 경사면으로 이루어지며, 이 면(17a)은 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9) 하면(9a)에 돌출접속되어 있다.
제4 개폐 밸브(12)의 유출로(48)는 아래쪽으로 신장하는 상류부(48a)와, 질량 유량 조정기(5)의 유입로(42)로 통하고 있는 하류부(48b)로 이루어진다. 하류부(48b)는 약간 앞부분이 처져 있으며, 상류부(48a)와 하류부(48b)가 이루는 각은 75°정도의 예각으로 되어 있다. 또한, 하류부(48a)는 밸브 본체(17)의 전단부 상면(17a)에 직각인 방향보다는 경사 각도가 완만하게 되어 있다. 이로써, 제4 개폐 밸브(12)의 유출로 하류부(48b)와 질량 유량 조정기(5)의 유입로(42)가 이루는 각은 165°정도의 둔각으로 된다.
이 제2 실시예는 제1 실시예에서의 통로 블록(4)대신에 제4 개폐 밸브(12)를 설치한 것으로, 제1 실시예와 동일한 구성인 것에는 동일 부호를 붙이고 설명은 생략한다.
또한, 상기 제1 및 제2 실시예에서는, 질량 유량 조정기(5)와 통로 블록(4) 또는 밸브 본체(16, 17)가 접속되어 있지만, 질량 유량 조정기(5)대신에 압력 조정기나 각종 밸브 등의 유량 또는 압력을 조정하는 조정기를 사용하더라도 좋고, 이것에 접속되는 부재는 밸브 본체(16,l7)나 통로 블록(4) 외에 필터 등이라도 좋으며, 이들이 적절히 조합되어 유체 제어 장치가 구성된다.
또한, 압압체로서, 문형 금속 이음구(21)의 좌우 양측벽(21a)을 관통하는 회전이 자유자재로운 편심축을 사용하여, 편심축을 회전시킴으로써 편심축의 단경부(短徑部)가 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9, 10)에 대향하여, 편심축과 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9, 10) 사이에 빈틈이 발생하고 있는 상태와, 편심축의 장경부(長徑部)가 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9,10) 상면에 당접하여, 편심축의 장경부에 의해서 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9, 10)가 압압되는 상태로 전환되는 구성으로 하여도 좋다. 하여튼, 밀봉부(18)의 바로 위에서 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9, 10) 하면(9a,10a)을 통로 블록(4)이나 밸브 본체(16, 17)의 접속면(4a, 16a,17a)에 압압함으로써, 밀봉부(18)를 사이에 끼우는 대칭 위치로 2개의 볼트로 조여갈 때와 같은 체결 밸런스를 고려하지 않아서 좋다.
또한, 상기의 실시예에서는, 돌출부(9,10) 하면(9a,10a) 및 통로 블록(4)·밸브 본체(16, 17)의 접속면(4a,16a,17a)은 경사면으로 되어 있지만, 상술한 결합 부재(11)는 접속면(9a,10a,4a,16a,17a)이 경사면이 아니더라도 사용할 수 있다. 또한, 질량 유량 조정기(5)의 전후에서 통로(41a,41b,42,43,44,45a,48a)끼리가 이루는 각을 둔각으로 하는 것에 대해서도, 접속면(9a,10a,4a,16a,17a)이 경사면이 아니라도 적용할 수 있다.
더욱이, 상기 실시예에서는, 문형 금속 이음구(21)는 좌우로 신장하는 축을 중심으로 하여 회전운동할 수 있도록 접속 부재(4,16,17)에 설치되어 있지만, 문형 금속 이음구는 전후 방향으로 이동할 수 있도록 접속 부재에 설치하여도 좋다. 이 실시예(제3 실시예)를 도 5에서부터 도 7에 나타낸다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 유체 제어 장치의 제3 실시예는 질량 유량 조정기(5)와, 이것의 후측 및 전측에 각각 설치된 제1 및 제2 개폐 밸브(33,34)를 구비하고 있다.
질량 유량 조정기(5)는 그 좌우 측면에 하단까지 신장하는 수직형 핀 끼워맞춤 홈(35)이 마련되는 점만이, 상기 실시예와 다르다. 따라서, 질량 유량 조정기(5)의 구성에 대해서는 상기의 실시예와 동일한 부호를 붙이고 설명은 생략한다.
제1 개폐 밸브(33)의 밸브 본체 앞측에 블록형의 전방 돌출부(36)가 형성되고, 제2 개폐 밸브(34)의 밸브 본체 후측에 블록형의 후방 돌출부(37)가 형성되어 있다.
제1 개폐 밸브(33)의 전방 돌출부(36)는 평탄한 하면(36a)과, 이것에 평행하고 또한 하면(36a)보다도 전단 위치가 후방에 있는 상면(36b)과, 상면(36b)의 전단으로부터 아래쪽으로 경사져 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9) 하면(9a)에 대응하고 있는 경사면(36c)을 구비하고 있다. 제2 개폐 밸브(34)의 후방 돌출부(37)는 평탄한 하면(37a)과, 이것에 평행하고 또한 하면(37b)보다도 후단 위치가 전방에 있는 상면(37b)과, 상면(37b)의 후단으로부터 아래쪽으로 경사져 질량 유량 조정기(5)의 전방 돌출부(10) 하면(10a)에 대응하고 있는 경사면(37c)을 가지고 있다.
제1 개폐 밸브(33)의 전방 돌출부(36)에는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 수평인 상류부(64a)와, 경사면(37c)에 직교하는 하류부(64b)로 이루어지는 질량 유량 조정기(5)로의 유출로(64)가 형성되어 있다. 유출로(64)의 상류부(64a)와 하류부(64b)가 이루는 각은 145°정도의 둔각이고, 하류부(64b)와 질량 유량 조정기(5)의 유입로(42)가 이루는 각은 180°이다.
질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9)가 제1 개폐 밸브(33)의 전방 돌출부(36)에, 또한, 질량 유량 조정기(5)의 전방 돌출부(10)가 제2 개폐 밸브(34)의 후방 돌출부(37)에, 각각 결합 부재(38)에 의해 착탈 자유롭게 설치되어 있다.
결합 부재(38)는, 각 개폐 밸브(33,34) 돌출부(36, 37)의 좌우 폭과 같은 간격으로 대향된 좌우 측벽(51a) 및 관통 암나사부(54)가 형성된 정상벽(51b)으로 이루어지는 문형 금속 이음구(51)와, 문형 금속 이음구(51)의 하단부 사이에 걸쳐져고정된 수평축(52)과, 문형 금속 이음구(51)의 관통 암나사부(54)에 끼워 맞추어지고 또한 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9,10)를 개폐 밸브(33, 34)의 돌출부(36, 37)에 누르는 압압체(53)로 이루어진다.
압압체(53)는, 도 6에 확대하여 나타내는 바와 같이, 문형 금속 이음구(51)의 관통 암나사부(54)에 끼워 맞추어져 있는 수나사부(55)와, 수나사부(55)의 상단에 연속해 있는 스패너 끼워맞춤용 머리부(56)와, 수나사부(55)의 하단에 연속해 있고 또한 선단면이 수직 단면 원호형으로 된 단원주형 볼록부(57)로 이루어진다.
전술한 바와 같이, 질량 유량 조정기(5)의 후방 및 전방 돌출부(9, 10)의 상면에는 압압체(53) 볼록부(57)의 선단면을 받치는 수직 단면 원호형이고 또한 좌우로 신장하는 질량 유량 조정기 설치시 압압체 위치 결정용 오목부(39)가 형성되지만, 각 개폐 밸브(33,34)의 돌출부(36,37) 상면(36b,37b)에도 이들과 동형상인 질량 유량 조정기 분리시 압압체 위치 결정용 오목부(49)가 형성된다.
개폐 밸브(33,34)의 돌출부(36,37) 하면(36a,37a)에는, 결합 부재(38)의 수평축(52)을 전후 방향으로 안내하는 안내홈(58)이 형성되어 있다. 안내홈(58)은 아래쪽으로 개방되어 있으며, 그 저면의 전후 단부에는, 수직 단면 원호형이고 또한 좌우로 신장하여 수평축(52)에 끼워 맞추어지는 질량 유량 조정기 설치시 및 분리시 수평축 위치 결정용 오목부(59, 60)가 각각 형성된다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 질량 유량 조정기 설치시 수평축 위치 결정용 오목부(59)는 질량 유량 조정기 설치시 압압체 위치 결정용 오목부(39)의 아래쪽에 위치하도록 되어 있고, 질량 유량 조정기 분리시 수평축 위치 결정용 오목부(60)는 개폐 밸브(33, 34) 돌출부(36, 37)의 질량 유량 조정기 분리시 압압체 위치 결정용 오목부(49)의 아래쪽에 위치하도록 되어 있다. 또한, 질량 유량 조정기 설치시 압압체 위치 결정용 오목부(39)의 중심과 질량 유량 조정기 설치시 수평축 위치 결정용 오목부(59)의 중심은 밀봉부(18)의 중심을 개재하여 상하 일직선상으로 나란하게 되도록 위치 결정되어 있다.
질량 유량 조정기(5) 및 개폐 밸브(33,34)가 설치되는 패널(61)에는 질량 유량 조정기(5)의 핀 끼워맞춤 홈(35)에 끼워 맞추어지는 좌우 한쌍의 수직형 안내핀(62)이 마련되어 있다.
이어서, 도 6 및 도 7을 참조하여, 질량 유량 조정기(5)와 개폐 밸브(33, 34)(도시는 제1 개폐 밸브(33)만 함)를 패널(61)에 설치해 가는 순서에 관해서 설명한다.
우선, 제1 및 제2 개폐 밸브(33, 34)를 패널(61)에 나사(63)로 윗쪽에서 고정한다. 이어서, 수나사부(55)가 풀려있는 결합 부재(38)의 수평축(52)을 개폐 밸브(33,34) 돌출부(36,37)의 안내홈(58)에 끼워 넣고, 압압체(53)의 볼록부(57)를 질량 유량 조정기 설치시 압압체 위치 결정용 오목부(49)의 윗쪽에 위치시킴과 동시에, 수평축(52)을 질량 유량 조정기 분리시 수평축 위치 결정용 오목부(60)에 끼워 맞춘다. 이 상태에서 압압체(53)의 수나사부(55)를 조여 감으로써, 도 6에 쇄선으로 도시하는 바와 같이, 결합 부재(38)가 질량 유량 조정기(5)의 설치에 방해되지 않는 위치에서 임시 정지된다. 이어서, 질량 유량 조정기(5)의 핀 끼워맞춤 홈(35)을 안내핀(62)에 끼워 맞춘다. 이렇게 함으로서, 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9) 하면(9a)이 제1 개폐 밸브(33)의 전방 돌출부(36) 경사면(36c)에, 또한, 질량 유량 조정기(5)의 전방 돌출부(10) 하면(10a)이 제2 개폐 밸브(34)의 후방 돌출부(37) 경사면(37c)에 각각 접속된다. 이어서, 압압체(53)의 수나사부(55)를 헐겁게 하여, 수평축(52)을 안내홈(58)을 따라 질량 유량 조정기(5)쪽으로 이동시키고, 압압체(53)의 볼록부(57)를 질량 유량 조정기 설치시 압압체 위치 결정용 오목부(39)의 윗쪽에 위치시킴과 동시에, 수평축(52)을 질량 유량 조정기 설치시 수평축 위치 결정용 오목부(59)에 끼워 맞춘다. 그리고, 압압체(53)의 수나사부(55)를 돌려 넣어가면, 도 6에 실선으로 나타내는 바와 같이, 압압체(53)의 볼록부(57)가 질량 유량 조정기 설치시 압압체 위치 결정용 오목부(39)에 끼워 맞추어져, 질량 유량 조정기(5)와 제1 개폐 밸브(33) 및 제2 개폐 밸브(34)가 연결된다. 질량 유량 조정기 설치시 수평축 위치 결정용 오목부(59) 및 질량 유량 조정기 설치시 압압체 위치 결정용 오목부(39)에 의해 결합 부재(38)의 위치가 결정되며, 이로써, 압압체(53)가 밀봉부(18)의 바로 위에서 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9, 10)를 개폐 밸브(33,34)의 돌출부(36,37)에 압압한다.
질량 유량 조정기(5)를 분리할 때에는 압압체(53)의 수나사부(55)를 헐겁게 하여, 수평축(52)을 안내홈(58)을 따라 이동시키고, 다시, 압압체(53)의 볼록부(57)를 질량 유량 조정기 분리시 압압체 위치 결정용 오목부(49)의 윗쪽에 위치시킴과 동시에, 질량 유량 조정기 분리시 수평축 위치 결정용 오목부(60)에 수평축(52)을 끼워 맞추어, 결합 부재(38)를 임시 정지하고 나서, 질량 유량 조정기(5)를 윗쪽으로 집어내면 된다.
질량 유량 조정기(5)를 집어낼 때의 위치 결정은 질량 유량 조정기(5)의 핀 끼워맞춤 홈(35)을 안내핀(62)에 끼워 맞춤으로써 행하여지며, 또한 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9, 10) 및 개폐 밸브(33,34)의 돌출부(36,37)가 문형 금속 이음구(51)의 좌우 측벽(51a)에 의해 좌우 양측에서부터 사이에 끼워짐으로써 행하여진다. 따라서, 질량 유량 조정기(5)의 전후·좌우로의 움직임이 억제되기 때문에, 유체 제어 장치를 설치하는 패널이 수직인 경우라도, 위치 결정이나 볼트와 나사 구멍의 이맞물림 등에 시간을 허비하지 않아, 작업성이 향상함과 동시에 작업할 때에 밀봉부를 손상시켜 밀봉성이 악화한다고 한다고 하는 문제나 밀봉부가 어긋나거나 한쪽만 조여진다고 하는 것이 방지된다.
상기 제3 실시예의 장치에서는, 질량 유량 조정기(5)를 수직 패널(61)에 부착할 경우, 질량 유량 조정기(5)가 자중에 의해 낙하하는 것이 방지되기 때문에, 설치 작업이 보다 한층더 용이하게 된다. 또한, 결합 부재(38)를 임시 정지할 수 있으므로, 패널이(61)이 수직으로 되어 있는 경우라도 결합 부재(38)가 자중에 의해 아래쪽으로 회전운동하여 질량 유량 조정기(5)를 설치할 공간을 막아버리지 않는다. 따라서, 수직 패널(61)에 질량 유량 조정기(5) 등을 설치할 때에 특히 유리한 구성이다.
또한, 제1 및 제2 실시예의 결합 부재(11)와 제3 실시예의 결합 부재(38)는 서로 교환가능하며, 제1 및 제2 실시예의 결합 부재(11)를 제3 실시예에서 사용하더라도 좋고, 제3 실시예의 결합 부재(38)를 제1 및 제2 실시예에서 사용하더라도 좋다.
상기 제1에서 제3 실시예의 결합 부재(11,38)에 의하면, 수나사 부재(23) 또는 수나사부(55)가 부착된 압압체(53)는 밀봉부(18)의 윗쪽에 1개 배치될 뿐이므로, 밀봉부(18)를 사이에 끼우는 대칭 위치로 각각 볼트를 배치하는 종래의 것에 비하여 수나사부(27,55)를 굵게 할 수 있으며, 그 결과 피치가 거친 수나사부(27, 55)를 사용할 수 있기 때문에 토오크 관리가 아니라 회전수 관리로도 적정한 체결 관리를 할 수 있다.
또한, 제1에서 제3 실시예에 있어서, 도 2 및 도 6에서 알 수 있는 바와 같이, 질량 유량 조정기(5)의 후방 돌출부(9,10) 상면에서 압압체(22,53)에 의해 아래쪽을 향하여 힘이 가해졌을 때, 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9,10) 하면(9a, 10a)은 이들에 접속되어 있는 통로 블록(4) 및 개폐 밸브(6,33,34)의 접속면(4a, 16a,36c,37c)을 따라서 약간 활주하면서 접속면(4a,l6a,36c,37c)에 강하게 압압되어 간다. 즉, 질량 유량 조정기(5)의 돌출부(9,10)가 쇄기와 같은 움직임을 함으로써, 밀봉부(18)의 면압이 상승하여 밀봉성이 향상한다.
또한, 질량 유량 조정기(5)를 설치할 때에는, 전방의 결합 부재(11,38)와 후방의 결합 부재(11,38)를 교대로 밸런스를 맞추어 조여갈 필요가 있지만, 종래의 유체 제어 장치에서는, 전방에 좌우 2개, 후방에 좌우 2개 있는 볼트를 전후로도 밸런스를 잡고, 더욱이 좌우로도 밸런스를 잡으면서 조여갈 필요가 있는데 비하여, 작업성이 대폭 향상한다.
본 발명의 유체 제어 장치에 의하면, 압압체는 조정기 돌출부를 밀봉부의 바로 위에서 접속 부재에 압압하기 때문에, 밀봉부를 사이에 끼우는 대칭 위치로 2개의 볼트에 의해 조여져 갈 때와 같은 체결 밸런스를 고려하지 않아도 좋으므로 조정기의 설치 작업이 용이하게 된다.
압압체는 예컨대, 문형 금속 이음구의 정상벽에 설치된 관통 암나사부에 체결되어 있는 수나사부와, 수나사부의 상단에 연속해 있는 스패너 끼워맞춤용 머리부와, 수나사부의 하단에 연속해 있는 단원주형 볼록부로 이루어진다. 이와 같이 하면, 압압체는 밀봉부의 윗쪽에 1개 배치될 뿐이므로, 밀봉부를 사이에 끼우는 대칭 위치로 각각 볼트를 배치하는 종래의 것에 비하여, 수나사부를 굵게 할 수 있으며, 그 결과, 피치가 거친 나사를 사용할 수 있기 때문에 토오크 관리가 아니라 회전수 관리로도 적정한 체결 관리를 할 수 있다.
또한, 압압체는 하단면이 조정기 돌출부의 상면에 당접되는 바닥이 있는 통형의 암나사 부재와, 암나사 부재에 돌려 넣어져 있는 수나사 부재를 구비하고 있으며, 수나사 부재는 문형 금속 이음구의 정상벽에 형성된 관통공에 상하로 자유롭게 움직일 수 있도록 삽입 관통되어 있는 축부와, 축부의 상단부에 형성되고 또한 하면이 문형 금속 이음구의 정상벽 상면에 당접하고 있는 스패너 끼워맞춤용 머리부를 구비하고 있어도 무방하다. 이와 같이 하면, 머리부 하면이 문형 금속 이음구의 정상벽 상면에 당접하고 있기 때문에, 수나사 부재를 암나사 부재에 돌려 넣음으로써 암나사 부재가 윗쪽으로 이동하고, 수나사 부재를 암나사 부재로부터 돌려 빼냄으로써 암나사 부재가 아래쪽으로 이동한다. 이때 암나사부는 회전하지 않고서 상하 방향으로 이동하기 때문에, 암나사 부재의 하단면과 조정기의 돌출부 상면간의 마찰 영향이 없어져서, 체결 토오크 값이 안정된다.
접속 부재를 좌우로 관통하는 관통공이 형성되고, 이 관통공에 회전이 자유롭게 삽입 관통된 축의 좌우 단부가 문형 금속 이음구의 좌우 측벽 하단부에 고정되어 있으며, 문형 금속 이음구가 조정기의 착탈에 방해되지 않는 위치까지 회전 운동할 수 있게 되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 조정기를 분리할 때에 문형 금속 이음구를 회전 운동시켜 분리하는데 방해되지 않도록 할 수 있으며, 더구나, 분리할 때 문형 금속 이음구가 접속 부재로부터 누락되는 것이 방지된다. 따라서, 조정기의 분리 작업이 용이하게 된다.
조정기에 상하로 신장하는 위치 결정 핀 끼워맞춤 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 그리고, 조정기가 설치되는 패널에 위치 결정 핀을 세워 설치해 두고, 이 핀에 핀 끼워맞춤 홈을 끼워 맞춘다. 이로써, 조정기의 전후·좌우로의 움직임이 억제되기 때문에, 밀봉부가 어긋나거나 한쪽만 조여지거나 하는 것이 방지된다. 더구나, 조정기를 수직 패널에 설치하는 경우에는 조정기가 자중(自重)에 의해 낙하하는 것이 방지되기 때문에, 설치 작업이 보다 한층더 용이하게 된다.
조정기 돌출부의 하면이 조정기로부터 멀어짐에 따라서 윗쪽으로 경사지며, 이에 따라서 접속 부재의 접촉면도 경사지는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 조정기 돌출부의 상면에서 압압체에 의해 힘이 가해졌을 때, 조정기 돌출부의 하면은 접속 부재의 접속면을 따라 약간 활주하면서 접속 부재의 접속면에 강하게 압압됨으로써, 밀봉부의 면압이 상승하여 밀봉성이 향상된다.
질량 유량 조정기의 전후에서 모든 통로 사이의 각이 둔각으로 되어 있어서 질량 유량 조정기 본체내 유로를 흐르는 유체가 층류로 되어 종래의 장치에서 난류가 발생하여 유량 조정 정밀도가 떨어진다는 문제점이 해소된다.

Claims (8)

  1. 유량 또는 압력을 조정하는 조정기와, 조정기의 하단부 전후 양면에 설치된 조정기 돌출부와, 조정기 돌출부의 하면에 접속된 접속 부재를 구비하며, 조정기 돌출부와 접속 부재가 밀봉부를 매개로 착탈 자유롭게 접속되어 있는 유체 제어 장치에 있어서,
    접속 부재에 조정기 돌출부 및 접속 부재를 좌우 양측에서부터 사이에 끼우는 좌우 측벽을 갖는 문형 금속 이음구가 설치되며, 문형 금속 이음구에 조정기 돌출부를 밀봉부의 바로 위에서 접속 부재에 압압하는 압압체가 설치되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  2. 제1항에 있어서, 접속 부재를 좌우로 관통하는 관통공이 형성되고, 이 관통공에 회전 자유롭게 삽입 관통된 축의 좌우 단부가 문형 금속 이음구의 좌우 측벽 하단부에 고정되며, 문형 금속 이음구는 조정기의 착탈에 방해되지 않는 위치까지 회전운동할 수 있게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  3. 제1항에 있어서, 접속 부재를 좌우로 관통하고 또한 전후 방향으로 신장하는 안내홈이 형성되며, 이 안내홈에 전후 이동이 자유롭게 끼워 넣어진 축의 좌우 단부는 문형 금속 이음구의 좌우 측벽 하단부에 고정되며, 문형 금속 이음구는 조정기의 착탈에 방해되지 않는 위치까지 전후 이동할 수 있게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 조정기에 상하로 신장하는 위치 결정 핀 끼워맞춤 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  5. 제1항에 있어서, 조정기 돌출부의 하면은 조정기로부터 멀어짐에 따라 위쪽으로 경사지며, 이것에 대응하여 접속 부재의 접속면도 경사져 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  6. 제5항에 있어서, 조정기는 질량 유량 조정기이며, 조정기 돌출부에 설치된 통로와 접속 부재에 설치된 통로의 접속 단면에서의 교차각은 둔각으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  7. 제1항에 있어서, 압압체는 문형 금속 이음구의 정상벽에 설치된 관통 암나사부에 끼워 맞추어져 있는 수나사부와, 수나사부의 상단에 연속해 있는 스패너 끼워맞춤용 머리부와, 수나사부의 하단에 연속해 있는 단원주형(短圓柱形) 볼록부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
  8. 제1항에 있어서, 압압체는 하단면이 조정기 돌출부의 상면에 당접되는 바닥이 있는 통형의 암나사 부재와 암나사 부재에 끼워 맞추어져 있는 수나사 부재를 구비하며, 수나사 부재는 문형 금속 이음구의 정상벽에 형성된 관통공에 상하운동 자유롭게 삽입 관통되어 있는 축부와 축부의 상단부에 설치되고 또한 하면이 문형 금속 이음구의 정상벽 상면에 당접하고 있는 스패너 끼워맞춤용 머리부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
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